JPS60172459A - 振動マルチワイヤー式切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、細線ワイヤーを用いて硬脆材料に切断加工を
施す振動マルチワイヤー式切断方法並びに装置に関する
。

従来より、半導体材ネ・１、ガラス材料、セラミック等
の硬脆材料に細線ワイヤーを用いて多数列の溝入れや切
断等の切断加工を施す技術は知られており、そのための
機械装置としていわゆるマルチワイヤーソーがある。

上記マルチワイヤーソーは、一般に複数個の多溝滑車に
細線ワイヤーを一連に多数回張架巻回１〜で、これらワ
イヤーの多数本並列して延びる下側水平部分を被加工物
に押圧接触させ、この接触部に砥粒懸濁液を供給しなが
ら、前記細線ワイヤーを走行せしめることにより、被加
工物に多数列の溝入れや切断等の切断加工を施す構成の
ものであり、細線ワイヤーを使用するため切断しるが少
なく、歩留りが向上し、また他方式の機械的切断加工に
比べて変質層の発生がけるかに少ないという利点をもっ
ている。

しかしながら、上バ己のようなマルチワイヤーソーは、
一定の緊張状態の細線ワイヤーを被加工物に抑圧接触さ
せながら走行させ、該抑圧接触部位に砥粒懸濁液を供給
して細線ワイヤー、砥粒および被加工物間のラッピング
作用によシ切断を行なう方式であるため、細線ワイヤー
の断線を招き易い面があり、切断加工途中で断線を生じ
た場合には切断加工精度の低下を来たすばかりでなく、
ワイヤーの再度の巻回張架という相当時間と手間を要す
る作業をしなければならず、切断加工の生産性を著Ｌ　
＜低下するという問題があった。

そこで、上記の如きワイヤーの断線を防雨する目的に従
って、例えばワイヤーの走行を比較的低速度に抑えると
ともに、ワイヤー又は被加工物に振動を与えて砥粒が切
断面に入り易くする等の提案もなさ）しているが、ワイ
ヤーの走行速度や振動の振幅・振動数が加工能率、ワイ
ヤー断線、切断精度と如何なる相関があるのか未だ解明
されておらず所期の効果が得られていないため、上記撮
動付与の技術は実用機として満足すべき域に達していな
いのが現状であり、更に改善すべき点のあることが指摘
さｔしている。

ところで、前記したマルチワイヤーソーに関し本発明者
等がその生産性や切断加工精度の向上に併せてワイヤー
断線の防雨を目途に様々な研究および実験を重ねたとこ
ろによると、一般に細線ワイヤーを被加工物に抑圧接触
させる押圧力を太きくすｎば切断加工能率（＊位時間当
りの切削量）はあがるが、余り大きくしてもかえってワ
イヤー断線の危険性が増大するので、加工能率を向−ト
し、かつワイヤー断線を防ＩＦするため、例えばワイヤ
ー径０．２陣の市販品を用いワイヤー走行速度を毎分当
り８０〜１２０ｍと１〜だ場付、ワイヤー張力を２　Ｋ
ｐ程度に保ち、上記押圧力をワイヤー１本尚り４０〜７
０２程度に抑える必要があり、この場合多溝滑車に巻回
張架１−た、Ｉ’（Ｉｔ線クワイヤー特定方向の振動を
付与す扛は加工能率の一層の向上が図扛ることを知見す
るに至った。

上記撮動付与について、更に詳細に検討したところによ
ると、被加工物とワイヤーの接触面に砥粒懸濁液を供給
しながら切断を行なう場合、ワイヤーと被加工物切断面
とが部分的ないし全面的に離間接触を繰返えすとき始め
て加工能率が著１７＜向上するという事実が明らかとな
ったのである。

また、前記複数個の多溝滑車に巻回張架さｎる細線ワイ
ヤーは、被加工物に対する抑圧接触部位においては毎分
８０〜１２０ｍ程度の走行速度を保持しなけ扛ばならな
いが、ワイヤー断線を生じ易いワイヤー摩耗限度に達す
る以前に使用済みワイヤーとして切断加工部位から送り
出さなければならず、したがってワイヤー断線を生ずる
ことなく所期のｊ１１１工能率を得るためには新線ワイ
ヤーを例えば毎分０〜４　ｍ程逐次切断加工部位へ供給
する一方で使用済みワイヤーを同量切断加工部位から送
り出しつつワイヤー張力を一定に保持して途中の切断加
工部位でｔ」、毎分８０〜１２０ｍの速度で走行せしめ
なければならないという技術的課題のあることが判明し
た。

本発明は、以−Ｈに述べた知見に基づき、硬脆材料を対
象としたマルチワイヤーソーによる切断加工特に硬脆桐
材のうち、例えばＧ、Ｇ、Ｇ、等を切り出す切断加工に
おいて、この柿の従来技術に比べて生産性・加工能率の
はるかに曖れた切断方法並びに切断装置１ｖｌＬを提供
することを目的とする。

また、本発明の他の目的は、加工能率の向」ニと併せて
、ワイヤー断線の虞ｎを極力低減させるととにある。

而して」１記目的を達成するため、本方法発明の要旨と
するところは、矩形の各頂点位置に配置された４個の多
溝滑車に細線ワイヤーを一連に多数回巻回して、該ワイ
ヤーの多数本並列して延びる下側水平部分を硬脆材料か
らなる被加工物に抑圧接触させ、該接触部位に砥粒懸濁
液を供給しながら前記ワイヤーを走行せしめることによ
り被加工物に切断加工を施すマルチワイヤー式切断方法
において、上記接触部位に関し逐次新線ワイヤーの供給
と使用済ワイヤーの送出とを行ないつつ該接触部位にお
けるワイヤーを周期的に往復走行せしめるとともに、該
接触部位におけるワイヤーと被加工物のいずれか一方に
切断方向の低周波振動を付与し、該振動の振幅を前記゛
ワイヤーの被加工物に対する抑圧接触時に発生するたわ
み量以上に設定したことを特徴とする扇動マルチワイヤ
ー式切断方法にある。

また同じく本装置発明の要旨とするところＣ；ｒ、矩形
の各頂点位置に配置された４個の多溝渭中に細線ワイヤ
ーを一連に多数回巻回して、該ワイヤーの多数本並列し
て延びる下側水平部分を硬脆材料からなる被加工物に抑
圧接触させ、該接触部位に砥粒懸濁液を供給しながら前
記ワイヤーを走行せしめることにより被加工物に切断加
工を施すようにしてなる切断加工手段を備えたマルチワ
イヤー式切断装置において、」二記接触部位に関し逐次
新線ワイヤーの供給と使用済みワイヤーの送出とを行な
うだめのワイヤー繰出しおよび巻取り手段と、該接触部
位におけるワイヤーを周期的に往復走行せしめるための
ワイヤー走行制御手段とを設け一上記被加工物の両側に
おける上下一対の多溝滑車を一組としてそれぞれ弾性板
を介して固定支持ブロックにより支持せしめ、上記多溝
渭車組ごとに前記ワイヤーの被加工物に対する抑圧接触
時に発生するたわみ量以上の振幅をもつ低周波」１下振
動を付与する加振機を設けたことを特徴とするマルチワ
イヤー式振動切断装置にある。

以下添付の図面を参照して本発明の実施例につき詳細に
説明するが、本方法発明を具体的に実施するための装置
においては、被加工物とその支持台等の合計重量が犬な
る場合加振機の負荷を軽減させる上でワイヤー側に低周
波振動を与えるようにすることが好ましく、またワイヤ
ー側に低周波振動を与える場合、被加工物に対して抑圧
接触するワイヤーを支持している両側の多溝滑車組の各
組ごとに各独立した加振機を付設してワイヤーの下側水
平部分に上下の低周波振動を与えることが装置全体のレ
イアウト上好ましい。なお前記両側の滑車組に与える振
動は位相を同期させる場合のほか位相をずらせてワイヤ
ーに波動状の動きを与えるようにすることも可能である
。

第１図は本発明による振動マルチワイヤー式切断装置の
一実施例についてその全体構成を示す１［（０箇図で基
台１上には機枠２が構築されていてこれら基台１および
機枠２には、モータににより駆動されて卵丁線ワイヤー
Ｗを繰出す新線ボビン３およびモータＭ、により駆動さ
れて使用済ワイヤーＷを巻取る巻＋ｔｙリボビン４が配
役さｌしており、とｌしらは後Ｉ己する切断加重［手段
Ａにおけるワイヤーと被加工′吻との接触部位に対し逐
次新線ワイヤーの供給と使用済みワイヤーの送り出しと
を行なうためのワイヤー繰出しおよび巻取り手段Ｂを構
成している。七−タＭ百よ速度制御モータで新線ボビン
３から１シ１１えば４Ｕ分０〜４ｍの速度で新線ワイヤ
ーＷを切断加工手段Ａに対して繰出丁ことができ、また
モータＭ、はｉ・ルクモータで切断加工部位人からの使
用済みワイヤーＷを一定トルク下で巻取りボビン４に巻
取ることができるもので、新線ボビン３に巻かれている
ワイヤー全量が概ね消費される１でに被加工物の切断加
工が完了するように考慮さｔ′１゜ている。

前記切断加工手段Ａはワイヤー走行制御手段Ｃとともに
第２図、第３図を参照して後記の如く詳細に説明さ扛る
が、概要説明すれば切断加工手段Ａは次のとおりである
。すなわち、切断加工手段Ａは、基本的には矩形の各頂
点位置にそれぞれ配置された４箇の多溝滑車５１　ｒ　
５２　＋　５３および５４を備えており、これら多溝滑
車に新線ボビン３から繰出されて巻取りボビン４に至る
ように一連の細線ワイヤーＷが多数回巻回張架され、こ
扛らワイヤーの多数本並列して延びる下側水平部分が硬
脆材料からなる被加工物に対する切断加工部を構成して
いる。

−り配下側水平部分は、更にその下方に位置する加工台
６」二の被加工物７に対向する位置にあり、前記４箇の
多溝滑車５．ないし５４に多数回巻回さＩしてｎいに並
列する多数本のワイヤー相互の間隔は多溝滑車の溝間隔
に相当し、切断加工さ）土るべき被加工物の厚みを規定
している。

また、上記４箇の多溝滑車は第１図の左側に位置する上
下２個の滑車組５．，５３と、右側に位置する上下２個
の滑車組５１＋５４とがそれぞれ側板８．．８□および
８．．８ｔによって各滑車組毎に支持されるとともに、
と扛ら各組の側板８８，８□および８．．８．が各々上
下２枚の板ばね９．．９．および９．．９ｔを介して支
持ブロック１０．および１０゜にそれぞｎ弾性的に支持
されることにより上下方向の若干の移動自由度をもつよ
うになされている。

なお、切断加工手段Ａにおける上記支持ブロック１０．
は枠フレーム２に固定されているが、他方の支持ブロッ
ク１０．は枠フレーム２内で水平に架設さｎたガイド軸
１１上を軸方向に移動調整できるようになされており、
これによりセＩＩ々の大きさの被加工物に対応して切断
加工部位におけるワイヤーの張架長さを調整することが
できる。

図中、１２１，１２．けそれぞれ前記多溝滑庫組５１＋
５ｍおよび５１．５４に対する加］辰機であり、これら
は前記多溝滑車を支持する左右各組の側板８１＋８Ｉお
よび８．．８．に対して各別に図の上下方向の低周波振
動（例えば数十Ｈｚ〜百数十Ｈｚ）を与えるように加振
軸の」１端が前記１μＩＩ板８．．８．および８．．８
．に剛体的に連結さｊしている。

また、前記加工台６は、被加工物の切断加工の進行に伴
って被加工物７を微小速度で上方に押ｉ−」−げ移動で
きる機構を備えており本発明実施例装置における同機構
は加工台６をケーブル１３により滑車を介して重錘１４
に連結させ、この重＠１１４の型針を適宜にｎ川筋する
ことで加工台６を上方に引き」二げ切断加工部位におけ
るワイヤーＷを被加工物７に対し所定の押圧力（例えば
ワイヤー１本当り＝４０〜７０り）をもって接触させる
ように構成されている。

史に、被加工物７の切断加工面には、砥粒を懸濁１〜た
液（以下工作液ともいう）をその供給装置１５からノズ
ル１６を介して切断加工中連続的に供給するようになさ
ｎている。１７は前記工作液の回収槽、１８は同工作液
の回収管、３１は同工作液の回収枠である。

次き゛に、被加工物に対する接触部位におけるワイヤー
を周期的に往復走行せしめるワイヤー走行制御手段Ｃに
ついて以下詳細に説明する。

該走行制御手段Ｃは第２図および第３図に示すように、
間隔をおいて」重下に配設さγｊ、た第１の固定滑車群
１９および第２の固定滑ｊｇ群２０とこれらの固定滑車
群１９．２０の間で往復動自在に配設されたスライダー
２１と該スライダー２１に装着された第１の動滑車群２
２および第２の動滑車群２３と、スライダー２１および
これに装着さｎた第１、第２の＃ｌＪＪ渭車群の重−：
と均衡するバランスウェイト２４と、スライダー２１の
往復動端に配設され該スライダーとの保合により後記す
るワイヤー走行駆動モータＭ３の正逆回転駆動の切換え
を行なうための一対のリミットスイッチ２５□、２５．
とからなる。

上記ワイヤー走行副側１装置Ｃは、」重下方向に延びる
ガイドバー２６上を移動できるスライダー２１の上方に
装着された第１の動滑車群２２と前記−り方の第１の固
定滑車群１９との間に多数回掛は回したワイヤーの架設
長さ石と、同じくスライダー２１の下方に装着された第
２の動滑車群２３と前記下方の第２の固定滑車群２０と
の間に多数回掛は回したワイヤーの架設長さｔ２との合
計長さｌ＋　＋　ｔ２を常に一定に保ちながら、スライ
ダー２１の上動時にはｔ、を減小、ｔ。

を増大させ、これとは反対にスライダー２１の下動時に
はｔ、を増大、ｔ、を減小させることができ“る構成を
とり、これによって新線ボビン３から巻取りボビン４に
至る一連の細線ワイヤーＷの全長を一定に維持しながら
切断加工手段Ａの切断加工部位においてワイヤーＷを所
定の速度で周期的に往復走行させることができる。なお
、ワイヤー走行制御手段Ｃに含まれるスライダー２１お
よび第１、第２の動滑車群２２．２３等の可動部分の重
量はケーブル２７により滑車を介して連結したバランス
ウェイト２４０重量と均衡させであるのでワイヤー走行
駆動モータＭ３にかかる負荷は軽減されワイヤーＷの円
滑な往復走行の切換えが可能となる。

ワイヤー走行駆動モータＭ３の正逆回転駆動の切換えの
ために、ガイドバー２６上の上および下側の所定位置に
前記一対のリミットスイッチ２５、．２５．が配置さ扛
、スライダー２１が上動して上側リミットスイッチ２５
１に当接したときおよび下動して下側リミットスイッチ
２５２に当接したときにそれぞれが電気的にワイヤー走
行駆動モータＭ３の回転方向を反転させ駆動滑車２８を
介してワイヤーＷを周期的に往復走行せしめるように構
成さ扛ている。

なお前記した第１、第２の各固定滑車群１９．２０およ
び第１、第２の各動滑車４１Ｐ　２２．２３は具体的に
はワイヤーＷの一つの掛は回しごとに一つの動滑車が対
応し、これら多数個の動滑車が同軸上に各独立して回転
自在に支持さ扛て滑車群を構成しているものである。

以上説明したマルチワイヤーソーを構成する切断加工手
段Ａ１ワイヤー繰出しおよび巻取り手段Ｂおよびワイヤ
ー走行制御手段Ｃの全体についてワイヤーＷの張架経路
とその周期的な往復走行駆動状態について説明すると、
第２図において、ワイヤーＷは新線ボビン３から繰出さ
れて、まずワイヤー走行制御手段Ｃの上方にある第１の
固定滑車群１９に至ね該固定ｍ　ｒｔｉ群１９とスライ
ダー２１上の第１の動滑車群２２との間で多数回掛は回
わさｎ、固定滑車群１９の最終動滑車から枠フレーム２
に支持されている上下一対の中間固定滑車２８．２９の
うちの下側の滑車２９に導か扛る。次いでワイヤーＷは
、これら中間固定滑車２８．２９と切断加工手段Ａに含
まれる右側の多溝滑車５２．５４との間で数回程度掛は
回わさｎる。

第１図および第２図に示す実施例においては前記」二側
の中間固定滑車２８はワイヤー走行駆動モータＭ３によ
り正逆回転される駆動滑車とされている。

前記の掛は回し後ワイヤーＷは更に切断加工手段Ａを構
成する４個の多溝滑車５１　＋　５９　＋　５８１５４
にわたって必要な巻数だけ所定のピッチを保持して巻回
され、次いで再び右側の多溝滑車５．。

５４と中間固定滑車２Ｂ、２９の間で数回程度掛は回わ
された後ワイヤー走行制御機構Ｃの下側にある第２の固
定滑車群２０へ導かｔ、該第２の固定滑車群２０とスラ
イダー２１上の第２の動滑車群２３との間で多数回掛は
回わさｎ、る。

この掛は回わし数は前記した第１の固定滑車群１９と第
１の動滑車群２２との１月の掛は同わし数と同数とさす
る。しかる後第２の固定滑車群２０の最終滑車からワイ
ヤーＷを導出し、該ワイヤーＷの導出端は巻取りボビン
４に巻付けられワイヤーＷの張架巻回作業は完了する。

なお一般にはワイヤーＷの張架巻回作業の完了後、切断
加工手段Ａの切断加工部位におけるワイヤー張力を所定
の一定値とするために切断加工作業の開始に先立って一
定時間のなじみ運転が必要である。

第３図に示す実施例装置においては第２図に示す装置に
おける中間固定滑車２８．２９を用いずにワイヤー走行
制御手段Ｃの第１の固定滑車群１９から出たワイヤーＷ
を切断加工手段Ａの多溝滑車５．に直接導き、壕だＩ′
ＪＪ断加工手段Ａの多溝滑車抛から出たワイヤーＷをワ
イヤー走行制御手段Ｃの第２の固定滑車群２０へ直接導
くようにし、多溝滑車５４をフレキシブルシャフト３０
を介してワイヤー走行駆動モータＭ３により回転駆動す
るように構成している。このように中間固定滑車２８．
２９が省略される関係上第３図に示す装置は第２図に示
す装置に比べてコンパクト化される利点を有するが切断
加工機能上両者は実質的に同じである。

以上（説明した第２図および第３図に示す装置において
、ワイヤー走行駆動モータＭ３により中間固定滑車２８
もしくは多溝滑車５４を図示矢印の時計回り方向に回転
駆動させると、多溝滑車５＋　＋　５＊＋　５ｇはいす
１尤もワイヤーＷの左方向走行に従動して時ｄ１回り方
向に回転し、したがってワイヤー走行制御手段Ｃにおけ
る第１．２の固定滑Ｅｉ群１９．２０および第１．２の
動滑車群２２．２３が追従回転せしめられ、スライダー
２１は上動する。すなわちワイヤーＷが切断加工部位に
おいて左方向に走行しながらワイヤー走行制御手段Ｃの
第１の固定滑車群１９と第１の動滑車群２２間に巻回さ
れている分のワイヤー長を第２の固定滑車群２″０と第
２の動滑車群２３間に巻回さ扛ている分のワイヤー長に
移し換える動作が行なわれる。次いでスライダー２１が
上側のリミットスイッチ２５１に当接すると、ワイヤー
走行駆動モータＭ、の回転が反対方向に切換えられ、し
たがって多溝滑車５１＋　５１＋　５Ｂ＋５、はすべで
反時計回りに回転することになる。

この場合切断加工部位におけるワイヤーＷの走行方向は
右向きとなり、スライダー２１は下側のリミットスイッ
チ２５２に当接するまで下動し、該当接の後は再びワイ
ヤー走行駆動モータＭ、の回転方向切換えが行なわれる
。

以上のようにして切断加工手段Ａの下側水平部分をなす
多数並列して延びるワイヤーＷは周期的に往復走行する
のであるが、この動作はワイヤー走行制御手段Ｃにおけ
るスライダー２］の周期的上下動により第１の固定滑車
群１９および第１の動滑車群２２間に巻回されている分
のワイヤーと第２の固定滑車ｆｆｆ＋　２０および第２
の動滑車群２３間に巻回されている分のワイヤーとが交
互に移し換えらｊＬるだけでワイヤー繰出しおよび巻取
り手段Ｂにおける新線ボビン３からの新線ワイヤーの繰
出しおよび巻取りボビン４への使用済みワイヤーの巻取
り動作とは無関係であり、かくして切断加工部位におい
て被加工物７の−に而に接触する位置にある多数本並列
して延びるワイヤーを例えば毎分８０〜１２０ｍの速度
でかつ１〜２秒の周期でもって往復走行させることがで
き、一方新線ボビン３がら毎分０〜４ｍの新線ワイヤー
を繰出し、かっこの繰出し畏さに相当する使用済みワイ
ヤーをトルクモータＭ、により駆動さｉＬる巻取りボビ
ン４に巻取って往復走行する切断加工部位におけるワイ
ヤーを漸次新線ワイヤーに置き換えることができる。

被加工物７の切断加工部位におけるワイヤーは切断加工
の進行に伴って摩耗するが、前記のように漸次新線ワイ
ヤーに置き換えられるので、断線を生ずるような摩耗限
度に達する前に使用済みワイヤーとして切断加工部位か
ら送り出さγＬることになり、切断加工の途中での断線
は完全に防止される。

さて、以上説明した実施例装置４に係るマルチワイヤー
ソーの特徴は、２台の加振機１２Ｉ、１２ｔを用いて、
切断加工部位の左側の多溝滑車用５１＋５８と右側の多
溝滑車用５．，５．を第１図中矢印で示す上下方向（す
なわち切断方向）に低周波振動させ、しかもこの振動の
条件として、加工台６の押上げ機構により被加工物７を
ワイヤーＷに抑圧接触させたときに生ずる該ワイヤーＷ
のたわみ量Δに対し、その振幅が犬なる関係となるよう
に設定していることにある。

ここで、前記たわみ腫△は、左右の多溝渭屯組の間のワ
イヤーＷの張力、同じく張架長さ、被加工物とワイヤー
Ｗの接触長さ、および被加工物のワイヤーＷに対する押
圧力の大きさ等の関係で定まるものであり、ワイヤーＷ
の安全率を見込んだ許容引張荷重ないし多溝滑車の耐久
性を考屡した条件のもとで、前記押圧力を大きくするこ
とが加工能率上は有利であり、他方たわみ量を小さくす
ることが加工精度上は有利となる。

一方、上記たわみ量△を一定どした状態で多溝滑車用５
＋、５ｇおよび多溝滑車用５！＋５４に付与する摂動の
効果を考察すると、ワイヤーＷは実質的に左右の多溝滑
車用の間で直線状態を維持したまま−Ｅ下動を繰り返す
ものとみることができ、したがってその型動振幅が前記
たわみ量△を越えて与えられた場合には、ワイヤーＷと
被加工物の切断切削面の間に離間状幅を生じ、これによ
って離間部分には工作液の砥粒が容易に入り込み、無撮
動時ないし小振幅の振動時に比べて加工能率が飛躍的に
向上することになる。

上記のことは、実験的に確認されてお凱第４図は、後記
光に示す条件の設定のもとに第１図に示す装置を用いて
、ガラス材料を被加工物とし、ワイヤー１本当、？　６
６．７　ｆの押圧力を負荷して前記たわみ量△が約０．
５　ａｍ生じている場合において、ワイヤーＷに付与す
る低周波振動の振幅を変化させながら、加工能率（毎分
当りの切削ｆ）を測定した結果を示すものであるが同図
から明らかなように、たわみ脩Δ（＝ｏ、５ｗｍ）以下
の振幅の＠勅を与えても加工能率の向上が全くみられな
いのに対し、このたわみ聯゛△を越えた振幅の振動を与
えた場合に、切断加工能率が飛躍的に増大することが現
わｌ）、ている。

なお第４図に示した結果は、第１図に示す装置の２台の
加４辰機１２＊、１２ｔに関し、振動の位相を一致させ
て同一周波数（６’７Ｈ，ｚ）で振動させた場合のもの
であるが、これにかえて上記の位相をずらせワイヤーＷ
を波動状に撮動させることができる。

また−Ｆ記振動は、ワイヤーＷと被加工物の間で切断方
向に相対的に与えられればよいものであるから、加工台
側に振動を付与するようにしてもよい。

以上詳述した如く、本発明のマルチワイヤー式振動切断
方法によｎば、切断加工部位における走行ワイヤーと被
加工物のいずれか一方に切断方向の低周波振動を付与し
、該振動の振幅をワイヤーの被加工物に対する抑圧接触
時に発生するたわみ量以上に設定したことで、硬脆材料
からなる被加工物の切断加工に際し、加工能率を著しく
向上させることができ、また本発明のマルチワイヤー振
動切断装置によれば、切断加工部位において往復走行す
るワイヤーは逐次新線ワイヤーに置き換えられ、断線を
生じ易い摩耗限度に達する前に切断加工部位から送り川
さｎるので、切断加工中に断線を生ずることなくこの棟
の従来のマルチワイヤーソーと比較１７てその生産性は
極めて高いものであり、例えばＧ、Ｇ、Ｇ、等を切り出
すのに用いてその有用性にｄ：顕著なものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施するのに使用されるマルチワ
イヤー式振動切断装置の一例を示す装置全体構成の概略
側面図、第２図は第１図に示す装置におけるワイヤーの
巻回張架態様を説明する一実施態様図、第３図は第２図
とは異なるワイヤーの巻回張架態様を説明する一実施態
様図、第４図は本発明方法の一実施例における加工能率
の変化特性を示すグラフ図である。 Ａ・・・切断加工手段 Ｂ・・・ワイヤー繰出しおよび巻取り手段Ｃ・・・ワイ
ヤー走行副側１手段 １・・・基台　２・・・枠フレーム ３・・・新線ボビン　４・・・巻取りボビン５１　！　
５１　＋　５．１５４・・・多溝滑車　６・・・加工台
７・・・被加工物　８．．８．・・・側板９、．９．・
・・板ばね　１０＋、１０＊・・・支持ブロック１１・
・・ガイド軸　１２．．１２１・・・加撮機１３・・・
ケーブル　１４・・・電蝕 １５・・・工作液供給装置　１６・・・ノズル１７・・
・工作液回収槽　１８・・・工作液回収管１９・・・第
１の固定滑車群 ２０・・・第２の固定滑車群　２１・・・スライダー２
２・・・第１の動滑車群　２３・・・第２の動滑車群２
４・・・バランスウェイト ２５、．２５ｔ・・・リミットスイッチ２６・・・ガイ
ドバー　２７・・・ケーブル２８・・・駆動用中間滑車
　２９・・・中間滑車３０・・・フレキシブルシャフト ３１・・・工作液の回収枠。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　矩形の各頂点位置に配置された４個の多溝滑車に細
   線ワイヤーを一連に多数回巻回して該ワイヤーの多数本
   並列して延びる下側水平部分を硬脆材料からなる仮加工
   物に押圧接触させ、該接触部位に砥粒懸濁液を供給しな
   がら前記ワイヤーを走行せしめることにより仮加工物に
   切断加工を施すマルチワイヤー式切断方法において、上
   記接触部位に関し逐次新帝ワイヤーの供給と使用賃ワイ
   ヤーの送出とを行ないつつ該接触部位におけるワイヤー
   を周期的に往復走行せしめるとともに、該接触部位にお
   ヴるワイヤーと被加工物のいずｎか一万に切断方向の低
   周波振動を付与し、該撮動の振幅を前記ワイヤーの被加
   工物に対する押圧接触時に発生するたわみ量以上に設定
   したことを特徴とする４辰動マルチワイヤー式切断方法
   。 ２　前記低周波振動はワイヤーを緊張巻回した多溝渭車
   側に与えるように１〜ｆｒ、ことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項にｆ１６載のマルチワイヤー式振動切断方
   法。 ３　被加工物の両側における上下一対の多溝渭車組ごと
   に独立して上下の低周波撮動を与えることにより往復走
   行するワイヤーを」緩動せしめ、該独立した低周波振動
   の付与は−ｑいに同期して又は位相をずらせて行なうこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載のマルチワ
   イヤー式振動切断方法。 ４　矩形の各頂点位置に配置さ７１．た４個の多溝滑車
   に細線ワイヤーを一連に多数回巻回して該ワイヤーの多
   数本並列して廷びる下側水平部分を硬脆材料からなる被
   加工物に抑圧接触させ、該接触部位に砥粒懸濁液を供給
   しなが　″ら前記ワイヤーを走行せしめることにより被
   加工物に切断加工を施すようにしてなる切断加工手段を
   備えたマルチワイヤー式切断装置において、−に記接触
   部位に関し逐次新線ワイヤーの供給と使用済みワイヤー
   の送出とを行なうだめのワイヤー繰出しおよび巻取り手
   段と、該接触部位におけるワイヤーを周期的に往復走行
   せしめるだめのワイヤー走行制御手段とを設け、上記被
   加工物の両側における上下一対の多溝滑車を一組として
   それぞれ弾性板を介して固定支持ブロックにより支持せ
   しめ、上記多溝滑車組ごとに前記ワイヤーの被加工物に
   対する抑圧接触時に発生するたわみ量以上の振幅をもつ
   低周波上下振動を付与する加撮機を設けたことを特徴と
   する撮動マルチワイヤー式切断装置。 ５　前記ワイヤー繰出しおよび巻取り手段はそ７Ｌ　（
   ’　ｔＬモータにより駆動される新線ポビンおよび巻取
   りボビンからなる特許請求の範囲第５項に記載の振動マ
   ルチワイヤー式切断装置。 ６　前記ワイヤー走行制御手段は、間隔をおいて−１−
   下に配役さｎた第１および第２の固定滑車群と、とｎら
   両回定滑車群間において往復動自在に配役さγしたスラ
   イダーと、核スシイダーに装着された第１および第２の
   動滑車群と、前記スライダーおよび両動渭ｉ１群の重畢
   二と均衡するバランスウェイトと、前記スライダーの往
   復動端に配設され、該スライダーとの保合によりワイヤ
   ー走行駆動モータの市逆回転駆動切り換えを行なうだめ
   の一対のリミットスイッチとからなる特許請求の範囲第
   ４項に記載の振動マルチワイヤー式切断装置ｍ、。