JP5488897B2 - ダイシング装置のカーフチェック方法及びカーフチェックシステム - Google Patents
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Description
〔実施例1〕
図8、9にミーティング切削(ウェーハ手前・奥側から2本のスピンドル(SP1、SP2:ブレード20A、20Bに相当)で中央に向かい加工を行う方法)の場合での検査手順について説明する。
〔実施例2〕
図10、11にシングルスピンドル(SP1のみ、又はSP2のみでウェーハ手前側、又は奥側から加工する方法)の場合での検査手順について説明する。
〔実施例3〕
図12、13にステップ切削(SP1でハーフカットを実施し、SP2側でフルカットを行う方法)の場合での検査手順について説明する。
Claims (7)
- ウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを、ブレードによって切削することにより、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置において、
前記ブレードによって、所定本数の溝を前記所定の間隔をもって前記ウェーハに加工した後、前記所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、2本以上隔てた位置にあるストリートを、前記ブレードによって切削することによりカーフチェック用の溝を前記ウェーハに加工し、前記カーフチェック用の溝を用いて、前記ブレードのカーフチェックを実施することを特徴とするダイシング装置のカーフチェック方法。 - 前記ブレードは、第1のブレードと第2のブレードとを備え、前記第1のブレードと前記第2のブレードによって、2本のストリートを独立して切削する請求項1に記載のダイシング装置のカーフチェック方法。
- 前記ブレードは、第1のブレードと第2のブレードとを備え、前記第1のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を前記第2のブレードで切削する請求項1に記載のダイシング装置のカーフチェック方法。
- ブレードと制御手段とを備え、前記ブレードを前記制御手段で制御することにより、ウェーハに所定の間隔をもって備えられた複数本のストリートを前記ブレードによって切削し、切断用の溝を前記ウェーハに加工するダイシング装置において、
前記制御手段は、前記ブレードによって所定本数の溝が前記所定の間隔をもって前記ウェーハに加工されると、又は外部入力手段から前記ブレードのカーフチェック指令信号が入力されると、前記所定本数の溝のうち最後に加工された溝のストリートから、2本以上隔てた位置にあるカーフチェック用のストリートを、前記ブレードによって切削させることを特徴とするダイシング装置のカーフチェックシステム。 - 前記カーフチェックシステムは、ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段の画像データを画像処理してカーフチェックを実施する画像処理手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ブレードが前記カーフチェック用のストリートを切削したのち、前記カーフチェック用のストリートに加工された溝を前記撮像手段で撮像させ、その画像データを前記画像処理手段で画像処理させることにより、前記ブレードのカーフチェックを実施する請求項4に記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。 - 前記ブレードは、第1のブレードと第2のブレードとを備え、前記制御手段は、前記第1のブレードと前記第2のブレードによって、2本のストリートを独立して切削させる請求項4又は5に記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。
- 前記ブレードは、第1のブレードと第2のブレードとを備え、前記制御手段は、前記第1のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削させ、その切削した溝内を前記第2のブレードで切削させる請求項4又は5に記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。
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