JPS61100365A - ワイヤ式切断装置 - Google Patents
ワイヤ式切断装置Info
- Publication number
- JPS61100365A JPS61100365A JP22187684A JP22187684A JPS61100365A JP S61100365 A JPS61100365 A JP S61100365A JP 22187684 A JP22187684 A JP 22187684A JP 22187684 A JP22187684 A JP 22187684A JP S61100365 A JPS61100365 A JP S61100365A
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- JP
- Japan
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- wire
- frame
- machine frame
- reel
- cut
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高硬度脆性材料例えば半導体材料磁性材料、
セラミックス等全ワイヤにて切断（切込み？含む）する
ワイヤ式の断装置に関する。
セラミックス等全ワイヤにて切断（切込み？含む）する
ワイヤ式の断装置に関する。
従来技術及び解決しようとする問題点
従来、例えば半導体材料のインゴットをウェハー状に切
断する手段の一つとしてワイヤ？ 利用するワイヤ式切
断機がある。この切断機は８個もしくはそれ以上の溝ロ
ーラにワイヤヲ多数回所定間隔を存して巻きつけ、これ
に被切断部材を押しつけ、砥粒を含む切削液音生ぎっ＼
被切断部材を往復移行せしめ、あるいはワイヤを走行せ
しめ、いわゆるラッピング作用にて切断する方式が採ら
れている（例えば特公昭６２−１２９５４号）、。
断する手段の一つとしてワイヤ？ 利用するワイヤ式切
断機がある。この切断機は８個もしくはそれ以上の溝ロ
ーラにワイヤヲ多数回所定間隔を存して巻きつけ、これ
に被切断部材を押しつけ、砥粒を含む切削液音生ぎっ＼
被切断部材を往復移行せしめ、あるいはワイヤを走行せ
しめ、いわゆるラッピング作用にて切断する方式が採ら
れている（例えば特公昭６２−１２９５４号）、。
上記ワイヤを走行させる場合、ワイヤ全巻付けた供給リ
ールとワイヤ巻取リールは上記公知例にも示すように溝
ローラにワイヤを巻回した切断部即ちワイヤ張設置３構
′ｆｔ侠んで両側に設けられるのが普通である。
ールとワイヤ巻取リールは上記公知例にも示すように溝
ローラにワイヤを巻回した切断部即ちワイヤ張設置３構
′ｆｔ侠んで両側に設けられるのが普通である。
従って波切１祈部材の供給とウェハーの取出し作業（以
下単に切断作業という）と、供治リール、巻取り−ルに
対するワイヤの供給取替作業（以下風にワイヤ取替作業
という）とが機台前面において交叉して行なわれ、しか
も機台幅方向が長くなり、従って多数の切断装置全並設
することは制限され、かつ上記各作業場所は遠く離れ、
作業能率′ｆｅ損う等の問題がある。
下単に切断作業という）と、供治リール、巻取り−ルに
対するワイヤの供給取替作業（以下風にワイヤ取替作業
という）とが機台前面において交叉して行なわれ、しか
も機台幅方向が長くなり、従って多数の切断装置全並設
することは制限され、かつ上記各作業場所は遠く離れ、
作業能率′ｆｅ損う等の問題がある。
本発明はかかる点に檻み、上記ワイヤ張設機構と各リー
ルと全機台フレームの前後に区分して取付け、作業の円
滑全針ると共に、被切断部材の供給方向全機台フレーム
前面に並行せしめることにより、切断作業の能率向上？
計ること？目的とする。
ルと全機台フレームの前後に区分して取付け、作業の円
滑全針ると共に、被切断部材の供給方向全機台フレーム
前面に並行せしめることにより、切断作業の能率向上？
計ること？目的とする。
問題点の解決手段
本発明のワイヤ式切断装置は、複数個の溝ローラ間にワ
イヤ全多数回巻回してワイヤ列を形成し、゛このワイヤ
列により被切断部材を切断して所要厚さのウェハーを形
成するワイヤ式切断装置であって、上記ワイヤ列を形成
するワイヤ張設＠溝は成金フレームの前面１こ、また該
フレームの後部にはワイヤ供給リール及び巻取リールが
それぞれ取付けられると共ｌこ、上記ワイヤ列は機台フ
レームの面後方向と平行に、かつ該フレーム＠囮から突
出して設けられたことを特徴とするものである。
イヤ全多数回巻回してワイヤ列を形成し、゛このワイヤ
列により被切断部材を切断して所要厚さのウェハーを形
成するワイヤ式切断装置であって、上記ワイヤ列を形成
するワイヤ張設＠溝は成金フレームの前面１こ、また該
フレームの後部にはワイヤ供給リール及び巻取リールが
それぞれ取付けられると共ｌこ、上記ワイヤ列は機台フ
レームの面後方向と平行に、かつ該フレーム＠囮から突
出して設けられたことを特徴とするものである。
実施例
第１図は本発明ルこ係るワイヤ式切断装置ｌの正面図で
ある。この切断装置１の機台フレーム２には、＠血にワ
イヤ張設機構８全、また後部には切断用ワ什１７巻回す
る供給１１−ル６並びに巻取り−ルｇｔ？上下に位置し
て設け、ワイヤ張設機構８の下方には被切断部材Ｗの支
持機構フ？備える。
ある。この切断装置１の機台フレーム２には、＠血にワ
イヤ張設機構８全、また後部には切断用ワ什１７巻回す
る供給１１−ル６並びに巻取り−ルｇｔ？上下に位置し
て設け、ワイヤ張設機構８の下方には被切断部材Ｗの支
持機構フ？備える。
本例に示すワイヤ張設機構８は１機台フレーム２に着脱
可能とした例？示すもので、第５図に示す如く複数個例
えば８個の溝ローラ１Ｇ。
可能とした例？示すもので、第５図に示す如く複数個例
えば８個の溝ローラ１Ｇ。
１１．１２と、各溝ローラ全口伝自在に挾持する前後の
面板１８．１４とよりなる。溝ローラ１０−１１．１２
には所定の微小間隔全存して ゛多数の溝１０λ
、１１１，１２１が刻設され、 ！）□１本のワイ
ヤ４は各４１０１．１１１ 、１２ ＠に亘って巻付け
られ、下方に位置する溝ローラ１１．１２１問にワイヤ
列４ａが形成される。
面板１８．１４とよりなる。溝ローラ１０−１１．１２
には所定の微小間隔全存して ゛多数の溝１０λ
、１１１，１２１が刻設され、 ！）□１本のワイ
ヤ４は各４１０１．１１１ 、１２ ＠に亘って巻付け
られ、下方に位置する溝ローラ１１．１２１問にワイヤ
列４ａが形成される。
１６は両面板１８．１４ｉ所定間隔に保持するための間
隔保持用リブである。
隔保持用リブである。
上記面板１８．１４にはそれぞれ一側に取付用フランジ
１６．１７全備え、中央下部には切欠部１８を形成し、
切断時被切断部材Ｗの上昇？許容する。２０は溝ローラ
−０に連結される駆動軸であり、前部面板１８より突出
して設けられる。
１６．１７全備え、中央下部には切欠部１８を形成し、
切断時被切断部材Ｗの上昇？許容する。２０は溝ローラ
−０に連結される駆動軸であり、前部面板１８より突出
して設けられる。
機台フレーム２の前面には、嵌合溝２１．２２が形成さ
れ、張設機構８は取付用７ランジ１６゜１７全この嵌合
溝２１，２ｇに挿入し、これによりワイヤ列４λ全機台
フレーム２の前方に、かつ機台フレーム２の前後方向と
平行番こ、即ち之 ｒ、）台フレーム２の前面とは直角に突設し、押え板２
Ｂ、？４により止着する。
れ、張設機構８は取付用７ランジ１６゜１７全この嵌合
溝２１，２ｇに挿入し、これによりワイヤ列４λ全機台
フレーム２の前方に、かつ機台フレーム２の前後方向と
平行番こ、即ち之 ｒ、）台フレーム２の前面とは直角に突設し、押え板２
Ｂ、？４により止着する。
機台フレーム２には溝ローラ駆動用モータ２６及びこの
駆動モータ２５！こより回動される主軸２６ｉ備え、主
軸２Ｇの先端は連結部２１により上記１ガ動軸２０に連
結されている。
駆動モータ２５！こより回動される主軸２６ｉ備え、主
軸２Ｇの先端は連結部２１により上記１ガ動軸２０に連
結されている。
α台フレーム２には更１こワイヤ張力規制手段人？備え
る。このワイヤ張力規制手段Ａは、張設機構８に対する
定張力規制手段８０と、供給リール６に対する繰出し張
力規制手段８１並びに巻取り−ル６に対する巻取り張力
規制手段８２とよりなる。
る。このワイヤ張力規制手段Ａは、張設機構８に対する
定張力規制手段８０と、供給リール６に対する繰出し張
力規制手段８１並びに巻取り−ル６に対する巻取り張力
規制手段８２とよりなる。
定張力規制手段８０は、張設機構８の入口側及び出口側
に、それぞれ配備される入口側キャプスタン８Ｂ、出口
側キャプスタン８４と、この各キャプスタン８８．８４
と張設機構ａとの間に配備される入口側出口側の定張力
設定用ダンサ！１５．３１６とよりなる。
に、それぞれ配備される入口側キャプスタン８Ｂ、出口
側キャプスタン８４と、この各キャプスタン８８．８４
と張設機構ａとの間に配備される入口側出口側の定張力
設定用ダンサ！１５．３１６とよりなる。
キャプスタン８８．８４は周知の如くそれぞれ大差ロー
ラＢＹ、４０と小径ローラ！１８．４１及び詔勅モータ
８９．４２とよりなる。キャプスタン８８．８４は同一
構造であり、一方のキャプスタン８８について述べると
、ワイヤ４２大径ローラ８丁と小径ローラ８８との間に
数回巻きつけることにより、ワイヤ４の自由移行は阻止
され、駆動モータ８９の回動によりワイヤ４全所定速度
にて４操り出すようにしたものである。
ラＢＹ、４０と小径ローラ！１８．４１及び詔勅モータ
８９．４２とよりなる。キャプスタン８８．８４は同一
構造であり、一方のキャプスタン８８について述べると
、ワイヤ４２大径ローラ８丁と小径ローラ８８との間に
数回巻きつけることにより、ワイヤ４の自由移行は阻止
され、駆動モータ８９の回動によりワイヤ４全所定速度
にて４操り出すようにしたものである。
定張力設定用ダンサ８５．８６は機台フレーム２の適所
に取付けられる固定ロール４４，４？とダンサロール４
ｈ 、４ ｇ及ヒタンサロール牽引ばね４ｇ、４９と
よりなり、ワイヤ４は固定ロール＋４．ａｆｔ−介して
ダンサロール４６゜４８に巻回され、牽引ばね４ｇ、４
９によりダンサロール４５．４８がワイヤ張力に抗シて
移行し、その位置に応じキャプスタン２１８．８４の回
動全コントロールしてワイヤ４に与えられる張力全所定
値番ご維持せしめる。
に取付けられる固定ロール４４，４？とダンサロール４
ｈ 、４ ｇ及ヒタンサロール牽引ばね４ｇ、４９と
よりなり、ワイヤ４は固定ロール＋４．ａｆｔ−介して
ダンサロール４６゜４８に巻回され、牽引ばね４ｇ、４
９によりダンサロール４５．４８がワイヤ張力に抗シて
移行し、その位置に応じキャプスタン２１８．８４の回
動全コントロールしてワイヤ４に与えられる張力全所定
値番ご維持せしめる。
繰出し張力規制手段８０は、供給リール６に取付けられ
る繰出し規制用ブレーキ５０及び供給リール５とキャプ
スタンａ８との間に配備されるダンサ５１とよりなり、
ダンサ６１は機台フレーム２に取付けられる固定ロール
６２とダンサロール５８及びこのダンサロールｌｓ８に
対する牽引ばね５４とより構成され、ブレーキ５０？調
節することによりダンサロールｇａを所定位置に定位し
、ワイヤ４全弛まない程度の弱張力に維持せしめる。こ
の場合、ブレーキに化工て供給＋１−ル６に駆動モータ
を取付け、上述と同様にダンサロールＦ１８の昇降に応
じ駆動モータの回転？コントロールするようにしてもよ
い。
る繰出し規制用ブレーキ５０及び供給リール５とキャプ
スタンａ８との間に配備されるダンサ５１とよりなり、
ダンサ６１は機台フレーム２に取付けられる固定ロール
６２とダンサロール５８及びこのダンサロールｌｓ８に
対する牽引ばね５４とより構成され、ブレーキ５０？調
節することによりダンサロールｇａを所定位置に定位し
、ワイヤ４全弛まない程度の弱張力に維持せしめる。こ
の場合、ブレーキに化工て供給＋１−ル６に駆動モータ
を取付け、上述と同様にダンサロールＦ１８の昇降に応
じ駆動モータの回転？コントロールするようにしてもよ
い。
巻取り張力規制手段８２は１巻数１１−ル６の駆動モー
タ６５と、巻取り−ル６と出口側キャプスタン１１４と
の間１ど配備されるダンサ５６とよりなり、ダンサ５６
は機台フレーム２に取付けられる固定ロール５７とダン
サロールＦ１８及びこのダンサロール牽引用ばね５９と
より構成される。その作動要項は上記各規制手段と同様
であり、巻取りに必要な弱張力に維持される。
タ６５と、巻取り−ル６と出口側キャプスタン１１４と
の間１ど配備されるダンサ５６とよりなり、ダンサ５６
は機台フレーム２に取付けられる固定ロール５７とダン
サロールＦ１８及びこのダンサロール牽引用ばね５９と
より構成される。その作動要項は上記各規制手段と同様
であり、巻取りに必要な弱張力に維持される。
図中６０はワイヤ４を巻取リール６に導びき正規のボビ
ン状に巻くためのトライース機構である。
ン状に巻くためのトライース機構である。
前記被切断部材Ｗ２支持する支持部材７は。
被切断部材Ｗｆｔ支承する支承台６５と、この支水含６
５ｔｌ−昇降する昇降手段６６と？備える。
５ｔｌ−昇降する昇降手段６６と？備える。
昇降手段６６は駆動モータ６７と、この駆動モータ６７
により回動される螺桿６８とよりなり。
により回動される螺桿６８とよりなり。
螺桿６８は支承台６５に螺合されている。６９は支承台
６Ｆｉの昇降？案内する案内部材である。
６Ｆｉの昇降？案内する案内部材である。
作用 ・
先づ被切断部材Ｗの切：Ｆｆｒに当っては、駆動モータ
２５全軍動し、ワイヤ４を高速移行せしめ。
２５全軍動し、ワイヤ４を高速移行せしめ。
同時５と巻取リール駆動モータＦｉ５の回転によりワイ
ヤ４０巻取り全行う。この場合、張設機構８におけるワ
イヤ４の張力は定張力設定用ダンサ８５のダンサロール
４５．４８を牽引する牽引ばね４６，４９に抗して所定
位置に引き上げることにより寸与され、供給＋１−ル５
よりの繰出し張力及び巻取リール６に対する巻取り張力
は、それぞれ繰出し張力規制手段８１、巻取り張力規制
手段８２により決定される。
ヤ４０巻取り全行う。この場合、張設機構８におけるワ
イヤ４の張力は定張力設定用ダンサ８５のダンサロール
４５．４８を牽引する牽引ばね４６，４９に抗して所定
位置に引き上げることにより寸与され、供給＋１−ル５
よりの繰出し張力及び巻取リール６に対する巻取り張力
は、それぞれ繰出し張力規制手段８１、巻取り張力規制
手段８２により決定される。
上記状態において被切断部材Ｗ全支持機構７への取付は
及び切断されたウェハーの取出しは機台フレーム２の前
面に射いて行なわれる。この場合、ワイヤ列４ａは機台
フレーム２の前面と直角に突設されており、従って第８
図において被切断部Ｈｗの供給は１例えば向って左側か
ら行い、ｔ７Ｊ ＋ｔｆｔされたウェハーは右側から取
出すことができ、能率良く行なわれる。
及び切断されたウェハーの取出しは機台フレーム２の前
面に射いて行なわれる。この場合、ワイヤ列４ａは機台
フレーム２の前面と直角に突設されており、従って第８
図において被切断部Ｈｗの供給は１例えば向って左側か
ら行い、ｔ７Ｊ ＋ｔｆｔされたウェハーは右側から取
出すことができ、能率良く行なわれる。
特に波切＃ｒ部材Ｗが長尺の場合でも、被切断部材Ｗは
機台フレーム前面と平行に１４かれているため、前方通
路に支障を与えることがない。
機台フレーム前面と平行に１４かれているため、前方通
路に支障を与えることがない。
マタ供給リール６に巻かれたワイヤ４が巻取リール６Ｉ
ど巻取られたとき、新規の供給ＩＩ−ル及び空の巻取リ
ールとの交換とワイヤ接続作業４機台フレーム２の後部
５とおいて行う。
ど巻取られたとき、新規の供給ＩＩ−ル及び空の巻取リ
ールとの交換とワイヤ接続作業４機台フレーム２の後部
５とおいて行う。
尚この場合、供給リール５に対しても巻取り−ル６と同
様に駆動モータ並びにトラバース機構全備え１巻取リー
ル６にワイヤ４が巻取られた後は、ワイヤの走行方向全
通とし、供給り一ル６に巻取るようにしてもよい。但し
ワイヤの繰出し側は適宜手段にてワイヤ全トラフく−ス
機構から離間させることが好ましい。
様に駆動モータ並びにトラバース機構全備え１巻取リー
ル６にワイヤ４が巻取られた後は、ワイヤの走行方向全
通とし、供給り一ル６に巻取るようにしてもよい。但し
ワイヤの繰出し側は適宜手段にてワイヤ全トラフく−ス
機構から離間させることが好ましい。
発明の効果
本発明によるときは、夜切断部材の供給とウェハーの収
出し等の切断作業は機台フレームの前面において、また
供給リール、巻取リールの交換等ワイヤ取替作業は機台
フレームの後部においてそれぞれ行うようにしたから、
上記切断作業とワイヤ交換作業とが交錯することがなく
作業能率の向上を計ることができる。更に本発明は切断
用ワイヤ列を機台フレームの前面に対しフレーム前行方
向と平行、即ちフレーム前面に直角に突設して設けたか
ら、被切断部材はフレーム前面と平行に置かれ、該被切
断部材の供給とウェハーの取出しは砲台フレーム前面に
沿って行なわれる故、供給と取出し作業は容易であり、
特に長尺の被切断部材を取扱う場合においても機台フレ
ームの前方通路を塞ぐことがなく通行に支障をきたさな
い等の効果を有する。
出し等の切断作業は機台フレームの前面において、また
供給リール、巻取リールの交換等ワイヤ取替作業は機台
フレームの後部においてそれぞれ行うようにしたから、
上記切断作業とワイヤ交換作業とが交錯することがなく
作業能率の向上を計ることができる。更に本発明は切断
用ワイヤ列を機台フレームの前面に対しフレーム前行方
向と平行、即ちフレーム前面に直角に突設して設けたか
ら、被切断部材はフレーム前面と平行に置かれ、該被切
断部材の供給とウェハーの取出しは砲台フレーム前面に
沿って行なわれる故、供給と取出し作業は容易であり、
特に長尺の被切断部材を取扱う場合においても機台フレ
ームの前方通路を塞ぐことがなく通行に支障をきたさな
い等の効果を有する。
れぞれ互いに接近するよう下降上昇せしめても切断可能
である。
である。
第１図は本発明に係るワイヤ式切断装置の正面図、第２
図はその平面図、第３図は第１図における左側面図、第
４図は第１図における右側面図１第５図はワイヤ張設機
構の一部切欠した斜視図である。 １はワイヤ式切断装置、２は機台フレーム、３はワイヤ
張設機構、４はワイヤ、４＆はワイヤ列、５は供給リー
ル、６は巻取リール、１０．１１．１２は溝ローラ、人
はワイヤ張力規制手段、Ｗは被切断部材である。 特許出願人 住友金属工業株式会社特許出願人
日本スピンドル製造株式さ勘Ｔ代 理 人 池
１）萬喜：牛゛： ′ ＼
図はその平面図、第３図は第１図における左側面図、第
４図は第１図における右側面図１第５図はワイヤ張設機
構の一部切欠した斜視図である。 １はワイヤ式切断装置、２は機台フレーム、３はワイヤ
張設機構、４はワイヤ、４＆はワイヤ列、５は供給リー
ル、６は巻取リール、１０．１１．１２は溝ローラ、人
はワイヤ張力規制手段、Ｗは被切断部材である。 特許出願人 住友金属工業株式会社特許出願人
日本スピンドル製造株式さ勘Ｔ代 理 人 池
１）萬喜：牛゛： ′ ＼
Claims (1)
- 複数個の溝ローラ間にワイヤを多数回巻回してワイヤ列
を形成し、このワイヤ列により被切断部材を切断して所
要厚さのウェハーを形成するワイヤ式切断装置であつて
、上記ワイヤ列を形成するワイヤ張設機構は機台フレー
ムの前面に、また該フレームの後部にはワイヤ供給リー
ル及び巻取リールがそれぞれ取付けられると共に、上記
ワイヤ列は機台フレームの前後方向と平行に、かつ該フ
レーム前面に突設されたことを特徴とするワイヤ式切断
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187684A JPS61100365A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187684A JPS61100365A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100365A true JPS61100365A (ja) | 1986-05-19 |
Family
ID=16773564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22187684A Pending JPS61100365A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100365A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429343U (ja) * | 1990-07-05 | 1992-03-09 | ||
| US5099820A (en) * | 1988-11-03 | 1992-03-31 | Photec Industrie S.A. | Abrasion-type splitting unit |
| CN107443477A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-12-08 | 南通大学 | 换钢丝方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60172459A (ja) * | 1984-02-18 | 1985-09-05 | Kenichi Ishikawa | 振動マルチワイヤー式切断装置 |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP22187684A patent/JPS61100365A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60172459A (ja) * | 1984-02-18 | 1985-09-05 | Kenichi Ishikawa | 振動マルチワイヤー式切断装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5099820A (en) * | 1988-11-03 | 1992-03-31 | Photec Industrie S.A. | Abrasion-type splitting unit |
| JPH0429343U (ja) * | 1990-07-05 | 1992-03-09 | ||
| CN107443477A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-12-08 | 南通大学 | 换钢丝方法 |
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