JPH0624689B2 - ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置 - Google Patents

ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置

Info

Publication number
JPH0624689B2
JPH0624689B2 JP61225860A JP22586086A JPH0624689B2 JP H0624689 B2 JPH0624689 B2 JP H0624689B2 JP 61225860 A JP61225860 A JP 61225860A JP 22586086 A JP22586086 A JP 22586086A JP H0624689 B2 JPH0624689 B2 JP H0624689B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
reel
rotated
shaft
processing section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP61225860A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6384868A (ja
Inventor
紀夫 工藤
秀樹 宮西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YASUNAGA ENJINIARINGU KK
Yasunaga Corp
Original Assignee
YASUNAGA ENJINIARINGU KK
Yasunaga Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YASUNAGA ENJINIARINGU KK, Yasunaga Corp filed Critical YASUNAGA ENJINIARINGU KK
Priority to JP61225860A priority Critical patent/JPH0624689B2/ja
Priority to DE8787114114T priority patent/DE3766579D1/de
Priority to EP19870114114 priority patent/EP0261695B1/en
Publication of JPS6384868A publication Critical patent/JPS6384868A/ja
Publication of JPH0624689B2 publication Critical patent/JPH0624689B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/0007Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
    • B23D57/0023Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires with a plurality of saw wires or saw wires having plural cutting zones
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はワイヤーソーに係り、殊にワイヤーソーの加工
部ロールへのワイヤー新線部分の供給、及び加工部ロー
ルからその正逆回転時に放出されるワイヤーの吸収を行
うためのワイヤー駆動並びに制御装置に係る。
(従来の技術) 一般に繰出リールから繰り出され、巻取リールに巻き取
られる一本のワイヤーがその途中において多数回巻き掛
けられワイヤー列を形成している複数本の相互に並列配
置された加工部ロールと、この加工部ロールを正逆回転
運動させ、それによってワイヤー列を往復直進運動させ
たときに、加工部ロールから繰出リール側及び巻取リー
ル側に交互に放出される一定量のワイヤーを吸収するシ
ーソー装置とを有するワイヤーソーは公知である。
ワイヤーソーの作動の際、上記の加工部ロールの正逆回
転運動とシーソー装置の揺動運動とを相互に同期させる
ために、従来、歯車等の機構的な手段が使用されてい
る。また、加工部ロールへワイヤーの新線部分を徐々に
送り込んでいくために、加工部ロールはその正逆回転の
うち、例えば正転方向への回転量が多くなされるが、こ
のような差動回転をもたらすためにも、ギヤボックス等
の機構的な手段が使用されている。
上記の機構的手段はその構成部材間で摩擦摺動する場合
が多く、摩耗するために、その保守点検を常時行う必要
がある。これを怠ると、加工部ロールの回転運動、シー
ソー装置の揺動運動に微妙な狂いが出て加工精度に影響
を及ぼすことになる。
また、加工部ロールはワイヤーとの間の摩擦のため次第
に摩耗し、加工精度が低下するので所定時間経過したら
その外径は再加工され小径化する結果、ワイヤー列の往
復直進運動のストロークが小さくなり、シーソー装置の
揺動運動との同期が狂ってくるため、シーソー装置の揺
動運動もそれに同期するよう運動量を変更させねばなら
ない。それにはシーソー装置駆動用の交換用歯車を予め
準備しておき、その都度、適用される加工部ロールに従
って歯車交換を行う必要がある。
(発明の目的) 本発明の目的は、上記のような機構的手段を必要とする
ことなく、加工部ロールの再加工による径の変化にも容
易に対処し得るようにすることである。
(発明の構成) 本発明によれば上記の目的は下記の特徴を有する装置に
よって達成される。即ち、繰出リールから繰り出され、
巻取リールに巻き取られる一本のワイヤーがその途中に
おいて多数回巻き掛けられワイヤー列を形成している複
数本の相互に並列配置された加工部ロールと、この加工
部ロールを正逆回転運動させ、それによってワイヤー列
を往復直進運動させたときに、加工部ロールから繰出リ
ール側及び巻取リール側に交互に放出される一定量のワ
イヤーを吸収するシーソー装置とを有するワイヤーソー
に於て、上記加工部ロールが第1のサーボモータにより
正逆回転運動され、また上記シーソー装置が繰出リール
側及び巻取リール側にそれぞれ軸定置プーリと、これに
対して接近し且つ遠去かる軸移動プーリとを有してい
て、ワイヤーはそれぞれの側で両プーリに掛け渡されて
おり、また軸移動プーリを交互に反対方向に相互に等距
離だけ移動させる第2のサーボモータが設けてあり、更
に、上記第1サーボモータを正逆差動回転させると共に
第2サーボモータを正逆回転させ、しかも両モータの作
動を同期制御する制御装置が設けてあることを特徴とす
るものである。
(実施例) 第1図は本発明の一実施例を適用したワイヤーソーの概
略図であって、図中1はワイヤー繰出リール、2はワイ
ヤー巻取リールである。繰出リール1から繰り出される
鋼線から成る一本のワイヤーSは、シーソー装置3を経
由して加工部ロール4に巻き掛けられ、次いでシーソー
装置3を経由して巻取リール2に巻き取られるようにな
されている。
加工部ロール4は、例えば図示のように、三角形の頂点
位置に配置された3個の平行な回転ロール401、402、40
3から成っており、ワイヤーSは各ロールを巡って順次
巻き掛けられ、ワイヤーの各巻回の間には所定の間隔が
均一にとられている。これによって水平位置にある二本
のロール402、403の間にワイヤー列が形成される。
加工部ロール4のうち、例えばロール401をモータ5に
より正逆回転させることにより、ワイヤー列は往復直進
運動せしめられ、このように運動せしめられるワイヤー
列に工作物Wが所定の力で押し当てられ、砥粒の存在下
に切断加工される。本実施例では上記モータ5として殊
にサーボモータを用いている。
シーソー装置3は上記の加工作業中に、加工部ロール4
と繰出リール1との間、及び加工部ロール4と巻取リー
ル2との間に交互に生じるワイヤーの緩みを吸収するも
のであって、本発明によればシーソー装置3は、繰出リ
ール側に軸定置プーリ301a及び軸移動プーリ301bを、巻
取リール側に軸定置プーリ302a及び軸移動プーリ302bを
有している。軸定置プーリ301a、302aは固定の軸301c、
302c上に多連の、例えば7連のプーリを回転可能に取り
付けたものであり、また軸移動プーリ301b及び302bは、
移動軸301d、302d上に6連のプーリを回転可能に取り付
けたものである。ワイヤーSは、図示のようにそれぞれ
繰出リール側及び巻取リール側において、軸定置プーリ
と軸移動プーリとの間に順次掛け渡されている。従っ
て、繰出リール側では、繰出リール1から引き出される
ワイヤーSは、プーリ301aと301bとの間を掛け渡された
後、加工部ロール4へ入り、一方巻取リール側では、加
工部ロール4からのワイヤーは、プーリ302aと302bとの
間を掛け渡された後、巻取リール2へ巻き取られる。
尚、図中、符号6は繰出リール1を制御された回転速度
でワイヤー繰出方向へ回転駆動するためのサーボモー
タ、符号7は巻取リール2を制御された回転速度でワイ
ヤー巻取方向へ回転駆動するためのサーボモータを示し
ている。また、符号8は繰出リール側のワイヤー張力付
勢・検出装置、符号9は巻取リール側のワイヤー張力付
勢・検出装置をそれぞれ示している。
上記のシーソー装置3において、移動軸301d及び302dは
それぞれラック部材301e及び302eに取り付けられてお
り、両ラック部材はピニオン31に噛合している。ピニオ
ン31は減速機32を介してサーボモータ33に連結されてい
る。ラック部材301e及び302eは、ピニオン31によって駆
動された際、それぞれ互に反対方向へ直進運動するよう
に支持されており、特にそれに支持された軸移動プーリ
を軸定置プーリの方向へ接近させ且つ逆の方向へ遠去け
るように適宜機枠等に支持されている。
第2図は加工部ロール4及びシーソー装置3の運動を同
期させながら制御するための制御装置を示しており、こ
の制御装置は同期制御回路10及びサーボドライバー11,
12を有している。同期制御回路10からの指令は、一方に
おいてサーボドライバー11を介してサーボモータ33へ、
他方においてサーボドライバー12を介してサーボモータ
5へ送られる。
同期制御回路10からシーソー装置用サーボモータ33へ与
えられる指令は以下のような考えのもとに作られる。即
ち、サーボモータ33の運動パターンを第3図に示すよう
なサイクルで行ない、常に1/2サイクル(t1,t2)にお
けるワイヤー移動量を同じにすべく制御を行なうもので
ある。第3図は2種類のサーボモータ運動パターン(従
って、軸移動プーリ301b,302bの上下運動パターン)の
カーブ(イ)、(イ′)を示しており、カーブ(イ)において、
aは上昇加速域、bは定速上昇域、cは上昇減速域、d
は下降加速域、eは定速下降域、fは下降減速域を示
し、a〜fで1サイクルであるが、カーブ(イ)の1/2サイ
クルにおけるワイヤー移動量はカーブ(イ′)の1/2サイ
クルにおけるワイヤー移動量と同じであるようになされ
る。これは、例えば、軸移動プーリ301b、302bが上昇す
る場合でも、下降する場合でもワイヤー移動量は同じで
あるようにし、その所要時間、即ち単位時間当りのサイ
クル数は任意に設定することを意味するものである。
従って、サーボモータの制御内容を設定するには、同期
制御回路10において先ず始めにパラメータ入力により例
えば1分間におけるサイクル数が与えられ、次にサイク
ル数、加減加速度(固定)、1/2サイクルワイヤー移動
量(固定)をもとに時間に対応する速度カーブを作成す
る。
この速度カーブに則り同期制御回路10からサーボドライ
バー11を介してサーボモータ33へ速度指令が与えられ
る。
一方、加工部ロール駆動用のサーボモータ5の作動のた
めに同期制御回路10からは次のような指令が出される。
第4図において(イ)は上記のサーボモータ33の運動パタ
ーンのカーブであるが、モータ5がこのカーブに則って
作動する場合には、正転数と逆転数の間には差はなく、
ワイヤーフィード(新線部分を徐々にワイヤー列404へ
導入するためのワイヤー送り)は行なわれない。このよ
うな状態で切削加工を行った場合には、常に同じワイヤ
ー部分が切削加工に携わることになり、摩耗によりワイ
ヤー径が小さくなり、加工精度に影響を及ぼすために、
ワイヤーフィードを行って新線部分の導入を行う必要が
ある。従って、加工部ロール4の駆動は、シーソー装置
3のサイクル運動と同期を取りながら正転数と逆転数と
の間に差を与え、ワイヤーフィードを与えるように行な
われる。そのために、加工部ロール4用のサーボモータ
5の運動パターンを第4図中の速度カーブ(イ)にワイヤ
ーフィード量xを加味したもの(ロ)になされる。xの量
は任意に設定可能である。
尚、本実施例では、モータ33,モータ5の速度パターン
として、台形カーブを採用したが、これに限定されるも
のではなく、サインカーブ等の任意の速度パターンが採
用できる。またシーソー装置3の1/2サイクル移動量
は、本実施例では加工中固定としたが、これに限定され
るものではなく、上昇、下降時の移動量が一致してさえ
いれば、加工の進行に伴って、変化させても良く、例え
ば加工の初期では、この移動量を小さくしておき、加工
の進行に伴って機構的に許される範囲内で、徐々にこの
移動量を増加させるといったことも可能である。また、
本実施例では、ワイヤーフィードを与えるために、サー
ボモータ5の速度カーブとして、正逆対称な速度カーブ
に一定のフィード量を加味した速度カーブを採用した
が、これに限定されるものではなく、サイクル運動にお
いて、ワイヤ繰り出し方向と、巻き取り方向の回転数に
差を与える様なものであれば、任意の方式が可能であ
る。
(効果) 上記のように本発明によれば、加工部ロールの正逆回転
運動とシーソー装置の揺動運動とを相互に同期させるた
めに歯車等の機構的手段は使用しておらず、また加工部
ロールの差動正逆回転運動を行なうためにも機構的手段
を使用しないので、そのための維持管理は不要(メンテ
ナンスフリー)であり、またワイヤー列の往復直進運動
のストロークを変更する場合には、同期制御回路にパラ
メータ入力するだけで直ちに対応でき、部品の交換を必
要としないので操作性に富み、更に機構的部品を減らし
て簡素化できるので、ワイヤーソーを小型化できる等の
効果をもたらし得るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による装置を適用したワイヤーソーの概
略斜視図、 第2図は本発明によるワイヤー駆動並びに制御装置の概
略図、 第3図はシーソー装置駆動用のサーボモータの運動パタ
ーンを示す線図、 第4図は加工部ロール駆動用のサーボモータの運動パタ
ーンを第3図の運動パターンとの関連において示す線図
である。 1…繰出リール、2…巻取リール、3…シーソー装置、
301a,302a…軸定置プーリ、301b,302b…軸移動プー
リ、301e,302e…ラック部材、4…加工部ロール、404
…ワイヤー列、5…第1のサーボモータ、10,11…制御
装置、31…ピニオン、33…第2のサーボモータ、S…ワ
イヤー。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】繰出リールから繰り出され、巻取リールに
    巻き取られる一本のワイヤーがその途中において多数回
    巻き掛けられワイヤー列を形成している複数本の相互に
    並列配置された加工部ロールと、この加工部ロールを正
    逆回転運動させ、それによってワイヤー列を往復直進運
    動させたときに、加工部ロールから繰出リール側及び巻
    取リール側に交互に放出される一定量のワイヤーを吸収
    するシーソー装置とを有するワイヤーソーに於て、上記
    加工部ロールが第1のサーボモータにより正逆回転運動
    され、また上記シーソー装置が繰出リール側及び巻取リ
    ール側にそれぞれ軸定置プーリと、これに対して接近し
    且つ遠去かる軸移動プーリとを有していて、ワイヤーは
    それぞれの側で両プーリに掛け渡されており、また軸移
    動プーリを交互に反対方向に相互に等距離だけ移動させ
    る第2のサーボモータが設けてあり、更に、上記第1サ
    ーボモータを正逆差動回転させると共に第2サーボモー
    タを正逆回転させ、しかも両モータの作動を同期制御す
    る制御装置が設けてあることを特徴とする、ワイヤーソ
    ーにおけるワイヤー駆動並びに制御装置。
  2. 【請求項2】特許請求の範囲第1項に記載の装置に於
    て、軸移動プーリがそれぞれのラック部材に取り付けて
    あり、この両ラック部材が1つのピニオンに噛合し、こ
    のピニオンが上記の第2モータによって正逆回転される
    装置。
JP61225860A 1986-09-26 1986-09-26 ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置 Expired - Fee Related JPH0624689B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61225860A JPH0624689B2 (ja) 1986-09-26 1986-09-26 ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置
DE8787114114T DE3766579D1 (de) 1986-09-26 1987-09-26 Vorrichtung fuer die regelung des antriebes des schneiddrahtes einer drahtsaege.
EP19870114114 EP0261695B1 (en) 1986-09-26 1987-09-26 Apparatus for driving and controlling wire in wire saw

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61225860A JPH0624689B2 (ja) 1986-09-26 1986-09-26 ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6384868A JPS6384868A (ja) 1988-04-15
JPH0624689B2 true JPH0624689B2 (ja) 1994-04-06

Family

ID=16835980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61225860A Expired - Fee Related JPH0624689B2 (ja) 1986-09-26 1986-09-26 ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0261695B1 (ja)
JP (1) JPH0624689B2 (ja)
DE (1) DE3766579D1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0635107B2 (ja) * 1987-12-26 1994-05-11 株式会社タカトリハイテック ワイヤソー
JP3427956B2 (ja) * 1995-04-14 2003-07-22 信越半導体株式会社 ワイヤーソー装置
JP4866188B2 (ja) * 2006-09-12 2012-02-01 株式会社阿部鐵工所 ワイヤーソー
CN102049817B (zh) * 2009-10-28 2013-09-11 上海日进机床有限公司 金刚线截断机的贮丝筒排丝机构
JP5605946B2 (ja) * 2010-02-23 2014-10-15 株式会社安永 ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法
CN103180236B (zh) 2010-05-04 2015-07-08 贝卡尔特公司 带有可移除保护涂层的固定磨料锯线
CN102152415A (zh) * 2011-01-07 2011-08-17 张万进 多线切割机的切割线绕线方法及其传动装置
CN102179880A (zh) * 2011-03-30 2011-09-14 苏州市汇峰机械设备厂 多线切割机
CN103273581A (zh) * 2013-06-25 2013-09-04 南通皋鑫电子股份有限公司 硅叠切断装置
TWI713832B (zh) * 2017-04-28 2020-12-21 友達晶材股份有限公司 晶圓切片機及其收放線裝置與晶圓切片的方法
CN108972924B (zh) * 2018-07-18 2020-07-17 阜宁协鑫光伏科技有限公司 硅片切割系统
CN110587841B (zh) * 2019-10-12 2024-05-31 青岛高测科技股份有限公司 一种适用于硬脆材料多线切割的四驱切片机机构
CN113183012B (zh) * 2021-05-12 2022-08-05 佛山市祥源家具制造有限公司 一种家具木板加工用双面抛光机及其方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1282144A (fr) * 1960-12-07 1962-01-19 Electronique & Automatisme Sa Machine perfectionnée pour le sciage par rodage d'échantillons en matériaux fragiles, notamment cristallins
CA1013240A (en) * 1973-12-29 1977-07-05 Yasunaga Engineering Kabushiki Kaisha Wire saw
JPS5621159A (en) * 1979-07-27 1981-02-27 Konishiroku Photo Ind Co Ltd Reciprocative driving device
JPS5746989A (en) * 1980-09-04 1982-03-17 Asahi Chem Ind Co Ltd Preparation of cephalosporanic acid compound
JPS60172459A (ja) * 1984-02-18 1985-09-05 Kenichi Ishikawa 振動マルチワイヤー式切断装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6384868A (ja) 1988-04-15
DE3766579D1 (de) 1991-01-17
EP0261695B1 (en) 1990-12-05
EP0261695A1 (en) 1988-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0624689B2 (ja) ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置
GB2238738A (en) Wire saw
EP3271157B1 (en) Mechatronic movement system for three-dimensional printer using helical racks and pinions
AU2011311660A1 (en) Method for cutting block materials and cutting machine for cutting block materials
JP3168467B2 (ja) 回転電極ワイヤーを備えたワイヤー式切断装置
JPH1128636A (ja) 産業機械の送り装置およびこれを用いた産業機械
EP1810798A1 (en) Machine for cutting soap bars into portions of preset length, with flexible operation
CN100340392C (zh) 能随被切割物品同速同向移动的横切机
JP3561761B2 (ja) マシニングセンターによる歯車形削り加工方法
JP4534847B2 (ja) 裁断方法および裁断装置
EP3882188A1 (en) Method for creating winding data, and filament winding device
CN109475952B (zh) 切割单独的管的装置和方法及包括该装置的机器
US4563960A (en) Sewing machine having a drive for a work clamp
US4345491A (en) Transmission utilizing velocity control mechanism
US4941378A (en) Method and apparatus for rapid repetitive cutting
JP2016182653A (ja) 工作機械及びこの工作機械の制御装置
JP2745459B2 (ja) ワイヤソー装置
US3786707A (en) Apparatus for cutting off successive portions from a strand of plastic material such as a strand of viscous glass
JP4140785B2 (ja) 材料送り装置の制御装置
JP3650450B2 (ja) ワイヤーソー
JPS63260756A (ja) ワイヤソ−装置の駆動モ−タ制御方法
JP2012236259A (ja) ワイヤソーの加工条件設定方法
JPS62157753A (ja) 作業点のxy方向移動制御装置
JP4005199B2 (ja) 細線ワイヤソー装置
JPS63260757A (ja) ワイヤソ−装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees