JP3129625B2 - ワイヤソー装置 - Google Patents
ワイヤソー装置Info
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- JP3129625B2 JP3129625B2 JP1470795A JP1470795A JP3129625B2 JP 3129625 B2 JP3129625 B2 JP 3129625B2 JP 1470795 A JP1470795 A JP 1470795A JP 1470795 A JP1470795 A JP 1470795A JP 3129625 B2 JP3129625 B2 JP 3129625B2
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- wire
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- roller
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- rotating
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体材料、
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソー装置に関するものである。
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソー装置は、複数の加工用ローラ
間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付けられ、この
ワイヤが一方向または双方向に走行されながら、そのワ
イヤ上に砥粒を含むスラリが供給されるものである。そ
して、この状態でワイヤに対してワークが押し付けられ
て、ワークが切断加工される。
間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付けられ、この
ワイヤが一方向または双方向に走行されながら、そのワ
イヤ上に砥粒を含むスラリが供給されるものである。そ
して、この状態でワイヤに対してワークが押し付けられ
て、ワークが切断加工される。
【０００３】このようなワイヤソー装置では、一般にワ
イヤとワークとの間に砥粒を含むスラリが多く供給され
るとともに、それらの間から切粉が円滑に排出されるほ
ど、ワークの切断能率がよくなる。このため、例えば特
開昭６０−１７２４６０号公報に示すようなワイヤソー
装置が、従来から提案されている。
イヤとワークとの間に砥粒を含むスラリが多く供給され
るとともに、それらの間から切粉が円滑に排出されるほ
ど、ワークの切断能率がよくなる。このため、例えば特
開昭６０−１７２４６０号公報に示すようなワイヤソー
装置が、従来から提案されている。
【０００４】この公報の装置においては、ワイヤの走行
にともなう偏心軸の回転により、ワイヤが揺動してスラ
リの供給と切粉の排出とが円滑に行われるようになって
いる。ところが、この装置においては、ワイヤの揺動サ
イクルがワイヤの走行速度に依存しているため、切断条
件に応じてワイヤの揺動サイクルを変更することが不可
能であった。
にともなう偏心軸の回転により、ワイヤが揺動してスラ
リの供給と切粉の排出とが円滑に行われるようになって
いる。ところが、この装置においては、ワイヤの揺動サ
イクルがワイヤの走行速度に依存しているため、切断条
件に応じてワイヤの揺動サイクルを変更することが不可
能であった。
【０００５】これを解決するために、特公平６−３５１
０７号公報のワイヤソー装置が提案されている。この装
置においては、１つの中空円板状の回動部材が水平軸線
の周りで回動可能に配設され、その端面には一対の加工
用ローラが所定間隔をおいて回転可能に支持されてい
る。そして、加工用ローラの回転に伴い、両ローラ間に
巻き付けられたワイヤが一方向または双方向に走行され
ながら、ワークの切断加工が行われる際に、回動部材が
モータによりウォーム及びウォームホイールを介して所
定角度だけ往復回動される。これにより、両加工用ロー
ラがワイヤの走行速度とは無関係に上下方向へ交互に揺
動され、両ローラ間のワイヤがワークに対して傾動され
て、ワイヤとワークとの間に砥粒を含むスラリが多く供
給されるとともに、それらの間から切粉が円滑に排出さ
れる。
０７号公報のワイヤソー装置が提案されている。この装
置においては、１つの中空円板状の回動部材が水平軸線
の周りで回動可能に配設され、その端面には一対の加工
用ローラが所定間隔をおいて回転可能に支持されてい
る。そして、加工用ローラの回転に伴い、両ローラ間に
巻き付けられたワイヤが一方向または双方向に走行され
ながら、ワークの切断加工が行われる際に、回動部材が
モータによりウォーム及びウォームホイールを介して所
定角度だけ往復回動される。これにより、両加工用ロー
ラがワイヤの走行速度とは無関係に上下方向へ交互に揺
動され、両ローラ間のワイヤがワークに対して傾動され
て、ワイヤとワークとの間に砥粒を含むスラリが多く供
給されるとともに、それらの間から切粉が円滑に排出さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
ワイヤソー装置においては、一対の加工用ローラが円板
状をなす１つの回動部材の端面に支持され、その回動部
材の往復回動によって、両加工用ローラが揺動されるよ
うになっている。このため、一対の加工用ローラの重量
を十分に支持できるように、回動部材を大型で頑丈に形
成する必要があるとともに、その回動部材を一対の加工
用ローラとともに往復回動させるのに、大きな駆動力の
モータを必要とするという問題があった。
ワイヤソー装置においては、一対の加工用ローラが円板
状をなす１つの回動部材の端面に支持され、その回動部
材の往復回動によって、両加工用ローラが揺動されるよ
うになっている。このため、一対の加工用ローラの重量
を十分に支持できるように、回動部材を大型で頑丈に形
成する必要があるとともに、その回動部材を一対の加工
用ローラとともに往復回動させるのに、大きな駆動力の
モータを必要とするという問題があった。
【０００７】しかも、回動部材とモータとの間にウォー
ムとウォームホイールが介在されているため、回動部材
等に対して手間のかかる歯切り加工が必要となり、製作
が面倒であった。
ムとウォームホイールが介在されているため、回動部材
等に対して手間のかかる歯切り加工が必要となり、製作
が面倒であった。
【０００８】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、加工用ローラの支持構成を簡単にするこ
とができるとともに、その加工用ローラを小さな駆動力
にて揺動させることができ、しかも製作が容易なワイヤ
ソー装置を提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、加工用ローラの支持構成を簡単にするこ
とができるとともに、その加工用ローラを小さな駆動力
にて揺動させることができ、しかも製作が容易なワイヤ
ソー装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、請求項１に記載の発明では、複数の加工用
ローラをリンク機構により連結するとともに、そのリン
ク機構の運動により加工用ローラ間のワイヤが傾動運動
するように構成したものである。
するために、請求項１に記載の発明では、複数の加工用
ローラをリンク機構により連結するとともに、そのリン
ク機構の運動により加工用ローラ間のワイヤが傾動運動
するように構成したものである。
【００１０】請求項２に記載の発明においては、請求項
１において、リンク機構は、複数の回動部材と連結リン
クとを有し、各回動部材はそれ自体の回動軸線から所定
量偏心した回転軸線の周りで加工用ローラをそれぞれ回
転可能に支持し、連結リンクは回動部材間を連結するも
のである。
１において、リンク機構は、複数の回動部材と連結リン
クとを有し、各回動部材はそれ自体の回動軸線から所定
量偏心した回転軸線の周りで加工用ローラをそれぞれ回
転可能に支持し、連結リンクは回動部材間を連結するも
のである。
【００１１】請求項３に記載の発明においては、複数の
加工用ローラをそれぞれの加工用ローラに連結されたク
ランク機構により揺動させ、その揺動により加工用ロー
ラ間のワイヤが傾動運動するように構成したものであ
る。
加工用ローラをそれぞれの加工用ローラに連結されたク
ランク機構により揺動させ、その揺動により加工用ロー
ラ間のワイヤが傾動運動するように構成したものであ
る。
【００１２】請求項４に記載の発明では、請求項３にお
いて、各クランク機構は、回転駆動源と、各回動部材に
設けられた係合溝と、回転駆動源に連結され係合溝内を
移動するローラとを備え、回転駆動源による回転力を係
合溝内におけるローラの移動に変換し、各回動部材を所
定角度内で回動させ、加工用ローラを揺動させるもので
ある。
いて、各クランク機構は、回転駆動源と、各回動部材に
設けられた係合溝と、回転駆動源に連結され係合溝内を
移動するローラとを備え、回転駆動源による回転力を係
合溝内におけるローラの移動に変換し、各回動部材を所
定角度内で回動させ、加工用ローラを揺動させるもので
ある。
【００１３】
【作用】請求項１においては、リンク機構の運動により
ワイヤが傾動運動する。従って、加工用ローラを支持す
る大がかりな回動部材や、歯車機構が不要となる。
ワイヤが傾動運動する。従って、加工用ローラを支持す
る大がかりな回動部材や、歯車機構が不要となる。
【００１４】請求項２においては、リンクの揺動が回動
部材の偏心回転になり、その偏心回転が加工用ローラの
傾動運動になる。請求項３においては、複数の加工用ロ
ーラは各加工用ローラに連結されたクランク機構により
揺動される。そして、その揺動により、加工用ローラ間
のワイヤが傾動運動する。
部材の偏心回転になり、その偏心回転が加工用ローラの
傾動運動になる。請求項３においては、複数の加工用ロ
ーラは各加工用ローラに連結されたクランク機構により
揺動される。そして、その揺動により、加工用ローラ間
のワイヤが傾動運動する。
【００１５】請求項４では、クランク機構は、回転駆動
源と、各回動部材に設けられた係合溝と、回転駆動源に
連結され係合溝内を移動するローラとを備えている。そ
して、回転駆動源による回転力が係合溝内におけるロー
ラの移動に変換され、各回動部材が所定角度内で回動さ
れ、加工用ローラが揺動される。
源と、各回動部材に設けられた係合溝と、回転駆動源に
連結され係合溝内を移動するローラとを備えている。そ
して、回転駆動源による回転力が係合溝内におけるロー
ラの移動に変換され、各回動部材が所定角度内で回動さ
れ、加工用ローラが揺動される。
【００１６】
（第１実施例）以下、この発明を具体化した第１実施例
を図１〜６に基づいて詳細に説明する。
を図１〜６に基づいて詳細に説明する。
【００１７】図２及び図３に示すように、切断機構１１
は装置フレーム１２上に装設されている。この切断機構
１１は平行に延びる加工用駆動ローラ１３及び加工用被
動ローラ１４を備え、それらの外周には環状溝１３ａ，
１４ａが所定ピッチで形成されている。なお、図面にお
いては理解を容易にするために、環状溝１３ａ，１４ａ
の数を実際よりも少なく描いてある。
は装置フレーム１２上に装設されている。この切断機構
１１は平行に延びる加工用駆動ローラ１３及び加工用被
動ローラ１４を備え、それらの外周には環状溝１３ａ，
１４ａが所定ピッチで形成されている。なお、図面にお
いては理解を容易にするために、環状溝１３ａ，１４ａ
の数を実際よりも少なく描いてある。
【００１８】鋼線よりなる１本の切断用ワイヤ１５は前
記加工用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに
連続的に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１６は装
置フレーム１２上に配設され、このモータ１６により加
工用駆動ローラ１３が直接回転されるとともに、ワイヤ
１５の走行力により加工用被動ローラ１４が回転され
る。そして、これらの加工用ローラ１３，１４の回転に
よって、ワイヤ１５が一方向または双方向に所定の走行
速度で走行される。
記加工用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに
連続的に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１６は装
置フレーム１２上に配設され、このモータ１６により加
工用駆動ローラ１３が直接回転されるとともに、ワイヤ
１５の走行力により加工用被動ローラ１４が回転され
る。そして、これらの加工用ローラ１３，１４の回転に
よって、ワイヤ１５が一方向または双方向に所定の走行
速度で走行される。
【００１９】ワーク支持機構１９は前記切断機構１１の
上方において、フレーム１２に上下動可能に支持され、
その下部にはワーク２０が着脱自在にセットされる。ワ
ーク昇降用モータ２１はフレーム１２上に配設され、こ
のモータ２１により図示しないボールスクリュー等を介
してワーク支持機構１９が上下動される。
上方において、フレーム１２に上下動可能に支持され、
その下部にはワーク２０が着脱自在にセットされる。ワ
ーク昇降用モータ２１はフレーム１２上に配設され、こ
のモータ２１により図示しないボールスクリュー等を介
してワーク支持機構１９が上下動される。
【００２０】スラリ供給パイプ３２はワーク２０に対す
る加工位置の両側に配置され、その加工位置に向かって
砥粒が含まれたスラリを供給する。そして、装置の運転
時には、ワイヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１
３，１４間で一方向または双方向に走行されながら、ワ
ーク支持機構１９が切断機構１１に向かって下降され
る。このとき、ワイヤ１５上へスラリが供給されるとと
もに、そのワイヤ１５に対しワーク２０が押し付けら
れ、ラッピング作用によってワーク２０がスライス加工
される。
る加工位置の両側に配置され、その加工位置に向かって
砥粒が含まれたスラリを供給する。そして、装置の運転
時には、ワイヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１
３，１４間で一方向または双方向に走行されながら、ワ
ーク支持機構１９が切断機構１１に向かって下降され
る。このとき、ワイヤ１５上へスラリが供給されるとと
もに、そのワイヤ１５に対しワーク２０が押し付けら
れ、ラッピング作用によってワーク２０がスライス加工
される。
【００２１】リール機構２２は前記フレーム１２上に装
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２３
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２４とを
備えている。一対のリール回転用モータ２５，２６はリ
ール２３，２４の回転を駆動する。トラバース機構２７
は繰出しリール２３からのワイヤ１５の繰出し及び巻取
りリール２４へのワイヤ１５の巻取りをトラバースしな
がら案内する。
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２３
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２４とを
備えている。一対のリール回転用モータ２５，２６はリ
ール２３，２４の回転を駆動する。トラバース機構２７
は繰出しリール２３からのワイヤ１５の繰出し及び巻取
りリール２４へのワイヤ１５の巻取りをトラバースしな
がら案内する。
【００２２】そして、加工用駆動ローラ１３と、両リー
ル２３，２４の回転により、繰出しリール２３から切断
機構１１へワイヤ１５が繰り出されるとともに、加工後
のワイヤ１５が巻取りリール２４に巻き取られる。
ル２３，２４の回転により、繰出しリール２３から切断
機構１１へワイヤ１５が繰り出されるとともに、加工後
のワイヤ１５が巻取りリール２４に巻き取られる。
【００２３】ワイヤ張力付与機構２８は一対のダンサア
ーム２９を備え、それらの先端にはダンサローラ３０及
びウェイト３１がそれぞれ取り付けられている。ワイヤ
ガイド機構３２は切断機構１１に近接して配置され、ワ
イヤ１５を案内するための複数のガイドローラ３３を備
えている。
ーム２９を備え、それらの先端にはダンサローラ３０及
びウェイト３１がそれぞれ取り付けられている。ワイヤ
ガイド機構３２は切断機構１１に近接して配置され、ワ
イヤ１５を案内するための複数のガイドローラ３３を備
えている。
【００２４】また、切断機構１１の加工用ローラ１３，
１４間に巻回されたワイヤ１５の両端は、このワイヤガ
イド機構３２のガイドローラ３３及びフレーム１２上の
ガイドローラ３４を介して、ワイヤ張力付与機構２８の
ダンサローラ３０に掛装されている。そして、両ダンサ
アーム２９がウェイト３１にて回動されることにより、
加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所定の張力が
付与される。
１４間に巻回されたワイヤ１５の両端は、このワイヤガ
イド機構３２のガイドローラ３３及びフレーム１２上の
ガイドローラ３４を介して、ワイヤ張力付与機構２８の
ダンサローラ３０に掛装されている。そして、両ダンサ
アーム２９がウェイト３１にて回動されることにより、
加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所定の張力が
付与される。
【００２５】次に、前記加工用ローラ１３，１４を揺動
させるための揺動機構の構成を、図１及び図４〜図６に
従って説明する。円筒状をなす一対の回動部材３７，３
８は所定間隔をおいて平行に延びるように、複数のブラ
ケット３９及び軸受４０を介して、装置フレーム１２上
に水平な回動軸線Ｓ１の周りで回動可能に支持されてい
る。
させるための揺動機構の構成を、図１及び図４〜図６に
従って説明する。円筒状をなす一対の回動部材３７，３
８は所定間隔をおいて平行に延びるように、複数のブラ
ケット３９及び軸受４０を介して、装置フレーム１２上
に水平な回動軸線Ｓ１の周りで回動可能に支持されてい
る。
【００２６】一対の支持軸４１は前記各回動部材３７，
３８の回動軸線Ｓ１から所定量偏心した回転軸線Ｓ２上
を延びるように、ネジ４２により各回動部材３７，３８
の先端に固定され、それらの端部が偏心軸受４３及びブ
ラケット４４を介してフレーム１２上に支持されてい
る。そして、各支持軸４１上には軸受４５を介して、前
記各加工用ローラ１３，１４が回転軸線Ｓ２の周りで回
転可能に支持されている。この軸受４５は加工用ローラ
１３，１４の内方に位置して、スラリ等に触れないよう
になっている。
３８の回動軸線Ｓ１から所定量偏心した回転軸線Ｓ２上
を延びるように、ネジ４２により各回動部材３７，３８
の先端に固定され、それらの端部が偏心軸受４３及びブ
ラケット４４を介してフレーム１２上に支持されてい
る。そして、各支持軸４１上には軸受４５を介して、前
記各加工用ローラ１３，１４が回転軸線Ｓ２の周りで回
転可能に支持されている。この軸受４５は加工用ローラ
１３，１４の内方に位置して、スラリ等に触れないよう
になっている。
【００２７】回転軸４６，４６ａは一対の軸受４７を介
して、前記各回動部材３７，３８内に回転軸線Ｓ２の周
りで回転可能に支持されている。一方の回転軸４６の外
端にはプーリ１７が取り付けられるとともに、内端には
駆動歯車４８が固定されている。４個の伝達歯車４９は
駆動歯車４８と噛合するように、前記各ネジ４２に回転
可能に支持され、これらの伝達歯車４９と噛合するよう
に、加工用ローラ１３の端面には内歯歯車５０が固定さ
れている。
して、前記各回動部材３７，３８内に回転軸線Ｓ２の周
りで回転可能に支持されている。一方の回転軸４６の外
端にはプーリ１７が取り付けられるとともに、内端には
駆動歯車４８が固定されている。４個の伝達歯車４９は
駆動歯車４８と噛合するように、前記各ネジ４２に回転
可能に支持され、これらの伝達歯車４９と噛合するよう
に、加工用ローラ１３の端面には内歯歯車５０が固定さ
れている。
【００２８】両回動軸線Ｓ１上には、回動部材３７，３
８が配置されるとともに、両回転軸線Ｓ２上には支持軸
４１，加工用ローラ１３，１４，回転軸４６，４６ａが
配置され、一方の回転軸線Ｓ２上にはプーリ１７，駆動
歯車４８，内歯歯車５０が配置されている。
８が配置されるとともに、両回転軸線Ｓ２上には支持軸
４１，加工用ローラ１３，１４，回転軸４６，４６ａが
配置され、一方の回転軸線Ｓ２上にはプーリ１７，駆動
歯車４８，内歯歯車５０が配置されている。
【００２９】そして、装置の運転時には、前記ワイヤ走
行用モータ１６によりプーリ１７及び図示しないベルト
を介して、一つの回転軸４６が連動回転される。このと
き、回転軸４６の回転が駆動歯車４８、伝達歯車４９及
び内歯歯車５０を介して加工用ローラ１３に伝達され、
ローラ１３が回転軸線Ｓ２の周りで回転されるととも
に、ワイヤ１５を介してローラ１４が連動回転されて、
ワイヤ１５が一方向または双方向に走行される。
行用モータ１６によりプーリ１７及び図示しないベルト
を介して、一つの回転軸４６が連動回転される。このと
き、回転軸４６の回転が駆動歯車４８、伝達歯車４９及
び内歯歯車５０を介して加工用ローラ１３に伝達され、
ローラ１３が回転軸線Ｓ２の周りで回転されるととも
に、ワイヤ１５を介してローラ１４が連動回転されて、
ワイヤ１５が一方向または双方向に走行される。
【００３０】一対の回動リング５１，５２はキー５３を
介して前記各回動部材３７，３８の外周に嵌合固定さ
れ、それらの外周には突起５４が突設されている。連結
リンク５５はピン５６により両回動リング５１，５２の
突起５４間に取り付けられ、一対の加工用ローラ１３，
１４を上下方向へ交互に揺動させるように、回動リング
５１，５２を介して両回動部材３７，３８を一体回動可
能に連結している。
介して前記各回動部材３７，３８の外周に嵌合固定さ
れ、それらの外周には突起５４が突設されている。連結
リンク５５はピン５６により両回動リング５１，５２の
突起５４間に取り付けられ、一対の加工用ローラ１３，
１４を上下方向へ交互に揺動させるように、回動リング
５１，５２を介して両回動部材３７，３８を一体回動可
能に連結している。
【００３１】駆動手段としての駆動源を構成する揺動用
モータ５７は前記連結リンク５５の中央部と対応するよ
うに、ブラケット３９上に配設され、そのモータ軸には
駆動レバー５８が取り付けられている。ローラ５９は駆
動レバー５８の先端に回転可能に支持され、このローラ
５９と係合するように連結リンク５５には縦方向に延び
るカムとしての係合溝６０が形成されている。そして、
モータ５７が回転されたとき、駆動レバー５８、ローラ
５９及び係合溝６０を介して、連動リンク５５が図１に
実線で示す位置と鎖線で示す位置との間で往復動され、
回動リング５１，５２を介して両回動部材３７，３８に
所定角度の往復回動運動が付与される。
モータ５７は前記連結リンク５５の中央部と対応するよ
うに、ブラケット３９上に配設され、そのモータ軸には
駆動レバー５８が取り付けられている。ローラ５９は駆
動レバー５８の先端に回転可能に支持され、このローラ
５９と係合するように連結リンク５５には縦方向に延び
るカムとしての係合溝６０が形成されている。そして、
モータ５７が回転されたとき、駆動レバー５８、ローラ
５９及び係合溝６０を介して、連動リンク５５が図１に
実線で示す位置と鎖線で示す位置との間で往復動され、
回動リング５１，５２を介して両回動部材３７，３８に
所定角度の往復回動運動が付与される。
【００３２】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置について動作を説明する。さて、このワイヤソー装
置においては、ワイヤ１５がリール機構２２の繰出しリ
ール２３から繰り出され、切断機構１１の加工用ローラ
１３，１４間において一方向または双方向に走行された
後、巻取りリール２４に巻き取られる。そして、ワーク
支持機構１９により、加工用ローラ１３，１４間のワイ
ヤ１５上に砥粒を含むスラリが供給されながら、ワイヤ
１５に対してワーク２０が押し付けられて、そのワーク
２０が切断加工される。
装置について動作を説明する。さて、このワイヤソー装
置においては、ワイヤ１５がリール機構２２の繰出しリ
ール２３から繰り出され、切断機構１１の加工用ローラ
１３，１４間において一方向または双方向に走行された
後、巻取りリール２４に巻き取られる。そして、ワーク
支持機構１９により、加工用ローラ１３，１４間のワイ
ヤ１５上に砥粒を含むスラリが供給されながら、ワイヤ
１５に対してワーク２０が押し付けられて、そのワーク
２０が切断加工される。
【００３３】このワーク２０の切断加工時には、図１及
び図６に示すように、揺動用モータ５７により連結リン
ク５５及び回動リング５１，５２を介して、両回動部材
３７，３８が回動軸線Ｓ１の周りで所定角度だけ一体的
に往復回動される。このため、各回動部材３７，３８の
回動軸線Ｓ１に対して所定量偏心した位置にある加工用
ローラ１３，１４の回転軸線Ｓ２が、回動軸線Ｓ１を中
心にして所定角度の範囲内で回動変位される。
び図６に示すように、揺動用モータ５７により連結リン
ク５５及び回動リング５１，５２を介して、両回動部材
３７，３８が回動軸線Ｓ１の周りで所定角度だけ一体的
に往復回動される。このため、各回動部材３７，３８の
回動軸線Ｓ１に対して所定量偏心した位置にある加工用
ローラ１３，１４の回転軸線Ｓ２が、回動軸線Ｓ１を中
心にして所定角度の範囲内で回動変位される。
【００３４】それにより、図６に実線、破線及び２点鎖
線で示すように、両加工用ローラ１３，１４が上下方向
へ交互に揺動され、両ローラ１３，１４間のワイヤ１５
がワーク２０に対して傾動される。従って、ワーク２０
の切断中に、ワイヤ１５とワーク２０との間に砥粒を含
むスラリが十分に供給されるとともに、それらの間から
切粉が円滑に排出されて、ワーク２０を能率よく切断す
ることができる。
線で示すように、両加工用ローラ１３，１４が上下方向
へ交互に揺動され、両ローラ１３，１４間のワイヤ１５
がワーク２０に対して傾動される。従って、ワーク２０
の切断中に、ワイヤ１５とワーク２０との間に砥粒を含
むスラリが十分に供給されるとともに、それらの間から
切粉が円滑に排出されて、ワーク２０を能率よく切断す
ることができる。
【００３５】従って、この実施例においては、モータ５
７の回転数を変更することにより、ワイヤ１５の傾動サ
イクルを任意に調節でき、ワーク２０の材質や大きさ等
にあわせた最適な傾動サイクルをワイヤ走行速度に関係
なく得ることができる。
７の回転数を変更することにより、ワイヤ１５の傾動サ
イクルを任意に調節でき、ワーク２０の材質や大きさ等
にあわせた最適な傾動サイクルをワイヤ走行速度に関係
なく得ることができる。
【００３６】また、この実施例のワイヤソー装置におい
ては、一対の加工用ローラ１３，１４が一対の回動部材
３７，３８に各別に支持され、両回動部材３７，３８が
揺動用モータ５７により、連結リンク５５を介して連動
回動されて、両加工用ローラ１３，１４が揺動されるよ
うになっている。このため、一対の加工用ローラを１つ
の円板状の回動部材上に支持した前記従来装置とは異な
り、回動部材を大型で頑丈に形成する必要がなく、加工
用ローラ１３，１４の支持構成を簡単にすることができ
る。また、従来装置のように加工用ローラを揺動させる
ために大きな駆動力の駆動源を設ける必要がなく、小さ
な駆動力の揺動用モータ５７によって、加工用ローラ１
３，１４を容易に揺動させることができる。
ては、一対の加工用ローラ１３，１４が一対の回動部材
３７，３８に各別に支持され、両回動部材３７，３８が
揺動用モータ５７により、連結リンク５５を介して連動
回動されて、両加工用ローラ１３，１４が揺動されるよ
うになっている。このため、一対の加工用ローラを１つ
の円板状の回動部材上に支持した前記従来装置とは異な
り、回動部材を大型で頑丈に形成する必要がなく、加工
用ローラ１３，１４の支持構成を簡単にすることができ
る。また、従来装置のように加工用ローラを揺動させる
ために大きな駆動力の駆動源を設ける必要がなく、小さ
な駆動力の揺動用モータ５７によって、加工用ローラ１
３，１４を容易に揺動させることができる。
【００３７】なお、別の手段として、加工用駆動ローラ
１３を回転させるワイヤ走行用モータ１６の回転力から
無段変速機を介して駆動力を得ることもできる。しか
も、この実施例においては、前記従来装置とは異なり、
歯車を使用していないため、面倒な歯切り加工が不要と
なり、製作が簡単になる。加えて、両加工用ローラ１
３，１４を１個の連結リンク５５で連結して、そのリン
ク５５を１個のモータ５７で揺動させるようにしている
ため、部品点数が少なくなり、構成が簡単になる。
１３を回転させるワイヤ走行用モータ１６の回転力から
無段変速機を介して駆動力を得ることもできる。しか
も、この実施例においては、前記従来装置とは異なり、
歯車を使用していないため、面倒な歯切り加工が不要と
なり、製作が簡単になる。加えて、両加工用ローラ１
３，１４を１個の連結リンク５５で連結して、そのリン
ク５５を１個のモータ５７で揺動させるようにしている
ため、部品点数が少なくなり、構成が簡単になる。
【００３８】さらに、連結リンク５５の揺動が回動部材
３７，３８の偏心回転となり、その偏心回転により加工
用ローラ１３，１４が揺動するため、加工用ローラ１
３，１４を直接揺動させた場合とは異なり、その加工用
ローラ１３，１４の揺動が無理なく円滑に行われ、加工
精度にも好ましい結果をもたらす。
３７，３８の偏心回転となり、その偏心回転により加工
用ローラ１３，１４が揺動するため、加工用ローラ１
３，１４を直接揺動させた場合とは異なり、その加工用
ローラ１３，１４の揺動が無理なく円滑に行われ、加工
精度にも好ましい結果をもたらす。
【００３９】また、この実施例においては、加工用ロー
ラ１３，１４が支持軸４１の外周の軸受４５の外輪で支
持されているため、加工用ローラ１３，１４を肉厚の少
なくして質量を小さくできる。このため、軸受４５作用
する負荷が小さくなり、軸受の長寿命化を図ることがで
きる。 （第２実施例）次に、この発明を具体化した第２実施例
を図７及び図８に基づいて説明する。なお、この実施例
では、主として第１実施例と異なる部分について説明す
る。
ラ１３，１４が支持軸４１の外周の軸受４５の外輪で支
持されているため、加工用ローラ１３，１４を肉厚の少
なくして質量を小さくできる。このため、軸受４５作用
する負荷が小さくなり、軸受の長寿命化を図ることがで
きる。 （第２実施例）次に、この発明を具体化した第２実施例
を図７及び図８に基づいて説明する。なお、この実施例
では、主として第１実施例と異なる部分について説明す
る。
【００４０】一対の回動リング５１，５２はキー５３を
介して各回動部材３７，３８の外周に嵌合固定され、そ
れらの外周にはローラ５９と係止される縦方向に延びる
係合溝６０が形成されている。そして、回動リング５
１，５２を同期回動運動させることにより、両回動部材
３７，３８を回動させて、一対の加工用ローラ１３，１
４を上下方向へ交互に揺動させる。
介して各回動部材３７，３８の外周に嵌合固定され、そ
れらの外周にはローラ５９と係止される縦方向に延びる
係合溝６０が形成されている。そして、回動リング５
１，５２を同期回動運動させることにより、両回動部材
３７，３８を回動させて、一対の加工用ローラ１３，１
４を上下方向へ交互に揺動させる。
【００４１】回転駆動源を構成する揺動用モータ５７は
フレーム１２上に配置され、そのモータ軸には駆動レバ
ー５８及びローラ１３用の駆動レバー５８に駆動力を伝
達するためのプーリ７０が取付けられている。ローラ５
９は駆動レバー５８の先端に回転可能に支持されるとと
もに、係合溝６０に係合している。２つのアイドルプー
リ７２にはプーリ７０，７１との間においてベルト７３
が掛装され、両回動リング５１，５２が同速回転かつ逆
回転される。
フレーム１２上に配置され、そのモータ軸には駆動レバ
ー５８及びローラ１３用の駆動レバー５８に駆動力を伝
達するためのプーリ７０が取付けられている。ローラ５
９は駆動レバー５８の先端に回転可能に支持されるとと
もに、係合溝６０に係合している。２つのアイドルプー
リ７２にはプーリ７０，７１との間においてベルト７３
が掛装され、両回動リング５１，５２が同速回転かつ逆
回転される。
【００４２】そして、揺動用モータ５７が回転される
と、駆動レバー５８、ローラ５９及び係合溝６０を介し
て回動リング５１，５２が図７及び図８に実線で示す位
置と鎖線で示す位置との間で往復動され、キー５３を介
して両回動部材３７，３８に所定角度の往復回動運動が
付与される。
と、駆動レバー５８、ローラ５９及び係合溝６０を介し
て回動リング５１，５２が図７及び図８に実線で示す位
置と鎖線で示す位置との間で往復動され、キー５３を介
して両回動部材３７，３８に所定角度の往復回動運動が
付与される。
【００４３】ワーク２０の切断加工時には、図７及び図
８に示すように、回動リング５１，５２を介して両回動
部材３７，３８が回動軸線Ｓ１の周りで所定角度だけ一
体的に往復回動される。このため、両回動部材３７，３
８が回動すると、回動軸線Ｓ１に対して所定量偏心した
位置にある加工用ローラ１３，１４の回動軸線Ｓ２が、
回動軸線Ｓ１を中心にして所定角度の範囲内で回動変位
される。
８に示すように、回動リング５１，５２を介して両回動
部材３７，３８が回動軸線Ｓ１の周りで所定角度だけ一
体的に往復回動される。このため、両回動部材３７，３
８が回動すると、回動軸線Ｓ１に対して所定量偏心した
位置にある加工用ローラ１３，１４の回動軸線Ｓ２が、
回動軸線Ｓ１を中心にして所定角度の範囲内で回動変位
される。
【００４４】なお、この実施例では、加工用ローラ１４
がワイヤ走行用モータ７４によりベルト７５を介して回
転駆動される。この実施例によれば、回動軸線Ｓ２が回
動リング５１，５２の揺動角度により変化しにくいこと
から、ワイヤ１５の張力の変動を抑えることができて、
加工条件の変化を抑制することができる。しかも、ワイ
ヤ１５のスリップや加工用ローラ１３，１４の磨耗を低
減させることができる。加えて、加工用ローラ１３，１
４の振動を抑制することができる。
がワイヤ走行用モータ７４によりベルト７５を介して回
転駆動される。この実施例によれば、回動軸線Ｓ２が回
動リング５１，５２の揺動角度により変化しにくいこと
から、ワイヤ１５の張力の変動を抑えることができて、
加工条件の変化を抑制することができる。しかも、ワイ
ヤ１５のスリップや加工用ローラ１３，１４の磨耗を低
減させることができる。加えて、加工用ローラ１３，１
４の振動を抑制することができる。
【００４５】なお、この発明は、次のように変更して具
体化することも可能である。 （１）前記実施例において、回動リング５１，５２を省
略し、各回動部材３７，３８の外周に作動突起５４を一
体的に形成して、それらの作動突起５４に連結リンク５
５を連結するように構成すること。 （２）前記実施例において、揺動用モータ５７により一
方の回動リング５１を回動部材３７と一体的に往復回動
させるとともに、この往復回動を連結リンク５５により
他方の回動リング５２に伝達して、その回動リング５２
を回動部材３８と一体的に往復回動させるように構成す
ること。 （３）各回動部材３７，３８を円板状に形成し、それら
の端面の偏心位置に支持軸４１を突設して、各支持軸４
１に加工用ローラ１３，１４を支持するように構成する
こと。 （４）３個以上の複数の加工用ローラを設けたワイヤソ
ー装置において、ワーク２０と対応する一対の加工用ロ
ーラのみを上下方向へ揺動するように構成すること。
体化することも可能である。 （１）前記実施例において、回動リング５１，５２を省
略し、各回動部材３７，３８の外周に作動突起５４を一
体的に形成して、それらの作動突起５４に連結リンク５
５を連結するように構成すること。 （２）前記実施例において、揺動用モータ５７により一
方の回動リング５１を回動部材３７と一体的に往復回動
させるとともに、この往復回動を連結リンク５５により
他方の回動リング５２に伝達して、その回動リング５２
を回動部材３８と一体的に往復回動させるように構成す
ること。 （３）各回動部材３７，３８を円板状に形成し、それら
の端面の偏心位置に支持軸４１を突設して、各支持軸４
１に加工用ローラ１３，１４を支持するように構成する
こと。 （４）３個以上の複数の加工用ローラを設けたワイヤソ
ー装置において、ワーク２０と対応する一対の加工用ロ
ーラのみを上下方向へ揺動するように構成すること。
【００４６】また、前記実施例から把握される請求項以
外の技術的思想を以下に述べる。 （ａ）回動部材３７，３８はその端部に支持軸４１を突
設し、加工用ローラ１３，１４は軸受４５を介して支持
軸４１の外周に支持されているワイヤソー装置。
外の技術的思想を以下に述べる。 （ａ）回動部材３７，３８はその端部に支持軸４１を突
設し、加工用ローラ１３，１４は軸受４５を介して支持
軸４１の外周に支持されているワイヤソー装置。
【００４７】このように構成すれば、軸受４１に対する
負荷を軽減できる。 （ｂ）回転駆動源と係合溝内を移動するローラはそれぞ
れプーリを備え、両プーリ間にはベルトが掛装されてい
る請求項４に記載のワイヤソー装置。この構成により、
ローラの移動を円滑に行うことができる。
負荷を軽減できる。 （ｂ）回転駆動源と係合溝内を移動するローラはそれぞ
れプーリを備え、両プーリ間にはベルトが掛装されてい
る請求項４に記載のワイヤソー装置。この構成により、
ローラの移動を円滑に行うことができる。
【００４８】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、リンク
機構の運動によりワイヤが傾動運動する。従って、ワイ
ヤの走行速度とは関係なく、ワーク種等にあわせてワイ
ヤの傾動サイクルを得ることができるばかりでなく、加
工用ローラを支持する大がかりな回動部材や、歯車機構
が不要となり、傾動のための駆動力が少なくてすむとと
もに、構成を簡単して製作を容易にすることができる。
機構の運動によりワイヤが傾動運動する。従って、ワイ
ヤの走行速度とは関係なく、ワーク種等にあわせてワイ
ヤの傾動サイクルを得ることができるばかりでなく、加
工用ローラを支持する大がかりな回動部材や、歯車機構
が不要となり、傾動のための駆動力が少なくてすむとと
もに、構成を簡単して製作を容易にすることができる。
【００４９】請求項２の発明によれば、リンクの揺動が
回動部材の偏心回転になり、その偏心回転が加工用ロー
ラの傾動運動になる。従って、ワイヤの傾動運動が円滑
に行われ、高精度加工が可能となる。
回動部材の偏心回転になり、その偏心回転が加工用ロー
ラの傾動運動になる。従って、ワイヤの傾動運動が円滑
に行われ、高精度加工が可能となる。
【００５０】請求項３及び４に記載の発明によれば、上
記効果に加え、ワイヤの張力変動を抑えることができ
て、加工条件の変化を抑制することができるとともに、
ワイヤのスリップや加工用ローラの磨耗を低減させるこ
とができ、しかも加工用ローラの振動を抑制することが
できる。
記効果に加え、ワイヤの張力変動を抑えることができ
て、加工条件の変化を抑制することができるとともに、
ワイヤのスリップや加工用ローラの磨耗を低減させるこ
とができ、しかも加工用ローラの振動を抑制することが
できる。
【図１】 第１実施例のワイヤソー装置で、図４の１−
１線での断面図。
１線での断面図。
【図２】 そのワイヤソー装置の全体を示す正面図。
【図３】 同じくワイヤソー装置の平面図。
【図４】 加工用ローラの揺動機構を拡大して示す部分
断面図。
断面図。
【図５】 その揺動機構の駆動構成を示す部分平面図。
【図６】 加工用ローラの揺動機構の動作を説明するた
めの説明図。
めの説明図。
【図７】 第２実施例のワイヤソー装置を示す断面図。
【図８】 加工用ローラの揺動機構の動作を説明するた
めの説明図。
めの説明図。
１１…切断機構、１２…装置フレーム、１３…加工用駆
動ローラ、１４…加工用被動ローラ、１５…切断用ワイ
ヤ、１９…ワーク支持機構、２０…ワーク、３７，３８
…回動部材、４１…支持軸、４６，４６ａ…回転軸、５
１，５２…回動リング、５５…連結リンク、５７…モー
タ、Ｓ１…回動軸線、Ｓ２…回転軸線。
動ローラ、１４…加工用被動ローラ、１５…切断用ワイ
ヤ、１９…ワーク支持機構、２０…ワーク、３７，３８
…回動部材、４１…支持軸、４６，４６ａ…回転軸、５
１，５２…回動リング、５５…連結リンク、５７…モー
タ、Ｓ１…回動軸線、Ｓ２…回転軸線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付
けられたワイヤを傾動させるために偏心保持された加工
用ローラの回転によって走行させ、そのワイヤに対して
砥粒を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、
そのワークを切断するようにしたワイヤソー装置におい
て、 前記複数の加工用ローラをリンク機構により連結すると
ともに、そのリンク機構の運動により加工用ローラ間の
ワイヤが傾動運動するように構成したワイヤソー装置。 - 【請求項２】 リンク機構は、複数の回動部材と連結リ
ンクとを有し、各回動部材はそれ自体の回動軸線から所
定量偏心した回転軸線の周りで加工用ローラをそれぞれ
回転可能に支持し、連結リンクは回動部材間を連結する
請求項１に記載のワイヤソー装置。 - 【請求項３】 複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付
けられたワイヤを傾動させるために偏心保持された加工
用ローラの回転によって走行させ、そのワイヤに対して
砥粒を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、
そのワークを切断するようにしたワイヤソー装置におい
て、 前記複数の加工用ローラをそれぞれの加工用ローラに連
結されたクランク機構により揺動させ、その揺動により
加工用ローラ間のワイヤが傾動運動するように構成した
ワイヤソー装置。 - 【請求項４】 各クランク機構は、回転駆動源と、各回
動部材に設けられた係合溝と、回転駆動源に連結され係
合溝内を移動するローラとを備え、回転駆動源による回
転力を係合溝内におけるローラの移動に変換し、各回動
部材を所定角度内で回動させ、加工用ローラを揺動させ
るものである請求項３に記載のワイヤソー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1470795A JP3129625B2 (ja) | 1994-12-28 | 1995-01-31 | ワイヤソー装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32748794 | 1994-12-28 | ||
| JP6-327487 | 1994-12-28 | ||
| JP1470795A JP3129625B2 (ja) | 1994-12-28 | 1995-01-31 | ワイヤソー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08229800A JPH08229800A (ja) | 1996-09-10 |
| JP3129625B2 true JP3129625B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=26350718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1470795A Expired - Fee Related JP3129625B2 (ja) | 1994-12-28 | 1995-01-31 | ワイヤソー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3129625B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103042613A (zh) * | 2011-10-13 | 2013-04-17 | 太阳世界创新有限公司 | 锯线引导辊 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1394817B1 (it) * | 2009-07-08 | 2012-07-13 | Bideseimpianti S R L | Macchina multifilo per il taglio di blocchi di materiale lapideo |
| CN102773929B (zh) * | 2012-07-13 | 2014-07-23 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 一种切割准单晶用籽晶的方法及其装置 |
| CN106003445A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-10-12 | 无锡隆基硅材料有限公司 | 一种电镀线切割硅片用主导线辊 |
-
1995
- 1995-01-31 JP JP1470795A patent/JP3129625B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103042613A (zh) * | 2011-10-13 | 2013-04-17 | 太阳世界创新有限公司 | 锯线引导辊 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08229800A (ja) | 1996-09-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |