JP3650450B2 - ワイヤーソー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、鋼線、ピアノ線等の細線ワイヤーを長手方向に往復運動させ、砥粒等の切削材の介在の下にワイヤーに押し当てられる加工物、例えば半導体材料に溝切加工や切断加工を施すためのワイヤーソーに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、ワイヤーソーは、図2に示すように、加工部1、ワイヤー繰出リール2、ワイヤー巻取リール3、及びシーソー機構4を有している。
【0003】
繰出リール2から引き出される一本のワイヤー5はシーソー機構4を経て加工部1のロール1a、1b、1cに順次、所定の間隔をおいて複数回巻き掛けられ、次いで加工部1から出てシーソー機構4を経由し、巻取リール3に巻き取られる。
【0004】
加工部1は図示のように互いに平行に且つ離間して立体配置された前述のロール1a、1b、1cを有しており、各ロールには所定の間隔を置いて周溝が形成されており、この周溝にワイヤーが係合して案内され、従って、隣り合う一巻のワイヤー間の間隔は周溝に規制されて常に同じに保持される。一対のロール1b、1cの間に形成される加工用ワイヤー列の下方には、加工物6を載置するテーブル7が配置され、加工物6を加工用ワイヤー列に対して送り動作を行うようになされている。駆動ロール1aをメインドライブサーボモータ8によって正逆回転運動させると、その回転はワイヤーに伝達され、加工部1において各ロールを巡るワイヤーの循環運動が生ぜしめられ、従って上記の加工用ワイヤー列のワイヤーは往復直進運動せしめられ、そのように運動せしめられるワイヤー列に加工物6が砥粒の介在下に押し当てられると、加工物は一度に数箇所で切断加工される。
【0005】
上記駆動ロール1aの正逆回転の回転量には差を持たせており、それによってワイヤーの往復運動と共に前進運動がもたらされ、繰出リール2から相応の新線が引き出されると共に、巻取リール3に、引き出されたワイヤー量と同量の使用ワイヤーが巻き取られるようになされている。
【0006】
加工作業中に、加工部1と繰出リール2との間、及び加工部1と巻取リール3との間で、一方において加工部1に引き込まれ且つ他方において加工部1から放出される一定量のワイヤーを交互に供給及び吸収するために、上記のシーソー機構4が設けてある。
【0007】
従来のシーソー機構4は、図示のように、ワイヤー繰出側に定置プーリー4aと可動プーリー4bを有しており、ワイヤー巻取側に定置プーリー4cと可動プーリー4dを有している。各プーリーはそれぞれ互いに並列配置された軸に回転可能に支持された複数個の一連のローラから成っている。ワイヤー繰出側において、可動プーリー4bは定置プーリー4aに対して平行関係を維持しつつ接近し且つ遠去かる運動を交互に行う。一方、ワイヤー巻取側においても、可動プーリー4dが定置プーリー4cに対して平行関係を維持しつつ接近し且つ遠去かる運動を交互に行う。定置プーリー4aと可動プーリー4bとの間には、ワイヤー繰出側のワイヤーが両プーリーの各ローラを交互に巡って巻き掛けられており、また同様に定置プーリー4cと可動プーリー4dとの間には、ワイヤー巻取側のワイヤーが両プーリーの各ローラを交互に巡って巻き掛けられている。
【0008】
ワイヤー繰出側のプーリー4a、4bと、ワイヤー巻取側のプーリー4c、4dは互いに対向して配置されており、その間に可動プーリー4bと4dとを交互に互いに反対方向へ直進運動させるための機構が設けてある。この機構は、繰出側可動プーリー4bを支持するラック板4eと、巻取側可動プーリー4dを支持するラック板4fと、両ラック板4e、4fのラック部に噛合する歯車4gと、この歯車を前記メインドライブサーボモータ8と連動して回転させるシーソーサーボモータ4hとを有している。なお、4iは減速機である。
【0009】
ラック板4e、4fを直進可能に支持するために、それぞれ直線案内4j及び4kが設けてあり、この直線案内に対して摺動運動する部材4l、4mがそれぞれラック板4e、4fに取り付けてある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来のワイヤーソーのシーソー機構においては、ワイヤー繰出側及び巻取側の可動プーリーを直進的に移動させるための機構に機械的摺動部があり、この摺動部に加工時に飛散する砥粒が入ると摩耗の原因となり、それに供う諸影響を回避するために、砥粒の侵入防止策を多大の費用をかけて講じているが、完全に侵入防止を行うことは困難であった。また、直線案内は装置それ自体高価である。
【0011】
従って本発明が解決しようとする課題は、シーソー部における機械的摺動部をなくし、砥粒の飛散侵入に対して摩耗することがなく、従って飛散砥粒に対する予防機構が簡単且つ安価に構成できるようにし、更にシーソー部自体の構造も簡単且つ安価にすることである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、繰出リールから繰り出され、巻取リールに巻き取られるワイヤーが、その途中において複数本の平行な立体配置のロールを巡って巻き掛けられて加工部を形成しているワイヤーソーであって、上記ロールを正逆回転させて行う加工作業中に繰出リール側及び巻取リール側において、交互に加工部に引き込まれ且つ加工部から放出される一定量のワイヤーを供給及び吸収するためのシーソー機構を有し、このシーソー機構が繰出リール側及び巻取リール側にそれぞれ定置プーリーと可動プーリーとを有し、それぞれの側においてプーリー間に上記ワイヤーの途中部分が掛け渡されており、それぞれの側の可動プーリーを定置プーリーに対して交互に接近する方向と遠去かる方向に運動させると共に、その運動を繰出リール側と巻取リール側とで相互に逆方向に行い、上記の一定量のワイヤーの供給及び吸収を加工部の作業に合わせて行うようになされたワイヤーソーにおいて、両可動プーリーの移動方向と実質的に同じ方向に延在し、上下両端においてベルト車に支持され、モータによって正逆回転せしめられるようになされた環状ベルトが設けてあり、前記繰出リール側の可動プーリーの支持軸がこの環状ベルトの一方側のベルト部分によってのみ支持され、前記巻取リール側の可動プーリーの支持軸が前記環状ベルトの他方側のベルト部分によってのみ支持されていることを特徴とするワイヤーソーによって達成される。
【0013】
可動プーリーの運動を上記の環状ベルトによって行うことにより、シーソー機構からは摺動運動する部材が排除され、砥粒の飛散等による摩耗等の問題の発生が大幅に解消される。
【0014】
上記環状ベルトをタイミングベルトし、ベルト車をギヤとし、一方のギヤをモータによって回転駆動させるようにすることにより、モータの回転運動が正確に可動プーリーに伝達され、可動プーリーの正確な直進運動をもたらす。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明によるワイヤーソー10の一実施形態を示しており、図中11は加工部、12はワイヤー繰出リール、13はワイヤー巻取リール、14はシーソー機構である。
【0016】
加工部11の構成及び作用は、図2の従来ワイヤーソーのものと実質的に同じであるので、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。ワイヤー繰出リール12及びワイヤー巻取リール13の構成及び作用も、図2のリール2及び3のものと同じである。
【0017】
シーソー機構14において、ワイヤー繰出側における定置プーリー14a及び可動プーリー14b、ワイヤー巻取側における定置プーリー14c及び可動プーリー14dの構成及び作用は、図2に示すものと同じである。
【0018】
本発明では、繰出側のプーリー対14a及び14bと、巻取側のプーリー対14c及び14dとの間に、可動プーリー14b、14dの移動方向と同じ方向に延在するベルト、例えばタイミングベルト14eが設けてあり、このベルトは繰出側における定置プーリー14aと可動プーリー14bとの間、及び巻取側における定置プーリー14cと可動プーリー14dとの間の予定の最大離間距離と略々等しいか、若しくはそれより若干長い距離に亘って延びており、しかも上方において例えばギヤから成る上側ベルト車14fに、また下方において例えばギヤから成る下側ベルト車14gに掛け渡されている。上側ベルト車14fは減速機14hを介してシーソーサーボモータ14iによって回転駆動せしめられる。
【0019】
このように配置されたベルト14eに対し、繰出側の可動プーリー14b及び巻取側の可動プーリー14dのそれぞれの支持軸がそれぞれ連結部材14j及び14kを介して、上側ベルト車14fと下側ベルト車14gとの間で、相互に反対側のベルト部分に取り付けられており、その取付箇所は可動プーリー14b及び14dに要求される直進的往復運動が達成されるように、そして定置プーリー14a、14cに対する運動の際に、加工部1に対して常に等量づつのワイヤーが一方において供給され且つ他方において吸収されるように選定されている。
【0020】
従って、図1において、例えば繰出側において可動プーリー14bが定置プーリー14aに対して最接近し、巻取側において可動プーリー14dが定置プーリー14cに対して最も離間した位置にあるとして、加工部1の駆動ロール1aがメインドライブサーボモータ8によって時計方向回転せしめられると、シーソー機構14のシーソーサーボモータ14iが、モータ8に同期して上側ベルト車14fを反時計方向に回転せしめ、それによって繰出側において可動プーリー14bが下降せしめられるので、加工部1から放出されてくるワイヤーは定置プーリー14aと可動プーリー14bとの間で順次吸収され、一方、同時に巻取側の可動プーリー14dは同期的に上昇せしめられ定置プーリー14cに接近していくので、加工部からの放出ワイヤーの量と等量のワイヤーが順次加工部1へ送り込まれて行く。メインドライブサーボモータ8による駆動ロール1aの一定の時計方向回転が終了すると、同ロール1aは同モータ8により反時計方向に回転せしめられ、今度は、繰出側の可動プーリー14bが定置プーリー14aに接近して加工部に順次ワイヤーを送り込み、一方巻取側の可動プーリー14dが定置プーリー14cから遠去かって送り込みワイヤー量に相当する量のワイヤーを吸収する。
【0021】
上記のタイミングベルト14eには、左右の振れに対してこれを防止する手段は特に設ける必要がない。それは、ワイヤーを張ることにより、可動プーリー14b及び14dはワイヤーが最短距離になるよう引張られるため、ベルトの柔軟性による左右の振れの発生が阻止されるからである。
【0022】
【発明の効果】
上記のように、本発明によれば、機械的摺動部がないために、砥粒の侵入による摩耗はなく、部品寿命が長くなり、定期調整も不要となる。また、機構が簡単になり、潤滑機構が不要となるため、製造価格も安くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるワイヤーソーの要部の概略展開斜視図である。
【図2】従来のワイヤーソーの概略展開斜視図である。
【符号の説明】
5‥‥ワイヤー
10‥‥ワイヤーソー
11‥‥加工部
12‥‥繰出リール
13‥‥巻取リール
14‥‥シーソー機構
14a‥定置プーリー
14b‥可動プーリー
14c‥定置プーリー
14d‥可動プーリー
14e‥ベルト(タイミングベルト)
14f‥上側ベルト車(ギヤ)
14g‥下側ベルト車(ギヤ)
14h‥減速機
14i‥シーソーサーボモータ
14j‥連結部材
14k‥連結部材
Claims (2)
- 繰出リールから繰り出され、巻取リールに巻き取られるワイヤーが、その途中において複数本の平行な立体配置のロールを巡って巻き掛けられて加工部を形成しているワイヤーソーであって、上記ロールを正逆回転させて行う加工作業中に繰出リール側及び巻取リール側において、交互に加工部に引き込まれ且つ加工部から放出される一定量のワイヤーを供給及び吸収するためのシーソー機構を有し、このシーソー機構が繰出リール側及び巻取リール側にそれぞれ定置プーリーと可動プーリーとを有し、それぞれの側においてプーリー間に上記ワイヤーの途中部分が掛け渡されており、それぞれの側の可動プーリーを定置プーリーに対して交互に接近する方向と遠去かる方向に運動させると共に、その運動を繰出リール側と巻取リール側とで相互に逆方向に行い、上記の一定量のワイヤーの供給及び吸収を加工部の作業に合わせて行うようになされたワイヤーソーにおいて、両可動プーリーの移動方向と実質的に同じ方向に延在し、上下両端においてベルト車に支持され、モータによって正逆回転せしめられるようになされた環状ベルトが設けてあり、前記繰出リール側の可動プーリーの支持軸がこの環状ベルトの一方側のベルト部分によってのみ支持され、前記巻取リール側の可動プーリーの支持軸が前記環状ベルトの他方側のベルト部分によってのみ支持されていることを特徴とするワイヤーソー。
- 環状ベルトがタイミングベルトであり、ベルト車がギヤであり、一方のギヤがモータによって回転駆動される、請求項1のワイヤーソー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31692495A JP3650450B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | ワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31692495A JP3650450B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | ワイヤーソー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09155857A JPH09155857A (ja) | 1997-06-17 |
JP3650450B2 true JP3650450B2 (ja) | 2005-05-18 |
Family
ID=18082442
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31692495A Expired - Fee Related JP3650450B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | ワイヤーソー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3650450B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102152419A (zh) * | 2011-03-18 | 2011-08-17 | 浙江荣马电子科技有限公司 | 一种多线切割硅片的工艺 |
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1995
- 1995-12-05 JP JP31692495A patent/JP3650450B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH09155857A (ja) | 1997-06-17 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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