JP2018082030A

JP2018082030A - 治具

Info

Publication number: JP2018082030A
Application number: JP2016223054A
Authority: JP
Inventors: 柱三車; Jusam Cha
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-11-16
Filing date: 2016-11-16
Publication date: 2018-05-24

Abstract

【課題】チップ飛びによる切削ブレード検出器の破損を防止しうる治具を提供する。【解決手段】治具７は、切削装置１において使用され、切削ブレード検出器６を側方から保護する面を有する板状部７０と、板状部７０に連結され切削ブレード検出器６の近傍に固定される固定部７１と、を含み、チャックテーブル２と切削ブレード検出器６との間に配置され切削ブレード検出器６を保護する構成としたため、被加工物Ｗの切削時にチップ飛びが発生しても、切削ブレード検出器６に向けて飛散してきたチップを板状部７０が受け止めることから、切削ブレード検出器６にチップが衝突して故障するおそれを防止することができる。また、治具７は、簡易で、かつ、比較的小型な構成となっているため、持ち運びが容易であり、余剰スペースの少ない装置内部に簡単に設置することができる。【選択図】図４

Description

本発明は、切削ブレードの状態を確認する切削ブレード検出器を備えた切削装置において、切削ブレード検出器を保護する治具に関する。

被加工物を切削する切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削ブレードを備える切削手段と、切削ブレードの切り込み深さを調整するために切削ブレードの刃先の位置を検出する切削ブレード検出器と、切削ブレード検出器を保護する保護カバーと、被加工物を収容するカセットと、カセットに対して切削前の被加工物を搬出するとともに切削後の被加工物を搬入する搬出入手段とを備えている（例えば、下記の特許文献１を参照）。この切削装置では、カセットに収容されている切削前の被加工物をチャックテーブルに搬送し、切削が終了した被加工物をチャックテーブルからカセットに自動搬送することが可能となっている。

上記の切削装置のほかに、オペレータにより被加工物を装置内に搬送するマニュアルタイプの切削装置もある。この切削装置は、被加工物の搬出入作業を行うために装置前方側に取り付けられた開閉扉を備えており、オペレータが開閉扉を開閉して、装置内に被加工物を搬入するとともに、装置外へ被加工物を搬出することが可能となっている（例えば、下記の特許文献２を参照）。

特開２００３−２１１３５４号公報特開２０１２−１７８５１１号公報

上記の特許文献１の切削装置においては、切削ブレード検出器とチャックテーブルとが近接した位置にあるため、チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削する際に、チップ飛びが発生し切削ブレード検出器にチップが当たって、切削ブレード検出器のセンサーの一部が欠け、センサーの精度に影響を及ぼすことがある。そのため、防護カバーで切削ブレード検出器を覆うことが考えられる。しかし、防護カバーが比較的大きいため、例えば、上記の特許文献２に示すような小型の切削装置で防護カバーを使用しようとしても、装置内に余剰スペースが少ないため、防護カバーを設置することができないという問題がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、切削装置において、チップ飛びによる切削ブレード検出器の破損を防止しうる治具に本発明の解決すべき課題がある。

本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段と、該切削ブレードの状態を検出する発光部と受光部とを含む切削ブレード検出器と、を備えた切削装置において使用される治具であって、該切削ブレード検出器を側方から保護する面を有する板状部と、該板状部に連結され該切削ブレード検出器の近傍に固定される固定部と、を含み、該チャックテーブルと該切削ブレード検出器との間に配置され該切削ブレード検出器を保護する。

本発明にかかる治具は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段と、該切削ブレードの状態を検出する発光部と受光部とを含む切削ブレード検出器と、を備えた切削装置において使用され、切削ブレード検出器を側方から保護する面を有する板状部と、板状部に連結され切削ブレード検出器の近傍に固定される固定部と、を含み、チャックテーブルと切削ブレード検出器との間に配置され切削ブレード検出器を保護する構成としたため、被加工物の切削時にチップ飛びが発生しても、切削ブレード検出器に向けて飛散してきたチップを板状部が受け止めることから、切削ブレード検出器にチップが衝突して故障するおそれを防止することができ、切削ブレード検出器で切削ブレードの状態を検出する際に、検出不能となったり検出精度が低下したりするのを防止することできる。また、治具は、簡易で、かつ、比較的小型な構成となっているため、持ち運びが容易であり、余剰スペースの少ない装置内部に簡単に設置することができる。

切削装置の一例の構成を示す一部拡大斜視図である。切削ブレード検出器の構成を示す斜視図である。（ａ）は、治具の一例の正面側からみた斜視図である。（ｂ）は、治具の一例の背面側からみた斜視図である。治具で切削ブレード検出器を保護している状態を示す一部拡大斜視図である。

１切削装置の構成
図１に示す切削装置１は、被加工物Ｗを切削する切削装置の一例である。切削装置１は、Ｘ軸方向に延在する基台１００を有し、基台１００には、被加工物Ｗを保持する保持面２ａを有するチャックテーブル２を備えている。チャックテーブル２には、図示しない吸引源が接続されており、吸引源の吸引作用を受けた保持面２ａで被加工物Ｗを吸引保持することができる。

チャックテーブル２の周囲は、Ｘ軸方向に移動可能なウォーターケース３及び蛇腹状の防水カバー４によって囲繞されており、被加工物Ｗの切削時に使用される切削水をウォーターケース３や防水カバー４によって受け止めることができる。防水カバー４の下方側には、図示していないが、ウォーターケース３とともにチャックテーブル２をＸ軸方向に切削送りする切削送り手段が配設されている。

チャックテーブル２の上方側には、チャックテーブル２に保持された被加工物Ｗを切削する切削手段５を備えている。切削手段５は、チャックテーブル２の保持面２ａに対して平行に配設されＹ軸方向の軸心を有するスピンドル５０と、スピンドル５０の先端に装着された切削ブレード５１と、切削ブレード５１をカバーするブレードカバー５２と、切削ブレード５１に向けて切削水を噴射する噴射ノズル５３とを備えている。スピンドル５０が所定の回転速度で回転することにより、切削ブレード５１を所定の回転速度で回転させることができる。

ウォーターケース３の一端には、立設板１０１が連結されている。立設板１０１の切削手段５側のＹ軸方向端部に切削ブレード５１の状態（切削ブレード５１の刃の下端の高さ位置）を検出する切削ブレード検出器６を備えている。切削ブレード検出器６は、ウォーターケース３とともにＸ軸方向に移動可能となっている。

切削ブレード検出器６は、図２に示すように、本体６０と、検出光を発光する発光部６１と、発光部６１から発光された検出光を受光する受光部６２と、発光部６１と受光部６２との間に図１に示す切削ブレード５１が進入可能な空隙６３と、本体６０に連結された支持部６６と、支持部６６の上に配設され発光部６１及び受光部６２に洗浄水を供給する洗浄水供給ノズル６４ａ，６４ｂと、支持部６６の上に配設され発光部６１及び受光部６２にエアーを供給するエアー供給ノズル６５ａ，６５ｂとを備えている。図示していないが、発光部６１には、検出光の光源が接続され、受光部６２には、光電変換部が接続されている。そして、図１に示した切削ブレード５１が空隙６３に進入した状態で、受光部６２が発光部６１から発光された検出光を受光して、その受光量に基づいて切削ブレード５１の刃の下端のＺ軸方向の高さ位置を検出することができる。切削ブレード検出器６の配設位置は、図示の例に限定されず、チャックテーブル２の周辺であって、切削手段５と切削ブレード検出器６との相対移動により、切削ブレード５１が空隙６３に進入可能な位置であればよい。

２治具の構成
図１に示す治具７は、切削装置１において使用されるものであり、被加工物Ｗを切削する際に発生するチップ飛びから切削ブレード検出器６を保護する治具の一例である。治具７は、切削ブレード検出器６を側方から保護する面を有する板状部７０と、板状部７０の端部に連結され切削ブレード検出器６の近傍の位置に固定される固定部７１とを含んでいる。板状部７０及び固定部７１は、例えば、０．５ｍｍの厚みを有するステンレスなどの金属で構成されている。

図３（ａ）に示すように、治具７を構成する板状部７０は、第１の面７０ａと、第１の面７０ａと反対側の面である第２の面７０ｂとを有している。図示の例では、第２の面７０ｂが、図２に示した切削ブレード検出器６を側方から保護する面となっている。板状部７０は、切削ブレード検出器６を側方から覆うことができる程度に第２の面７０ｂ側が内側に向けて湾曲して形成され、例えばＲ形状に形成されている。このように形成される板状部７０によって切削ブレード検出器６を側方から覆うことにより、切削時に生じるチップ飛びから切削ブレード検出器６を保護することができる。ここで、側方から覆うとは、Ｘ軸方向側からかＹ軸方向側からかを問わず、横から覆うことを意味する。本実施形態に示した板状部７０の形状は、一例にすぎず、切削ブレード検出器６の大きさや形状に合わせて板状部７０を所定の位置で屈曲させて形成してもよい。

固定部７１は、第１の面７１ａと、第１の面７１ａと反対側の面である第２の面７１ｂとを有し、例えば断面略Ｕ字形状に折り曲げられ、第１の面７１ａと第２の面７１ｂとの間に図１に示した立設板１０１に引っ掛けるための溝部７２が形成されている。図３（ｂ）に示すように、固定部７１の第２の面７１ｂには、ネジ８を螺合するためのネジ孔７３が形成されている。実際には、治具７は、１枚の板状部材を塑性加工することで、板状部７０と固定部７１とに形成されており、部品点数が少なくて済み、簡易な構成となっている。

次に、治具７の切削装置１への設置について説明する。まず、図３（ａ）に示す固定部７１の溝部７２を、図４に示すように、切削ブレード検出器６の近傍の位置で立設板１０１に引っ掛けて、図３（ｂ）に示す第２の面７１ｂのネジ孔７３からネジ８を螺合させ、第２の面７１ｂを立設板１０１の背面に固定する。その結果、立設板１０１に取り付けられた切削ブレード検出器６が板状部７０の第２の面７０ｂの内側に位置づけられ、板状部７０により切削ブレード検出器６が側方から覆われる。このようにして、治具７を、図１に示すチャックテーブル２と切削ブレード検出器６との間に配置し、切削手段５と切削ブレード検出器６との間に板状部７０を介在させる。

続いて、治具７が設置された切削装置１において被加工物Ｗを切削する動作について説明する。図１に示した被加工物Ｗは、略円形板状に形成されており、被加工物Ｗの表面には、分割予定ラインＬで区画された各領域に複数のデバイスＤが形成されている。まず、被加工物Ｗをチャックテーブル２に搬送して、図示しない吸引源の吸引力を作用させた保持面２ａで被加工物Ｗを吸引保持する。その後、切削送り手段によってチャックテーブル２がＸ軸方向（例えば正面から見て左方向）に移動することにより、チャックテーブル２と切削手段５とを相対的に切削送りしながら、切削手段５は切削ブレード５１を例えば正面から見て時計回り方向に回転させながら被加工物Ｗに対してＺ軸方向に切り込み送りして、分割予定ラインＳに沿って切削ブレード５１を切り込ませていわゆるダウンカットにより切削する。被加工物Ｗの切削中は、噴射ノズル５３から切削ブレード５１に向けて切削水を供給して切削ブレード５１を冷却しつつ、被加工物Ｗを個々のデバイスＤを有するチップに分割する。

このとき、特に切削ブレード５１が正面から見て時計回りに回転していると、分割されたチップが切削ブレード検出器６側に飛散しやすいが、切削ブレード検出器６に向けてチップが飛散してきても、板状部７０の第１の面７０ａによってチップが受け止められるため、切削ブレード検出器６にチップが衝突するのを防ぐことができる。また、切削ブレード５１が正面から見て時計回りに回転していると、切削屑を含む切削水も切削ブレード検出器６側に飛散するが、切削屑を含む切削水が飛散してきても、板状部７０の第１の面７０ａに受け止められるため、かかる切削水が切削ブレード検出器６に付着するのを防ぐことができる。

以上のとおり、本発明にかかる治具７は、切削装置１において使用され、切削ブレード検出器６を側方から保護する面を有する板状部７０と、板状部７０に連結され切削ブレード検出器６の近傍に固定される固定部７１と、を含み、チャックテーブル２と切削ブレード検出器６との間に配置され切削ブレード検出器６を保護する構成としたため、被加工物Ｗの切削時にチップ飛びが発生しても、切削ブレード検出器６に向けて飛散してきたチップを板状部７０が受け止めることから、切削ブレード検出器６にチップが衝突して故障するおそれを防止することができ、切削ブレード検出器６で切削ブレード５１の状態を検出する際に、検出不能となったり検出精度が低下したりするのを防止することできる。
また、治具７は、簡易で、かつ、比較的小型な構成となっているため、持ち運びが容易であり、余剰スペースの少ない装置内部に簡単に設置することができる。したがって、例えば、マニュアルタイプの切削装置にも治具７を設置して使用することが可能となる。

１：切削装置１００：基台１０１：立設板
２：チャックテーブル２ａ：保持面３：ウォーターケース４：防水カバー
５：切削手段５０：スピンドル５１：切削ブレード５２：ブレードカバー
５３：噴射ノズル
６：切削ブレード検出器６０：本体６１：発光部６２：受光部６３：空隙
６４ａ，６４ｂ：洗浄水供給ノズル６５ａ，６５ｂ：エアー供給ノズル
６６：支持部
７：治具７０：板状部７１：固定部７２：溝部７３：ネジ孔
８：ネジ

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段と、該切削ブレードの状態を検出する発光部と受光部とを含む切削ブレード検出器と、を備えた切削装置において使用される治具であって、
該切削ブレード検出器を側方から保護する面を有する板状部と、
該板状部に連結され該切削ブレード検出器の近傍に固定される固定部と、を含み、
該チャックテーブルと該切削ブレード検出器との間に配置され該切削ブレード検出器を保護する治具。