JP5660013B2 - バンドソー切断装置及びインゴットの切断方法 - Google Patents
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Description
このようなコーン状の端部の切断加工や胴体部を複数のブロックに切断加工する場合には、内周刃スライサー、外周刃スライサーなどが多く用いられてきた。近年のウェーハの大口径化に伴ってバンドソー切断装置も多く使用されるようになってきた(例えば、特許文献1参照)。
図3に示すように、バンドソー切断装置101には切断時にインゴット104を支持するための切断テーブル105が設置されている。切断前において、インゴット104は切断テーブル105上に水平に載置される。また、バンドソー切断装置101には、薄いブレード台金の端部にダイヤモンドの砥粒を糊着してなるブレード砥粒部で構成されるエンドレスベルト状のブレード102がプーリー103、103’間に張設されている。
このようにして切断を重ねていくと、ブレード砥粒部に切断粉末が堆積するなどしてダイヤモンド砥粒が埋もれたり、切断によって砥粒が摩耗或いは脱落してその切断能力が低下してしまう。
近年、バンドソー切断装置に用いられるブレードは、インゴットの切断時における取り代を少なくすることによって製品歩留りを向上させるため、薄型化されたものが使用されるようになってきている。特にこのような薄型化されたブレードを用いた場合、ブレードの変位が起こりやすい。
このブレード102の変位を抑制するために、図3に示すように、バンドソー切断装置101にはブレード102の周回方向に対してインゴット104の切断位置の前後に静圧パッド106、106’が設けられている。静圧パッド106、106’は、一対のパッド部材でブレードを挟み込み、それぞれのパッド部材に設けられた噴出口からクーラントをブレードの両側面に噴出してブレードが切断中のインゴットの軸方向に対して変位しないように案内するものである。
このようなものであれば、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できるものとなる。
このようにすれば、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できる。
一般に、インゴットを切断するバンドソー切断装置にはブレードの変位を抑制するための静圧パッドが設けられている。しかし、このバンドソー切断装置でインゴットを切断しても、切断中にブレードの変位が大きくなってしまうことがある。これにより、切断精度及び品質の悪化、ブレード寿命の低下、切断速度を向上できないなどの問題を生じる。そのため、ブレードの変位を切断開始から切断終了までに亘って安定的に抑制することが課題となっている。
図1に示すように、本発明のバンドソー切断装置1は、インゴット4を水平に載置するための切断テーブル5、インゴット4を切断するためのエンドレスベルト状のブレード2、ブレード2を周回駆動させるためのプーリー3、3’、ブレード2が切断中のインゴット4の軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッド6、6’等を具備している。静圧パッドの材質は、例えば、カーボン材とすることができる。
プーリー3、3’はその回転軸周りに回転可能に構成され、その回転軸が切断テーブル5上に水平に載置されたインゴット4の中心軸に対して垂直になるように配置される。これらプーリー3、3’間にエンドレスベルト状のブレード2がブレード砥粒部を下方に向けるようにして張設される。ブレード2はプーリー3、3’が回転することで周回駆動する。
またここで、特に限定されることはないが、ブレード2をプーリー3、3’間で張り上げる張力を1t以上とすることができる。このようにプーリー3、3’間での張り上げ張力を1t以上とすれば、1軸駆動の場合であっても、ブレード2の周回駆動の方向に関わらず回転中にブレード2にブレが発生するのを防ぐことができる。
切断テーブル5は、インゴット4を切断する位置をブレード2の位置に合わせるように調整する移動機構を有している。
図1(B)に示すように、ブレード2の変位を測定する変位センサ11を設けることができる。
また、本発明のバンドソー切断装置には、図1(A)に示すように、駆動部7、7’と制御部8とが設けられている。
駆動部7、7’は、静圧パッド6、6’をブレード2の周回方向に対して前後方向に移動させるものであり、例えば、LMガイドやボールネジを用いて構成できる。制御部8は駆動部7、7’によって静圧パッド6、6’を移動する際の移動距離及び移動速度を制御するものであり、例えば、サーボモータを用いて構成できる。
このような本発明のバンドソー切断装置であれば、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を調整できるので、インゴットの切断開始から切断終了に亘ってブレードの変位を安定的に抑制できるものとなる。
このように、切断中に静圧パッドを移動制御することで、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できるものとなる。
まず、インゴット4を切断するためのエンドレスベルト状のブレード2をプーリー3、3’間に張設し、静圧パッド6、6’をブレード2の周回方向に対してインゴット4の切断位置の前後に配置する。上記したように、静圧パッド6、6’はブレード2の両側面からクーラントを噴出してブレード2が切断中のインゴット4の軸方向に対して変位しないように案内するものである。
このような本発明のインゴットの切断方法であれば、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を調整できるので、インゴットの切断開始から切断終了に亘ってブレードの変位を安定的に抑制できる。
このように、静圧パッドを移動させることで、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できる。
その他の切断条件としては従来と同様にすることができるが、例えば、ブレードを相対的に下方に送る速度(切断速度)を25〜30mm/minとすることができる。また、クーラントを噴出する際の圧力を0.1〜0.4MPa、流量を300〜2000cc/minとすることができる。
図1に示すような本発明のバンドソー切断装置を用い、本発明のインゴットの切断方法に従って、直径300mmのシリコン単結晶インゴットをサンプルウェーハに切断し、切断中のブレードの変位量を測定し、切断されたウェーハの不良率、ブレードの寿命を評価した。ここで、不良率はブレードの変位が大きくなることでウェーハに基準以上の大きさのソリが発生した割合を表し、ブレードの寿命は切断した回数で表す。
ここで、切断条件を以下のようにした。ブレードはブレード台金の厚さが0.5mmのものを使用した。ブレードの送り速度(切断速度)を27mm/minとし、クーラント噴出時の圧力を0.2MPa、その流量を2000cc/minとした。切断中には静圧パッドを、図2に示すように、インゴットの側面形状に沿うように移動させ、インゴットの側面と静圧パッドとの距離d、d’が一定(30mm)で、かつ距離dとd’とが同じになるようにした。
また、ブレードの変位を安定して抑制できたことで、ブレードの送り速度を30mm/minまで増加させてもブレードの変位を十分安定的に抑制でき、切断速度を10%程度向上できた。
図3に示すような、本発明のバンドソー切断装置の駆動部及び制御部を有していない従来のバンドソー切断装置を用い、切断中に静圧パッドを移動させずその位置を固定させた以外、実施例と同様な条件でインゴットを切断し、実施例と同様に評価した。
その結果、ブレードの変位量が200〜300μm間で不安定に推移し、実施例の100μm以下の結果と比べ悪化していた。また、ウェーハの不良率は10%と実施例と比べ悪化していた。ブレードの寿命は300回と実施例と比べ少なかった。
また、ブレードの送り速度を30mm/minとして切断したところ、ブレードが変位量が大きくなり過ぎてしまい、目的の品質のウェーハを得ることができなかった。
4…インゴット、 5…切断テーブル、 6、6’…静圧パッド、
7、7’…駆動部、 8…制御部、 9…インゴット側面形状、
10…静圧パッドの移動軌跡、11…変位センサ。
Claims (4)
- インゴットを水平に載置する切断テーブルと、プーリー間に張設され、該プーリーの回転によって周回駆動される、前記インゴットを切断するためのエンドレスベルト状のブレードと、該ブレードの周回方向に対して前記インゴットの切断位置の前後にそれぞれ配置され、前記ブレードの両側面からクーラントを噴出して前記ブレードが切断中の前記インゴットの軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッドとを具備し、周回駆動された前記ブレードを前記静圧パッドによって案内しながら、前記ブレードを前記インゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するバンドソー切断装置であって、
さらに、前記静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前後方向に移動させる駆動部と、該駆動部による前記静圧パッドの移動距離及び移動速度を制御する制御部とを有し、
前記静圧パッドを前記制御部で移動制御しながら前記インゴットを切断するものであることを特徴とするバンドソー切断装置。 - 前記インゴットの切断中における前記静圧パッドの移動を、前記インゴットの側面形状に沿うように制御するものであることを特徴とする請求項1に記載のバンドソー切断装置。
- 切断テーブルにインゴットを水平に載置し、プーリーの回転によって周回駆動される、前記インゴットを切断するためのエンドレスベルト状のブレードを前記プーリー間に張設し、前記ブレードの両側面からクーラントを噴出して前記ブレードが切断中の前記インゴットの軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前記インゴットの切断位置の前後に配置し、周回駆動された前記ブレードを前記静圧パッドによって案内しながら、前記ブレードを前記インゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴットの切断方法であって、
前記静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前後方向に移動させながら前記インゴットを切断することを特徴とするインゴットの切断方法。 - 前記インゴットの切断中における前記静圧パッドの移動を、前記インゴットの側面形状に沿うように行うことを特徴とする請求項3に記載のインゴットの切断方法。
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