JP3101662B2 - ワイヤソーのワイヤ供給方法とそれを用いたワイヤソー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、走行するワイヤを用
いて半導体インゴット、セラミックス等の硬質脆性材料
（ワーク）を切断するワイヤソーのワイヤ供給方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、供給側から供給された１本の
ワイヤを複数の多溝ローラの外側に多重並列状に巻付け
た後に回収側に移動させ、このワイヤを往復差動運動さ
せながら多溝ローラ間の位置でワークを切断するように
したワイヤソーは既に提案されている。

【０００３】上記ワイヤソーのワイヤ供給方式を図１１
に示す。同図において、ワイヤソーは、２本の多溝ロー
ラ６２，６２の外側に１本のワイヤ６１を多重並列に巻
付け、このワイヤ６１に供給側リール６３から回収側リ
ール６４に徐々に移動する往復差動運動を与えて、多溝
ローラ６２，６２間のワイヤ部分６１ａによりワークを
切断加工するものである。

【０００４】このワイヤ６１の往復運動により発生する
緊張と弛緩を吸収する機構として、多溝ローラ６２群と
供給側リール６３との間、及び多溝ローラ６２群と回収
側リール６４との間に、ワイヤ６１を順次掛け渡す定滑
車６５，６５ａ；６６，６６ａと動滑車６７，６７ａ；
６８，６８ａを配置すると共に、上記動滑車６７ａ，６
８ａをスライドキャリッジ６９，７０に取り付け、駆動
モータ７５の正逆回転により動滑車式倍速機構のスライ
ドキャリッジ６９，７０を往復運動させ、上記定滑車６
５ａ，６６ａと動滑車６７ａ，６８ａにわたって掛け渡
したエンドレスベルト７２がワイヤ６１と同期、同軌跡
で平行駆動させると共に、ワイヤ６１が多溝ローラ６２
群の外側でワイヤ供給用モータ７１の一方向回転により
往復差動運動しながら徐々に回収側へ移動するようにな
っている。なお、７３は多溝ローラ６２，６２を支持す
る回動部材、７４は回動部材７３を揺動運動させるモー
タである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図１１に示
す従来のワイヤ供給方式では以下の欠点がある。

【０００６】１本のワイヤ６１でワークをスライスす
るので、ワークの大型化によって仕事量が増えると、ワ
イヤ６１の摩耗が加速的に進み、ワイヤ６１を供給側か
ら高速度で供給する必要が生じる。ところが、多溝ロー
ラ６２，６２間を移動するワイヤ部分６１ａを徐々に供
給側から回収側へ往復差動運動をさせる場合にあって
は、上記ワイヤ６１を高速供給すると、ワイヤ部分６１
ａの往路（矢印Ａ方向）と復路（矢印Ｂ方向）の仕事量
バランスが偏り、ワークのスライス断面が均一になら
ず、加工精度が低下する。

【０００７】多溝ローラ６２，６２の外周に多重並列
状に巻き付けたワイヤ部分６１ａの巻付けピッチを高精
度に保持する必要上、樹脂製多溝ローラ６２のＶ溝群の
形成をその溝入加工幅と同寸法のチェザーバイト（総形
バイト）を用いて行なっている。しかし、ワークの大型
化により多溝ローラ６２の溝入加工幅が増加すると、チ
ェザーバイトも長尺となり、溝入加工機である旋盤等の
工作機械の切削負荷抵抗が大となり、特殊な旋盤等が必
要となる。

【０００８】これに対し、短尺のチェザーバイトによ
り、長尺の多溝ローラ６２の溝入加工を複数ブロックに
分けて行なおうとすると、ブロック相互間の溝ピッチサ
ークルに段差が生じ易く、これに起因して１本のワイヤ
６１の巻付けピッチサークルに誤差が生じて、張力に変
動が生じる。その結果、ワイヤの切断や横揺れを招き、
加工精度が損なわれる。

【０００９】また、仕事量の増加に伴ってワイヤ６１
の供給量を増やす必要性から、供給側リール６３及び回
収側リール６４を大型にしてワイヤ量を増やす必要があ
る。つまり、仕事量が２倍になるとワイヤ量も２倍必要
となり、リール６３，６４が大重量化し、リール６３，
６４の搬送や機械本体への取付作業に多大の労力を要す
る。

【００１０】さらに、切断加工中に仮りにワイヤ６１
が切れた場合には、ワーク全体が没になる。つまり、新
しいワイヤで切断加工を再開してもその切断面に段差が
残ることとなり、このような段差は精度上の致命的な欠
陥となる。

【００１１】以上のように、従来のワイヤ供給方式で
は、仕事量の増加に伴ってワイヤの高速供給による弊害
を生じ、多溝ローラの溝入加工も困難となり、しかもリ
ールの重量化を招き、さらにワークの加工不良が増大す
るという欠点がある。

【００１２】この発明は、上記従来の課題を解決するた
めになされたもので、仕事量が増加してもワイヤ供給速
度を低速に維持でき、且つ多溝ローラの溝入加工も容易
となり、しかもワイヤリールを軽量に保つと共に、ワー
クの加工不良を抑制できるワイヤ供給方法を提供するこ
とを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
するため、この発明は、複数の多溝ローラの外側にワイ
ヤを多重並列状に巻付け、該多溝ローラ群を一方向また
は正逆方向に回転させることによりワイヤを供給側から
多溝ローラ群を経て回収側へ移動させ、該多溝ローラ間
を移動するワイヤ部分でワークを切断するようにしたワ
イヤの供給方法において、少なくとも２本以上のワイヤ
と、１本のワイヤを多重並列状に巻付けるＶ溝群が上記
ワイヤ数に応じて複数組設けられた多溝ローラとを準備
し、上記２本以上のワイヤを上記複数組のＶ溝群に個別
に巻き付けて回収側に導くようにしたものである。又、
上記２本以上のワイヤを同時に供給し、該２本以上のワ
イヤが１つのワークを同時に切断するようにしたもので
ある。更に、多溝ローラに１本のワイヤを多重並列状に
巻付けるＶ溝群が複数組設けられ、２本以上のワイヤを
上記複数組のＶ溝群に個別に巻き付けた、前記ワイヤの
供給方法を用いたワイヤソーである。

【００１４】

【作用】この発明によれば、２本以上のワイヤを供給す
ると共に、多溝ローラの外周に１本のワイヤが巻付けら
れるＶ溝群を各ワイヤごとに複数組設け、上記２本以上
のワイヤを複数組のＶ溝群に個別に巻付ける方式である
から、ワークの大型化により仕事量が増加しても、１本
のワイヤを用いる従来と比較して、ワイヤの摩耗量は半
減するため、ワイヤの供給を高速化する必要はない。従
って、ワイヤを往復差動運動させる場合でもワイヤの往
路と復路の仕事量バランスが良くなる。

【００１５】また、多溝ローラのＶ溝群を各ワイヤに対
応して複数組設けたので、ワークの大型化に伴って多溝
ローラが長尺になっても、短尺のチェザーバイトによっ
て複数組のＶ溝群を各ブロックごとに別々に溝入加工で
きる。この場合、仮りに各組相互間の溝ピッチサークル
に段差が生じても、各組のＶ溝群には別々のワイヤが巻
き付けられるので、ワイヤの張力に変動をきたすおそれ
がない。従って、ワイヤの切断や横揺れを生じることも
ない。

【００１６】しかも、２本以上のワイヤを供給すること
により、これらを供給及び回収する各ワイヤリールも２
個以上となり、仕事量が増えても各リールの重量は大き
くならず、リールの運搬やセッティングが容易である。

【００１７】さらに、仮りに１本のワイヤが切れても残
りのワイヤで切断加工を継続できるので、ワーク全体が
没にならず、切れたワイヤに対応する部分のみが没にな
り、従って、ワークの加工不良の分散化を防止できる。

【００１８】

【実施例】以下、この発明の実施例を添附図面に基づい
て説明する。

【００１９】図１において、この発明に係るワイヤ供給
方式は、複数の多溝ローラ７群の外側に２本のワイヤ
１，２をそれぞれ多重並列状に巻き付け、各多溝ローラ
７を正逆回転させることにより、ワイヤ１，２を多溝ロ
ーラ７，７間で往復差動運動させながら徐々に回収側へ
移動させ、移動するワイヤ部分１ａ，２ａでワークを切
断する方式であり、この方式が採用されるワイヤソー
は、基本的にワイヤ巻掛け機構とワイヤ駆動機構とで構
成されている。

【００２０】まず、図２を参照してワイヤ巻掛け機構に
ついて説明すると、前後一対の供給側リール３，４及び
回収側リール５，６に対応して、前列ローラ群と後列ロ
ーラ群が配設されている。つまり、前列の供給側リール
３から引き出された第１のワイヤ１は、前列ローラ群に
おける中間ローラ１０とダンサローラ１１を通って動滑
車式倍速機構３０の定滑車１２と動滑車１３に順次掛け
渡された後、３本の多溝ローラ７の外側の前半部に多重
並列状に巻付けられ、さらに動滑車式倍速機構３１の動
滑車１４と定滑車１５に順次掛け渡され、ダンサローラ
１６と中間ローラ１７を介して前列の回収側リール５に
巻取られている。

【００２１】また、後列の供給側リール４から引き出さ
れた第２のワイヤ２も、上記第１のワイヤ１と同様の巻
掛け構造であり、後列ローラ群における中間ローラ１０
ａ，ダンサローラ１１ａ，定滑車１２ａ及び動滑車１３
ａを介して３本の多溝ローラ７の外側の後半部に多重並
列状に巻付けられ、動滑車１４ａ，定滑車１５ａ，ダン
サローラ１６ａおよび中間ローラ１７ａを介して後列の
回収側リール６に巻取られている。

【００２２】該多溝ローラ７群へのワイヤ１，２の巻付
け方式は、図９（ａ）に示すように、各多溝ローラ７の
前半部７ａに第１ワイヤ１を巻付けるＶ溝群Ｖ１が形成
され、後半部７ｂに第２ワイヤ２を巻付けるＶ溝群Ｖ２
が形成され、両ワイヤ１，２が等ピッチで多重並列状に
巻付けられるようになっている。このワイヤ１，２の巻
付け方式に対応して、図１０（ａ）に供給側リール３，
４のワイヤ巻付け状態が示されている。

【００２３】一方、上記多溝ローラ７群を移動するワイ
ヤ部分１ａ，２ａの直下には、図１に示すように、ワー
クＷの取付テーブル３２が昇降動するように配置され、
各ワイヤ１，２の供給側と回収側は、上記ダンサローラ
１１，１１ａ；１６，１６ａにそれぞれ吊下げたウエイ
ト１８，１８ａ；１９，１９ａによって一定の張力が付
加されている。なお、ワイヤ１，２の定張力付加はウエ
イトに代えて電気式滑りクラッチを使用してもよい。

【００２４】つぎに、ワイヤ駆動機構について説明する
と、上記両ワイヤ１，２の供給側に位置する動滑車式倍
速機構３０は、図２に示すように、定位置に水平状態で
複数本を並列配置した上軸３３の両端部に、ワイヤ用の
定滑車１２，１２ａとエンドレスベルト用の定滑車１２
ｂを取付け、この定滑車１２，１２ａ，１２ｂ群の下部
で、上下動自在となるように配置したスライドキャリッ
ジ３７に複数本の下軸３４を水平に取付け、各軸３４の
両端部に、ワイヤ用の動滑車１３，１３ａとエンドレス
ベルト用の動滑車１３ｂが取付けられている。

【００２５】他方、各ワイヤ１，２の回収側に位置する
動滑車式倍速機構３１も上記倍速機構３０と同様の構造
であり、複数本の上軸３５の両端部にワイヤ用の定滑車
１５，１５ａとエンドレスベルト用の定滑車１５ｂが取
付けられ、定滑車１５，１５ａ，１５ｂ群の下部で上下
動自在となるように配置したスライドキャリッジ３８の
下軸３６にワイヤ用の動滑車１４，１４ａとエンドレス
ベルト用の動滑車１４ｂが取付けられている。

【００２６】上記両動滑車倍速機構３０，３１は両ワイ
ヤ１，２の供給側と回収側の各々に平衡して釣合うよう
に配置され、各倍速機構３０，３１には、エンドレスベ
ルト４０が両ワイヤ１，２の動作に同期して同一軌跡で
且つ平行に駆動するように、最後列の定滑車１２ｂ，１
５ｂと動滑車１３ｂ，１４ｂに順次掛け渡されている。

【００２７】上記エンドレスベルト４０は、例えばワイ
ヤベルト、プラスチック製ベルト又は複合材製ベルトを
単独もしくは複数併用して使用することができ、これら
のベルトは必要とする長さのものが手軽にしかも安価に
入手できると共に、定滑車１２ｂ，１５ｂ及び動滑車１
３ｂ，１４ｂ等に用いる滑車輪は単純な構造であるため
安価であり、しかもベルトは高速回転走行時に騒音や振
動の発生が少なく、滑車輪の直径を小さくしても回転ム
ラが生じないという利点があり、同期駆動しているワイ
ヤ１，２に張力変動を与えて断線事故を誘発するという
ようなことがなくなる。

【００２８】上記動滑車式倍速機構３０，３１の各スラ
イドキャリッジ３７，３８は、図１に示すように、上部
定滑車２１，２１に掛け渡した上部連結用ロープ２３
と、下部定滑車２２，２２に掛け渡した下部連結用ロー
プ２４とで、一定の張力を加えてエンドレスに連結し、
両スライドキャリッジ３７，３８が相反する上下方向の
直線往復運動をするようにし、両ワイヤ１，２の供給側
と回収側で交互に発生する緊張と弛緩を吸収し得るよう
に構成されている。

【００２９】なお、スライドキャリッジ３７の上下動範
囲内に、上限検出スイッチＳ１と下限検出スイッチＳ２
を配置し、駆動モータ３９の正転と逆転の切換制御を行
うようになっている。

【００３０】さらに、上記両動滑車式倍速機構３０，３
１の中間位置には、多溝ローラ７群を取付ける回動部材
４１が配置されている。この回動部材４１は、図４に示
すように水平の中心軸４２を中心に回動自在に支持さ
れ、この中心軸４２の歯車４３は多溝ローラ７の各水平
軸４４，４５（他の１本は図示せず）の各歯車４６，４
７に噛み合い、上記中心軸４２には多溝ローラ７，７，
７を正逆回転するローラ駆動用モータ３９が直結されて
いる。従って、このモータ３９によって多溝ローラ７群
が正逆回転し、このローラ群に巻付けられたワイヤ１，
２に往復走行運動が与えられるようになっている。

【００３１】上記回動部材４１は、図３に示すように、
外周面に設けたウォームホイル４８に正逆駆動用モータ
４９のウォーム５０が噛合し、所定角度の往復運動が与
えられ、多溝ローラ７群間を移動するワイヤ部分１ａ，
２ａは回動部材４１の中心軸４２を中心に揺動し、ワー
クＷを揺動円孤運動で切断することになる。

【００３２】なお、上記回動部材４１の正逆駆動機構は
図１に示すプーリ５１とベルト５２を用いて正逆駆動用
モータ５３で駆動してもよく、いずれの場合も回動部材
４１は正逆駆動用モータ５３（４９）によって揺動させ
ることができる。

【００３３】また、図３に示すように、回動部材４１の
直上にワインダー用ローラ５３と、このローラ５３を軸
方向に移動させるワインダー用ローラ移動制御軸５４と
を設け、図４の実線から二点鎖線で示すように、ワイン
ダー用ローラ５３，５３を介して引出した両ワイヤ１，
２を多溝ローラ７群の外周に臨ませ、回動部材４１の連
続回転と、ワインダー用ローラ移動制御軸５４の矢印方
向Ｐへの移動により多溝ローラ７群のＶ溝群Ｖ１，Ｖ２
に両ワイヤ１，２を同時に巻付けることができ、従来別
の場所で巻付け作業を行なっていたのが、セッティング
位置で巻付けできるようになり、巻付作業の自動化と加
工前の準備作業の時間短縮を図ることができる。なお、
図４では図面の理解を容易にするために、ワインダー用
ローラ５３とその制御軸５４を多溝ローラ７群と並列に
図示してある。

【００３４】一方、図２に示すエンドレスベルト４０の
上部走行部分は、ワイヤ供給、回収用モータ４５のプー
リ５５に掛け渡され、このモータ４５は図１のように、
エンドレスのリール駆動用チェン５８を介してワイヤ供
給用リール３，４とワイヤ回収用リール５，６を回動駆
動させるようになっており、このモータ４５の一方向回
転と前述のワイヤ往復運動用モター３９の正逆回転によ
り両ワイヤ１，２は供給側から回収側へ往復差動運動し
ながら徐々に移動させられることになる。

【００３５】なお、供給側及び回収側リール３，４；
５，６の駆動は別モータで単独駆動してもよい。

【００３６】この発明のワイヤ供給方式が採用されたワ
イヤソーは上記のような構成であり、図２に示すよう
に、モータ４５によるエンドレスベルト４０の回動とワ
イヤ供給側リール３，４及び回収側リール５，６の回動
とによって、２本のワイヤ１，２を供給側から回収側に
連続的に移動させると同時に、多溝ローラ７群を駆動モ
ータ３９で正逆回転駆動させて両ワイヤ１，２にそれぞ
れ往復差動運動を与え、さらに上記駆動モータ３９のプ
ーリ３９ａに巻掛けたエンドレスベルト４０に両ワイヤ
１，２と同期且つ同軌跡同期運動を与え、多溝ローラ７
群を移動するワイヤ部分１ａ，２ａにワークＷ（図１）
を押し当てて、双方の接触部分に砥粒とラッピングオイ
ルの混合液を供給する。

【００３７】ワークＷの切断時にモータ５３（又は図３
のモータ４９）で回動部材４１を往復回動させ、図３に
示すように、多溝ローラ７，７間のワイヤ部分１ａ，２
ａを揺動させながら切断を行なう。これにより、図５に
示すように、揺動円孤切断によってワイヤ部分１ａ，２
ａとワークＷの接触面は点接触に近くなり、接触部分に
集中荷重を加えることができると共に、ワイヤ１，２の
許容付加張力を最大限に有効利用できる。５９は砥粒、
切粉である。

【００３８】しかも、上記ワイヤ部分１ａ，２ａは揺動
と往復差動の複合運動であるから、図５および図６に示
すように、ワークＷとの接触部分における砥粒、切粉５
９の侵入、排出が積極的に行なわれ、ワークＷのスライ
ス幅ｔが均一に近くなる。

【００３９】さらに、ワイヤ部分１ａ，２ａの揺動円弧
運動は、砥粒、切粉５９の積極的侵入、排出およびワイ
ヤに剛性を与えるための付加張力有効利用がもたらす影
響は非常に大きく、切断加工速度を速め、切断面加工精
度を高めるのに重要不可欠の要素である。

【００４０】また、ワイヤ部分１ａ，２ａの揺動円弧運
動は、スライス直後の加工物側壁面のラッピングをも合
理的かつ同時に進行させることが可能となり、これによ
り、加工精度を一段と向上させ、その結果、次工程の短
縮復は省略を図ることができる。

【００４１】これに対して、図７に示すように、ワイヤ
部分１ａ，２ａに揺動を与えないでワークＷを切断する
と、ワークＷに対するワイヤ部分１ａ，２ａの接触面は
線接触になり、接触面への砥粒５９とラッピングオイル
の混合液の供給と切粉の逃げが悪く、しかもワイヤ部分
１ａ，２ａに対する抵抗が多くなり、切断効果が低くな
るのは避けられない。

【００４２】また、往復差動運動のワイヤ供給速度を高
速にすると往路と復路の仕事量バランスが偏り、図８に
示す如く、ワイヤ部分１ａ，２ａが一方向走行に近くな
るような加工方法では、砥粒引込量の多いワイヤ入口側
のラッピング効率が高いため、加工物のスライス幅ｔ’
が不均一なテーパ状断面となり、加工精度の低下を招
く。

【００４３】一方、上記ワイヤ１，２は往復差動運動時
において供給側と回収側に緊張と弛緩が交互に発生する
が、図２に示すエンドレスベルト４０はワイヤ１，２と
平行に、同軌跡、同期運動することにより、両側の動滑
車式倍速機構３０，３１は、ワイヤ１，２の緊張が生じ
た側のスライドキャリッジ３７又は３８が上昇し、弛緩
が生じた側のスライドキャリッジ３８又は３７は下降
し、このような両スライドキャリッジ３７，３８の上下
交互に発生する直線往復運動により、ワイヤ１，２の供
給側と回収側に発生する交互の緊張と弛緩を吸収するこ
とになる。

【００４４】その結果、この発明に係るワイヤ供給方式
によれば、以下の利点得られる。

【００４５】スライス原材料の大口径化と、同時大量
スライス加工、及びワイヤ摩耗影響の少ない超精密スラ
イス加工等の市場において、その要求を満足させるに
は、従来の「単数ワイヤ供給方式」では、スライス仕事
量増加と、ワイヤ摩耗制限により、ワイヤ供給速度の関
数的高速化を余儀なくされるが、この発明に係る「複数
ワイヤ供給方式」では、多溝ローラ７，７間を往復走行
する２本のワイヤ１，２を徐々に供給側から回収側へ移
動させる往復差動運動とすることにより、複数ワイヤ
分、スライス仕事量の分散化によるワイヤ供給速度の低
速化が可能となり、ワイヤ往路と、復路の仕事量バラン
スが保持され、「往復走行方式のワイヤソー」の長所で
あるワイヤの入口側と出口側のラッピングが、理想的に
交互に平均的に入れ替わることにより、砥粒の引込み量
が両側とも均等になり、ラッピング効率も平均化する。
従って、従来では図８の如く、加工溝幅ｔ’がテーパー
状スライス断面となるのに比べ、この発明による方法で
は、図６の如く加工溝幅ｔのワイヤ入口側と出口側が、
それぞれ均等にラッピングされ、スライス断面加工精度
の向上を図ることができる。

【００４６】図９（ａ）に示す樹脂製多溝ローラ７の
Ｖ溝群Ｖ１，Ｖ２の加工は、大量スライス加工化に伴
い、そのＶ溝加工幅も増加するが、各Ｖ溝群Ｖ１，Ｖ２
ごとにワイヤ１，２を供給するので、短尺のチェザーバ
イトを用いて「ブロック別の分割溝入加工」することが
可能となる。従って、チェザーバイトの製作も容易で、
安価となると共に溝入加工機である旋盤等の工作機械の
切削負荷抵抗も少なく、加工が容易なため汎用機での溝
入加工が可能となる。

【００４７】一般に、樹脂製多溝ローラ７のＶ溝加工
用チェザーバイトは、スライス加工中におけるワイヤの
摩耗を見込んで、Ｖ溝切刃部全長にわたってＶ溝ピッチ
を補正して製作してある。

【００４８】つまり、図９（ａ）の１本のワイヤを巻付
ける多溝ローラのＶ溝群Ｖ１またはＶ２の巻付開始位置
と巻付終端位置とでは、ワイヤの摩耗を予め見込んで、
その溝ピッチが漸次小さく設定している。この考案に係
るワイヤ供給方式では、２本のワイヤ１，２ごとに別個
のＶ溝群Ｖ１，Ｖ２を形成しているので、各Ｖ溝群ごと
に独立して短尺チェザーバイトによる溝入加工が可能と
なる。従って、他機種に使用した同一スライス加工条件
の既存の短尺チェザーバイトを用いることができるの
で、長尺のチェザーバイトを作製する必要がない。

【００４９】ところで、上記短尺チェザーバイトによ
る多溝ローラの「Ｖ溝群別分割溝入加工」を行なうと、
分割部ごとに多溝ローラのＶ溝基準ピッチサークルに加
工誤差が生じ易いが、この考案では、複数のワイヤをＶ
溝群Ｖ１，Ｖ２ごとに分割巻付しているので、加工誤差
による影響もなく、巻付けたワイヤの張力変動を来すこ
ともないため、スライス加工精度と加工時間及び多溝ロ
ーラ寿命を従来以上に向上させた同時大量スライス加工
が可能である。

【００５０】しかも、加工物（ワーク）の大口径化
と、同時大量スライス加工による仕事量の増加は、即
ち、供給ワイヤ消費量の増加を意味し、供給及び回収ワ
イヤ貯線量の大容量化を余儀なくされるが、複数のワイ
ヤを供給することにより、図１０（ａ）の「ワイヤリー
ル個別巻付」の如く、複数のワイヤリールに分散して巻
付けることができるため、貯線ワイヤリールの軽量化を
図ることが可能となり、間接的作業であるワイヤリール
の搬送及び機械本体への取付作業等も容易で、特別な機
械的搬送、取付手段が不要である。

【００５１】さらに、スライス加工中、予期せず断線
事故が発生しても、複数のワイヤをＶ溝群Ｖ１，Ｖ２別
に分割巻付すると、断線による加工不良のスライス加工
物全域への波及を防止し、断線したブロックの加工不良
だけに留めることが可能で、高価な加工物の加工不良の
分散化を図ることができる。

【００５２】上記実施例では、ワイヤの数を２本とした
けれども、３本以上であってもよい。この場合、ワイヤ
リール数と多溝ローラ７のＶ溝群の数をワイヤ数分に合
せて増やせばよい。

【００５３】また、上記実施例では、ワイヤを図９
（ａ）に示すように多溝ローラへの分割巻付及び図１０
（ａ）に示すワイヤリールへの個別巻付方式を採用した
けれども、図９（ｂ）の如く並列巻付、図９（ｃ）の如
く分割並列巻付としてもよく、さらに図１０（ｂ）の如
く多重巻付、図１０（ｃ）の如く個別多重巻付方式を採
用してもよい。但し、図９（ｂ）の並列巻付方式では短
尺チェザーバイトによる溝入加工はできない点におい
て、図９（ａ）及び（ｃ）の各巻付方式と比べて不利で
ある。

【００５４】なお、この発明に係るワイヤ供給方式は、
「ワイヤを往復差動運動させるワイヤソー」に用いられ
るだけでなく、「一方向走行式のワイヤソー」にも広く
用いることが可能である。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ワークの大型化により仕事量が増加しても、ワイヤ
を高速供給する必要がないので、ワイヤを往復差動運動
させる場合に、ワイヤの往路と復路の仕事量バランスが
良くなり、加工精度が向上する。また、多溝ローラのＶ
溝群を各ワイヤに対応して設けたので、各Ｖ溝群を短尺
チェザーバイトで別々に切削加工でき、旋盤等の工作機
械の負荷抵抗が小さくなり、汎用機での溝入加工が可能
であると共に、仮りに隣接するＶ溝群間の溝ピッチサー
クルに加工上の段差が生じても、各Ｖ溝群にはワイヤが
別々に巻き付けられるので、従来の如くワイヤの破断や
横揺れを生じない。さらに、貯線ワイヤリールの軽量化
を図ることができると共に、ワイヤ切断によるワーク不
良の分散化を極力抑えることができる等の効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るワイヤ供給方式を採用したワイ
ヤソーの正面図。

【図２】図１のワイヤソーの斜視図。

【図３】ワイヤの揺動往復運動を示す回動部材付近の正
面図。

【図４】多溝ローラの駆動機構を示す平面断面図。

【図５】揺動円弧運動をするワイヤによるワーク切断状
態を示す縦断面図。

【図６】往復走行運動をするワイヤによるワーク切断状
態を示す平面断面図。

【図７】水平直線運動をするワイヤによるワーク切断状
態を示す縦断面図。

【図８】一方向走行運動をするワイヤによるワーク切断
状態を示す平面断面図。

【図９】多溝ローラへのワイヤ巻付状態を示し、（ａ）
は分割巻付方式、（ｂ）は並列巻付方法、（ｃ）は分割
並列巻付方式を示す図。

【図１０】ワイヤリールへのワイヤ巻付状態を示し、
（ａ）は個別巻付方式、（ｂ）は多重巻付方式、（ｃ）
は個別多重巻付方式を示す図。

【図１１】従来のワイヤ供給方式を採用したワイヤソー
の斜視図。

【符号の説明】

１，２ ワイヤ ３，４ 供給側リール ５，６ 回収側リール ７ 多溝ローラ ４１ 回動部材 Ｖ１，Ｖ２ Ｖ溝群 Ｗ ワーク

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の多溝ローラの外側にワイヤを多重
   並列状に巻付け、該多溝ローラ群を一方向または正逆方
   向に回転させることによりワイヤを供給側から多溝ロー
   ラ群を経て回収側へ移動させ、該多溝ローラ間を移動す
   るワイヤ部分でワークを切断するようにしたワイヤの供
   給方法において、少なくとも２本以上のワイヤと、１本
   のワイヤを多重並列状に巻付けるＶ溝群が上記ワイヤ数
   に応じて複数組設けられた多溝ローラとを準備し、上記
   ２本以上のワイヤを上記複数組のＶ溝群に個別に巻き付
   け回収側に導くようにしたことを特徴とするワイヤソー
   のワイヤ供給方法。
2. 【請求項２】 ２本以上のワイヤを同時に供給すること
   により、該２本以上のワイヤが１つのワークを同時に切
   断するようにしたことを特徴とする請求項１記載のワイ
   ヤの供給方法。
3. 【請求項３】 複数の多溝ローラと、該複数の多溝ロー
   ラの外側に多重並列状に巻付けられたワイヤと、該多溝
   ローラ群を一方向または正逆方向に回転させてワイヤを
   供給側から多溝ローラ群を経て回収側へ移動させる機構
   とからなり、該多溝ローラ間を移動するワイヤがワーク
   を切断するようにしたワイヤソーにおいて、多溝ローラ
   に１本のワイヤを多重並列状に巻付けるＶ溝群が複数組
   設けられ、２本以上のワイヤを上記複数組のＶ溝群に個
   別に巻き付けたことを特徴とするワイヤソー。