JP3698254B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行うダイシング装置に関し、 特に回転ブレードの先端位置を検出するブレード検出器を備えたダイシング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行うダイシング装置においては、高速で回転するブレードと称する薄型砥石で切削水をかけながらワークを加工する。このダイシング装置では、ワークの切残し量を設定値と精密に一致させることが重要である。このためにはブレードのZ軸(切込み方向)の位置決めを高精度に行うと共に、その繰返し精度も高精度が要求される。また、ブレードの摩耗量も考慮してZ軸方向の位置決めを常時補正する必要がある。そのため、設定された本数ワークの加工ラインを加工すると、ブレードの先端位置(刃先位置)を検出するブレード検出器でブレードの先端位置を検出し、 ブレードの刃先を常に同じ高さに保つようにZ軸を制御している。このブレード検出器は光学式の非接触の検出器が用いられている。
【0003】
一方、ブレードは使用を繰り返していると切断面が摩耗して切削性能が落ちてくるので、ブレードの切削性能を改善するために定期的にドレスという目立てを行っている。通常、ドレスはブレードを回転させた状態でドレスボードに擦らせることによって行う。
【0004】
従来は、ワーク加工テーブル上にドレスボードをセットしてドレスを行なっていた。この場合、ブレードをドレスボードのある位置までX軸方向及び/又はY軸方向に移動させなくてはならないので、ブレードをカッティングラインから一旦外すことになり、スピンドル位置及びワーク加工テーブル位置が変わるので、再び切削を開始するにはX軸方向、Y軸方向へのスピンドル位置、ワーク加工テーブル位置の位置決めをやりなおす必要があり、作業的にも時間的にもロスがあった。
【0005】
また、ドレスを行う手段として、職人がドレス棒を手で支持しつつブレードに当てることがしばしば行われていた。特に、ガラス等の切削時には厚いブレードを使用するので、その場合にはこの職人によるドレスが行われることが多かった。しかし、ブレードは超高速で回転しており、手で支持したときには手がブレード等に当たる恐れもある。また、ブレードが薄いときにはドレス棒をブレードに押しつけたときにブレードが割れてしまうこともある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ブレード検出器でブレードの刃先位置を検出する際にドレスを行うことによってドレスのためにブレードを位置決めする時間を短縮し、作業者に安全でかつブレードを損傷させずにドレスを行うことのできるダイシング装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明は、ブレードとワーク加工テーブルとを有し、 前記ワーク加工テーブル上で前記ブレードによりワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、
前記ワーク加工テーブル近傍に設けられると共に対向する検出ヘッドを有し、前記対向する検出ヘッド間に前記ブレードを位置させて前記ブレードの先端位置を検出するブレード検出器と、
前記ブレードをドレスするドレス部材と、からなり、
前記ドレス部材は、前記ブレードが前記ブレード検出器によって検出される際の検出位置から前記ブレードがZ軸方向に移動するだけでドレスされることができるような位置に配設されたことを特徴とするダイシング装置、からなる。
【0008】
請求項1記載の本発明によれば、ブレードの先端位置がブレード検出器によって検出されるときにブレードはX軸方向、Y軸方向についてブレード検出器の位置にまで移動する。検出位置からZ軸方向に移動しただけの位置でドレスできれば、ドレスのために別途ブレードをX軸方向、Y軸方向に位置決めする必要がなくなる。
【0009】
請求項2記載の本発明によれば、ドレス部材を検出ヘッド間の下方に配設することにより、検出ヘッドでブレードの外径、偏心が測定でき、その測定データに基づいてかつブレードを下方に移動させるだけでドレスをすることができる。
【0010】
請求項3記載の本発明によれば、円柱形のドレス部材を水平に配設することにより、円柱の外周の頂部でかつ水平状態でブレードをドレスすることができる。
【0011】
請求項4記載の本発明によれば、ドレス部材のドレスする箇所を回転方向にかつ長手方向にとることができる。
【0012】
請求項5記載の本発明によれば、ブレードが検出ヘッドによる検出位置から下降することにより斜め下方から出ているドレス部材の先端部に当たる。ドレスは検出ヘッドから離れた場所で行われる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置10の第1の実施の形態について詳説する。
【0014】
図1は本発明の第1の実施の形態に係るダイシング装置10の部分斜視図である。図1に示すように、回転するブレード11はエアーベアリング支持による高周波モータ内蔵型のスピンドル12に取付けられ、 30,000rpm〜60,000rpmで高速回転され、図示しない駆動手段によりY方向インデックス送りとZ方向切込み送りとがされるようになっている。ワークWを載置するワーク加工テーブル14は図示しないXテーブルに載置され、同じく図示しない駆動手段により、X方向に切削送りされる。Xテーブルの上部はテーブルカバー16で覆われ、更にテーブルカバー16の左右に取付けられた蛇腹17、17が前記図示しない駆動手段を覆っている。ワーク加工テーブル14に近接したブレード検出位置には、ブレード検出器20が配置されている。
【0015】
ブレード11の先端位置を検出するブレード検出器20について、その構成と作用を説明する。図2に示すように、ブレード検出器20は、Xテーブル15上にワーク加工テーブル14に隣接して設けられている。ブレード検出器20は光源21、グラスファイバー22、レンズ群23、 23A、プリズム24、24A、受光部26、データ処理手段27、ブレード変位算出手段28等からなっている。光源21から投光された光束はグラスファイバー22を経由した後、レンズ群23で集光され、プリズム24でY方向に反射され途中でサンプリングエリア25を形成した後拡散する。拡散した光束はプリズム24Aで反射され、レンズ群23Aで集光されて受光部26にいたる。
【0016】
一方、スピンドル12に保持されたブレード11は、Y、Z駆動手段13によってブレード検出器20の真上から徐々に下降して前述のサンプリングエリア25の光束を遮る。受光部26では受光量の変化を電気信号に変換してデータ処理手段27に送る。データ処理手段27では受光量の変化カーブのデータを処理し、ブレード変位算出手段28では基準の受光量変化曲線と測定した受光量変化曲線とを比較してブレード先端の変位を算出する。尚、ワーク加工テーブル上面高さZtとブレード検出器20の基準検出高さZcとの差は予め既知であるので、ブレード高さコントロール手段81は求められたブレード先端の変位から、ブレード11の必要な高さ位置を算出し、Z軸コントロール手段82を制御する。
【0017】
ドレス棒30の配置構造を説明する。図3はドレス棒30がブレード検出器20に配設された構造を示す斜視図である。図4(a)はドレス棒30の長手方向に沿ってブレード11、ブレード検出器20、ドレス棒30を切断した断面図、図4(b)はドレス棒30の幅方向に沿ってブレード11、ブレード検出器20、ドレス棒30を切断した断面図である。ドレス棒30は長手状の円柱形で一方の端部につまみ部32が取り付けられている。ドレス棒30はプリズム24とプリズム24Aとの間の空間の下方に配設されている。ブレード検出器20の、プリズム24、24Aを支持している基台34には、横断面で上部があいている円周状の凹部46が形成されている。この凹部46にはドレス棒30の下方3分の2が緊密に収容されている。したがって、ドレス棒30と基台34との間には相当の摩擦力が存在する。なお、ドレス棒30は、最上部が、基台34の上面(プリズム24、24Aと基台34との接合面)よりも若干低い高さに位置するように基台34に配設されている。ドレス棒30は、ドレス棒30の長手方向がプリズム24、24Aの長手方向と平行になるように、かつ水平に配設されている。ドレス棒30は、軸回りに回転可能になっており、かつ長手方向に移動可能になっている。ただし、ドレス棒30と凹部46との摩擦力により、ドレス棒30の軸回りの回転及び長手方向への移動は、容易に回転、移動はしないのであって、つまみ部32を介して相当の回転力、移動力を与えないと、回転、移動できない。
【0018】
第1の実施の形態の作用を説明する。
【0019】
ブレード検出器20がブレード11の先端位置を検出する工程については上述した。ここでは、その後のドレス工程について図5を用いて説明する。図5はドレス工程を示すフローチャートである。ブレード検出器20がブレード11の先端位置を検出した後、引き続きその検出位置でブレード検出器20がブレード11のブレード径及び偏心量を測定し、データ処理手段27にその測定情報が送られる(ステップ50)。ブレード変位算出手段28は、測定したブレード径・偏心量に基づきドレスすべき量を算出し、算出した情報はブレード高さコントロール手段81に送られる(ステップ52)。ブレード高さコントロール手段81は、算出されたドレス量情報に基づき、そのドレス量をドレスするためにブレード11の必要な高さ位置を算出し、Z軸コントロール手段82を制御する。Z軸コントロール手段82は、Y,Z駆動手段13を駆動させてブレード11が算出された高さ位置にくるようにする。すなわち、ブレード11は下降してドレス棒30に、計算された所望の強度で接している状態になる。その後、スピンドル12が駆動されてブレード11のドレスが実行される(ステップ54)。
【0020】
ドレスが実行されて終了したら、ブレード11が上昇して、ブレード検出器20がブレード11の先端位置を検出し、その検出位置でブレード検出器20がブレード11の摩耗量及び偏心量を測定する(ステップ56)。測定された摩耗量及び偏心量のデータはデータ処理手段27に送られ、データ処理手段27では摩耗量及び偏心量が所望の値であるかどうか判断する(ステップ58)。摩耗量及び偏心量が所望の値である場合には、処理は終了する。摩耗量及び偏心量が所望の値でなくドレス不足のときはステップ52に戻り、上記の処理に続く。
【0021】
第1の実施の形態では、ドレス棒30がブレード検出器20に配設されているため、作業者がドレス棒30を手に持ってドレスしなくて済むので作業者にとって安全である。また、ドレス棒30を強くブレード11に押圧することもないのでブレード11を損傷させずにドレスを行うことができる。さらに、ブレード検出器20での測定データを基にドレスをすることができるので便利かつ適量をドレスでき、ブレード11を下方に移動させるだけでドレスをすることができるのでドレスのためのブレード11の位置決め時間を短縮できる。また、ドレス棒30を円柱形としたことから、円柱形の外周面全部をドレス場所に利用することができ、1つのドレス棒30を最大限有効に利用することができるのでドレス棒30の交換回数も少なくて済む。
【0022】
第2の実施の形態を説明する。
【0023】
第1の実施の形態と同一の部材には同一の番号を付してその説明を省略する。図6(a)はプリズム24、24Aの長手方向に沿ってブレード11、ブレード検出器40、ドレス棒42を切断した断面図、図6(b)は図6(a)のAーA線断面図、である。
【0024】
ブレード検出器40は、図6(b)に示すように、横断面が凹字形に形成されており、溝部48は基台44の上半分強の深さまで形成されている。ドレス棒42は、図6(a)に示すように、基台44の端部付近で、溝部48の上部から基台44の外側に向かって斜め下方に長手方向がブレード11の半径方向にほぼ沿うように配設されている。溝部48の幅よりもドレス棒42の直径の方が小さくなっており、溝部48の内面とドレス棒42の外周面とは接していない。ドレス棒42は、図示しない保持装置で保持されている。ドレス棒42の最も高い部分は、プリズム24、24Aの頂部よりも低いが基台44の上面(プリズム24、24Aと基台44との接合面)よりも高い位置にある。上記の構成によって、ブレード11は、プリズム24、24Aによる先端位置の検出のときにはドレス棒42には接触しないが、その検出位置よりもブレード11が下降するとドレス棒42の先端に接触するようになっている。
【0025】
第2の実施の形態の作用を説明する。
【0026】
ブレード検出器40がブレード11の先端位置を検出する工程及びその後のドレス工程については、第1の実施の形態と同様である。すなわち、プリズム24、24Aによるブレード11先端部を検出する位置からブレード11が下降するだけでブレード11の先端をドレス棒42によってドレスすることができる。ただ、本形態では、ブレード11をドレスするときに、ドレス棒42の周囲ではなく、ドレス棒42の先端でドレスする。つまみ部32を回転させることによりドレス棒42を回転させることができ、つまみ部32をドレス棒42の長手方向に押し引きすればドレス棒を上下させることができる。これらによってドレスの場所を変えることができる。本形態によれば、ドレスをプリズム24、24Aから離れた場所で行うことができる。
【0027】
【発明の効果】
請求項1記載の本発明によれば、ブレード検出器でブレードの先端位置を検出する際にブレードをZ軸方向へ移動させるだけでドレスを行うことができるので、ドレスのためにブレードをX軸方向、Y軸方向へ位置決めする時間を省略でき、ドレス部材が特定箇所に配設されているため作業者に安全でありかつドレス部材を強くブレードに押圧しなくて済むのでブレードを損傷させずにドレスを行うことができる。
【0028】
請求項2記載の本発明によれば、検出ヘッドでの測定データを基にドレスをすることができるので便利かつ適量をドレスでき、ブレードを下方に移動させるだけでドレスをすることができるのでドレスのためのブレードの位置決め時間を短縮できる。
【0029】
請求項3記載の本発明によれば、ブレードをドレス部材で均一にドレスできると共にドレス部材のドレスする面積を多くとることができる。
【0030】
請求項4記載の本発明によれば、ドレス部材の円柱形の外周面全部をドレス場所に利用することができるので1つのドレス部材を最大限有効に利用することができ、ドレス部材の交換回数も少なくて済む。
【0031】
請求項5記載の本発明によれば、ドレス部材の先端部がブレードの外周に直角方向に当たるので有効にドレスすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るダイシング装置の部分斜視図
【図2】本発明の実施の形態においてブレード検出器の構成と作用を示した図
【図3】本発明の第1の実施の形態に係るドレス棒がブレード検出器に配設された構造を示す斜視図
【図4】本発明の第1の実施の形態において、(a)はドレス棒の長手方向に沿ってブレード、ブレード検出器、ドレス棒を切断した断面図、(b)はドレス棒の幅方向に沿ってブレード、ブレード検出器、ドレス棒を切断した断面図
【図5】本発明の実施の形態に係るドレス工程を示すフローチャート
【図6】本発明の第2の実施の形態において、(a)はプリズムの長手方向に沿ってブレード、ブレード検出器、ドレス棒を切断した断面図、(b)は(a)のAーA線断面図
【符号の説明】
10…ダイシング装置、11…ブレード、13…Y、Z駆動手段、14…ワーク加工テーブル、20…ブレード検出器、24、24A…プリズム、27…データ処理手段、28…ブレード変位算出手段、30…ドレス棒、34…基台、40…ブレード検出器、42…ドレス棒、44…基台、46…凹部、48…溝部、81…ブレード高さコントロール手段、82…Z軸コントロール手段
Claims (5)
- ブレードとワーク加工テーブルとを有し、 前記ワーク加工テーブル上で前記ブレードによりワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、
前記ワーク加工テーブル近傍に設けられると共に対向する検出ヘッドを有し、前記対向する検出ヘッド間に前記ブレードを位置させて前記ブレードの先端位置を検出するブレード検出器と、
前記ブレードをドレスするドレス部材と、からなり、
前記ドレス部材は、前記ブレードが前記ブレード検出器によって検出される際の検出位置から前記ブレードがZ軸方向に移動するだけでドレスされることができるような位置に配設されたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記ドレス部材は、前記検出ヘッド間の下方に配設されている請求項1記載のダイシング装置。
- 前記ドレス部材は、長手状の円柱形であって水平に配設されている請求項2記載のダイシング装置。
- 前記円柱形のドレス部材は、円柱形の軸回りに回転可能で、長手方向に移動可能である請求項3記載のダイシング装置。
- 前記ドレス部材は、長手状の円柱形であって、前記検出ヘッド間の斜め下方に長手方向が前記ブレードの半径方向にほぼ沿って配設されている請求項1記載のダイシング装置。
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