JPH01177960A - ワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構 - Google Patents
ワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構Info
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- JPH01177960A JPH01177960A JP33373687A JP33373687A JPH01177960A JP H01177960 A JPH01177960 A JP H01177960A JP 33373687 A JP33373687 A JP 33373687A JP 33373687 A JP33373687 A JP 33373687A JP H01177960 A JPH01177960 A JP H01177960A
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- Japan
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- wire
- grooved rollers
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- grooved
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高硬度脆性材料を同時に多数のウェハー状に切
断するワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構に関す
る。
断するワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構に関す
る。
上記高硬度脆性材料例えばシリコンのインゴットを同時
に多数のウェハー状に切断する手段の１つとして高速走
行するワイヤを利用するワイヤ式切断装置がある。その
概要を第５図及び第６図に示す。このワイヤ式切断装置
１０ＧはワイヤＳの張設機構１０１と対をなすワイヤ巻
取リール１０２．１０３とを備える。ワイヤ張設機構１
０１は複数個例えば３個の溝ローラ１０４ 、１０５
、１０６を平行に配備し、それぞれには所定ピッチの環
状溝１０４ａ 、 １０５ａ 。
に多数のウェハー状に切断する手段の１つとして高速走
行するワイヤを利用するワイヤ式切断装置がある。その
概要を第５図及び第６図に示す。このワイヤ式切断装置
１０ＧはワイヤＳの張設機構１０１と対をなすワイヤ巻
取リール１０２．１０３とを備える。ワイヤ張設機構１
０１は複数個例えば３個の溝ローラ１０４ 、１０５
、１０６を平行に配備し、それぞれには所定ピッチの環
状溝１０４ａ 、 １０５ａ 。
１０６ａ を形成し、各環状溝に沿ってワイヤＳを螺
旋状に谷面してなる。ワイヤＳの両端はそれぞれダンサ
ローラ１０７．１０８を巻回して巻取リール１０２゜１
０３に巻付けられる。一方のリール例えばリール１０２
に巻かれたワイヤＳを張設機構１０１の駆動により引き
出し、他方のリール１０３に巻取ると共に被切断物Ｗを
徐々に上昇しワイヤＳと砥粒を含む加工液の相互作用に
より切断する。なおリール１０３に巻取り終了佳はワイ
ヤＳを逆方向に走行させ被切断物Ｗを切断する。
旋状に谷面してなる。ワイヤＳの両端はそれぞれダンサ
ローラ１０７．１０８を巻回して巻取リール１０２゜１
０３に巻付けられる。一方のリール例えばリール１０２
に巻かれたワイヤＳを張設機構１０１の駆動により引き
出し、他方のリール１０３に巻取ると共に被切断物Ｗを
徐々に上昇しワイヤＳと砥粒を含む加工液の相互作用に
より切断する。なおリール１０３に巻取り終了佳はワイ
ヤＳを逆方向に走行させ被切断物Ｗを切断する。
以下これを繰返す。なお図中１０９．１１０はワイヤ案
内用トラバース機横であり、それぞれ相対するリールの
回転に同調してワイヤを往復移行しボビンを形成する。
内用トラバース機横であり、それぞれ相対するリールの
回転に同調してワイヤを往復移行しボビンを形成する。
上記溝ローラは切断するウェハーの厚さ等によって環状
溝のピッチの異なる溝ローラと交換する必要がある。ま
た溝ローラは耐摩耗性の合成樹脂等により形成されては
いるが、しかし使用中に摩耗し切断精度に狂いを生ずる
おそれがあり、定期的に交換する必要がある。
溝のピッチの異なる溝ローラと交換する必要がある。ま
た溝ローラは耐摩耗性の合成樹脂等により形成されては
いるが、しかし使用中に摩耗し切断精度に狂いを生ずる
おそれがあり、定期的に交換する必要がある。
このため一般に交換に際してはその都度調節機構全体を
取外し交換するか、または軸受を含んだブラケットの取
外しを必要としていた。
取外し交換するか、または軸受を含んだブラケットの取
外しを必要としていた。
上記張股機横の着脱はきわめて手数を要するもので、そ
の間機台は停止し作業能率を低下する等の問題がある。
の間機台は停止し作業能率を低下する等の問題がある。
本発明はかかる点に鑑み、溝ローラの着脱の簡素化を計
ることを目的とするもので、その特徴とするところは複
数の溝ローラを組とし、それぞれの溝ローラには所定ピ
ッチの環状溝を形状し、切断用ワイヤを該環状溝に添っ
て螺旋状に巻付けるワイヤ張股機横において、上記溝ロ
ーラは前後の軸受部材により挾持されると共に、少くと
も一方の軸受部材を軸芯方向に移動可能とし、溝ローラ
を着脱可能としたことにある。
ることを目的とするもので、その特徴とするところは複
数の溝ローラを組とし、それぞれの溝ローラには所定ピ
ッチの環状溝を形状し、切断用ワイヤを該環状溝に添っ
て螺旋状に巻付けるワイヤ張股機横において、上記溝ロ
ーラは前後の軸受部材により挾持されると共に、少くと
も一方の軸受部材を軸芯方向に移動可能とし、溝ローラ
を着脱可能としたことにある。
軸受部材を軸芯方向に引き離すことにより溝ローラの取
外し及び装着することができ、操作簡単で交換作業を迅
速に行うことができる。
外し及び装着することができ、操作簡単で交換作業を迅
速に行うことができる。
第１図乃至第４図は本発明の実施例を示す。ワイヤ式切
断装置１は組をなす複数個例えば３個の溝ローラ２，３
．４と、これらの溝ローラを支持する支持フレーム５と
、支持フレーム５を機台フレームＦに取付ける対をなす
取付アーム６とを備える。各溝ローラ２，３．４は同一
構造であり、以下溝ローラ２について説明する。
断装置１は組をなす複数個例えば３個の溝ローラ２，３
．４と、これらの溝ローラを支持する支持フレーム５と
、支持フレーム５を機台フレームＦに取付ける対をなす
取付アーム６とを備える。各溝ローラ２，３．４は同一
構造であり、以下溝ローラ２について説明する。
この溝ローラ２は中空状のローラ本体１０と、この本体
に被冠する外筒１１とからなり、外筒１１は耐摩耗性材
料例えば合成樹脂等を以て構成し、所定間隔に環状溝２
ａを刻設する。図中３ａ、４ａはそれぞれ溝ローラ３．
４に刻設した環状溝である。
に被冠する外筒１１とからなり、外筒１１は耐摩耗性材
料例えば合成樹脂等を以て構成し、所定間隔に環状溝２
ａを刻設する。図中３ａ、４ａはそれぞれ溝ローラ３．
４に刻設した環状溝である。
支持フレーム５は上記溝ローラ２，３．４の前後を支持
する対をなす前後フレーム１２．１３と、両フレーム１
２．１３を連結する連結杆１４とを備え、前部フレーム
１２は溝ローラ２，３．４の前部軸受部材１５ａ 、
１５ｂ 、 １５ｃをそれぞれ嵌挿する支持筒１６ａ
、 １６ｂ 、 １６ｃを連結してなり、後部フレーム
１３は後部軸受部材１７ａ 、 １７ｂ 、 １７ｃを
それぞれ嵌着する。上記前後の軸受部材１５ａ〜１５ｃ
及び１７ａ〜１７ｃ及び支持筒１６ａ〜１６ｃは何れも
それぞれ同一構造であり、以下溝ローラ２に対する前後
軸受部材１５ａ、１７ａ及び支持筒１６ａについて説明
する。
する対をなす前後フレーム１２．１３と、両フレーム１
２．１３を連結する連結杆１４とを備え、前部フレーム
１２は溝ローラ２，３．４の前部軸受部材１５ａ 、
１５ｂ 、 １５ｃをそれぞれ嵌挿する支持筒１６ａ
、 １６ｂ 、 １６ｃを連結してなり、後部フレーム
１３は後部軸受部材１７ａ 、 １７ｂ 、 １７ｃを
それぞれ嵌着する。上記前後の軸受部材１５ａ〜１５ｃ
及び１７ａ〜１７ｃ及び支持筒１６ａ〜１６ｃは何れも
それぞれ同一構造であり、以下溝ローラ２に対する前後
軸受部材１５ａ、１７ａ及び支持筒１６ａについて説明
する。
前部軸受部材１５ａは溝ローラ２の前端中空部に嵌挿す
る支軸１８を回動自在に備え、支持１１１６ａ内に摺動
自在に嵌挿されており螺軸１９ａを備えている。この螺
軸Ｌ９ａは支持筒１６ａに取付けたフランジ２０に設け
たナツト２１ａに螺合しており、ナツト２１ａの回動に
より螺軸１９ａを介して軸受部材１５ａは軸芯に沿って
前後移動する。２２はクランプ用ビスである。
る支軸１８を回動自在に備え、支持１１１６ａ内に摺動
自在に嵌挿されており螺軸１９ａを備えている。この螺
軸Ｌ９ａは支持筒１６ａに取付けたフランジ２０に設け
たナツト２１ａに螺合しており、ナツト２１ａの回動に
より螺軸１９ａを介して軸受部材１５ａは軸芯に沿って
前後移動する。２２はクランプ用ビスである。
後部軸受部材１７ａは溝ローラ２の後端中空部に嵌挿す
る支軸２５を回動自在に備える。なお回倒の支軸２５は
駆動モータ（図示省略）に連結するため軸受部材１７ａ
より突出した構造を示したが、他の後部軸受部材１７ｂ
、 １７ｃに設ける支軸は軸受部材内に収納されてい
る０図中１９ｂ、１９ｃ及び２１ｂ。
る支軸２５を回動自在に備える。なお回倒の支軸２５は
駆動モータ（図示省略）に連結するため軸受部材１７ａ
より突出した構造を示したが、他の後部軸受部材１７ｂ
、 １７ｃに設ける支軸は軸受部材内に収納されてい
る０図中１９ｂ、１９ｃ及び２１ｂ。
２１ｃはそれぞれ溝ローラ３，４に対向して設けた螺軸
並びにナツトである。
並びにナツトである。
上記構成において、各溝ローラ２，３．４はそれぞれ前
後の軸受部材１５ａ〜１５ｃ 、 １７ａ〜１７ｃによ
って回動自在に支持されている。溝ローラの交換に際し
てはそれぞれのナツト２１ａ〜２１ｃの回動により螺軸
１９ａ ％ １９ｃを介して前部軸受部材１５ａ〜１５
ｃを支持筒１６ａ〜１６ｃ内に引込める。これにより第
４図に示す如く溝ローラは両支軸１８．２５から容易に
取外すことができる。
後の軸受部材１５ａ〜１５ｃ 、 １７ａ〜１７ｃによ
って回動自在に支持されている。溝ローラの交換に際し
てはそれぞれのナツト２１ａ〜２１ｃの回動により螺軸
１９ａ ％ １９ｃを介して前部軸受部材１５ａ〜１５
ｃを支持筒１６ａ〜１６ｃ内に引込める。これにより第
４図に示す如く溝ローラは両支軸１８．２５から容易に
取外すことができる。
溝ローラの装着に当っては上記と逆に操作する。
なお回倒は前部軸受部材１５ａ〜１５ｃのみを軸芯方向
に移動可能とした例を示したが、後部軸受部材１７ａ〜
１７ｃのうち軸受部材１６ｂ 、 １７ｃを前部軸受部
材と同−溝道とし軸芯方向に移動可能としてもよい。
に移動可能とした例を示したが、後部軸受部材１７ａ〜
１７ｃのうち軸受部材１６ｂ 、 １７ｃを前部軸受部
材と同−溝道とし軸芯方向に移動可能としてもよい。
本発明によるときは溝ローラを前佳の軸受部材により着
脱かつ回動可能に支持し、少なくとも一方の軸受部材を
軸芯方向に移動可能としたから、溝ローラの装着取外し
が可能である。従って従来の如き張Ｈｎ横の取外しを必
要とせず溝ローラの着脱を簡単かつ迅速に行なうことが
できる等の効果を有する。
脱かつ回動可能に支持し、少なくとも一方の軸受部材を
軸芯方向に移動可能としたから、溝ローラの装着取外し
が可能である。従って従来の如き張Ｈｎ横の取外しを必
要とせず溝ローラの着脱を簡単かつ迅速に行なうことが
できる等の効果を有する。
第１図乃至第４図は本発明の実施例に関し、第１図はワ
イヤ張設機構の縦断側面図、第２図はその正面図、第３
図はその平面図、第４図は溝ローラの着脱要領説明図、
第５図はワイヤ式切断装置の全体説明図、第６図は従来
のワイヤ張設機構の斜視図である。 １はワイヤ張設機構、２，３．４は溝ローラ、２ａ、３
ａ、４ａは環状溝、１５ａ 、 １５ｂ 、 １５ｃは
前部軸受部材、１７ａ 、 １７ｂ 、 １７ｃは後部
軸受部材である。 特許出願人 住友金属工業株式会社 纂１図 ａ １ 、ワイヤ張譜碑嬶 １７ａ、１７ｂ、１７ｃ ： ｑ＆ｆ７’軸や印材ｖＪ
３図 第５図
イヤ張設機構の縦断側面図、第２図はその正面図、第３
図はその平面図、第４図は溝ローラの着脱要領説明図、
第５図はワイヤ式切断装置の全体説明図、第６図は従来
のワイヤ張設機構の斜視図である。 １はワイヤ張設機構、２，３．４は溝ローラ、２ａ、３
ａ、４ａは環状溝、１５ａ 、 １５ｂ 、 １５ｃは
前部軸受部材、１７ａ 、 １７ｂ 、 １７ｃは後部
軸受部材である。 特許出願人 住友金属工業株式会社 纂１図 ａ １ 、ワイヤ張譜碑嬶 １７ａ、１７ｂ、１７ｃ ： ｑ＆ｆ７’軸や印材ｖＪ
３図 第５図
Claims (1)
- 複数の溝ローラを組とし、それぞれの溝ローラには所定
ピッチの環状溝を形状し、切断用ワイヤを該環状溝に添
って螺旋状に巻付けるワイヤ張設機構において、上記溝
ローラは前後の軸受部材により挾持されると共に、少く
とも一方の軸受部材を軸芯方向に移動可能とし、溝ロー
ラを着脱可能としたことを特徴とするワイヤ式切断装置
におけるワイヤ張設機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33373687A JPH01177960A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | ワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33373687A JPH01177960A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | ワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01177960A true JPH01177960A (ja) | 1989-07-14 |
Family
ID=18269379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33373687A Pending JPH01177960A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | ワイヤ式切断装置におけるワイヤ張設機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01177960A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0875325A1 (de) * | 1997-04-24 | 1998-11-04 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Drahtsäge, Montage-, Wartungs- und Einfahrstation für eine Drahtführungsrollen-Einheit der Drahtsäge und Verfahren zum Auswechseln der Drahtführungs-rollen-Einheit |
| CN101607422A (zh) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP33373687A patent/JPH01177960A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0875325A1 (de) * | 1997-04-24 | 1998-11-04 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Drahtsäge, Montage-, Wartungs- und Einfahrstation für eine Drahtführungsrollen-Einheit der Drahtsäge und Verfahren zum Auswechseln der Drahtführungs-rollen-Einheit |
| US6050254A (en) * | 1997-04-24 | 2000-04-18 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Wire saw, repair station, maintenance and testing station for a wire-guiding-roller unit of the wire saw, and method of exchanging the wire-guiding-roller unit |
| CN101607422A (zh) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
| JP2010023225A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-02-04 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー |
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