JP6415299B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
4 ベース
8 チャックテーブル
11 ウェーハ
34 切削ユニット
38 切削ブレード
44 ドレスボード支持ユニット
46 ドレスボード
48 非接触セットアップ機構
50 取り付け部材
54 発光部
56 受光部
62 保護カバー
Claims (1)
- ベースと、被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと該スピンドルの先端部に装着された切削ブレードを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該スピンドルを該スピンドルの回転軸と平行なY軸方向に移動させるY軸移動手段と、該スピンドルを該チャックテーブルの保持面に対して接近及び離反させる方向のZ軸方向に移動させるZ軸移動手段と、該Y軸方向及び該Z軸方向と直交し切削送り方向であるX軸方向に該チャックテーブルを移動させるX軸移動手段と、を備えた切削装置であって、
該Y軸移動手段による該切削ブレードの移動経路上の該スピンドルの直下の該ベースに固定されたドレスボード支持手段を更に備え、
該ドレスボード支持手段は、
対向配置された発光素子と受光素子との間に該Z軸移動手段により下降して侵入する該切削ブレードが該発光素子からの光を遮蔽する量に基づいて、該切削ブレードの刃先の位置を検出する非接触セットアップ機構を選択的に覆う保護カバーから構成されるとともに、該保護カバーの上面に該ドレスボードが装着され、
該ドレスボード支持手段に支持されたドレスボードに該切削ブレードが該Z軸移動手段で切り込むことで該切削ブレードをドレッシングすることを特徴とする切削装置。
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JP2014255792A JP6415299B2 (ja) | 2014-12-18 | 2014-12-18 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2014255792A JP6415299B2 (ja) | 2014-12-18 | 2014-12-18 | 切削装置 |
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JP2016112674A JP2016112674A (ja) | 2016-06-23 |
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Family Applications (1)
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