JP5804347B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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- ワークに対して相対的にY方向にインデックス送りとZ方向に切り込み送りとがされる回転ブレードと、前記ワークを載置して前記回転ブレードに対し相対的にX方向の切削送りがされるワーク加工テーブルを有し、前記回転ブレードにより前記ワークの切削加工を行うダイシング装置において、
前記ワーク加工テーブルに関して前記回転ブレードとは反対側で、前記ワーク加工テーブルが駆動しても干渉しない位置にその検出部が位置するように、前記回転ブレードを保持するスピンドルと同じ支持部材に取り付けられた、前記回転ブレードの先端位置を検出するブレード位置検出器を備え、
前記ブレード位置検出器は、ワーク加工中には前記ワーク加工テーブルを挟んで前記回転ブレードとは反対側に配置されることを特徴とするダイシング装置。 - 前記支持部材は、門型形状の鋳物製の部材であることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記ブレード位置検出器は、前記ワーク加工テーブルの回転半径内に配置されたことを特徴とする請求項1または2に記載のダイシング装置。
- 前記ブレード位置検出器は、前記回転ブレードと対向する位置に配置されたことを特徴とする請求項3に記載のダイシング装置。
- 前記スピンドルは、前記Z方向に通常切削加工時よりも大きな駆動範囲を有していることを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。
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