JPH0411329B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、細線ワイヤーを用いて硬脆材料に切
断加工を施す振動マルチワイヤー式切断装置に関
する。 従来より、半導体材料、ガラス材料、セラミツ
ク等の硬脆材料に細線ワイヤーを用いて多数列の
溝入れや切断等の切断加工を施す技術は知られて
おり、そのための機械装置としていわゆるマルチ
ワイヤーソーがある。 上記マルチワイヤーソーは、一般に複数個の多
溝滑車に細線ワイヤーを一連に多数回張架巻回し
て、これらワイヤーの多数本並列して延びる下側
水平部分を被加工物に押圧接触させ、この接触部
に砥粒懸濁液を供給しながら、前記細線ワイヤー
を走行せしめることにより、被加工物に多数列の
溝入れや切断等の切断加工を施す構成のものであ
り、細線ワイヤーを使用するため切断しろが少な
く、歩留りが向上し、また他方式の機械的切断加
工に比べて変質層の発生がはるかに少ないという
利点をもつている。 しかしながら、上記のようなマルチワイヤーソ
ーは、一定の緊張状態の細線ワイヤーを被加工物
に押圧接触させながら走行させ、該押圧接触部位
に砥粒懸濁液を供給して細線ワイヤー、砥粒およ
び被加工物間のラツピング作用により切断を行な
う方式であるため、細線ワイヤーの断線を招き易
い面があり、切断加工途中で断線を生じた場合に
は切断加工精度の低下を来たすばかりでなく、ワ
イヤーの再度の巻回張架という相当時間と手間を
要する作業をしなければならず、切断加工の生産
性を著しく低下するという問題があつた。 そこで、上記の如きワイヤーの断線を防止する
目的に従つて、例えばワイヤーの走行を比較的低
速度に抑えるとともに、ワイヤー又は被加工物に
振動を与えて砥粒が切断面に入り易くする等の提
案もなされているが、ワイヤーの走行速度や振動
の振幅・振動数が加工能率、ワイヤー断線、切断
精度と如何なる相関があるのか未だ解明されてお
らず所期の効果が得られていないため、上記振動
付与の技術は実用機として満足すべき域に達して
いないのが現状であり、更に改善すべき点のある
ことが指摘されている。 ところで、前記したマルチワイヤーソーに関し
本発明者等がその生産性や切断加工精度の向上に
併せてワイヤー断線の防止を目途に様々な研究お
よび実験を重ねたところによると、一般に細線ワ
イヤーを被加工物に押圧接触させる押圧力を大き
くすれば切断加工能率（単位時間当りの切削量）
はあるが、余り大きくしてもかえつてワイヤー断
線の危険性が増大するので、加工能率を向上し、
かつワイヤー断線を防止するため、例えばワイヤ
ー径0.2mmの市販品を用いワイヤー走行速度を毎
分当り80〜120ｍとした場合、ワイヤー張力を２
Kg程度に保ち、上記押圧力をワイヤー１本当り40
〜70ｇ程度に抑える必要があり、この場合多溝滑
車に巻回張架した細線ワイヤーに特定方向の振動
を付与すれば加工能率の一層の向上が図れること
を知見するに至つた。 上記振動付与について、更に詳細に検討したと
ころによると、被加工物とワイヤーの接触面に砥
粒懸濁液を供給しながら切断を行なう場合、ワイ
ヤーと被加工物切断面とが部分的ないし全面的に
離間接触を繰返えすとき始めて加工能率が著しく
向上するという事実が明らかとなつたのである。 また、前記複数個の多溝滑車に巻回張架される
細線ワイヤーは、被加工物に対する押圧接触部位
においては毎分80〜120ｍ程度の走行速度を保持
しなければならないが、ワイヤー断線を生じ易い
ワイヤー摩耗限度に達する以前に使用済みワイヤ
ーとして切断加工部位から送り出さなければなら
ず、したがつてワイヤー断線を生ずることなく所
期の加工能率を得るためには新線ワイヤーを例え
ば毎分０〜４ｍ程逐次切断加工部位へ供給する一
方で使用済みワイヤーを同量切断加工部位から送
り出しつつワイヤー張力を一定に保持して途中の
切断加工部位では毎分80〜120ｍの速度で走行せ
しめなければならないという技術的課題であるこ
とが判明した。 本発明は、以上に述べた知見に基づき、硬脆材
料を対象としたマルチワイヤーソーによる切断加
工特に硬脆材料のうち、例えばG.G.G.等を切り
出す切断加工において、この種の従来技術に比べ
て生産性・加工能率のはるかに優れた切断装置を
提供することを目的とする。 また、本発明の他の目的は、加工能率の向上と
併せて、ワイヤー断線の虞れを極力低減させる切
断装置を提供することにある。 而して上記目的を達成するため、本装置発明の
要旨とするところは、矩形の各頂点位置に配置さ
れた４個の多溝滑車に細線ワイヤーを一連に多数
回巻回して該ワイヤーの多数本並列して延びる下
側水平部分を硬脆材料からなる被加工物に押圧接
触させ、該接触部位に砥粒懸濁液を供給しながら
前記ワイヤーを走行せしめることにより被加工物
に切断加工を施すようにしてなる切断加工手段
と、上記接触部位に関し逐次新線ワイヤーの供給
と使用済みワイヤーの送出とを行なうためのワイ
ヤー繰出しおよび巻取り手段と、該接触部位にお
けるワイヤーを周期的に往復走行せしめるための
ワイヤー走行制御手段とを備えたマルチワイヤー
式切断装置において、上記被加工物の両側におけ
る上下一対の多溝滑車を一組としてそれぞれ弾性
板を介して固定支持ブロツクにより支持せしめ、
前記細線ワイヤーの下側水平部分の被加工物に対
する押圧接触時に発生する該ワイヤーのたわみ量
以上の振幅をもつ低周波上下振動を付与するため
の加振機を上記多溝滑車組ごとに設けたことを特
徴とするマルチワイヤー式振動切断装置にある。 以下添付の図面を参照して本発明の実施例につ
き詳細に説明するが、本発明の実施装置において
は、被加工物とその支持台等の合計重量が大であ
ることから加振機の負荷を軽減させる上でワイヤ
ー側に低周波振動を与えるようにすることが好ま
しく、またワイヤー側に低周波振動を与える場
合、被加工物に対して押圧接触するワイヤーを支
持している両側の多溝滑車組の各組ごとに各独立
した加振機を付設してワイヤーの下側水平部分に
上下の低周波振動を与えることが装置全体のレイ
アウト上好ましい。なお前記両側の滑車組に与え
る振動は位相を同期させる場合のほか位相をずら
せてワイヤーに波動状の動きを与えるようにする
ことも可能である。 第１図は、本発明による振動マルチワイヤー式
切断装置の一実施例についてその全体構成を示す
側面図で基台１上には機枠２が構築されていてこ
れら基台１および機枠２には、モータM₁により
駆動されて新線ワイヤーＷを繰出す新線ボビン３
およびモータM₂により駆動されて使用済みワイ
ヤーＷを巻取る巻取りボビン４が配設されてお
り、これらは後記する切断加工手段Ａにおけるワ
イヤーと被加工物との接触部位に対し逐次新線ワ
イヤーの供給と使用済みワイヤーの送り出しとを
行なうためのワイヤー繰出しおよび巻取り部Ｂを
構成している。モータM₁は速度制御モータで新
線ボビン３から例えば毎分０〜４ｍの速度で新線
ワイヤーＷを切断加工手段Ａに対して繰出すこと
ができ、またモータM₂はトルクモータで切断加
工手段Ａからの使用済みワイヤーＷを一定トルク
下で巻取りボビン４に巻取ることができるので、
新線ボビン３に巻かれているワイヤーの全量が概
ね消費されるまでに被加工物の切断加工が完了す
るように考慮されている。 前記切断加工手段Ａはワイヤー走行制御手段Ｃ
とともに第２図、第３図を参照して後記の如く詳
細に説明されらるが、概要説明すれば切断加工手
段Ａは次のとおりである。すなわち、切断加工手
段Ａは、基本的には矩形の各頂点位置にそれぞれ
配置された４箇の多溝滑車５₁，５₂，５₃および
５₄を備えており、これらの多溝滑車は新線ボビ
ン３から繰出されて巻取りボビン４に至るように
一連の細線ワイヤーＷが多数回巻回張架され、こ
れらワイヤーの多数本並列して延びる下側水平部
分が硬脆材料からなる被加工物に対する切断加工
部を構成している。 上記の下側水平部分は、更にその下方に位置す
る加工台６上の被加工物７に対向する位置にあ
り、前記４箇の多溝滑車５₁ないし５₄に多数回巻
回されて互いに並列する多数本のワイヤー相互の
間隔は多溝滑車の溝間隔に相当し、切断加工され
るべき被加工物の厚みを規定している。 また、上記４箇の多溝滑車は第１図の左側に位
置する上下２個の滑車組５₁，５₃と、右側に位置
する上下２個の滑車組５₂，５₄とがそれぞれ側板
８₁，８₁および８₂，８₂によつて各滑車組毎に支
持されるとともに、これら各組の側板８₁，８₁お
よび８₂，８₂が各々上下２枚の板ばね９₁，９₁お
よび９₂，９₂を介して支持ブロツク１０₁および
１０₂にそれぞれ弾性的に支持されることにより
上下方向の若干の移動自由度をもつようになされ
ている。 なお、切断加工手段Ａにおける上記支持ブロツ
ク１０₂は枠フレーム２に固定されているが、他
方の支持ブロツク１０₁は枠フレーム２内で水平
に架設されたガイド軸１１上に軸方向に移動調整
できるようになされており、これにより種々の大
きさの被加工物に対応して切断加工部位における
ワイヤーの張架長さを調整することができる。 図中、１２₁，１２₂はそれぞれ前記多溝滑車組
５₁，５₃および５₂，５₄に対する加振機であり、
これらは前記多溝滑車を支持する左右各組の側板
８₁，８₁および８₂，８₂に対して各別に図の上下
方向の低周波振動（例えば数＋Hz〜百数＋Hz）を
与えるように加振軸の上端が前記側板８₁，８₁お
よび８₂，８₂に剛体的に連結されている。 また、前記加工台６は、被加工物の切断加工の
進行に伴つて被加工物７を微小速度で上方に押し
上げ移動できる構を備えており本発明実施例装置
における同機構は加工台６をケーブル１３により
滑車を介して重錘１４に連結させ、この重錘１４
の重量を適宜に調節することで加工台６を上方に
引き上げ切断加工部位におけるワイヤーＷを被加
工物７に対し所定の押圧力（例えばワイヤー１本
当り40〜70ｇ）をもつて接触させるように構成
されている。 更に、被加工物７の切断加工面には、砥粒を懸
濁した液（以下工作液ともいう）をその供給装置
１５からノズル１６を介して切断加工中連続的に
供給するようになされている。１７は前記工作液
の回収槽、１８は同工作液の回収管、３１は同工
作液の回収枠である。 次ぎに、被加工物に対する接触部位におけるワ
イヤーを周期的に往復走行せしめるワイヤー走行
制御手段Ｃについて以下詳細に説明する。該走行
制御手段Ｃは第２図および第３図に示すように、
間隔をおいて上下に配設された第１の固定滑車群
１９および第２の固定滑車群２０とこれらの固定
滑車群１９，２０の間で往復動自在に配設された
スライダー２１と該スライダー２１に装着された
第１の動滑車群２２および第２の動滑車群２３
と、スライダー２１およびこれに装着された第
１、第２の動滑車群の重量と均衡するバランスウ
エイト２４と、スライダー２１の往復動端に配設
された該スライダーとの係合により後記するワイ
ヤー往復駆動モータM₃の正逆回転駆動の切換え
を行なうための一対のリミツトスイツチ２５₁，
２５₂とからなる。 上記ワイヤー走行制御装置Ｃは、上下方向に延
びるガイドバー２６上を移動できるスライダー２
１の上方に装着された第１の動滑車群２２と前記
上方の第１の固定滑車群１９との間に多数回掛け
回したワイヤーの架設長さl₁と、同じくスライダ
ー２１の下方に装着された第２の動滑車群２３と
前記下方の第２の固定滑車群２０との間に多数回
掛け回したワイヤーの架設長さl₂との合計長さl₁
＋l₂を常に一定に保ちながら、スライダー２１の
上動時にはl₁を減小、l₂を増大させ、これは反対
にスライダー２１の下動時にはl₁を増大、l₂を減
小させることができる構成をとり、これによつて
新線ボビン３から巻取りボビン４に至る一連の細
線ワイヤーＷの全長を一定に維持しながら切断加
工手段Ａの切断加工部位においてワイヤーＷを所
定の速度で周期的に往復走行させることができ
る。なお、ワイヤー走行制御手段Ｃに含まれるス
ライダー２１および第１、第２の動滑車群２２，
２３等の可動部分の重量はケーブル２７により滑
車を介して連結したバランスウエイト２４の重量
と均衡させてあるのでワイヤー走行駆動モータ
M₃にかかる負荷は軽減されワイヤーＷの円滑な
往復走行の切換えが可能となる。 ワイヤー走行駆動モータM₃の正逆回転駆動の
切換えのために、ガイドバー２６上の上および下
側の所定位置に前記一対のリミツトスイツチ２５
_１，２５₂が配置され、スライダー２１が上動して
上側リミツトスイツチ２５₁に当接したときおよ
び下動して下側リミツトスイツチ２５₂に当接し
たときにそれぞれが電気的にワイヤー走行駆動モ
ータM₃の回転方向を反転させ駆動滑車２８を介
してワイヤーＷを周期的に往復走行せしめるよう
に構成されている。 なお前記した第１、第２の各固定滑車群１９，
２０および第１、２の各動滑車群２２，２３は具
体的にはワイヤーＷの一つの掛け回しごとに一つ
の動滑車が対応し、これら多数個の動滑車が同軸
上に各独立して回転自在に支持されて滑車群を構
成しているものである。 以上説明したマルチワイヤーソーを構成する切
断加工手段Ａ、ワイヤー繰出しおよび巻取り手段
Ｂおよびワイヤー走行制御手段Ｃの全体について
ワイヤーＷの張架経路とその周期的な往復走行駆
動状態について説明すると、第２図において、ワ
イヤーＷは新線ボビン３から繰出されて、まずワ
イヤー走行制御手段Ｃの上方にある第１の固定滑
車群１９に至り該固定滑車群１９とスライダー２
１上の動滑車群２２との間で多数回掛け回わさ
れ、固定滑車群１９の最終滑車から枠フレーム２
に支持されている上下一対の中間固定滑車２８，
２９のうちの下側の滑車２９に導かれる。次いで
ワイヤーＷは、これらの中間固定滑車２８，２９
と切断加工手段Ａに含まる右側の多溝滑車５₂，
５₄との間で数回程度掛け回わされる。 第１図および第２図に示す実施例においては前
記上側の中間固定滑車２８はワイヤー走行駆動モ
ータM₃により正逆回転される駆動滑車とされて
いる。 前記の掛け回し後ワイヤーＷは更に切断加工手
段Ａを構成する４個の多溝滑車５₁，５₂，５₃，
５₄にわたつて必要な巻数だけ所定のピツチを保
持して巻回され、次いで再び右側の多溝滑車５₂，
５₄と中間固定滑車２８，２９の間で数回程度掛
け回わされた後ワイヤー走行制御機構Ｃの下側に
ある第２の固定滑車群２０へ導かれ、該第２の固
定滑車群２０とスライダー２１上の第２の動滑車
群２３との間で多数回掛け回わされる。この掛け
回わし数は前記した第１の固定滑車群１９と第１
の動滑車群２２との間の掛け回わし数と回数とさ
れる。しかる後第２の固定滑車群２０の最終滑車
からワイヤーＷを導出し、該ワイヤーＷの導出端
は巻取りボビン４に巻付けられワイヤーＷの張架
巻回作業は完了する。なお一般にはワイヤーＷの
張架巻回作業の完了後、切断加工手段Ａの切断加
工部位におけるワイヤー張力を所定の一定値とす
るために切断加工作業の開始に先立つて一定時間
のなじみ運転が必要である。 第３図に示す実施例装置においては第２図に示
す装置における中間固定滑車２８，２９を用いず
にワイヤー走行制御手段Ｃの第１の固定滑車群１
９から出たワイヤーＷを切断加工手段Ａの多溝滑
車５₂に直接導き、また切断加工手段Ａの多溝滑
車５₄から出たワイヤーＷをワイヤー走行制御手
段Ｃの第２の固定滑車群２０へ直接導くように
し、多溝滑車５₄をフレキシブルシヤフト３０を
介してワイヤー走行駆動モータM₃により回転駆
動するように構成している。このように中間固定
滑車２８，２９が省略される関係上第３図に示す
装置は第２図に示す装置に比べてコンパクト化さ
れる利点を有するが切断加工機能上両者は実質的
に同じである。 以上に説明した第２図および第３図に示す装置
において、ワイヤー走行駆動モータM₃により中
間固定滑車２８もしくは多溝滑車５₄を図示矢印
の時計回り方向に回転駆動させると、多溝滑車５
_１，５₂，５₃はいずれもワイヤーＷの左方向走行
に従動して時計回り方向に回転し、したがつてワ
イヤー走行制御手段Ｃにおける第１、２の固定滑
車群１９，２０および第１、２の動滑車群２２，
２３が追従回転せしめられ、スライダー２１は上
動する。すなわちワイヤーＷが切断加工部位にお
いて左方向に走行しながらワイヤー走行制御手段
Ｃの第１の固定滑車群１９と第１の動滑車群２２
間に巻回されている分のワイヤー長を第２の固定
滑車群２０と第２の動滑車群２３間に巻回されて
いる分のワイヤー長に移し換える動作が行なわれ
る。次いでスライダー２１が上側のリミツトスイ
ツチ２５₁に当接すると、ワイヤー走行駆動モー
タM₃の回転が反対方向に切換えられ、したがつ
て多溝滑車５₁，５₂，５₃，５₄はすべて反時計回
りに回転することになる。この場合切断加工部位
におけるワイヤーＷの走行方向は右向きとなり、
スライダー２１は下側のリミツトスイツチ２５₂
に当接するまで下動し、該当接の後は再びワイヤ
ー走行駆動モータM₃の回転方向切換えが行なわ
れる。 以上のようにして切断加工手段Ａの下側水平部
分をなす多数並列して延びるワイヤーＷは周期的
に往復走行するのであるが、この動作はワイヤー
走行制御手段Ｃにおけるスライダー２１の周期的
上下動により第１の固定滑車群１９および第１の
動滑車群２２間に巻回されている分のワイヤーと
第２の固定滑車群２０および第２の動滑車群２３
間に巻回されている分のワイヤーとが交互に移し
換えられるだけでワイヤー繰出しおよび巻取り手
段Ｂにおける新線ボビン３からの新線ワイヤーの
繰出しおよび巻取りボビン４への使用済みワイヤ
ーの巻取り動作とは無関係であり、かくして切断
加工部位において被加工物７の上面に接触する位
置にある多数本並列して延びるワイヤーを例えば
毎分80〜120ｍの速度でかつ１〜２秒の周期でも
つて往復走行させることができ、一方新線ボビン
３から毎分０〜４ｍの新線ワイヤーを繰出し、か
つこの繰出し長さに相当する使用済みワイヤーを
トルクモータM₂により駆動される巻取りボビン
４に巻取つて往復走行する切断加工部位における
ワイヤーを漸次新線ワイヤーに置き換えることが
できる。 被加工物７の切断加工部位におけるワイヤーは
切断加工の進行に伴つて摩耗するが、前記のよう
に漸次新線ワイヤーに置き換えられるので、断線
を生ずるような摩耗限度に達する前に使用済みワ
イヤーとして切断加工部位から送り出されること
になり、切断加工の途中での断線は完全に防止さ
れる。 さて、以上説明した実施例装置に係るマルチワ
イヤーソーの特徴は、２台の加振機１２₁，１２₂
を用いて、切断加工部位の左側の多溝滑車組５₁，
５₃と右側の多溝滑車組５₂，５₄を第１図中矢印
で示す上下方向（すなわち切断方向）に低周波振
動させ、しかもこの振動の条件として、加工台６
の押上げ機構により被加工物７をワイヤーＷに押
圧接触させたときに生ずる該ワイヤーＷのたわみ
量Δに対し、その振幅が大なる関係となるように
設定していることにある。 ここで、前記たわみ量Δは、左右の多溝滑車組
の間のワイヤーＷの張力、同じく張架長さ、被加
工物とワイヤーＷの接触長さ、および被加工物の
ワイヤーＷに対する押圧力の大きさ等の関係で定
まるものであり、ワイヤーＷの安全率を見込んだ
許容引張荷重ないし多溝滑車の耐久性を考慮した
条件のもとで、前記押圧力を大きくするとが加工
能率は有利であり、他方たわみ量を小さくするこ
とが加工精度上は有利となる。 一方、上記たわみ量Δを一定とした状態で多溝
滑車組５₁，５₃および多溝滑車組５₂，５₄に付与
する振動の効果を考察すると、ワイヤーＷは実質
的に左右の多溝滑車組の間で直線状態を維持した
まま上下動を繰り返すものとみることができ、し
たがつてその振動振幅が前記たわみ量Δを越えて
与えられた場合には、ワイヤーＷと被加工物の切
断切削面の間に離間状態を生じ、これによつて離
間部分には工作液の砥粒が容易に入り込み、無振
動時ないし小振幅の振動時に比べて加工能率が飛
躍的に向上することになる。 上記のことは、実験的に確認されており、第４
図は、後記表に示す条件の設定のもとに第１図に
示す装置を用いて、ガラス材料を被加工物とし、
ワイヤー１本当り66.7ｇの押圧力を負荷して前記
たわみ量Δが約0.5mm生じている場合において、
ワイヤーＷに付与する低周波振動の振幅を変化さ
せながら、加工能率（毎分当りの切削量）を測定
した結果を示すものであるが同図から明らかなよ
うに、たわみ量Δ（＝0.5mm）以下の振幅の振動を
与えても加工能率の向上が全くみられないのに対
し、このたわみ量Δを越えた振幅の振動を与えた
場合に、切断加工能率が飛躍的に増大することが
現われている。

【表】

【表】 なお第４図に示した結果は、第１図に示す装置
の２台の加振機１２₁，１２₂に関し、振動の位相
を一致さて同一周波数（67Hz）で振動させた場合
のものであるが、これにかえて上記の位相をずら
せワイヤーＷを波動状に振動させることができ
る。 上記振動は、ワイヤーＷと被加工物の間で切断
方向に相対的に与えられればよいものであるか
ら、加工台側に振動を付与するようにしてもよ
い。 以上詳述した如く、本発明のマルチワイヤー式
振動切断装置によれば、切断加工部位における走
行ワイヤーと被加工物のいずれか一方に切断方向
の低周波振動を付与し、該振動の振幅をワイヤー
の被加工物に対する押圧接触時に発生するたわみ
量以上に設定したことで、硬脆材料からなる被加
工物の切断加工に際し、加工能率を著しく向上さ
せることができ、切断加工部位において往復走行
するワイヤーは逐次新線ワイヤーに置き換えら
れ、断線を生じ易い摩耗限度に達する前に切断加
工部位から送り出されるので、切断加工中に新線
を生ずることなくこの種の従来のマルチワイヤー
ソーと比較してその生産性は極めて高いものであ
り、例えばG.G.G.等を切り出すのに用いてその
有用性には顕著なものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるマルチワイヤー式振動切
断装置の一例を示す装置全体構成の概略側面図、
第２図は第１図に示す装置におけるワイヤーの巻
回張架態様を説明する一実施態様図、第３図は第
２図とは異なるワイヤーの巻回張架態様を説明す
る一実施態様図、第４図は本発明実施例における
加工能率の変化特性を示すグラフ図である。 Ａ……切断加工手段、Ｂ……ワイヤー繰出しお
よび巻取り手段、Ｃ……ワイヤー走行制御手段、
１……基台、２……枠フレーム、３……新線ボビ
ン、４……巻取りボビン、５₁，５₂，５₃，５₄…
…多溝滑車、６……加工台、７……被加工物、８
_１，８₂……側板、９₁，９₂……板ばね、１０₁，１
０₂……支持ブロツク、１１……ガイド軸、１２
_１，１２₂……加振機、１３……ケーブル、１４…
…重錘、１５……工作液供給装置、１６……ノズ
ル、１７……工作液回収槽、１８……工作液回収
管、１９……第１の固定滑車群、２０……第２の
固定滑車群、２１……スライダー、２２……第１
の動滑車群、２３……第２の動滑車群、２４……
バランスウエイト、２５₁，２５₂……リミツトス
イツチ、２６……ガイドバー、２７……ケーブ
ル、２８……駆動用中間滑車、２９……中間滑
車、３０……フレキシブルシヤフト、３１……工
作液の回収枠。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 矩形の各頂点位置に配置された４個の多溝滑
   車に細線ワイヤーを一連に多数巻回して該ワイヤ
   ーの多数本並列して延びる下側水平部分を硬脆材
   料からなる被加工物に押圧接触させ、該接触部位
   に砥粒懸濁液を供給しながら前記ワイヤーを走行
   せしめることにより被加工物に切断加工を施すよ
   うにしてなる切断加工手段と、上記接触部位に関
   し逐次新線ワイヤーの供給と使用済みワイヤーの
   送出とを行なうためのワイヤー繰出しおよび巻取
   り手段と、該接触部位におけるワイヤーを周期的
   に往復走行せしめるためのワイヤー走行制御手段
   とを備えたマルチワイヤー式切断装置において、 上記被加工物の両側における上下一対の多溝滑
   車を一組としてそれぞれ弾性板を介して固定支持
   ブロツクにより支持せしめ、前記細線ワイヤーの
   下側水平部分の被加工物に対する押圧接触時に発
   生する該ワイヤーのたわみ量以上の振幅をもつ低
   周波上下振動を付与するための加振機を上記多溝
   滑車組ごとに設けたことを特徴とする振動マルチ
   ワイヤー式切断装置。 ２ 前記ワイヤー繰出しおよび巻取り手段はそれ
   ぞれモータにより駆動される新線ボビンおよび巻
   取りボビンからなる特許請求の範囲第１項に記載
   の振動マルチワイヤー式切断装置。 ３ 前記ワイヤー走行制御手段は、間隔をおいて
   上下に配設された第１および第２の固定滑車群
   と、これら両固定滑車群間において往復動自在に
   配設されたスライダーと、該スライダーに装着さ
   れた第１および第２の動滑車群と、前記スライダ
   ーおよび両動滑車群の重量と均衡するバランスウ
   エイトと、前記スライダーの往復動端に配設さ
   れ、該スライダーと係合によりワイヤー走行駆動
   モータの正逆回転駆動切り換えを行なうための一
   対のリミツトスイツチとからなる特許請求の範囲
   第１項に記載の振動マルチワイヤー式切断装置。