JPH0970823A - ワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置Info
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- JPH0970823A JPH0970823A JP23124995A JP23124995A JPH0970823A JP H0970823 A JPH0970823 A JP H0970823A JP 23124995 A JP23124995 A JP 23124995A JP 23124995 A JP23124995 A JP 23124995A JP H0970823 A JPH0970823 A JP H0970823A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークの切断精度の向上。
【解決手段】ワーク５４の送り速度をワイヤ１４の走行
速度の絶対値に比例して可変する。すなわち、双方向切
断を行う場合、ワイヤ１４が加速するときは、ワーク５
４もそのワイヤ１４の速度に比例して加速し、ワイヤ１
４が一定速度のときは、ワーク５４も一定速度で送る。
これにより、従来のようにワイヤ１４が停止している状
態でワーク５４が押しつけられたり、ワイヤ１４に砥粒
が付着されていない状態でワーク５４が切断されたりす
ることがなくなるので、良好な切断を行うことができ
る。
速度の絶対値に比例して可変する。すなわち、双方向切
断を行う場合、ワイヤ１４が加速するときは、ワーク５
４もそのワイヤ１４の速度に比例して加速し、ワイヤ１
４が一定速度のときは、ワーク５４も一定速度で送る。
これにより、従来のようにワイヤ１４が停止している状
態でワーク５４が押しつけられたり、ワイヤ１４に砥粒
が付着されていない状態でワーク５４が切断されたりす
ることがなくなるので、良好な切断を行うことができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワーク
送り制御方法及びその装置に係り、特に半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等のワークを走行するワイヤで
多数のウェーハに切断するワイヤソーのワーク送り制御
方法及びその装置に関する。
送り制御方法及びその装置に係り、特に半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等のワークを走行するワイヤで
多数のウェーハに切断するワイヤソーのワーク送り制御
方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間を
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけて形成し
たワイヤ列に、砥粒を含む加工液を供給しながらワーク
を押し当てることにより、ワークを多数のウェーハに切
断する。ところで、前記ワイヤソーでワークを切断する
場合、その切断方法にはワイヤを一方向のみに走行させ
て切断を行う一方向切断と、ワイヤを往復走行させて切
断を行う双方向切断がある。
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけて形成し
たワイヤ列に、砥粒を含む加工液を供給しながらワーク
を押し当てることにより、ワークを多数のウェーハに切
断する。ところで、前記ワイヤソーでワークを切断する
場合、その切断方法にはワイヤを一方向のみに走行させ
て切断を行う一方向切断と、ワイヤを往復走行させて切
断を行う双方向切断がある。
【０００３】図５は、前記双方向切断の場合のワイヤの
走行速度パターンの例であり、同図に示すように、双方
向切断の場合のワイヤの走行速度は、 ＋加速 ＋定速 ＋減速 −加速 −定速 −減速 ３秒 → ４０秒 → ３秒 → ３秒 → ３０秒 → ３秒 のパターンを繰り返す。
走行速度パターンの例であり、同図に示すように、双方
向切断の場合のワイヤの走行速度は、 ＋加速 ＋定速 ＋減速 −加速 −定速 −減速 ３秒 → ４０秒 → ３秒 → ３秒 → ３０秒 → ３秒 のパターンを繰り返す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】これに対して、ワーク
の送り速度は、一定速若しくはワーク形状により可変し
ている。図６は、直径２００ｍｍの円柱状のワーク（半
導体インゴット）を切断するときのワークの送り速度の
パターンである。この場合、切断時の負荷抵抗に合わせ
てワークの送り速度を可変しているが、ワークを切断す
るのに約５時間の時間を要すため、ワイヤの走行サイク
ルの微小時間でみると、ワーク送り速度は略一定と見て
よい。
の送り速度は、一定速若しくはワーク形状により可変し
ている。図６は、直径２００ｍｍの円柱状のワーク（半
導体インゴット）を切断するときのワークの送り速度の
パターンである。この場合、切断時の負荷抵抗に合わせ
てワークの送り速度を可変しているが、ワークを切断す
るのに約５時間の時間を要すため、ワイヤの走行サイク
ルの微小時間でみると、ワーク送り速度は略一定と見て
よい。
【０００５】すなわち、双方向切断の場合、ワイヤ速度
が加減時も一定速度（最高速度時）もワーク送り速度が
同じため、ワイヤが停止している状態でワークが押しつ
けられたり、ワイヤに砥粒が付着されていない状態でワ
ークが切断されたりし、ワークの切断精度が非常に悪く
なるという欠点がある。本発明は、このような事情を鑑
みてなされたもので、ワークの切断精度を向上すること
ができるワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置
を提供することを目的とする。
が加減時も一定速度（最高速度時）もワーク送り速度が
同じため、ワイヤが停止している状態でワークが押しつ
けられたり、ワイヤに砥粒が付着されていない状態でワ
ークが切断されたりし、ワークの切断精度が非常に悪く
なるという欠点がある。本発明は、このような事情を鑑
みてなされたもので、ワークの切断精度を向上すること
ができるワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列に対
して進退移動を行うワーク送りテーブルにワークを取り
付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に向けて送
り出すことにより前記ワークを前記ワイヤ列に押し当て
て多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記
ワーク送りテーブルの送り速度を前記ワイヤの走行速度
の絶対値に比例させて可変することを特徴とする。
成する為に、走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列に対
して進退移動を行うワーク送りテーブルにワークを取り
付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に向けて送
り出すことにより前記ワークを前記ワイヤ列に押し当て
て多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記
ワーク送りテーブルの送り速度を前記ワイヤの走行速度
の絶対値に比例させて可変することを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、ワークの送り速度がワイ
ヤの走行速度の絶対値に比例して可変する。すなわち、
双方向切断を行う場合、ワイヤが加速するときはワーク
もそのワイヤ速度に比例して加速し、ワイヤが一定速度
のときはワークも一定速度で送られる。これにより、従
来のようにワイヤが停止している状態でワークが押しつ
けられたり、ワイヤに砥粒が付着されていない状態でワ
ークが切断されたりすることがなくなるので、良好な切
断を行うことができる。
ヤの走行速度の絶対値に比例して可変する。すなわち、
双方向切断を行う場合、ワイヤが加速するときはワーク
もそのワイヤ速度に比例して加速し、ワイヤが一定速度
のときはワークも一定速度で送られる。これにより、従
来のようにワイヤが停止している状態でワークが押しつ
けられたり、ワイヤに砥粒が付着されていない状態でワ
ークが切断されたりすることがなくなるので、良好な切
断を行うことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置の好ま
しい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係
るワーク送り制御方法及びその装置が適用されたワイヤ
ソーの全体構成図である。同図に示すように、ワイヤソ
ー１０は、一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４で形成したワイヤ列２４に砥粒を含む加工液
４０を供給しながら半導体インゴット５４を押し当てる
ことにより半導体インゴット５４を多数のウェーハに切
断する。
るワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置の好ま
しい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係
るワーク送り制御方法及びその装置が適用されたワイヤ
ソーの全体構成図である。同図に示すように、ワイヤソ
ー１０は、一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４で形成したワイヤ列２４に砥粒を含む加工液
４０を供給しながら半導体インゴット５４を押し当てる
ことにより半導体インゴット５４を多数のウェーハに切
断する。
【０００９】一方のワイヤリール１２に巻回されたワイ
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すよう
に配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列
２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すよう
に配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列
２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
【００１０】前記ワイヤ案内装置１６は、ワイヤリール
１２、２６に巻きかけられているワイヤ１４を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール１２、２６に巻き
取られるワイヤ１４を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ１８は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４をガイドする。
１２、２６に巻きかけられているワイヤ１４を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール１２、２６に巻き
取られるワイヤ１４を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ１８は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４をガイドする。
【００１１】前記ダンサローラ２０は、所定重量の錘４
４が吊設されており、走行するワイヤ１４に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置４６が設けられており、前記一対のワイヤリール
１２、２６間を走行するワイヤ１４は、このワイヤ洗浄
装置４６を通過することによって、付着している加工液
４０が除去される。
４が吊設されており、走行するワイヤ１４に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置４６が設けられており、前記一対のワイヤリール
１２、２６間を走行するワイヤ１４は、このワイヤ洗浄
装置４６を通過することによって、付着している加工液
４０が除去される。
【００１２】前記一対のワイヤリール１２、２６には、
それぞれ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結さ
れ、この駆動モータ２８、３０を駆動するとにより、ワ
イヤ１４は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行
する。前記ワイヤ列２４には、スラリ貯留タンク３８に
貯留されたスラリ４０がスラリ供給ノズル４２、４２を
介して供給される。このワイヤ列２４に供給されるスラ
リ４０には、砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）が含有されており、ワークは、
この砥粒によるラッピング作用により切断される。
それぞれ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結さ
れ、この駆動モータ２８、３０を駆動するとにより、ワ
イヤ１４は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行
する。前記ワイヤ列２４には、スラリ貯留タンク３８に
貯留されたスラリ４０がスラリ供給ノズル４２、４２を
介して供給される。このワイヤ列２４に供給されるスラ
リ４０には、砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）が含有されており、ワークは、
この砥粒によるラッピング作用により切断される。
【００１３】図２は、ワイヤソー１０の切断部の側面拡
大図であり、図３は、図２の正面図である。図２、図３
に示すように、前記ワイヤ列２４の上方には、断面Ｌ字
状に形成されたワーク送りテーブル４８が設けられてい
る。このワーク送りテーブル４８の垂直部４８Ａ背面に
は、４隅近傍にスライダ６０、６０、…が固着されてお
り、該スライダ６０は、前記ワイヤ列２４に対して垂直
に配設されたガイドレール６２、６２にスライド移動自
在に支持されている。また、ワーク送りテーブル４８の
垂直部４８Ａの背面中央には、ナット部材６４が固着さ
れており、該ナット部材６４は、前記ガイドレール６２
と平行に設置されたネジ棒５２に螺合されている。この
ネジ棒５２は、その先端部に連結された駆動モータ５０
を駆動することにより回動し、このネジ棒５２が回動す
ることにより、前記ワーク送りテーブル４８は前記ガイ
ドレール６２に沿って上下移動する。
大図であり、図３は、図２の正面図である。図２、図３
に示すように、前記ワイヤ列２４の上方には、断面Ｌ字
状に形成されたワーク送りテーブル４８が設けられてい
る。このワーク送りテーブル４８の垂直部４８Ａ背面に
は、４隅近傍にスライダ６０、６０、…が固着されてお
り、該スライダ６０は、前記ワイヤ列２４に対して垂直
に配設されたガイドレール６２、６２にスライド移動自
在に支持されている。また、ワーク送りテーブル４８の
垂直部４８Ａの背面中央には、ナット部材６４が固着さ
れており、該ナット部材６４は、前記ガイドレール６２
と平行に設置されたネジ棒５２に螺合されている。この
ネジ棒５２は、その先端部に連結された駆動モータ５０
を駆動することにより回動し、このネジ棒５２が回動す
ることにより、前記ワーク送りテーブル４８は前記ガイ
ドレール６２に沿って上下移動する。
【００１４】前記ワーク送りテーブル４８の水平部４８
Ｂの下面には、ワークである半導体インゴット５４がワ
ークブロック５６及びスライスベース５８を介してワー
クホルダ６６に固定されている。一方、前記溝付ローラ
２２Ａ〜２２Ｃは、ウレタン製のローラ６８Ａ〜６８Ｃ
の中心に芯金７２Ａ〜７２Ｃが嵌入されて形成される。
このローラ６８Ａ〜６８Ｃには、一定ピッチで多数の溝
が形成されており、この溝にワイヤ１４が順次巻きかけ
られることによりワイヤ列２４が形成される。
Ｂの下面には、ワークである半導体インゴット５４がワ
ークブロック５６及びスライスベース５８を介してワー
クホルダ６６に固定されている。一方、前記溝付ローラ
２２Ａ〜２２Ｃは、ウレタン製のローラ６８Ａ〜６８Ｃ
の中心に芯金７２Ａ〜７２Ｃが嵌入されて形成される。
このローラ６８Ａ〜６８Ｃには、一定ピッチで多数の溝
が形成されており、この溝にワイヤ１４が順次巻きかけ
られることによりワイヤ列２４が形成される。
【００１５】前記溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃは、ワイヤ
ソーの本体フレーム（図示せず）に固定された一対の支
持プレート７４、７４に軸受７６Ａ、７６Ａ、７６Ｂ、
７６Ｂ、７６Ｃ、７６Ｃを介して回動自在に支持され
る。また、３本の溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃのうち１本
の溝付ローラ２２Ａには、正逆回転可能な駆動モータ３
２が連結されており、該駆動モータ３２は前記一対のワ
イヤリール１２、２６に連結された駆動モータ２８、３
０に同期駆動されている。この駆動モータ３２にはエン
コーダ８０が設置されており、エンコーダ８０はコント
ローラ８２にパルス信号を出力する。
ソーの本体フレーム（図示せず）に固定された一対の支
持プレート７４、７４に軸受７６Ａ、７６Ａ、７６Ｂ、
７６Ｂ、７６Ｃ、７６Ｃを介して回動自在に支持され
る。また、３本の溝付ローラ２２Ａ〜２２Ｃのうち１本
の溝付ローラ２２Ａには、正逆回転可能な駆動モータ３
２が連結されており、該駆動モータ３２は前記一対のワ
イヤリール１２、２６に連結された駆動モータ２８、３
０に同期駆動されている。この駆動モータ３２にはエン
コーダ８０が設置されており、エンコーダ８０はコント
ローラ８２にパルス信号を出力する。
【００１６】コントローラ８２は、前記駆動モータ２
８、３０、３２及び前記ワーク送りテーブル４８を駆動
する駆動モータ５０の駆動制御を行い、作業者が入力す
る駆動条件に基づいて駆動モータ２８、３０、３２を駆
動制御するとともに、前記エンコーダ８０から出力され
るパルス信号に基づいて駆動モータ５０の駆動制御を行
う。
８、３０、３２及び前記ワーク送りテーブル４８を駆動
する駆動モータ５０の駆動制御を行い、作業者が入力す
る駆動条件に基づいて駆動モータ２８、３０、３２を駆
動制御するとともに、前記エンコーダ８０から出力され
るパルス信号に基づいて駆動モータ５０の駆動制御を行
う。
【００１７】前記の如く構成された本発明に係るワイヤ
ソーのワーク送り制御装置の実施の形態の作用は次の通
りである。まず、作業者はワークの材質、直径等を考慮
して切断条件（ワイヤ最高速度、ワイヤ加速時間、＋定
速時間、−定速時間、ワーク送り最高速度）を決定す
る。ここでは、直径２００ｍｍの半導体インゴット５４
を次の条件で切断する場合を考える。
ソーのワーク送り制御装置の実施の形態の作用は次の通
りである。まず、作業者はワークの材質、直径等を考慮
して切断条件（ワイヤ最高速度、ワイヤ加速時間、＋定
速時間、−定速時間、ワーク送り最高速度）を決定す
る。ここでは、直径２００ｍｍの半導体インゴット５４
を次の条件で切断する場合を考える。
【００１８】 ワイヤ最高速度 ： Ｖ ＝ １０００〔ｍ／ｍｉｎ〕 ワイヤ加速時間 ： Ｔ1 ＝ ３〔ｓｅｃ〕 ＋定速時間 ： Ｔ2 ＝ ４０〔ｓｅｃ〕 −定速時間 ： Ｔ3 ＝ ３０〔ｓｅｃ〕 ワーク送り最高速度 ： ｖ ＝ ６００〔μｍ／ｍｉｎ〕 次に、作業者は決定した切断条件をコントローラ８２に
入力する。コントローラ８２は、前記切断条件が入力さ
れると、その切断条件に添うワイヤの走行速度パターン
を決定する。そして、その決定した走行速度パターンに
基づいて駆動モータ２８、３０、３２を駆動制御する。
入力する。コントローラ８２は、前記切断条件が入力さ
れると、その切断条件に添うワイヤの走行速度パターン
を決定する。そして、その決定した走行速度パターンに
基づいて駆動モータ２８、３０、３２を駆動制御する。
【００１９】駆動モータ３２の起動とともにエンコーダ
８０からはコントローラ８２にパルス信号が出力され
る。コントローラ８２は入力したパルス信号をカウント
し、カウントしたパルス数に比例したワークの送り速度
を絶対値で算出する。そして、その算出したワークの送
り速度に基づいて駆動モータ５０を駆動制御する。図４
は、本実施の形態のワーク送り制御装置によるワイヤの
走行速度及びワークの送り速度の制御結果である。同図
に示すように、ワイヤの走行速度が加速状態にある時
は、ワークの送り速度も加速状態にあり、ワイヤの走行
速度が定速状態にある時は、ワークの送り速度も定速状
態にある。
８０からはコントローラ８２にパルス信号が出力され
る。コントローラ８２は入力したパルス信号をカウント
し、カウントしたパルス数に比例したワークの送り速度
を絶対値で算出する。そして、その算出したワークの送
り速度に基づいて駆動モータ５０を駆動制御する。図４
は、本実施の形態のワーク送り制御装置によるワイヤの
走行速度及びワークの送り速度の制御結果である。同図
に示すように、ワイヤの走行速度が加速状態にある時
は、ワークの送り速度も加速状態にあり、ワイヤの走行
速度が定速状態にある時は、ワークの送り速度も定速状
態にある。
【００２０】このように、本実施の形態のワイヤソーの
ワーク送り制御装置によれば、ワークの送り速度がワイ
ヤの走行速度の絶対値に比例して可変するので、従来の
ようにワイヤ１４が停止している状態でワーク５４が押
しつけられたり、ワイヤ１４に砥粒が付着されていない
状態でワーク５４が切断されたりすることがなくなり、
良好な切断を行うことができる。また、停止状態のワイ
ヤ１４にワーク５４が押しつけられることによるワイヤ
１４の断線も防止することができる。
ワーク送り制御装置によれば、ワークの送り速度がワイ
ヤの走行速度の絶対値に比例して可変するので、従来の
ようにワイヤ１４が停止している状態でワーク５４が押
しつけられたり、ワイヤ１４に砥粒が付着されていない
状態でワーク５４が切断されたりすることがなくなり、
良好な切断を行うことができる。また、停止状態のワイ
ヤ１４にワーク５４が押しつけられることによるワイヤ
１４の断線も防止することができる。
【００２１】なお、本実施の形態では，溝付ローラ２２
Ａの駆動モータ３２の回転数を測定する手段としてエン
コーダ８０を用いたが、回転数測定手段はこれに限られ
るものではなく、例えばタコメータ、近接スイッチ等を
用いてもよい。
Ａの駆動モータ３２の回転数を測定する手段としてエン
コーダ８０を用いたが、回転数測定手段はこれに限られ
るものではなく、例えばタコメータ、近接スイッチ等を
用いてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークの送り速度がワイヤの走行速度の絶対値に比例し
て可変するので、従来のようにワイヤが停止している状
態でワークが押しつけられたり、ワイヤに砥粒が付着さ
れていない状態でワークが切断されたりすることがなく
なり、良好な切断を行うことができる。
ワークの送り速度がワイヤの走行速度の絶対値に比例し
て可変するので、従来のようにワイヤが停止している状
態でワークが押しつけられたり、ワイヤに砥粒が付着さ
れていない状態でワークが切断されたりすることがなく
なり、良好な切断を行うことができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤソーの切断部の側面拡大図
【図３】ワイヤソーの切断部の正面拡大図
【図４】本発明に係るワイヤソーのワーク送り制御装置
によるワイヤの走行速度及びワークの送り速度の制御結
果
によるワイヤの走行速度及びワークの送り速度の制御結
果
【図５】双方向切断におけるワイヤの走行速度パターン
【図６】従来のワークの送り速度パターン
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ ２２Ａ〜２２Ｃ…溝付ローラ ２４…ワイヤ列 ２８、３０、３２…駆動モータ ４８…ワーク送りテーブル ５４…ワーク（半導体インゴット） ８０…エンコーダ ８２…コントローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに
巻き掛けてワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列に
対して進退移動を行うワーク送りテーブルにワークを取
り付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に向けて
送り出すことにより前記ワークを前記ワイヤ列に押し当
てて多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 前記ワーク送りテーブルの送り速度を前記ワイヤの走行
速度の絶対値に比例させて可変することを特徴とするワ
イヤソーのワーク送り制御方法。 - 【請求項２】 走行するワイヤを複数個の溝付ローラに
巻き掛けてワイヤ列を形成するとともに、該ワイヤ列に
対して進退移動を行うワーク送りテーブルにワークを取
り付け、該ワーク送りテーブルを前記ワイヤ列に向けて
送り出すことにより前記ワークを前記ワイヤ列に押し当
てて多数のウェーハに切断するワイヤソーのワーク送り
制御装置において、 前記ワイヤの走行速度を検出する速度検出手段と、 前記速度検出手段から出力される前記ワイヤの走行速度
の絶対値に比例させて前記ワーク送りテーブルの送り速
度を制御する制御手段と、から成ることを特徴とするワ
イヤソーのワーク送り制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23124995A JPH0970823A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | ワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23124995A JPH0970823A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | ワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0970823A true JPH0970823A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16920664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23124995A Pending JPH0970823A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | ワイヤソーのワーク送り制御方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0970823A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108527114A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-09-14 | 江苏聚成金刚石科技有限公司 | 一种金刚线切割玻璃材料的方法 |
| CN109624112A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-16 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 | 金刚线切割方法 |
| CN110394912A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-11-01 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种高效单晶硅片切割工艺 |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP23124995A patent/JPH0970823A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108527114A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-09-14 | 江苏聚成金刚石科技有限公司 | 一种金刚线切割玻璃材料的方法 |
| CN109624112A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-16 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 | 金刚线切割方法 |
| CN110394912A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-11-01 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种高效单晶硅片切割工艺 |
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