JP2007144527A - 搬送装置およびバンドソー型切断装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クーラントの付着からガイドレールを保護する一方で、加工位置においてワークを水平状態に安定的に支持した状態で作業を行えるようにする。
【解決手段】バンドソー型切断装置は、ワークＷに対してクーラントを供給しながら加工を施す装置本体２と、この装置本体２の所定の加工位置にワークＷを搬送する搬送装置３とを備える。搬送装置３は、ガイドレール３６と、これに移動可能に装着されるテーブル３０と、このテーブル３０を移動させる駆動機構とを備えている。そして、テーブル３０のテーブル本体３１とガイドレール３６との間に、ガイドレール３６をその長手方向全域に亘ってレール上面側及び側面側から覆うレールカバー４０が設けられ、このレールカバーを避けるようにテーブル３０の被案内部３２が構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、主にシリコン、ガリウム珪素などの結晶体インゴットを切断するバンドソー型切断装置等の加工機に適用される搬送装置、およびこの搬送装置を備えたバンドソー型切断装置に関するものである。

従来から、砥石をもつ無端状のブレードを一対のプーリに亘って装着し、該プーリの駆動によりブレードを垂直軸回りに周回移動させながら結晶体インゴットなどのワークに接触させて切断するようにしたバンドソー型切断装置（加工機）が一般に知られている。

この種のバンドソー型切断装置は、例えばブレードが昇降可能なヘッドに搭載されており、搬送装置によりインゴットをヘッド下方の加工位置に案内、位置決めし、この状態で前記ヘッドを下降させてワークを切断するように構成されている。そして、切断作業中は、切込み部分に対してクーラント（加工液）を吹き付け、これにより加工熱や切削屑を除去するようになっている（例えば特許文献１）。
特開２００１−１９８９１７号公報

この種の切断装置において、搬送装置は、ワークを支持するテーブルを有し、このテーブルに螺合挿入されるボールねじ軸の回転駆動に伴い前記テーブルをガイドレールに沿って移動させるものが一般的であるが、上記のようにクーラントを用いる装置では、ガイドレールにクーラントが付着すると、錆などの発生によりワーク搬送の精密性や円滑性が損なわれるおそれがある。そこで、従来では、加工位置にはガイドレールを設けず、それよりも十分手前の位置でガイドレールを止めることによりクーラントの付着を防止するようにし、加工位置へのワークの位置決めは、ガイドレールの末端からテーブルを片持ち状態に迫り出させることにより行われている。

しかし、この構成の場合は、構造的にワークを水平に保つ上で不利であり、仮に剛性不足によりテーブルに撓みや傾きが生じた場合には、切断面の品質に影響を与えることが考えられる。例えば結晶体インゴット等のワークでは、僅かな傾きでも切断終盤で切断面縁部に欠けが生じ易くなるため、ワークを確実に水平な状態に保って作業を行う必要がある。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、バンドソー型切断装置などの加工機において、クーラントの付着による錆などの劣化からガイドレールを保護する一方で、加工位置においてワークを水平状態に安定的に支持した状態で作業を行えるようにすることを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、ワークに対して所定の加工を施す加工機本体と、この加工機本体の所定の加工位置にワークを搬送して保持する搬送装置とを有した加工機の前記搬送装置であって、ほぼ水平に延びるガイドレールと、前記ガイドレールに移動可能に装着されるテーブルとを備え、前記テーブルの本体部分とガイドレールとの間に介在して前記ガイドレールをレール上面側及び側面側から覆うレールカバーが設けられ、このレールカバーを避けるように前記テーブルにおけるガイドレールの被案内部が構成されているものである（請求項１）。

そして、本発明のバンドソー型切断装置は、昇降可能な加工用ヘッドと、このヘッドに搭載されてほぼ垂直軸回りに周回移動するブレードと、ワークを搬送して前記加工用ヘッドの下方に位置する加工位置に位置決めする搬送装置とを備え、加工位置に位置決めされたワークを加工用ヘッドの下降に伴い前記ブレードにより切断するとともに、この切断中に前記ブレードによる切込み部分に加工液を供給するようにされたバンドソー型切断装置において、搬送装置として上記のような搬送装置（本発明に係る搬送装置）が設けられ、この搬送装置のガイドレールが前記加工位置を含むように設けられるとともに、少なくともこの加工位置を含む領域において前記ガイドレールを覆うように前記レールカバーが設けられているものである（請求項５）。

すなわち、本発明に係る上記の搬送装置によると、ガイドレールの上面側及び側面側がレールカバーによって覆われているため、例えばテーブル上に保持したワークに対して液体を吹き付けるような場合でもガイドレールへの付着が有効に防止される。そして、この搬送装置をワーク搬送のための手段として搭載し、上記のように前記加工位置を含む範囲にガイドレールを設けた本発明のバンドソー型切断装置によると、加工位置においてワークをガイドレール上で安定的に水平に支えた状態で切断作業を行うことが可能となり、その一方で、加工液の付着による錆などの発生からもガイドレールが保護される。

なお、前記テーブルにおけるガイドレールの被案内部は、前記レールカバーの外側からその下側を通ってカバー内側に入り前記ガイドレールに移動可能に装着されているのが好適であり（請求項２）、より具体的な構成として、例えば、前記レールカバーが、レール上面に対向する上面部とその両端から垂下してレール側面にそれぞれ対向する一対の側面部とを一体に備える場合には、テーブルの被案内部が、ガイドレールに移動可能に装着される可動部材と、この可動部材とテーブルの本体部分とを連結する連結部材とからなり、この連結部材が、レールカバーの側面部の外側に沿ってテーブルの本体部分から垂下する垂下部分と、この垂下部分の下端部位から立上がってレールカバーの側面部とガイドレールとの間の部分に介在し、かつ可動部材に固定される固定部分とを備えているものが好適である（請求項３）。

この構成によると、ガイドレールをその上面側及び側面側から確実に覆うことができ、また、テーブルの被案内部についても簡素な構成でレールカバーを避けることができる。

また、上記の搬送装置では、前記レールカバーの側面部とガイドレールとの間に、前記レール下端側から立ち上がってガイドレールをその側面側から覆う補助カバーが設けられ、前記連結部材の固定部分が、レールカバーの側面部と補助カバーとの間に介在するように構成されているのがより好ましい（請求項４）。

このようにレールカバーの内側に補助カバーを設けた二重カバー構造によると、レールカバーの側面部下端とガイドレールとの間の部分から入り込む加工液等が補助カバーにより遮断されるため、ガイドレールへの加工液等の付着をより確実に防止できるようになる。

なお、バンドソー型切断装置において、搬送装置のレールカバーは、加工位置の部分だけに設けられているものであってもよいが、ガイドレールをその長手方向全域に亘って覆うように設けられているのが好適である（請求項６）。

この構成によると、加工位置から飛散した加工液がガイドレールに付着するのを防止でき、また、他の部材との干渉等からガイドレールを保護することも可能となる。

本発明の搬送装置によると、レールカバーによりガイドレールがその上面側および側面側から覆われるため、ガイドレールへの液体の付着による錆などの発生を有効に防止することができ、搬送の精密性、円滑性を持続的に享受できるようになる。

そして、このような搬送装置を備えた本発明のバンドソー型切断装置によると、加工位置においてワークをガイドレール上で水平、かつ安定的に支えた状態で、ワークに対して加工液を与えながら作業を進めることができ、また、加工液の付着による錆などの劣化からガイドレールを保護することができる。

本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

図１及び図２は、本発明に係る加工機であるバンドソー型切断装置を概略的に示しており、図１は側面図で、図２は正面図（図１のＡ矢視図）で同装置を示している。

これらの図に示すようにバンドソー型切断装置（以下、切断装置と略す）は、ワークＷとしてシリコンなどの結晶体インゴットを切断する装置で、基台１上にワークＷを切断する装置本体２（本発明に係る加工機本体に相当する）と、この装置本体２の所定の加工位置にワークＷを搬送する搬送装置３（本発明に係る搬送装置）とを横並びに備えている。

装置本体２は、基台１上に所定の間隔を隔てて直立し、かつ上端部分がトップビーム１１により連結された一対のコラム１０を有している。

これらコラム１０の前面（図１では右側面）にはヘッド１２を搭載した横桁１４が設けられており、この横桁１４がコラム１０に沿って昇降駆動するようになっている。すなわち、各コラム１０には上下方向に延びるガイドレール１６が設けられ、これらガイドレール１６に横桁１４が移動可能に装着されるとともに、図外の駆動機構、例えばモータにより駆動される上下方向に延びるボールねじ軸に横桁１４が連結されている。そして、この駆動機構の作動によりガイドレール１６に沿って横桁１４が上下方向に移動するとともに、この移動に伴いヘッド１２と横桁１４とが一体に昇降するようになっている。

なお、ガイドレール１６のうち横桁１４よりも下側の部分は、横桁１４の移動に伴い入れ子状に伸縮するレールカバー１８で覆われており、これによってガイドレール１６への後記クーラントなどの付着が防止されるようになっている。

前記ヘッド１２には、その下面部分に、コラム１０の並び方向（以下、幅方向という）に所定の間隔を隔ててそれぞれ鉛直軸回りに回転可能な一対のプーリ２０ａ，２０ｂが配設されている。これらプーリ２０ａ，２０ｂには、ワークＷを切断するための無端状のブレード２２が装着されており、図外の駆動手段により前記プーリ２０ａ（又は２０ｂ）が回転駆動されることによって、この回転に伴いブレード２２が高速で周回移動するようになっている。詳しく図示していないが、ブレード２２は、上下方向に幅を有する金属ベルト帯の下端縁部に、ダイヤモンド砥石等の砥石が周方向に一定の間隔で配列された構成となっており、加工時には、ヘッド１２の下降に伴いこのブレード２２の下端縁部でワークＷに対して切り込むようになっている。

なお、この装置本体２では、周回移動するブレード２２のうち、両プーリ２０ａ，２０ｂの間の部分であってヘッド１２の前面側（図１では右側）に位置する直線進行部分を使ってワークＷを加工するようになっており、この直線進行部分には、幅方向に間隔を隔てて一対のブレード保持具２４が配置されている。

これらブレード保持具２４は、ブレード２２の軌道を安定させるものであり例えばローラ等によりブレード２２をその厚み方向に挟み込むことにより、ブレード２２を保持するように構成されている。なお、ブレード保持具２４はそれぞれ幅方向に移動可能に設けられており、ワークＷのサイズに応じて両ブレード保持具２４の間隔が調整されることによりワークＷとの干渉が回避されるようになっている。

また、これらブレード保持具２４には、クーラントを噴射するノズル２６がそれぞれ設けられており、加工中は、これらノズル２６からブレード２２の切込み位置に向かってクーラントが噴射されることにより、加工熱や切り屑が除去されるようになっている。

一方、搬送装置３は、装置本体２の前面側に設けられている。搬送装置３は、ワークＷを支持するテーブル３０と、このテーブル３０を案内するガイドレール３６（図３に示す）と、このガイドレール３６に沿ってテーブル３０を移動させる駆動機構等を備えており、ワークＷを装置本体２の幅方向と直交する方向（以下、この方向を前後方向という）に搬送するように構成されている。

図３〜図５は搬送装置３の具体的な構成を示している。これらの図に示すように、前記基台１上には、幅方向に一定の間隔を隔てて前後方向に延びる一対の前記ガイドレール３６が設けられている。これらガイドレール３６は、それぞれ基台１上に固定されたレール取付台３８に組付けられており、この取付台３８を介して基台１に固定されている。

各ガイドレール３６の装置本体側の端部は、それぞれヘッド１２の下方であってコラム１０の前面近傍に達しており、これによってテーブル３０が、その先端がコラム１０の前面近傍に位置する前進位置（図１の二点鎖線に示す位置）と、同先端が前記ヘッド１２よりも前面側に十分に離間した後退位置（図１の実線に示す位置）とに亘って移動するようになっており、後述する加工位置にテーブル３０が位置決めされた状態でもテーブル３０の全体がガイドレール３６上に支持されるようになっている。

なお、各ガイドレール３６は、その長手方向全域に亘ってレールカバーにより覆われており、これによりクーラントの付着が防止されるようになっている。

具体的には、各ガイドレール３６の上側に、図４に示すように、レール上面に対応する上板４１ａとその幅方向両端から垂下してレール側面にそれぞれ対向する一対の側板４１ｂとを一体に備え、かつガイドレール３６の長手方向に延びる断面逆Ｕ字型のレールカバー４０が設けられている。

これらのレールカバー４０は、それぞれ長手方向両端部が基台１に立設される固定板４４に突き当てられた状態で当該固定板４４に対して固定されており、これによってガイドレール３６がレールカバー４０によってその上面側及び側面側から覆われるとともに固定板４４により長手方向端面側から覆われている。

また、ガイドレール３６の取付台３８には、基台１側から立ち上がってレール側面に対向し、かつガイドレール３６の長手方向にその全域に亘って伸びる一対の補助カバー４２が設けられており、これによって前記レールカバー４０の内側部分で、ガイドレール３６がさらに補助カバー４２により側面側から覆われている。

ここで、レールカバー４０は、その側板４１ｂの先端縁（下端縁）がガイドレール３６より下側に位置し、また、補助カバー４２は、その上端縁がガイドレール３６の上面と略等しい高さ位置又はそれより上側に位置するようにそれぞれ形成されている。つまり、レールカバー４０の側板４１ｂと補助カバー４２とが互いにオーバーラップする二重カバー構造とされることにより、ガイドレール３６の上面側および側面側からのクーラントをレールカバー４０で遮断する一方で、このレールカバー４０の下側から侵入するクーラントを補助カバー４２により遮断するようになっている。

前記テーブル３０は、図１に示すように、ワーク保持用の支持ブロック３１ａを備えたテーブル本体３１を有している。支持ブロック３１ａは、幅方向両側から中央に向かって先下がりに傾斜し、かつ前後方向に延びるＶ溝を有したＶブロックからなり、図２に示すように、柱状のワークＷ（結晶体インゴット）をこのＶ溝の部分（斜面）で受けることにより保持するようになっている。なお、図１において符号３５は、支持ブロック３１ａに設けられるスリットであり、ワークＷの切断時にはこのスリット３５を使ってブレード２２を逃がすようになっている。

テーブル本体３１は、その下面に設けられる被案内部３２を介して前記両ガイドレール３６に対して移動自在に装着されている。

被案内部３２は、各ガイドレール３６に対応してそれぞれ設けられており、図３及び図４に示すように、それぞれガイドレール３６に移動自在に装着される複数のスライダ４６（本発明の可動部材に相当する）と、これらスライダ４６と前記テーブル本体３１とを連結する連結部材４７とを有している。

スライダ４６は、一つのガイドレール３６に対して（一つの被案内部３２当たり）４つ設けられている。これらのスライダ４６は、テーブル本体３１の前後両端とその間の部分にそれぞれ配置され、それぞれ等間隔で並べられている。なお、スライダ４６と前記ガイドレール３６とは、例えば周知のリニアガイド装置により構成され、これによってワークＷを支持したテーブル３０を高い精度で、かつ円滑に案内するようになっている。

連結部材４７は、レールカバー４０の両外側からその下側を通ってカバー内側に入りガイドレール３６に移動可能に装着されることにより、レールカバー４０および補助カバー４２を避けてテーブル本体３１とスライダ４６とを連結するように構成されている。

具体的には、図５に示すように、テーブル本体３１へ固定される上面部４７ａと、その幅方向両側からレールカバー４０（側板４１ｂ）の外面に沿って垂下する一対の垂下部４７ｂと、これら垂下部４７ｂの下端部位からそれぞれ立上がり、前記側板４１ｂと補助カバー４２との間の部分からレールカバー４０内に介在して前記スライダ４６に固定される逆Ｕ字型の固定部４７ｃとから構成されている。これによりカバー４０，４２によりガイドレール３６を外部から覆い隠す一方で、これらカバー４０，４２を逃がした状態で、テーブル本体３１とスライダ４６とが連結されている。

なお、共通の被案内部３２に属する各連結部材４７の垂下部４７ｂのうち、テーブル本体３１の幅方向外側に位置する垂下部４７ｂは、前後方向に延びる共通の板材により構成されおり、これによって当該垂下部４７ｂがテーブル３０下側へのクーラントの侵入を遮断するカバーとして機能するようになっている。

なお、連結部材４７を構成する上面部４７ａ，垂下部４７ｂおよび固定部４７ｃの各符号は、図５中にのみ示しておりそのほかの図面では便宜上省略している。

テーブル３０の前記駆動機構は、図３に示すように、両ガイドレール３６の間に配置される前後方向のボールねじ軸５２と、このボールねじ軸５２の一端（装置本体２と反対側の端部）にカップリングを介して連結されるモータ５４と、テーブル本体下面の突設部３１ｂに保持されるナット部材５１とを有し、前記ボールねじ軸５２がナット部材５１に螺合挿入された構成となっている。つまり、モータ５４によりボールねじ軸５２が正逆回転駆動されることにより、この回転に伴いテーブル３０をガイドレール３６に沿って移動させるようになっている。

なお、図中符号５６は、筒状のねじカバーであって、前記突設部３１ｂと、ボールねじ軸両端を支持する軸受け部分との間にそれぞれ設けられている。そして、前記ボールねじ軸５２がこれらねじカバー５６に対して挿入されることにより、ボールねじ軸５２がほぼ全域に亘って覆われている。これらのねじカバー５６は、蛇腹状に構成されており、テーブル３０（突設部３１ｂ）の移動に伴いそれぞれ伸縮するようになっている（図３参照）。

次に、この切断装置の使用要領並びに作用を説明する。

まず、装置本体２においてヘッド１２を初期位置（上昇端位置）にセットするとともに、テーブル３０を後退位置に配置し、この状態でワークＷをテーブル３０の支持ブロック３１ａ上にセットする。この際、ワークＷの切断箇所が前記スリット３５に一致するように支持ブロック３１ａに対してワークＷをセットする。

テーブル３０にワークＷをセットした後、モータ５４を駆動してテーブル３０と一体にワークＷを移動させ、ワークＷをヘッド１２下方の加工位置に位置決めする。具体的には、前記ブレード２２のうちブレード保持具２４により挟まれた直線進行部分の真下の位置（図１中、符号Ｓで示す位置）にワークＷの切断箇所が位置するようにテーブル３０を位置決めする。

位置決めが完了した後、図外の駆動機構により前記プーリ２０ａ（又は２０ｂ）を駆動し、これによりブレード２２を高速で周回移動させる。そして、ヘッド１２を所定の切込み速度で下降させ、この下降に伴いブレード２２をワーク外周面に接触させる一方、前記ノズル２６から所定のタイミングでクーラントの噴射を開始する。これによりワークＷの切断を開始する。

ここで、この切断装置では、上述したようにガイドレール３６がコラム１０の近傍まで設けられており（すなわち加工位置を含む領域にガイドレール３６が設けられており）、テーブル３０を加工位置に位置決めした状態でもテーブル全体がガイドレール３６上に支持されるように構成されているので、加工中は、加工位置においてワークＷが水平な状態に安定的に保たれ、これによりヘッド１２の下降に伴い、ブレード２２がワークＷに対してその軸方向と直交する方向に真っ直ぐ切込まれることとなる。

また、加工中は、ノズル２６からクーラントが噴射されるが、上記の通りレールカバー４０および補助カバー４２が設けられ、加工位置を含む長手方向全域に亘ってガイドレール３６の上面側および側面側から覆われているので、ガイドレール３６へのクーラントの付着が有効に防止される。特に、この搬送装置３では、ガイドレール３６をその上面側及び側面側から覆うレールカバー４０の内側に、さらに基台１側から立ち上がってガイドレール３６を側面側から覆う補助カバー４２が設けられた二重のカバー構造とされているので、レールカバー４０の下側から入り込むクーラントも効果的に遮断される。そのため、ガイドレール３６へのクーラントの付着が有効に防止されることとなる。

こうしてブレード２２の切込みが進行し、ワークＷの切断が完了すると、ヘッド１２を上昇させて初期位置にリセットしてブレード２２の駆動を停止させ、その後、テーブル３０を後退位置まで移動させる。これにより切断装置によるワークＷの一連の切断作業が終了する。

以上説明したように、この切断装置によると、ワークＷを加工位置において水平な状態に安定的に保持して切断作業を行うことができるので、従来のこの種の装置（ワークＷを片持ちの状態に支持して切断作業を行う装置）のように切断終了直前に欠けが発生するようなおそれがなく、そのため、従来のこの種の切断装置と比べるとワークＷの加工精度（切断面の品質）を向上させることができる。

しかも、ガイドレール３６をレールカバー４０および補助カバー４２で覆ってクーラントの付着を防止するようにしているので、クーラントの付着による錆の発生などからもガイドレール３６を効果的に保護することができる。

ところで、上述した実施形態の切断装置は、本発明に係る加工機の一実施形態であってその具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、実施形態の搬送装置３では、ガイドレール３６の長手方向全域に亘ってレールカバー４０と補助カバー４２の２種類のカバーを設けているが、例えば、レールカバー４０の下側からクーラントが入り込む可能性が少ないような場合には、補助カバー４２を省略して搬送装置３の構成を簡略化するようにしてもよい。

また、実施形態では、レールカバー４０の長手方向両端を固定板４４に固定することにより該レールカバー４０を基台１に固定するようにしているが、例えば、レールカバー４０の両側の側板４１ｂのうち何れか一方を基台１に固定してもよい。この場合、この固定側の側板４１ｂを避けるようにテーブル３０の前記被案内部３２を構成するようにすればよい。このようにレールカバー４０を一方の側板４１ｂによって基台１により固定する構造によると、レールカバー４０を長手方向全体に亘って基台１に固定できるため、上記実施形態のように長手方向両端のみを固定する場合に比べてレールカバー４０の支持剛性が向上する。従って、ガイドレール３６のレール長が長い場合に有効となる。

また、実施形態では、ガイドレール３６の長手方向全域に亘ってレールカバー４０および補助カバー４２を設けているが、ヘッド１２による加工位置を含むその近傍にのみレールカバー４０等を設けるようにしてもよい。この場合には、上記と同様に、レールカバー４０の両側の側板４１ｂのうち何れか一方側を基台１に固定するようにすればよい。また、ガイドレール３６の長手方向全域に亘ってレールカバー４０を設けておき、ヘッド１２による加工位置を含むその近傍にのみ補助カバー４２を設けるようにしてもよい。

さらに、実施形態では、ボールねじ軸５２の回転駆動によりテーブル３０を移動させるように搬送装置３の駆動機構が構成されているが、これ以外の駆動機構を用いてテーブル３０を駆動するようにしてもよい。例えばエアシリンダや油圧シリンダの作動によりテーブル３０を駆動するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、本発明に係る搬送装置をバンドソー型切断装置に適用した例について説明したが、勿論、本発明に係る搬送装置はバンドソー型切断装置以外の加工機についても適用可能である。この場合、加工に際してクーラント（加工液）を用いる加工機であれば、レールカバーが設けられている結果、ガイドレールへの加工液の付着を有効に防止するという効果があるが、加工液を使用しない加工機についても、レールカバーが設けられていることにより切り屑等のガイドレールへの付着が防止され、スライダ等への切り屑の噛み込みといったトラブルを防止できるという効果がある。

本発明に係る加工機であるバンドソー型切断装置を示す側面図である。 バンドソー型切断装置を示す正面図（図１のＡ矢視図）。 バンドソー型切断装置に組込まれる搬送装置を示す平面図である。 搬送装置を示す縦断面図（図３のＢ−Ｂ断面図）である。 テーブル本体とスライダとを連結する連結部材の構成を示す詳細図である。

符号の説明

１ 基台
２ 装置本体
３ 搬送装置
１２ ヘッド
２２ ブレード
３０ テーブル
３２ 被案内部
３６ ガイドレール
４０ レールカバー
４２ 補助カバー

Claims (6)

1. ワークに対して所定の加工を施す加工機本体と、この加工機本体の所定の加工位置にワークを搬送して保持する搬送装置とを有した加工機の前記搬送装置であって、
   ほぼ水平に延びるガイドレールと、前記ガイドレールに移動可能に装着されるテーブルとを備え、前記テーブルの本体部分とガイドレールとの間に介在して前記ガイドレールをレール上面側及び側面側から覆うレールカバーが設けられ、このレールカバーを避けるように前記テーブルにおけるガイドレールの被案内部が構成されていることを特徴とする搬送装置。
2. 請求項１に記載の搬送装置において、
   前記テーブルにおけるガイドレールの被案内部は、前記レールカバーの外側からその下側を通ってカバー内側に入り前記ガイドレールに移動可能に装着されていることを特徴とする搬送装置。
3. 請求項２に記載の搬送装置において、
   前記レールカバーは、レール上面に対向する上面部とその両端から垂下してレール側面にそれぞれ対向する一対の側面部とを一体に備え、
   前記テーブルの被案内部は、ガイドレールに移動可能に装着される可動部材と、この可動部材とテーブルの本体部分とを連結する連結部材とからなり、この連結部材は、レールカバーの前記側面部の外側に沿ってテーブルの本体部分から垂下する垂下部分と、この垂下部分の下端部位から立上がってレールカバーの前記側面部とガイドレールとの間の部分に介在し、かつ前記可動部材に固定される固定部分とを備えていることを特徴とする搬送装置。
4. 請求項３に記載の搬送装置において、
   前記レールカバーの側面部とガイドレールとの間に、前記レール下端側から立ち上がってガイドレールをその側面側から覆う補助カバーが設けられ、前記連結部材の固定部分が、レールカバーの側面部と補助カバーとの間に介在するように構成されていることを特徴とする搬送装置。
5. 昇降可能な加工用ヘッドと、このヘッドに搭載されてほぼ垂直軸回りに周回移動するブレードと、ワークを搬送して前記加工用ヘッドの下方に位置する加工位置に位置決めする搬送装置とを備え、加工位置に位置決めされたワークを加工用ヘッドの下降に伴い前記ブレードにより切断するとともに、この切断中に前記ブレードによる切込み部分に加工液を供給するようにされたバンドソー型切断装置において、
   前記搬送装置として請求項１乃至４の何れかに記載の搬送装置が設けられ、この搬送装置のガイドレールが前記加工位置を含むように設けられるとともに、少なくともこの加工位置を含む領域において前記ガイドレールを覆うように前記レールカバーが設けられていることを特徴とするバンドソー型切断装置。
6. 請求項５に記載のバンドソー型切断装置において、
   前記搬送装置のレールカバーが、ガイドレールをその長手方向全域に亘って覆うように設けられていることを特徴とするバンドソー型切断装置。

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