JPH1158208A - ワイヤソ−用ボビン - Google Patents
ワイヤソ−用ボビンInfo
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- JPH1158208A JPH1158208A JP24473097A JP24473097A JPH1158208A JP H1158208 A JPH1158208 A JP H1158208A JP 24473097 A JP24473097 A JP 24473097A JP 24473097 A JP24473097 A JP 24473097A JP H1158208 A JPH1158208 A JP H1158208A
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な操作によってボビンの回転バランス
の調整が行え、これによりウェーハの平坦度の向上や、
インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の低減が図れる
ワイヤソー用ボビンを提供する。 【解決手段】 ワイヤ１１ａの巻回前や巻回後に拘ら
ず、ボビン２０，２１のバランス調整を行う際には、環
状ガイド溝２５に沿って、一対のバランスウエイト２６
を各ボビンフランジ２３の外面上で、時計回りまたは反
時計回りに回動させてバランスをとるので、簡単な操作
によりボビン２０，２１の回転バランスの調整ができ
る。これにより、ウェーハの平坦度の向上やインゴット
切断時におけるワイヤ断線の発生率の低減が図れる。
の調整が行え、これによりウェーハの平坦度の向上や、
インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の低減が図れる
ワイヤソー用ボビンを提供する。 【解決手段】 ワイヤ１１ａの巻回前や巻回後に拘ら
ず、ボビン２０，２１のバランス調整を行う際には、環
状ガイド溝２５に沿って、一対のバランスウエイト２６
を各ボビンフランジ２３の外面上で、時計回りまたは反
時計回りに回動させてバランスをとるので、簡単な操作
によりボビン２０，２１の回転バランスの調整ができ
る。これにより、ウェーハの平坦度の向上やインゴット
切断時におけるワイヤ断線の発生率の低減が図れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はワイヤソー用ボビ
ン、詳しくは簡単な操作によってボビンのバランス調整
が行え、これによりウェーハの平坦度の向上やインゴッ
ト切断時のワイヤ断線の発生率の低減が図れるワイヤソ
ー用ボビンに関する。
ン、詳しくは簡単な操作によってボビンのバランス調整
が行え、これによりウェーハの平坦度の向上やインゴッ
ト切断時のワイヤ断線の発生率の低減が図れるワイヤソ
ー用ボビンに関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、繰出しボビン（またはリ
ールともいう）から導出されたインゴット切断用のワイ
ヤが、複数本の溝ローラにコイル状に巻き架けられた
後、巻取ボビンに巻き取られる装置構成となっている。
したがって、例えば単結晶シリコンなどのインゴットの
切断時には、ラッピングオイルに遊離砥粒（以下、単に
砥粒という場合がある）を含むスラリー状の砥液をイン
ゴットに一定量連続供給しながら、往復走行するワイヤ
列に１本のインゴットを相対的に押し付けて、その研削
作用により多数枚のウェーハに切断する。具体的には、
ワイヤ列の往復走行時に、砥液中の遊離砥粒を各ワイヤ
によりインゴットの切断溝の底部に押し付けながら削り
取って切断する。
ールともいう）から導出されたインゴット切断用のワイ
ヤが、複数本の溝ローラにコイル状に巻き架けられた
後、巻取ボビンに巻き取られる装置構成となっている。
したがって、例えば単結晶シリコンなどのインゴットの
切断時には、ラッピングオイルに遊離砥粒（以下、単に
砥粒という場合がある）を含むスラリー状の砥液をイン
ゴットに一定量連続供給しながら、往復走行するワイヤ
列に１本のインゴットを相対的に押し付けて、その研削
作用により多数枚のウェーハに切断する。具体的には、
ワイヤ列の往復走行時に、砥液中の遊離砥粒を各ワイヤ
によりインゴットの切断溝の底部に押し付けながら削り
取って切断する。
【０００３】ところで、ワイヤソーの運転前には、通
常、繰出しボビンや巻取ボビンを回転させて動バランス
を調整している。これは、各ボビンの回転軸に軸振動が
あると、これらのボビンや溝ローラ間において、ワイヤ
が局部的に引っ張られたり、緩められたりする現象が起
き、得られたウェーハの平坦度が劣化するとともに、ワ
イヤに過負荷がかかってワイヤ断線のおそれがあるから
である。このような現象は、それまでのワイヤの往復速
度が１００ｍ／分だった時期に対して、５００〜１００
０ｍ／分と高速化した今日において顕著化している。そ
こで、これを解消する従来技術として、例えばワイヤが
巻回される前のボビンの端面に、通称コマと呼ばれる小
型のバランスウエイトを取り付けてバランス調整する方
法が知られている。
常、繰出しボビンや巻取ボビンを回転させて動バランス
を調整している。これは、各ボビンの回転軸に軸振動が
あると、これらのボビンや溝ローラ間において、ワイヤ
が局部的に引っ張られたり、緩められたりする現象が起
き、得られたウェーハの平坦度が劣化するとともに、ワ
イヤに過負荷がかかってワイヤ断線のおそれがあるから
である。このような現象は、それまでのワイヤの往復速
度が１００ｍ／分だった時期に対して、５００〜１００
０ｍ／分と高速化した今日において顕著化している。そ
こで、これを解消する従来技術として、例えばワイヤが
巻回される前のボビンの端面に、通称コマと呼ばれる小
型のバランスウエイトを取り付けてバランス調整する方
法が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来技術のワイヤソー用ボビンにおいては、ワイヤが巻
回される前にだけ、動バランスの調整を行っている。し
かし、各ボビンには、その後に大量のワイヤが巻回され
るために、このように予めバランス調整を行っているに
も拘らず、実際のワイヤ切断時には回転軸に軸振動が発
生してしまっていた。これを解消するには、ワイヤを含
めた動バランスをとるために、例えば、特開平８−３２
３６１１号公報のワイヤソーのように、ボビン自体にお
いて、非常に高精度のバランスをとる必要があった（こ
の公報のワイヤソーでは、ボビン、溝ローラの各アンバ
ランス量が５ｇ・ｃｍ以下）。
従来技術のワイヤソー用ボビンにおいては、ワイヤが巻
回される前にだけ、動バランスの調整を行っている。し
かし、各ボビンには、その後に大量のワイヤが巻回され
るために、このように予めバランス調整を行っているに
も拘らず、実際のワイヤ切断時には回転軸に軸振動が発
生してしまっていた。これを解消するには、ワイヤを含
めた動バランスをとるために、例えば、特開平８−３２
３６１１号公報のワイヤソーのように、ボビン自体にお
いて、非常に高精度のバランスをとる必要があった（こ
の公報のワイヤソーでは、ボビン、溝ローラの各アンバ
ランス量が５ｇ・ｃｍ以下）。
【０００５】しかも、このようなボビン自体のバランス
調整を行う際には、そのアンバランス量に応じて、重さ
が異なる多数個の上記コマを使って、手間のかかるバラ
ンス調整をしなければならないという問題点があった。
また、このようにワイヤを巻回した状態では、ワイヤー
テンションでボビンが変形することや、ボビンのフラン
ジに穴あけすることにより、剛性が低下するという理由
からバランス調整を行うことができないという問題点も
あった。
調整を行う際には、そのアンバランス量に応じて、重さ
が異なる多数個の上記コマを使って、手間のかかるバラ
ンス調整をしなければならないという問題点があった。
また、このようにワイヤを巻回した状態では、ワイヤー
テンションでボビンが変形することや、ボビンのフラン
ジに穴あけすることにより、剛性が低下するという理由
からバランス調整を行うことができないという問題点も
あった。
【０００６】そこで、発明者らは、鋭意研究を重ねた結
果、ボビンの端面に予め移動可能にバランスウエイトを
取り付けておけば、ボビンの動バランスを調整する際、
いちいち重さが異なるバランスウエイトを交換する面倒
な作業をしなくても、バランスウエイトをボビン端面内
で所定方向へ移動させるだけで、簡単にボビンの動バラ
ンスがとれることを突き止め、また、ボビン全体の剛性
低下も最小限にすることができることを知見し、この発
明を完成させた。
果、ボビンの端面に予め移動可能にバランスウエイトを
取り付けておけば、ボビンの動バランスを調整する際、
いちいち重さが異なるバランスウエイトを交換する面倒
な作業をしなくても、バランスウエイトをボビン端面内
で所定方向へ移動させるだけで、簡単にボビンの動バラ
ンスがとれることを突き止め、また、ボビン全体の剛性
低下も最小限にすることができることを知見し、この発
明を完成させた。
【０００７】
【発明の目的】この発明は、簡単な操作によってボビン
の動バランスの調整が行え、これによりウェーハの平坦
度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の
低減が図れるワイヤソー用ボビンを提供することを、そ
の目的としている。また、この発明は、バランス調整が
しやすいワイヤソー用ボビンを提供することを、その目
的としている。さらに、この発明は、細かいバランス調
整を簡単に行うことができるワイヤソー用ボビンを提供
することを、その目的としている。
の動バランスの調整が行え、これによりウェーハの平坦
度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の
低減が図れるワイヤソー用ボビンを提供することを、そ
の目的としている。また、この発明は、バランス調整が
しやすいワイヤソー用ボビンを提供することを、その目
的としている。さらに、この発明は、細かいバランス調
整を簡単に行うことができるワイヤソー用ボビンを提供
することを、その目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、１本
のインゴットを多数枚のウェーハに切断するワイヤソー
にあって、ワイヤが繰り出し、巻き取られるワイヤソー
用ボビンにおいて、このワイヤソー用ボビンの端面に、
バランスウエイト移動手段を介して、バランスウエイト
を移動可能に設けたワイヤソー用ボビンである。
のインゴットを多数枚のウェーハに切断するワイヤソー
にあって、ワイヤが繰り出し、巻き取られるワイヤソー
用ボビンにおいて、このワイヤソー用ボビンの端面に、
バランスウエイト移動手段を介して、バランスウエイト
を移動可能に設けたワイヤソー用ボビンである。
【０００９】この発明が適用されるワイヤソーはどのよ
うな種類のものでもよい。例えば、インゴットを動かし
てワイヤ列に押圧、接触させ切断するものでもよく、反
対にワイヤ列を動かしてインゴットに押圧、接触させて
切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴ
ット下面が当接するものでもよく、また、ワイヤ列の下
部にインゴット上面が押し当てられるものでもよい。ま
た、切断に使用される砥液としては、例えば平均粒径１
０〜５０μｍのＳｉＣなどの砥粒を含む周知のものを使
用することができる。ワイヤソーにより切断されるイン
ゴットとしては、例えばシリコン単結晶、化合物半導体
単結晶、磁性材料、石英、セラミックスなどが挙げられ
る。
うな種類のものでもよい。例えば、インゴットを動かし
てワイヤ列に押圧、接触させ切断するものでもよく、反
対にワイヤ列を動かしてインゴットに押圧、接触させて
切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴ
ット下面が当接するものでもよく、また、ワイヤ列の下
部にインゴット上面が押し当てられるものでもよい。ま
た、切断に使用される砥液としては、例えば平均粒径１
０〜５０μｍのＳｉＣなどの砥粒を含む周知のものを使
用することができる。ワイヤソーにより切断されるイン
ゴットとしては、例えばシリコン単結晶、化合物半導体
単結晶、磁性材料、石英、セラミックスなどが挙げられ
る。
【００１０】ここでいうバランスウエイト移動手段と
は、ボビンの一端面または両端面において、バランスウ
エイトを所定方向へ移動できる手段であれば限定されな
い。例えば、このボビン端面にバランスウエイト移動用
のガイド溝やガイド突条を、楕円配置、多角配置または
任意の湾曲形状に配置したものでもよい。バランスウエ
イトは適当な重量を有するものであればよく、その形
状、大きさなどは任意である。また、このボビン端面の
全体に多数のウエイト嵌合部やウエイト係合部を配設
し、その何れかにバランスウエイトを固定するものでも
よい。なお、バランスウエイトの移動方法は、作業者の
手作業でもよいし、駆動源を用いた自動化された移動で
もよい。
は、ボビンの一端面または両端面において、バランスウ
エイトを所定方向へ移動できる手段であれば限定されな
い。例えば、このボビン端面にバランスウエイト移動用
のガイド溝やガイド突条を、楕円配置、多角配置または
任意の湾曲形状に配置したものでもよい。バランスウエ
イトは適当な重量を有するものであればよく、その形
状、大きさなどは任意である。また、このボビン端面の
全体に多数のウエイト嵌合部やウエイト係合部を配設
し、その何れかにバランスウエイトを固定するものでも
よい。なお、バランスウエイトの移動方法は、作業者の
手作業でもよいし、駆動源を用いた自動化された移動で
もよい。
【００１１】請求項２の発明は、上記バランスウエイト
移動手段は、上記ボビンの端面の中心点を中心にして真
円配置された環状スライド溝を有しているとともに、上
記バランスウエイトはこの環状スライド溝に沿って移動
可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用ボビン
である。なお、このようなスライド溝の場合、移動する
バランスウエイトがボビンの回転により離脱または位置
ずれしないように、例えば溝形状を断面楔形にしたり、
あり溝としたり、バランスウエイトを位置固定用のスト
ッパねじなどの各種固定具で固定してもよい。このこと
は、請求項３の発明にあっても同様である。
移動手段は、上記ボビンの端面の中心点を中心にして真
円配置された環状スライド溝を有しているとともに、上
記バランスウエイトはこの環状スライド溝に沿って移動
可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用ボビン
である。なお、このようなスライド溝の場合、移動する
バランスウエイトがボビンの回転により離脱または位置
ずれしないように、例えば溝形状を断面楔形にしたり、
あり溝としたり、バランスウエイトを位置固定用のスト
ッパねじなどの各種固定具で固定してもよい。このこと
は、請求項３の発明にあっても同様である。
【００１２】請求項３の発明は、上記バランスウエイト
移動手段は、上記ボビン端面の中心点を通る直線状スラ
イド溝を有しているとともに、上記バランスウエイトは
この直線状スライド溝に沿って移動可能に設けられた請
求項１に記載のワイヤソー用ボビンである。
移動手段は、上記ボビン端面の中心点を通る直線状スラ
イド溝を有しているとともに、上記バランスウエイトは
この直線状スライド溝に沿って移動可能に設けられた請
求項１に記載のワイヤソー用ボビンである。
【００１３】請求項４の発明は、上記バランスウエイト
は複数個使用されている請求項１〜請求項３のうちのい
ずれか１項に記載のワイヤソー用ボビンである。バラン
スウエイトの使用個数は、２個、３個、４個、５個以上
の複数個でよい。使用されるバランスウエイトの個数が
増えるほど、微細なバランス調整を行うことがができ
る。
は複数個使用されている請求項１〜請求項３のうちのい
ずれか１項に記載のワイヤソー用ボビンである。バラン
スウエイトの使用個数は、２個、３個、４個、５個以上
の複数個でよい。使用されるバランスウエイトの個数が
増えるほど、微細なバランス調整を行うことがができ
る。
【００１４】
【作用】この発明によれば、ワイヤの巻回前や巻回後に
拘らず、ボビンをバランス調整する際は、バランスウエ
イト移動手段により、バランスウエイトをボビンの端面
上で移動させてバランスをとる。このため、簡単な操作
によってボビンの動バランスの調整が行える。この結
果、ウェーハの平坦度の向上やインゴット切断中のワイ
ヤ断線の発生率が低減する。
拘らず、ボビンをバランス調整する際は、バランスウエ
イト移動手段により、バランスウエイトをボビンの端面
上で移動させてバランスをとる。このため、簡単な操作
によってボビンの動バランスの調整が行える。この結
果、ウェーハの平坦度の向上やインゴット切断中のワイ
ヤ断線の発生率が低減する。
【００１５】特に、請求項２の発明によれば、ボビンの
バランス調整時に、バランスウエイトを、ボビン端面
（軸方向の端面で、円筒体または円柱体の底面）に真円
状に配置された環状スライド溝に沿って少しずつスライ
ドさせる。そして、その途中、動バランスがとれた位置
で、このバランスウエイトを例えばネジで環状スライド
溝に固定する。また、請求項３の発明によれば、ボビン
のバランス調整時に、バランスウエイトを、ボビン端面
の中心点を通る直線状スライド溝に沿って少しずつスラ
イドさせ、途中、動バランスがとれた位置でこのウエイ
トを固定する。このように、スライド溝に嵌合、ガイド
させながらバランスウエイトを移動するので、動バラン
スの調整が比較的容易になる。
バランス調整時に、バランスウエイトを、ボビン端面
（軸方向の端面で、円筒体または円柱体の底面）に真円
状に配置された環状スライド溝に沿って少しずつスライ
ドさせる。そして、その途中、動バランスがとれた位置
で、このバランスウエイトを例えばネジで環状スライド
溝に固定する。また、請求項３の発明によれば、ボビン
のバランス調整時に、バランスウエイトを、ボビン端面
の中心点を通る直線状スライド溝に沿って少しずつスラ
イドさせ、途中、動バランスがとれた位置でこのウエイ
トを固定する。このように、スライド溝に嵌合、ガイド
させながらバランスウエイトを移動するので、動バラン
スの調整が比較的容易になる。
【００１６】また、請求項４の発明によれば、バランス
ウエイト移動手段を用いて、複数個のバランスウエイト
を同時に、または個別に移動させて動バランスを調整す
る。このため、細かいバランス調整が比較的簡単にでき
る。
ウエイト移動手段を用いて、複数個のバランスウエイト
を同時に、または個別に移動させて動バランスを調整す
る。このため、細かいバランス調整が比較的簡単にでき
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面を
参照して説明する。図１はこの発明の第１実施例に係る
ワイヤソー用ボビン（以下、単にボビン）が適用された
ワイヤソーの要部模式図であり、図２は同ボビンの拡大
側面図であり、図３は図２のＳ３−Ｓ３線での断面図で
ある。
参照して説明する。図１はこの発明の第１実施例に係る
ワイヤソー用ボビン（以下、単にボビン）が適用された
ワイヤソーの要部模式図であり、図２は同ボビンの拡大
側面図であり、図３は図２のＳ３−Ｓ３線での断面図で
ある。
【００１８】図１において、１０は第１実施例のボビン
が適用されたワイヤソーであり、このワイヤソー１０
は、ＣＺ法により引き上げられた単結晶シリコン製のイ
ンゴットＩを多数枚のウェーハにワイヤ切断する装置で
ある。ワイヤソー１０は、多数本のワイヤを横一列に束
ねた形状のワイヤ列１１を有している。ワイヤ列１１
は、逆三角形状に配置された３本の溝ローラ１２間で、
駆動モータにより往復走行される。これらの溝ローラ１
２の水平方向の両側でその上方には、砥液をワイヤ列１
１上に連続供給する図外の砥液供給部が例えば一対配設
されている。
が適用されたワイヤソーであり、このワイヤソー１０
は、ＣＺ法により引き上げられた単結晶シリコン製のイ
ンゴットＩを多数枚のウェーハにワイヤ切断する装置で
ある。ワイヤソー１０は、多数本のワイヤを横一列に束
ねた形状のワイヤ列１１を有している。ワイヤ列１１
は、逆三角形状に配置された３本の溝ローラ１２間で、
駆動モータにより往復走行される。これらの溝ローラ１
２の水平方向の両側でその上方には、砥液をワイヤ列１
１上に連続供給する図外の砥液供給部が例えば一対配設
されている。
【００１９】ワイヤ１１ａは、繰出しリール１３のボビ
ン（円筒体）２０から導出され、これらの溝ローラ１２
に架け渡された後、巻取リール１５のボビン２１に巻き
取られている。繰出しリール１３および巻取リール１５
の回転軸は、駆動モータ１６，１７の出力軸にそれぞれ
連結されている。各駆動モータ１６，１７を駆動、回転
すると、一対の軸受１８に軸支された各ボビン２０，２
１が、その軸線を中心として図１における時計回りまた
は反時計回りへ回転して、ワイヤ１１ａが往復走行す
る。なお、図１において、１９はインゴットＩを固定す
るカーボンベッド、１９ａはインゴットＩの昇降台であ
る。次に、図２，図３を参照しながら、第１実施例のボ
ビン２０，２１を詳細に説明する。
ン（円筒体）２０から導出され、これらの溝ローラ１２
に架け渡された後、巻取リール１５のボビン２１に巻き
取られている。繰出しリール１３および巻取リール１５
の回転軸は、駆動モータ１６，１７の出力軸にそれぞれ
連結されている。各駆動モータ１６，１７を駆動、回転
すると、一対の軸受１８に軸支された各ボビン２０，２
１が、その軸線を中心として図１における時計回りまた
は反時計回りへ回転して、ワイヤ１１ａが往復走行す
る。なお、図１において、１９はインゴットＩを固定す
るカーボンベッド、１９ａはインゴットＩの昇降台であ
る。次に、図２，図３を参照しながら、第１実施例のボ
ビン２０，２１を詳細に説明する。
【００２０】図２，図３に示すように、第１実施例のボ
ビン２０，２１は、ワイヤ１１ａが巻回される胴部２２
の両端に、正面視して円形の厚肉なボビンフランジ２３
が一体形成されている。各ボビン２０，２１の中心部に
は、軸線方向へ延びる軸孔２４が形成されている。これ
らの軸孔２４の内部に図外の回転軸が貫入され、この回
転軸には回転モータ１６，１７の出力軸が連結される。
また、各ボビンフランジ２３の外面には、ボビン端面の
中心点を中心にして真円配置されたバランスウエイト移
動手段の一例である環状スライド溝２５が周設されてい
る。各環状スライド溝２５は、奥側へ徐々に広がった断
面台形のあり溝である。これらの環状スライド溝２５
に、例えば重量５〜１０ｇで断面台形の小さな錘である
バランスウエイト２６がそれぞれ移動可能に２個嵌合、
配設されている。各バランスウエイト２６には、位置固
定用のビス２７が設けられている。
ビン２０，２１は、ワイヤ１１ａが巻回される胴部２２
の両端に、正面視して円形の厚肉なボビンフランジ２３
が一体形成されている。各ボビン２０，２１の中心部に
は、軸線方向へ延びる軸孔２４が形成されている。これ
らの軸孔２４の内部に図外の回転軸が貫入され、この回
転軸には回転モータ１６，１７の出力軸が連結される。
また、各ボビンフランジ２３の外面には、ボビン端面の
中心点を中心にして真円配置されたバランスウエイト移
動手段の一例である環状スライド溝２５が周設されてい
る。各環状スライド溝２５は、奥側へ徐々に広がった断
面台形のあり溝である。これらの環状スライド溝２５
に、例えば重量５〜１０ｇで断面台形の小さな錘である
バランスウエイト２６がそれぞれ移動可能に２個嵌合、
配設されている。各バランスウエイト２６には、位置固
定用のビス２７が設けられている。
【００２１】次に、このボビン２０，２１を用いたワイ
ヤソーでのインゴット切断方法を説明する。図１に示す
ように、ワイヤソー１０は、砥液を砥液供給部から供給
しながら、駆動モータ１６により繰出しリール１３のボ
ビン２０を回転させて、ワイヤ１１ａを導出する一方、
駆動モータ１７により巻取リール２１のボビン２１を回
転させてワイヤ１１ａを巻き取る。そして、適宜、各ボ
ビン２０，２１の回転方向を変えることで、ワイヤ１１
ａを往復走行させる。これにより、３本の溝ローラ１２
間でもワイヤ列１１が往復走行し、このワイヤ列１１の
往復走行時に、上方からインゴットＩをワイヤ列１１へ
押し付ける。これにより、１本のインゴットＩが何枚も
のウェーハに切断される。すなわち、ワイヤ列１１の往
復走行時に、砥液中の遊離砥粒がワイヤ列１１のワイヤ
１１ａにより切断溝の底部に擦りつけられて徐々に削り
取られ、最終的に多数枚の薄いウェーハが切断される。
ヤソーでのインゴット切断方法を説明する。図１に示す
ように、ワイヤソー１０は、砥液を砥液供給部から供給
しながら、駆動モータ１６により繰出しリール１３のボ
ビン２０を回転させて、ワイヤ１１ａを導出する一方、
駆動モータ１７により巻取リール２１のボビン２１を回
転させてワイヤ１１ａを巻き取る。そして、適宜、各ボ
ビン２０，２１の回転方向を変えることで、ワイヤ１１
ａを往復走行させる。これにより、３本の溝ローラ１２
間でもワイヤ列１１が往復走行し、このワイヤ列１１の
往復走行時に、上方からインゴットＩをワイヤ列１１へ
押し付ける。これにより、１本のインゴットＩが何枚も
のウェーハに切断される。すなわち、ワイヤ列１１の往
復走行時に、砥液中の遊離砥粒がワイヤ列１１のワイヤ
１１ａにより切断溝の底部に擦りつけられて徐々に削り
取られ、最終的に多数枚の薄いウェーハが切断される。
【００２２】ところで、この実施例において、ワイヤソ
ー１０の繰出しリール１３や巻取リール１５の各ボビン
２０，２１は、胴部２２へのワイヤ１１ａの巻回前、巻
回後において、得られたウェーハの平坦度の向上や、イ
ンゴット切断時のワイヤの断線発生率の低減を図るため
に、動バランスの調整が行われる。この場合には、図２
に示すように、両ボビンフランジ２３の外面において、
それぞれ２個配置された各バランスウエイト２６の位置
固定用のビス２７を緩める。その後、バランスウエイト
２６を、環状スライド溝２５に沿って、図２の時計回り
または反時計回り方向に少しずつ回動させる。その途中
でバランスがとれたら、その位置が動かさないようにし
て、各ビス２７によりバランスウエイト２６を位置固定
する。
ー１０の繰出しリール１３や巻取リール１５の各ボビン
２０，２１は、胴部２２へのワイヤ１１ａの巻回前、巻
回後において、得られたウェーハの平坦度の向上や、イ
ンゴット切断時のワイヤの断線発生率の低減を図るため
に、動バランスの調整が行われる。この場合には、図２
に示すように、両ボビンフランジ２３の外面において、
それぞれ２個配置された各バランスウエイト２６の位置
固定用のビス２７を緩める。その後、バランスウエイト
２６を、環状スライド溝２５に沿って、図２の時計回り
または反時計回り方向に少しずつ回動させる。その途中
でバランスがとれたら、その位置が動かさないようにし
て、各ビス２７によりバランスウエイト２６を位置固定
する。
【００２３】動バランスのとり方としては、例えば各ボ
ビン２０，２１のそれぞれの外周に反射シールを取り付
け、ファイバセンサによって回転中の反射シールを監視
することで、回転数と角度原点を検出する。一方、各ボ
ビン２０，２１の上方に加速度センサを配置し、これら
の加速度センサによりそれぞれの振動変移を求め、この
振動変位、振動変位の計測位置および回転数などから各
ボビン２０，２１のアンバランス量を求める。その外、
一般的な振動計を用いて各ボビン２０，２１の振動数を
検出し、これに基づき両ボビン２０，２１のアンバラン
ス量を求める。そして、このアンバランス量が所定の範
囲を超えていた場合には、バランス調整を行う。
ビン２０，２１のそれぞれの外周に反射シールを取り付
け、ファイバセンサによって回転中の反射シールを監視
することで、回転数と角度原点を検出する。一方、各ボ
ビン２０，２１の上方に加速度センサを配置し、これら
の加速度センサによりそれぞれの振動変移を求め、この
振動変位、振動変位の計測位置および回転数などから各
ボビン２０，２１のアンバランス量を求める。その外、
一般的な振動計を用いて各ボビン２０，２１の振動数を
検出し、これに基づき両ボビン２０，２１のアンバラン
ス量を求める。そして、このアンバランス量が所定の範
囲を超えていた場合には、バランス調整を行う。
【００２４】このように、ボビン２０，２１のボビンフ
ランジ２３上でバランスウエイト２６を移動させてバラ
ンスをとるので、従来実施されていた胴部２２へのワイ
ヤ１１ａの巻回前だけでなく、その巻回後であっても、
このような簡単な操作によって、ボビン２０，２１の動
バランスの調整が行える。これにより、ウェーハの平坦
度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の
低減が図れる。しかも、このように環状スライド溝２５
に嵌合、ガイドされながらバランスウエイト２６を移動
するので、動バランスの調整がさらに簡単になる。ま
た、１つの環状スライド溝２５に２個のバランスウエイ
ト２６を取り付けたので、これらのバランスウエイト２
６の移動量を適宜加減することで、微細な動バランスの
調整が比較的容易になる。
ランジ２３上でバランスウエイト２６を移動させてバラ
ンスをとるので、従来実施されていた胴部２２へのワイ
ヤ１１ａの巻回前だけでなく、その巻回後であっても、
このような簡単な操作によって、ボビン２０，２１の動
バランスの調整が行える。これにより、ウェーハの平坦
度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の
低減が図れる。しかも、このように環状スライド溝２５
に嵌合、ガイドされながらバランスウエイト２６を移動
するので、動バランスの調整がさらに簡単になる。ま
た、１つの環状スライド溝２５に２個のバランスウエイ
ト２６を取り付けたので、これらのバランスウエイト２
６の移動量を適宜加減することで、微細な動バランスの
調整が比較的容易になる。
【００２５】次に、図４に基づいて、この発明の第２実
施例に係るボビンを説明する。図４はこの発明の第２実
施例に係るボビンの拡大側面図である。図４に示すよう
に、第２実施例のボビン３０は、両ボビンフランジ２３
の外面において、第１実施例の環状スライド溝２５に代
えて、バランスウエイト移動手段の他の例である直線状
スライド溝３１を設けた例である。直線状スライド溝３
１は、ボビン端面の中心点を通る長尺な溝（直径方向に
延びる溝）であって、その断面形状は、環状スライド溝
２５と同様に、奥側へ徐々に広がった断面台形のあり溝
である。
施例に係るボビンを説明する。図４はこの発明の第２実
施例に係るボビンの拡大側面図である。図４に示すよう
に、第２実施例のボビン３０は、両ボビンフランジ２３
の外面において、第１実施例の環状スライド溝２５に代
えて、バランスウエイト移動手段の他の例である直線状
スライド溝３１を設けた例である。直線状スライド溝３
１は、ボビン端面の中心点を通る長尺な溝（直径方向に
延びる溝）であって、その断面形状は、環状スライド溝
２５と同様に、奥側へ徐々に広がった断面台形のあり溝
である。
【００２６】第２実施例のボビン３０の使用にあって
は、ボビン３０のバランス調整時に、バランスウエイト
３２を、ボビン端面の中心点を通った直線スライド溝３
１に沿って、互いに離反する方向または近接する方向へ
少しずつスライドさせ、途中、動バランスがとれた位置
で、位置固定用のビス２７によりバランスウエイト３２
を固定する。その他の構成、作用および効果は、第１実
施例と同様であるので、説明を省略する。この発明はこ
の実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない
範囲での設計変更などがあってもこの発明に含まれる。
は、ボビン３０のバランス調整時に、バランスウエイト
３２を、ボビン端面の中心点を通った直線スライド溝３
１に沿って、互いに離反する方向または近接する方向へ
少しずつスライドさせ、途中、動バランスがとれた位置
で、位置固定用のビス２７によりバランスウエイト３２
を固定する。その他の構成、作用および効果は、第１実
施例と同様であるので、説明を省略する。この発明はこ
の実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない
範囲での設計変更などがあってもこの発明に含まれる。
【００２７】
【発明の効果】この発明によれば、ボビンの動バランス
調整時に、バランスウエイト移動手段により、バランス
ウエイトをボビンの端面に沿って移動させてバランスを
とる。よって、簡単な操作によって、短時間でボビンの
動バランスの調整が行える。これによりウェーハの平坦
度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の
低減も図れる。
調整時に、バランスウエイト移動手段により、バランス
ウエイトをボビンの端面に沿って移動させてバランスを
とる。よって、簡単な操作によって、短時間でボビンの
動バランスの調整が行える。これによりウェーハの平坦
度の向上や、インゴット切断時のワイヤ断線の発生率の
低減も図れる。
【００２８】特に、請求項２，請求項３の発明によれ
ば、バランスウエイトを、環状スライド溝や直線状スラ
イド溝に沿ってスライドさせるので、ボビンのバランス
調整がしやすい。
ば、バランスウエイトを、環状スライド溝や直線状スラ
イド溝に沿ってスライドさせるので、ボビンのバランス
調整がしやすい。
【００２９】また、請求項４の発明によれば、バランス
ウエイト移動手段により、複数個のバランスウエイトを
移動させてボビンの動バランスを調整するようにしたの
で、細かいバランス調整が簡単にできる。
ウエイト移動手段により、複数個のバランスウエイトを
移動させてボビンの動バランスを調整するようにしたの
で、細かいバランス調整が簡単にできる。
【図１】この発明の第１実施例に係るワイヤソー用ボビ
ンが使用されたワイヤソーの要部模式図である。
ンが使用されたワイヤソーの要部模式図である。
【図２】同じくこの発明の第１実施例に係るワイヤソー
用ボビンの拡大側面図である。
用ボビンの拡大側面図である。
【図３】図３は図２のＳ３−Ｓ３線での断面図である。
【図４】この発明の第２実施例に係るワイヤソー用ボビ
ンの拡大側面図である。
ンの拡大側面図である。
１０ ワイヤソー、 １１ａ ワイヤ、 １３ 繰出しリール、 １５ 巻取リール、 ２０，２１，３０ ワイヤソー用ボビン、 ２５ 環状スライド溝（バランスウエイト移動手段）、 ３１ 直線スライド溝（バランスウエイト移動手段）、 Ｉ インゴット。
Claims (4)
- 【請求項１】 １本のインゴットを多数枚のウェーハに
切断するワイヤソーにあって、ワイヤが繰り出し、巻き
取られるワイヤソー用ボビンにおいて、 このワイヤソー用ボビンの端面に、バランスウエイト移
動手段を介して、バランスウエイトを移動可能に設けた
ワイヤソー用ボビン。 - 【請求項２】 上記バランスウエイト移動手段は、上記
ボビンの端面の中心点を中心にして真円配置された環状
スライド溝を有しているとともに、 上記バランスウエイトはこの環状スライド溝に沿って移
動可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用ボビ
ン。 - 【請求項３】 上記バランスウエイト移動手段は、上記
ボビン端面の中心点を通る直線状スライド溝を有してい
るとともに、 上記バランスウエイトはこの直線状スライド溝に沿って
移動可能に設けられた請求項１に記載のワイヤソー用ボ
ビン。 - 【請求項４】 上記バランスウエイトは複数個使用され
ている請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載
のワイヤソー用ボビン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24473097A JPH1158208A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | ワイヤソ−用ボビン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24473097A JPH1158208A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | ワイヤソ−用ボビン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1158208A true JPH1158208A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=17123049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24473097A Pending JPH1158208A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | ワイヤソ−用ボビン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1158208A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101051892B1 (ko) * | 2011-02-08 | 2011-07-26 | 오성엘에스티(주) | 와이어-쏘 시스템용 안내롤러 |
| CN104030097A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-09-10 | 国网四川省电力公司双流县供电分公司 | 电控电缆盘 |
| WO2015126003A1 (ko) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | 웅진에너지 주식회사 | 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치 |
| JP2019218201A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 株式会社フジクラ | 長尺物用ドラム、管理用コンピューター、及び、長尺物管理システム |
| CN112720245A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-30 | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 | 载物盘配重块调整装置及其使用方法 |
| WO2021084639A1 (ja) | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 株式会社フジクラ | 長尺物用ドラム、管理用コンピューター、及び、長尺物管理システム |
-
1997
- 1997-08-25 JP JP24473097A patent/JPH1158208A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101051892B1 (ko) * | 2011-02-08 | 2011-07-26 | 오성엘에스티(주) | 와이어-쏘 시스템용 안내롤러 |
| CN102632556A (zh) * | 2011-02-08 | 2012-08-15 | 五星Lst有限公司 | 线锯系统用的导向辊 |
| WO2015126003A1 (ko) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | 웅진에너지 주식회사 | 와이어 쏘 장치용 가이드 롤러 평행도 조정장치 |
| CN104030097A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-09-10 | 国网四川省电力公司双流县供电分公司 | 电控电缆盘 |
| JP2019218201A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 株式会社フジクラ | 長尺物用ドラム、管理用コンピューター、及び、長尺物管理システム |
| WO2021084639A1 (ja) | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 株式会社フジクラ | 長尺物用ドラム、管理用コンピューター、及び、長尺物管理システム |
| CN112720245A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-30 | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 | 载物盘配重块调整装置及其使用方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040401 |