WO2014010468A1 - ワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法 - Google Patents

ワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法 Download PDF

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WO2014010468A1
WO2014010468A1 PCT/JP2013/068113 JP2013068113W WO2014010468A1 WO 2014010468 A1 WO2014010468 A1 WO 2014010468A1 JP 2013068113 W JP2013068113 W JP 2013068113W WO 2014010468 A1 WO2014010468 A1 WO 2014010468A1
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WO
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wire
wire saw
processing
roller
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PCT/JP2013/068113
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French (fr)
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弘志 中本
河津　知之
智 石塚
亮範 日俣
孝文 佐竹
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コマツＮｔｃ 株式会社
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/08—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with saw-blades of endless cutter-type, e.g. chain saws, i.e. saw chains, strap saws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Definitions

  • the present invention relates to a wire saw for cutting a workpiece made of a brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and ceramics with a wire, and a workpiece processing method using the wire saw.
  • the present invention relates to a wire saw and a workpiece processing method suitable for cutting a plate-like workpiece into slices.
  • Patent Document 1 and Patent Document 2 Conventionally, this type of wire saw is disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, for example.
  • the conventional wire saws described in Patent Documents 1 and 2 have four or a pair of processing rollers extending in parallel along the horizontal direction, and each processing roller is rotatable about its axis.
  • a plurality of annular grooves are formed on the outer periphery of each processing roller, and a wire is wound around the processing rollers along the annular grooves.
  • a feeding device having a movable body that can be moved up and down so as to selectively approach and move away from a wire between a pair of processing rollers arranged on the upper side is provided, and a workpiece bonded to a plate is provided on the movable body. Is retained.
  • the moving body of the feeding device is moved in the machining feed direction while the wire is moved around by the rotation of the machining roller. Accordingly, the workpiece is moved toward the wire between the processing rollers, and the workpiece is cut into slices by the wire. In addition, after the workpiece is cut, the moving body of the feeding device is moved so as to return to the direction opposite to the machining feed direction, so that the workpiece after cutting is moved away from the wire, and the wire moves around the wire. It is sent from the inside to the outside.
  • the workpiece is a workpiece that is long along the machining feed direction
  • the workpiece cut in a slice shape may crack when it comes into contact with the wire.
  • An object of the present invention is to provide a wire saw capable of easily and accurately cutting a plate-shaped workpiece from the tip in the workpiece feeding direction, and a workpiece processing method using the wire saw.
  • a wire is wound between a plurality of processing rollers, and the wire is moved around the processing roller by rotation of the processing roller.
  • a wire saw is provided that cuts a plate-shaped workpiece with the wire at the workpiece cutting position.
  • the wire saw includes a work guide unit that guides the work so that the work is moved along a work feeding direction toward the wire at the work cutting position in a standing state.
  • the wire saw is disposed at a workpiece receiving position set downstream of the workpiece guiding portion in the workpiece feeding direction, and receives a workpiece cut by the wire in the standing state.
  • a receiving part is provided.
  • a wire is wound between a plurality of processing rollers, and the wire is moved around the processing roller by rotation of the processing roller, so that the workpiece is cut at a workpiece cutting position.
  • a workpiece machining method using a wire saw that cuts a plate-like workpiece with the wire is provided.
  • the workpiece is moved along the workpiece feeding direction toward the wire at the workpiece cutting position in the standing state, the workpiece is cut by the wire, and the cut workpiece is kept in the standing state, After the wire is retained inside the circulation area in which the wire moves around, the wire is carried out from the inside of the rotation area of the wire to the outer position along the axial direction of the processing roller.
  • the workpiece in the standing state is fed and moved toward the wire at the workpiece cutting position by the workpiece guide, and is cut from the tip in the workpiece feeding direction by the wire.
  • the cut workpiece is received by the workpiece receiving portion while maintaining the standing state at the workpiece receiving position on the downstream side in the workpiece feeding direction. Therefore, the workpiece can be stably fed and moved toward the wire between the processing rollers without fixing the workpiece to the feeder, and the workpiece after cutting can be stably received.
  • the work for fixing or removing the work from the body is not necessary.
  • the feeding device since the workpiece is not fixed to the moving body of the feeding device, the feeding device is not moved so as to return to the direction opposite to the machining feeding direction after the workpiece is cut. That is, unlike the conventional structure, the cut workpiece does not move again through the workpiece cutting position. Therefore, it can prevent that the cut workpiece
  • the work can be fed and moved toward the wire between the processing rollers without being fixed to the feeder, and can be cut, and the cut work can be prevented from being damaged by the wire. Demonstrate.
  • the perspective view which expands and shows one guide roller in the guide roller unit of FIG. The perspective view which shows the workpiece
  • work guide part of FIG. The perspective view which expands and shows the workpiece
  • the partial expanded sectional view which shows the press structure of the workpiece
  • the wire saw has a device frame 31 including a device base 32 and a device cover 33 disposed on the device base 32.
  • a front opening 34 is formed at the front and the front of the upper surface of the apparatus cover 33, and a rear opening 35 is formed at the rear and the rear surface of the upper surface of the apparatus cover 33.
  • a plurality of (four in the present embodiment) front doors 36 having a substantially inverted L-shaped cross-sectional shape are attached to the front opening 34 so as to be slidable between a position where they overlap each other and a position where they extend in the left-right direction. ing.
  • a plurality of (four in this embodiment) rear doors 37 having a substantially inverted L-shaped cross-sectional shape are attached to the rear opening 35 so as to be slidable between a position where they overlap each other and a position where they extend in the left-right direction. It has been.
  • the right and left are the right and left in FIGS. 1 to 6, FIG. 17, FIG.
  • a plurality of plate-like workpieces 49 are loaded into the apparatus frame 31 in an unprocessed state, cut and machined in the apparatus frame 31, and the processed workpieces 49 are unloaded from the apparatus frame 31.
  • a front door accommodating portion 38 is provided at the left end portion of the apparatus frame 31. As shown in FIG. 3, when the unprocessed workpiece 49 is carried into the apparatus frame 31, the left three front doors 36 are stored in a state where they overlap each other in the front door storage portion 38. The left side of the opening 34 is opened. As shown in FIG.
  • the three front doors 36 on the left side are stored in the front door storage unit 38 and the right end
  • One front door 36 is disposed at the left end position of the front opening 34, and the right side of the front opening 34 is opened.
  • a rear door accommodating portion 39 is provided at the right end of the device frame 31. As shown in FIG. 5, the entire rear opening 35 can be opened by accommodating all the rear doors 37 in the rear door accommodating portion 39 of the side end portion.
  • a support bracket 41 is fixed to the upper right side of the device base 32 in the device frame 31.
  • the support bracket 41 includes a pair of front and rear frames 42 and 43 made of an iron plate, and a plurality of installation members 44 that act as reinforcing members made of iron square pipes installed between the frames 42 and 43. .
  • the front frame 42 is formed with an opening 421 for carrying the processed workpiece 49 forward.
  • four processing rollers 45 are supported so as to be arranged at the positions of the quadrangular vertexes. That is, the four processing rollers 45 are arranged in parallel to each other along the horizontal direction at an interval between the upper and lower portions on the left side and the upper and lower portions on the right side in FIG.
  • Each processing roller 45 is rotatable about its axis.
  • a large number of annular grooves 46 are formed on the outer peripheral surface of each processing roller 45.
  • a wire 47 is wound between the annular grooves 46 of the processing roller 45 in a wound state. 3 to 5, the internal structure of the support bracket 41 and the processing roller 45 is omitted.
  • FIGS. 7 and 8 four motors 48 for directly rotating and driving the processing rollers 45 are supported on the rear surface of the rear frame 43 of the support bracket 41, respectively. Then, the processing rollers 45 are rotated in the same direction at the same speed by these motors 48, and the wires 47 move around the processing rollers 45.
  • the workpiece 49 is moved toward the workpiece cutting position along the workpiece feeding direction. That is, the work 49 is horizontally moved in the right direction toward the wire 47 between the processing rollers 45 disposed on the left side above and below. At this time, the workpiece 49 is cut into slices from the tip in the feeding direction by the wire 47.
  • the tension of the wire 47 between the processing rollers 45 is kept substantially constant by the respective processing rollers 45 being rotated and driven individually by a plurality of motors 48.
  • a supply nozzle 50 is disposed above the work 49 at the work cutting position.
  • the supply nozzle 50 supplies a machining fluid such as slurry to the wire 47 at the workpiece cutting position obliquely from above.
  • the processing roller 45 disposed on the lower left side is displaced toward the right side with respect to the processing roller 45 disposed on the upper left side.
  • the processing roller 45 disposed below is disposed downstream of the processing roller 45 disposed above in the workpiece feeding direction.
  • the wire 47 between the processing rollers 45 disposed on the upper and lower sides on the left side is disposed in a state of being inclined toward the right side with respect to the vertical direction toward the lower side.
  • each of the processing rollers 45 has a support shaft 51 extending along the axial direction thereof, and a plurality of disk-shaped members fitted on the support shaft 51 via keys 52. And a roller piece 53.
  • the roller piece 53 is laminated along the axial direction of the processing roller 45 so as to be removable.
  • the plurality of roller pieces 53 are arranged in parallel so as to correspond to the positions and thicknesses of the plurality of workpieces 49.
  • the annular grooves 46 are formed at a predetermined pitch.
  • each roller piece 53 on the support shaft 51 can be removed and replaced with a roller piece having annular grooves 46 with different widths and different pitches.
  • a first wire guide 54 disposed in a wire path between one end of the left upper processing roller 45 and a reel (not shown). Is arranged. Further, a second wire guide 55 is disposed in a wire path between the other end of the upper processing roller 45 on the right side and a reel (not shown).
  • a pair of guide roller units 56 are respectively arranged on the right side of the processing rollers 45 arranged above and below the right side.
  • each guide roller unit 56 includes a plurality of guide rollers 57 so as to correspond to the plurality of roller pieces 53 of the processing roller 45, respectively.
  • Each guide roller 57 obliquely guides the wire 47 from the roller piece 53 of the upper processing roller 45 to the roller piece 53 of the lower processing roller 45 corresponding to the roller piece 53 adjacent to the roller piece 53. .
  • the number of times the wire 47 goes around each roller piece 53 is determined by the number of annular grooves 46 of the roller piece 53.
  • the winding width 471 of the wire 47 of each roller piece 53 also varies depending on the number of annular grooves 46 of the roller piece 53.
  • the guide roller unit 56 extends in parallel with the axis of the processing roller 45 and includes a support rod 58 made of a channel material.
  • This support rod 58 is fixed to the apparatus frame 31.
  • a plurality of support plates 59 respectively corresponding to the plurality of guide rollers 57 are supported by the support rod 58 so as to be movable along the extending direction of the support rod 58 (the axial direction of the processing roller 45).
  • Each support plate 59 has an engagement recess 591 at its base end, and is engaged with the support rod 58 in the engagement recess 591.
  • a fixed plate 60 is movably attached to the open end of the engaging recess 591 of the support plate 59 so as to selectively approach and separate from the support rod 58.
  • a pair of operation levers 61 for moving and operating the fixed plate 60 is rotatably supported. Then, in a state where the support plate 59 is moved to a predetermined position on the support rod 58, by rotating both the operating levers 61, the fixed plate 60 is moved to a position where the support rod 58 is pressed, and the support plate 59 is fixed in place on the support rod 58.
  • a guide groove 592 for guiding the wire 47 is formed at the tip of the support plate 59 in the guide roller unit 56.
  • a substantially L-shaped planar support arm 62 is supported on the side surface of the support plate 59 via a shaft support member 63 so as to be rotatable about the axis of the guide groove 592 on the support plate 59.
  • Guide grooves 621 and 631 that are aligned with the guide grooves 592 on the support plate 59 are formed at the distal end of the base of the support arm 62 and the shaft support member 63.
  • the guide roller 57 is rotatably supported at the front end of the support arm 62 via a support shaft 64.
  • a long hole 622 is formed in the base portion of the support arm 62 in the guide roller unit 56 so as to extend in an arc shape around the axis of the guide grooves 592, 621, 631.
  • a fixing screw 65 is screwed onto the support plate 59 through a long hole 622 of the support arm 62. Then, in a state where the fixing screw 65 is loosened, the support arm 62 is rotated around the axis of the guide grooves 592, 621, 631, so that the inclination angle of the guide roller 57 changes the wire 47 on the roller piece 53. It is adjusted according to the winding width.
  • the winding width of the wire 47 on the roller piece 53 corresponds to the plate thickness of the workpiece 49.
  • a supply pallet that functions as a work guide for moving a plate-shaped work 49 along the work feeding direction. 67 is provided.
  • a large dimension in the height direction of the apparatus frame 31 is ensured even for the long plate-like workpiece 49. Therefore, the workpiece 49 can be easily fed and moved in the lateral direction toward the workpiece cutting position.
  • a support table 68 is fixed on the device base 32.
  • a pair of support tables 70 are provided for removably supporting a supply pallet 67 on which a plurality of plate-like workpieces 49 are mounted.
  • an engagement protrusion 71 that can be engaged with an engagement hole (not shown) formed on the bottom surface of the supply pallet 67 is provided.
  • a plurality of positioning members 72 for positioning the supply pallet 67 at predetermined positions corresponding to the wires 47 between the processing rollers 45 are arranged on the upper surface of the support table 68.
  • a pair of guide rods 73 for guiding the supply pallet 67 on which the work 49 is placed onto the support base 70 are projected.
  • the left three front doors 36 are accommodated in the front door accommodating portion 38, and the front opening 34 is The left side is opened.
  • the supply pallet 67 on which a plurality of plate-like workpieces 49 are arranged is suspended by a crane and carried into the inside from the left-side opening part of the front opening 34 of the apparatus frame 31. Then, the supply pallet 67 is placed on the support base 70 while being guided by the guide rod 73, positioned at a predetermined position by the positioning member 72, and moved onto the support base 70 by engagement with the engagement protrusion 71. Held impossible.
  • the supply pallet 67 includes a guide stand 74.
  • a plurality of bottom guide surfaces 741 made of ridges and a plurality of concave groove-shaped arrangement portions 742 are alternately formed.
  • the bottom guide surface 741 supports the bottoms of the plurality of plate-like workpieces 49 and guides the workpieces 49 so as to slide in the right direction in parallel with each other.
  • a work guide member 75 is disposed in each placement portion 742.
  • a discard material 76 made of a small piece of cuttable synthetic resin is attached at the rear end in the workpiece feeding direction of each workpiece 49, that is, at the upper portion of the left end of each workpiece 49.
  • This waste material 76 is bonded using a low melting point adhesive before the workpiece 49 is placed on the guide stand 74.
  • a work restricting member 77 that acts as a slip-preventing member is engaged with the engaging recess 771 at the lower end on both sides and the guide table 74. Removably attached by engagement with the mating pin 78.
  • the work restricting member 77 includes a restricting portion 772 for restricting the work 49 on the supply pallet 67 from sliding to the right side when the supply pallet 67 is carried into the apparatus frame 31 by a crane, and the work restricting member. And a handle 773 for attaching / detaching 77 to / from the supply pallet 67.
  • each work guide member 75 of the supply pallet 67 includes a guide block 79 arranged on the arrangement part 742 of the guide table 74 at an interval.
  • a side guide surface 792 for guiding the first side surface of the workpiece 49 on the bottom guide surface 741 is formed on one side surface of the guide block 79.
  • the guide block 79 is fixed in the arrangement portion 742 by the wedge action of the two wedge-shaped fixing members 743 and 744. Therefore, the guide block 79 can be replaced by removing the fixing members 743 and 744.
  • a plurality of types of guide blocks having different thicknesses are prepared. As shown in FIG. 19, the foremost guide block 79 is fixed on the guide stand 74 so as not to move.
  • a pair of recesses 791 are formed on the upper surface of the guide block 79.
  • a pressing body 80 is detachably attached by engagement between an engagement hole 801 provided on the bottom surface thereof and an engagement pin 81 projecting on the inner bottom surface of the recess 791. ing.
  • a loop-shaped handle 82 for projecting and removing the pressing body 80 with respect to the concave portion 791 of the guide block 79 is projected.
  • Each of the pressing bodies 80 includes a support block 83 having a pressing pin 84 that is movable in a direction perpendicular to the side surface of the workpiece 49.
  • Each pressing body 80 includes a spring 85 that urges the pressing pin 84 to press toward the side surface of the workpiece 49, and a holding plate 86 that holds the pressing pin 84 and the spring 85 in the support block 83.
  • the pressing pin 84 of the pressing body 80 presses the second side surface of the work 49 by the biasing force of the spring 85, and the work 49 guides between the pressing pin 84 and the side guide surface 792 of the adjacent guide block 79. Held possible.
  • the guide block 79 is replaced with a guide block having a different thickness.
  • the pressing body 80 can be replaced with a newly used guide block 79.
  • a ball screw 87 extends along the moving direction (work feeding direction) of the work 49 on the device base 32 of the device frame 31, and its axis It is supported so that it can rotate around.
  • a motor 88 for rotating the ball screw 87 is disposed on the apparatus base 32.
  • a moving member 89 is screwed onto the ball screw 87 via a nut portion 891 so as to be movable relative to the ball screw 87 along the axial direction of the ball screw 87.
  • At the upper end of the moving member 89 there is provided an extruded body 90 that can be joined to the discard material 76 bonded to the left end of the work 49.
  • a flexible cover 91 for covering the periphery of the ball screw 87 and the motor 88 is provided.
  • a workpiece receiving position is set on the downstream side of the wire 47 in the workpiece feeding direction on the right side of the upper surface of the apparatus base 32 in the apparatus frame 31.
  • the workpiece receiving portion 93 for receiving the cut workpiece 49 is disposed at the workpiece receiving position. That is, the workpiece receiving portion 93 is disposed on the downstream side of the workpiece cutting position in the workpiece feeding direction.
  • the workpiece receiving portion 93 and the supply pallet 67 are arranged side by side with the wire 47 between the two processing rollers 45 disposed above and below the workpiece cutting position.
  • the work receiving portion 93 includes a support table 94 fixed on the apparatus base 32.
  • a pair of guide rails 95 and a pair of roller conveyors 96 are laid on the upper surface of the support table 94 so as to extend in parallel in the front-rear direction perpendicular to the workpiece feeding direction.
  • a carry-out table 97 is disposed outside the apparatus frame 31 and in front of the support table 94.
  • the receiving pallet 100 is supported on the roller conveyors 96, 99 so as to be movable in the front-rear direction along the guide rails 95, 98.
  • the receiving pallet 100 holds the workpiece 49 cut and processed in a slice shape with the feeding posture standing.
  • the receiving pallet 100 is movable between the inside of the circulation area in which the wire 47 circulates and the front outside thereof.
  • a cylinder 101 is disposed that acts as a carry-out member that moves the receiving pallet 100 in the front-rear direction.
  • a stopper 102 for restricting the moving end position of the receiving pallet 100 is disposed.
  • the receiving pallet 100 Before the workpiece 49 is cut, the receiving pallet 100 is moved and installed by the cylinder 101 to the workpiece receiving position inside the wire circulation area on the support table 94. In this state, the receiving pallet 100 receives the cut workpiece 49 in an upright state, and the cut workpiece 49 is retained inside the circumference of the wire 47. Thereafter, the receiving pallet 100 is moved forward by the cylinder 101, and the cut workpiece 49 is moved from the inner side of the circumferential region of the wire 47 toward the outer side along the axial direction of the processing roller 45, and on the carry-out table 97. Placed in.
  • the receiving pallet 100 of the work receiving portion 93 includes a flat holding plate 103.
  • a plurality of small pieces of holding pieces 104 for holding the workpiece 49 in a standing state in parallel are provided upright.
  • the holding pieces 104 are arranged in the front-rear direction at an interval corresponding to the plate thickness of the workpiece 49 and at an interval in the left-right direction.
  • work 49 is hold
  • a workpiece When a workpiece is cut by this wire saw, a plurality of plate-like workpieces 49 are mounted on the supply pallet 67 in a parallel standing state, and the workpiece 49 is regulated by a workpiece regulating member 77.
  • the left side of the front opening 34 of the apparatus frame 31 is opened, and the supply pallet 67 carrying the work 49 is suspended by a crane (not shown). It is carried into the device frame 31.
  • the work restricting member 77 After carrying in, the work restricting member 77 is removed from the supply pallet 67. Then, the supply pallet 67 is placed on the support base 70 of the support table 68 and positioned by the positioning member 72.
  • the supply pallet 67 is held immovably in its positioning state by engagement with the engagement protrusion 71.
  • the workpiece 49 is placed on the bottom guide surface 741 of the supply pallet 67 and pressed against the guide surface 792 of the adjacent guide block by the pressing pin 84 of the guide block 79.
  • a plurality of workpieces 49 can be placed on the bottom guide surface 741 in a stacked state.
  • the width of the bottom guide surface 741 is the maximum stack thickness.
  • the processing rollers 45 are synchronously rotated in the same direction by the plurality of motors 48 shown in FIGS.
  • the wire 47 is moved around the processing roller 45.
  • the ball screw 87 is rotated by the motor 88 and the moving member 89 is moved to the right in the figure, and a plurality of plate-like workpieces 49 on the supply pallet 67 are pushed out. It is pressed through the body 90 in the workpiece feeding direction.
  • the workpieces 49 are moved in the workpiece feeding direction in parallel with each other along the bottom guide surface 741 and the side guide surface 792 on the guide pedestal 74 of the supply pallet 67.
  • the workpiece 49 is moved toward the wire 47 stretched in the vertical direction between the processing rollers 45 arranged above and below at the workpiece cutting position, and is cut into a slice from the tip in the workpiece feeding direction by the wire 47. Is done. Prior to this cutting, the workpiece 49 is processed by the roller piece 53 having an appropriate width, number, and pitch of the annular groove 46 according to various conditions such as the thickness, number of sheets, cutting thickness, and arrangement interval on the supply pallet 67.
  • a roller 45 is configured.
  • the workpiece 49 cut by the wire 47 is held in an upright state as a feeding posture on the receiving pallet 100 of the workpiece receiving portion 93 shown in FIGS. 6 and 22 to 24.
  • the workpiece 49 that has been cut is retained inside the circumference of the wire 47 around the processing roller 45.
  • the right side portion of the front opening 34 of the device frame 31 is opened.
  • the receiving pallet 100 is moved forward by the cylinder 101, and the cut workpiece 49 is moved from the inner side of the circumference of the wire 47 toward the outer side along the axial direction of the processing roller 45, and the carry-out table 97 is carried out.
  • the cut workpiece 49 is conveyed to a subsequent process.
  • the adhesive of the discarded material 76 is dissolved by warm water or the like, and the discarded material 76 is removed from the workpiece 49.
  • a supply pallet 67 is provided for guiding the workpiece 49 so as to feed and move the workpiece 49 toward the wire 47 between the processing rollers 45 along the workpiece feeding direction.
  • a receiving pallet 100 for receiving the cut workpiece 49 in an upright state is provided at a workpiece receiving position downstream of the workpiece cutting position in the workpiece feeding direction.
  • the workpiece 49 is fed and moved in an upright state by the supply pallet 67 toward the wire 47 between the processing rollers 45, and is cut by the wire 47 from the tip in the workpiece feeding direction.
  • the cut workpiece 49 is received by the receiving pallet 100 in an upright state at the workpiece receiving position on the downstream side of the wire 47 in the workpiece feeding direction. Therefore, the workpiece 49 can be fed and moved toward the wire 47 between the processing rollers 45 without being fixed to the feeder, and the work for fixing the workpiece 49 to the moving body of the feeder can be made unnecessary. it can.
  • the cut workpiece 49 since it is not necessary to move the cut workpiece 49 so as to return it in the direction opposite to the machining feed direction, the cut workpiece 49 may come into contact with the wire 47 and be damaged, or the cut workpiece 49 may be broken. Can be prevented.
  • the height of the processing portion on the apparatus base 32 can be reduced, and the overall height of the wire saw can be reduced.
  • a pair of frames 42 and 43 facing each other is provided, and the processing roller 45 is supported between the frames 42 and 43, and for processing between the frames 42 and 43 in the vicinity of each processing roller 45.
  • a reinforcing material 44 for reinforcement extending in parallel with the axis of the roller 45 is provided. Therefore, the support rigidity of the processing roller 45 is improved, and the processing accuracy can be improved.
  • the lower processing roller 45 (the upper left processing roller in FIG. 6) at the workpiece cutting position is more in the direction of feeding the work than the upper processing roller 45 (the lower left processing roller in FIG. 6).
  • the wire 47 between the pair of processing rollers 45 at the workpiece cutting position is inclined so as to be separated from the workpiece 49 toward the lower side with respect to the vertical line. For this reason, since the cutting load by the workpiece 49 acts obliquely on the wire 47, the possibility that the wire 47 breaks can be reduced. Further, since chips generated by cutting the workpiece fall away from the wire 47, it is useful for improving processing efficiency and processing accuracy.
  • the processing roller 45 is configured by a plurality of roller pieces 53 that are detachably stacked along the axial direction thereof. Therefore, the roller piece 53 having a different width or the roller piece 53 having a different number of the annular grooves 46 can be exchanged, and it is possible to cope with a change in the thickness of the work 49 or the number of stacked layers. If any of the roller pieces 53 is damaged, it is only necessary to replace the roller piece 53, and it is not necessary to replace the entire processing roller 45.
  • the wire extends from the roller piece 53 of one processing roller 45 to the roller piece 53 of another processing roller 45 corresponding to the roller piece 53 adjacent to the roller piece 53.
  • Guide rollers 57 for guiding 47 are provided, and these guide rollers 57 are movable along the axial direction of the processing roller 45. For this reason, the wire travel path can be set at the position of the processing roller 45 in accordance with the width of the roller piece 53 and the number of used roller pieces 53.
  • the inclination angle of the rotation axis of the guide roller 57 with respect to the axial direction of the processing roller 45 can be adjusted. Thereby, the travel route of the said wire can be set arbitrarily. Therefore, abnormal wear of the processing roller 45 and the guide roller 57 can be prevented.
  • a work guide for guiding an unprocessed work is constituted by a supply pallet 67 that can be attached to and detached from the apparatus base 32. Further, a workpiece receiving portion for receiving the processed workpiece can be taken in and out of the wire saw by the roller conveyor 96, and is constituted by a receiving pallet 100 that can be attached to and detached from the roller conveyor 96. For this reason, the workpiece 49 can be mounted on the supply pallet 67 outside the wire saw, and the supply pallet 67 can be carried into the wire saw. Further, the processed workpiece 49 can be received out of the wire saw together with the pallet 100. Accordingly, it is possible to easily carry the workpiece 49 into and out of the wire saw from the wire saw without damaging the workpiece 49.
  • the supply pallet 67 has a rail-shaped bottom guide surface 741 for guiding the work 49 in a slidable manner. For this reason, the workpiece 49 can be accurately slid along the bottom guide surface 741 of the supply pallet 67 in the feeding direction, and the workpiece 49 can be accurately sliced into an equal thickness.
  • the workpiece receiving portion 93 includes a receiving pallet 100 for holding the workpiece 49 in an upright state. For this reason, the workpiece 49 cut by the wire 47 can be sent out from the workpiece cutting position as it is, and damage to the cut workpiece 49 can be prevented.
  • a cylinder 101 which acts as a carry-out member for moving the receiving pallet 100 from the workpiece receiving position to the outer position along the axial direction of the processing roller 45. For this reason, after the workpiece 49 is cut, the workpiece receiving portion 93 that supports the workpiece 49 can be moved from the workpiece receiving position to the outer position along the axial direction of the processing roller 45. Therefore, the cut workpiece 49 can be sent out from the inside to the outside of the surrounding area of the wire 47 without interfering with the wire 47 between the processing rollers 45, and can be easily conveyed to the next process.
  • the supply pallet 67 and the receiving pallet 100 are respectively arranged upstream and downstream of the workpiece cutting position in the workpiece feeding direction. For this reason, the workpiece 49 can be smoothly fed from the supply pallet 67 to the receiving pallet 100 through the workpiece cutting position, and the position of the processing area of the wire saw can be lowered.
  • the supply pallet 67 is detachably provided with a workpiece regulating member 77 that regulates the position of the workpiece 49 in the workpiece feeding direction. For this reason, for example, when the supply pallet 67 is suspended by a crane, the work 49 can be prevented from sliding off the pallet 67. Further, the feed start position of the workpiece 49 can be positioned.
  • the workpiece 49 on the supply pallet 67 is pressed from the rear end of the workpiece feeding direction along the workpiece feeding direction by the pushing device such as the pushing body 90 and fed toward the wire 47. For this reason, all the workpiece
  • work 49 can be extruded simultaneously, and high work efficiency can be acquired.
  • the front opening 34 is provided in the apparatus cover 33 of the wire saw, and the front opening 34 is continuously opened above and in front of the supply pallet 67, the supply pallet 67 can be carried in and out. It can be done easily without any trouble.
  • the workpiece 49 is moved in a standing state parallel to each other toward the wire 47 between the machining rollers 45 at the workpiece cutting position.
  • the workpiece 49 is cut by the wire 47 and is kept inside the circumference of the wire 47 while maintaining the standing state. Thereafter, the workpiece 49 is moved from the inner side of the circumference of the wire 47 to the outer position along the axial direction of the processing roller 45.
  • the cut workpiece 49 is fed from the inside to the outside of the circumference of the wire 47 without being interfered with the wire 47 between the processing rollers 45, and the cut workpiece 49 is brought into contact with the wire 47. It can be prevented from being damaged.
  • the discarded material 76 is bonded to the rear end of the workpiece 49 in the feeding direction. Then, the discarded material 76 is pushed by the pushing body 90 and the work 49 is fed and moved toward the wire 47. Therefore, the work 49 can be cut over its entire length by cutting to the position of the discarded material 76. In addition, it is possible to prevent the extruded body 90 from being damaged by the wire 47 by terminating the cutting at the position of the discard material 76.
  • the number of processing rollers 45 may be two, three, or five or more.
  • the receiving pallet 100 is provided outside the circumference area of the wire 47 between the processing rollers 45, and the work 49 is fed between the supply pallet 67 and the receiving pallet 100 inside the circumference area of the wire 47.
  • a guide route for guidance is provided.
  • the upper part on the front side of the device cover 33 may be configured to be opened only above the supply pallet 67.
  • the processing roller 45 may be configured to be rotated via a chain driven by the motor.
  • the four processing rollers 45 only the two processing rollers 45 on the left side (work cutting position) are directly driven by the motor, and the other processing rollers 45 follow the circumference of the wire 47 and are driven. You may comprise so that it may rotate. Alternatively, of the four processing rollers 45, three processing rollers 45 including the two left processing rollers 45 are directly driven by a motor, and the other processing rollers 45 rotate around the wire 47. It may be configured to follow and rotate following.

Abstract

複数の加工用ローラ（４５）の間にワイヤ（４７）を巻回し、加工用ローラ（４５）の回転によりワイヤ（４７）を加工用ローラ（４５）の周りに周回移動させて、ワーク切断位置においてワイヤ（４７）によりワーク（４９）を切断するワイヤソーが提供される。ワイヤソーは、ワーク（４９）をワーク切断位置のワイヤ（４７）に向かって起立状態で移動させるように案内する供給パレット（６７）を備える。ワイヤソーは、ワーク送り方向において、ワーク切断位置よりも下流側に設定されたワーク受け位置に配置されるとともに、切断されたワーク（４９）を起立状態のまま受けるための受けパレット（１００）を備える。

Description

ワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法
　この発明は、例えば半導体材料、磁性材料、セラミックス等の脆性材料よりなるワークに対して、ワイヤにより切断加工を施すワイヤソー、及びそのワイヤソーによるワーク加工方法に関するものである。特に本発明は、板状のワークをスライス状に切断することに適するワイヤソー及びワーク加工方法に関するものである。
　従来、この種のワイヤソーは、例えば特許文献１及び特許文献２に開示されている。特許文献１，２に記載の従来のワイヤソーは、水平方向に沿って平行に延びる４本または一対の加工用ローラを有し、各加工用ローラは、その軸線の周りに回転可能である。各加工用ローラの外周には複数の環状溝が形成され、それらの環状溝に沿って、加工用ローラの周りにワイヤが巻回されている。上側に配置された一対の加工用ローラの間のワイヤに対し選択的に接近および離間するように昇降自在な移動体を有する送り装置が設けられ、その移動体にはプレートに接着されたワークが保持されている。
　加工用ローラの回転によりワイヤが周回移動されながら、送り装置の移動体が加工送り方向に移動される。これにより、ワークが加工用ローラの間のワイヤに向かって移動されて、ワイヤによりワークがスライス状に切断される。また、ワークの切断後に送り装置の移動体が加工送り方向と反対方向に戻るように移動されることにより、切断後のワークがワイヤから離間するように移動され、ワイヤが周回移動する周回域の内側から外側に送り出されるようになっている。
特開２００３－２７５９５０号公報 特開２０１０－１４９２４８号公報
　この従来構成においては、切断後のワークが加工送り方向と反対方向に戻るように移動されるため、ワークの切断面が加工用ローラの間のワイヤに接触して傷付くおそれがある。
　特に、ワークが加工送り方向に沿って長いワークの場合には、スライス状に切断されたワークがワイヤに接触すると、割れるおそれが多分にあった。
　また、板状のワークをその加工送り方向先端からスライス状に切断する場合、加工送り方向後端においてワークを片持ち状に支持する必要がある。そのため、ワークの送りや姿勢が不安定になり、ワークを所要の厚さで正確にスライス状に切断し、ワイヤからワークを損傷させずにスムーズに取り出すことは困難であった。
　この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、板状のワークをそのワーク送り方向先端から容易かつ正確に切断できるワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法を提供することにある。
　上記の目的を達成するために、本発明の一態様によると、複数の加工用ローラの間にワイヤを巻回し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを前記加工用ローラの周りに周回移動させ、ワーク切断位置にて、そのワイヤにより板状のワークを切断するワイヤソーが提供される。該ワイヤソーは、前記ワークを起立状態で前記ワーク切断位置のワイヤに向かってワーク送り方向に沿って移動させるように案内するワーク案内部を備える。また、前記ワイヤソーは、前記ワーク送り方向において、前記ワーク案内部よりも下流側に設定されたワーク受け位置に配置されるとともに、前記ワイヤにより切断されたワークを前記起立状態のまま受けるためのワーク受け部を備える。
　また、本発明の別の態様によると、複数の加工用ローラの間にワイヤを巻回し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを前記加工用ローラの周りに周回移動させ、ワーク切断位置にて、そのワイヤにより板状のワークを切断するワイヤソーによるワーク加工方法が提供される。該ワーク加工方法は、前記ワークを起立状態で前記ワーク切断位置のワイヤに向かいワーク送り方向に沿って移動させて、そのワイヤにより前記ワークを切断し、切断されたワークを前記起立状態のまま、前記ワイヤが周回移動する周回域の内側に留め置いた後、そのワイヤの周回域の内側から、前記加工用ローラの軸線方向に沿って外側位置に搬出する。
　従って、この発明においては、起立状態のワークがワーク案内部により、ワーク切断位置のワイヤに向かって送り移動されて、ワイヤによりワーク送り方向先端から切断される。そして、切断されたワークがワーク送り方向の下流側のワーク受け位置において、ワーク受け部により起立状態を維持したまま受け止められる。よって、ワークを送り装置に固定することなく、加工用ローラの間のワイヤに向かって安定して送り移動させることができるとともに、切断後のワークを安定し受け止めることができて、送り装置の移動体に対するワークの固定作業や取外し作業が不要となる。
　また、この発明のワイヤソーにおいては、ワークが送り装置の移動体に固定されないため、ワークの切断後に送り装置が加工送り方向と反対方向に復帰するように移動されない。すなわち、従来構造のように、切断済みのワークが、ワーク切断位置を再度通って移動することはない。よって、切断済みのワークがワイヤに接触して傷付くことを防止することができる。
　この発明によれば、ワークを送り装置に固定することなく、加工用ローラの間のワイヤに向かって送り移動させて切断できるとともに、切断後のワークがワイヤによって傷付くことを防止できるという効果を発揮する。
本発明の一実施形態のワイヤソーの外観構造を正面側から示す斜視図。 図１のワイヤソーの外観構造を背面側から示す斜視図。 ワークの搬入時における図１のワイヤソーの外観構造を正面側から示す斜視図。 ワークの搬出時における図１のワイヤソーの外観構造を正面側から示す斜視図。 ワイヤリールの着脱時における図１のワイヤソーの外観構造を背面側から示す斜視図。 図１のワイヤソーの内部構成を拡大して示す概略構成図。 図１のワイヤソーにおける加工用ローラの支持構成を正面側から示す斜視図。 図７の加工用ローラの支持構成を背面側から示す斜視図。 図１のワイヤソーにおける加工用ローラの配置構成及び加工用ローラの間のワイヤに加工液を供給するための供給ノズルを示す断面図。 図１のワイヤソーにおける加工用ローラを拡大して示す断面図。 図１０の加工用ローラにおける１つのローラピースをさらに拡大して示す部分断面図。 図１のワイヤソーにおける加工用ローラに対するワイヤのガイド構成を示す正面図。 図１２のワイヤのガイド構成の平面図。 図１２のワイヤのガイド構成の側面図。 図１２のワイヤのガイド構成におけるガイドローラユニットを示す斜視図。 図１５のガイドローラユニットにおける１つのガイドローラを拡大して示す斜視図。 図６のワイヤソーの内部構成におけるワーク案内部及びワーク受け部を示す斜視図。 図１７のワーク案内部の支持及び駆動構成を示す斜視図。 図１７のワーク案内部及びそれに支持されたワークを拡大して示す斜視図。 図１９のワーク案内部におけるワークの押圧構成を示す部分拡大断面図。 図１のワイヤソーにおけるワイヤによるワークの切断状態を示す部分拡大平面図。 図１７のワーク受け部の搬出駆動構成を示す斜視図。 図２２の搬出駆動構成の平面図。 図２２の搬出駆動構成の側面図。
　以下に、この発明の一実施形態によるワイヤソーを図面に従って説明する。
　図１～図４に示すように、ワイヤソーは、装置ベース３２と、その装置ベース３２上に配置された装置カバー３３とを備える装置フレーム３１を有する。装置カバー３３の上面の前部及び前面には前部開口３４が形成されるとともに、装置カバー３３の上面の後部及び後面には後部開口３５が形成されている。前部開口３４にはほぼ逆Ｌ字形の断面形状を有する複数（本実施形態においては４つ）の前面扉３６が、互いに重なる位置と左右方向に展開した位置との間においてスライド可能に取り付けられている。また、後部開口３５にはほぼ逆Ｌ字形の断面形状を有する複数（本実施形態においては４つ）の後面扉３７が、互いに重なる位置と左右方向に展開した位置との間においてスライド可能に取り付けられている。この実施形態において右及び左は、図１～図６，図１７，図１８等における右及び左とする。
　板状の複数のワーク４９が、未加工の状態で、装置フレーム３１内に搬入されて、装置フレーム３１内において切断加工され、加工済みのワーク４９が装置フレーム３１から搬出される。装置フレーム３１の左側の端部には前部扉収容部３８が設けられている。図３に示すように、装置フレーム３１内に未加工のワーク４９を搬入する際には、左側の３枚の前面扉３６が前部扉収容部３８内に重なった状態で収納されて、前部開口３４の左側部が開放される。また、図４に示すように、装置フレーム３１内から加工済みのワーク４９を搬出する際には、左側の３枚の前面扉３６が前部扉収容部３８内に収納されるとともに、右端の１枚の前面扉３６が前部開口３４の左端位置に配置されて、前部開口３４の右側部が開放される。さらに、装置フレーム３１の右側の端部には後部扉収容部３９が設けられている。図５に示すように、全ての後面扉３７を側端部の後部扉収容部３９内に収納することによって、後部開口３５の全体を開放可能である。
　図６～図８に示すように、前記装置フレーム３１における装置ベース３２の右側上面には、支持ブラケット４１が固定されている。この支持ブラケット４１は、鉄板よりなる前後一対のフレーム４２，４３と、両フレーム４２，４３の間に架設された鉄製の角パイプよりなる補強材として作用する複数の架設材４４とを備えている。前側のフレーム４２には、加工済みのワーク４９を前方へ搬出するための開口４２１が形成されている。支持ブラケット４１のフレーム４２，４３の間には、４本の加工用ローラ４５が四角形の頂点位置に配置されるように支持されている。すなわち、４本の加工用ローラ４５は、図６における左側の上方および下方と、右側の上方および下方とに、相互に間隔をおいて水平方向に沿って互いに平行に配置されている。各加工用ローラ４５は、その軸線を中心に回転可能である。各加工用ローラ４５の外周面には、多数の環状溝４６が形成されている。加工用ローラ４５の環状溝４６の間には、ワイヤ４７が巻回状態で周回されている。図３～図５においては、支持ブラケット４１や加工用ローラ４５の内部構造は省略して描かれている。
　図７及び図８に示すように、前記支持ブラケット４１における後側のフレーム４３の後面には、加工用ローラ４５をそれぞれ直接回転駆動する４基のモータ４８が支持されている。そして、これらのモータ４８により加工用ローラ４５がそれぞれ同速度で同方向に回転させられて、ワイヤ４７が加工用ローラ４５の周りを周回移動する。この状態で、図６に示すように、ワーク４９がワーク送り方向に沿って、ワーク切断位置へ向けて移動される。すなわち、ワーク４９が左側の上方および下方に配置された加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に向かって右方向に水平に送り移動される。このとき、ワイヤ４７によりワーク４９がその送り方向先端からスライス状に切断される。この場合、各加工用ローラ４５が複数のモータ４８により同期して各別に回転駆動されることで、加工用ローラ４５の間のワイヤ４７のテンションがほぼ一定に保たれる。また、図９に示すように、ワーク切断位置において、ワーク４９の上方には、供給ノズル５０が配置されている。ワイヤ４７によるワーク４９の切断時には、供給ノズル５０によって、ワーク切断位置のワイヤ４７に対して斜め上方からスラリ等の加工液が供給される。
　図９に示すように、前記複数の加工用ローラ４５のうちで、左側の下方に配置された加工用ローラ４５は、左側の上方に配置された加工用ローラ４５よりも右側方へ向けて変位して配置されている。すなわち、ワーク切断位置において、下方に配置された加工用ローラ４５は、上方に配置された加工用ローラ４５よりも、ワーク送り方向において下流側に配置されている。これにより、左側の上方および下方に配置された加工用ローラ４５の間のワイヤ４７は、下方ほど鉛直方向に対して右側に向けて傾斜した状態に配置される。このワイヤ４７によりワーク４９が切断される際に、ワーク４９の移動方向がワイヤ４７に対して傾斜しているため、ワイヤ４７に対して高いテンションが急激に作用することが抑制される。また、このワイヤ４７によるワーク４９の切断時の切り屑が、走行されるワイヤ４７に巻き込まれることなく、落下する。
　図１０及び図１１に示すように、前記各加工用ローラ４５は、その軸線方向に沿って延びる支軸５１と、支軸５１上にキー５２を介して嵌着された複数の円板状のローラピース５３とを備える。ローラピース５３は、加工用ローラ４５の軸線方向に沿って、脱着交換可能に積層されている。複数のローラピース５３は複数のワーク４９の位置と厚さとに対応するように並設される。ローラピース５３の外周には前記環状溝４６が所定ピッチで形成されている。ワーク４９の位置や厚さに応じて支軸５１上の各ローラピース５３を取り外して、異なる幅や異なるピッチの環状溝４６を有するローラピースに交換することができる。
　図１２～図１４に示すように、前記加工用ローラ４５の上方には、左側の上方の加工用ローラ４５の一端部と図示しないリールとの間のワイヤ経路に配置された第１ワイヤガイド５４が配置されている。また、右側の上方の加工用ローラ４５の他端部と図示しないリールとの間のワイヤ経路に位置する第２ワイヤガイド５５が配置されている。ワイヤ４７の両端部を巻付けた一対のリールを装置フレーム３１内に脱着する場合には、図５に示すように、後部開口３５の全体を開放する。
　右側の上方および下方に配置された加工用ローラ４５の右方には、一対のガイドローラユニット５６がそれぞれ配置されている。図１０及び図１４に示すように、各ガイドローラユニット５６は、加工用ローラ４５の複数のローラピース５３にそれぞれ対応するように、複数のガイドローラ５７を備えている。各ガイドローラ５７は、上方の加工用ローラ４５のローラピース５３から、そのローラピース５３の隣のローラピース５３に対応する下方の加工用ローラ４５のローラピース５３まで、ワイヤ４７を斜めに案内する。ワイヤ４７が各ローラピース５３を周回する回数は、そのローラピース５３の環状溝４６の数によって決まる。図１４から明らかなように、各ローラピース５３のワイヤ４７の巻き幅４７１も、そのローラピース５３の環状溝４６の数によって変わる。
　図１２～図１６に示すように、前記ガイドローラユニット５６は、加工用ローラ４５の軸線と平行に延びるとともに、チャンネル材よりなる支持ロッド５８を備える。この支持ロッド５８は装置フレーム３１に固定されている。複数のガイドローラ５７にそれぞれ対応する複数の支持板５９が、支持ロッド５８に対して、支持ロッド５８の延長方向（加工用ローラ４５の軸線方向）に沿って移動可能に支持されている。各支持板５９は、その基端部に係合凹部５９１を有し、係合凹部５９１において、支持ロッド５８に係合している。支持板５９の係合凹部５９１の開放端部には、固定板６０が支持ロッド５８に対して選択的に接近および離間するように移動可能に取り付けられている。支持板５９の側面には、固定板６０を移動操作するための一対の操作レバー６１が回動可能に支持されている。そして、支持板５９を支持ロッド５８上の所定位置に移動させた状態で、両操作レバー６１を回動操作することにより、固定板６０が支持ロッド５８を押圧する位置に移動されて、支持板５９が支持ロッド５８上の所定位置に固定される。
　図１５及び図１６に示すように、前記ガイドローラユニット５６における支持板５９の先端部には、ワイヤ４７をガイドするためのガイド溝５９２が形成されている。支持板５９の側面には、ほぼＬ字形の平面状の支持アーム６２が軸支部材６３を介して支持板５９上のガイド溝５９２の軸線を中心に回動可能に支持されている。支持アーム６２の基部先端及び軸支部材６３には、支持板５９上のガイド溝５９２に整合するガイド溝６２１，６３１が形成されている。そして、支持アーム６２の側部先端には、前記ガイドローラ５７が支軸６４を介して回転可能に支持されている。
　図１５及び図１６に示すように、前記ガイドローラユニット５６における支持アーム６２の基部には、長孔６２２がガイド溝５９２，６２１，６３１の軸線を中心にして円弧状に延びるように形成されている。支持板５９には、支持アーム６２の長孔６２２を介して固定ネジ６５が螺合されている。そして、この固定ネジ６５を緩めた状態で、支持アーム６２がガイド溝５９２，６２１，６３１の軸線を中心にして回動されることにより、ガイドローラ５７の傾斜角度がローラピース５３上のワイヤ４７の巻き幅に応じて調節される。ローラピース５３上のワイヤ４７の巻き幅は、ワーク４９の板厚に相当する。この状態で、固定ネジ６５が締め付けられることにより、支持アーム６２が支持板５９に対して固定されて、ガイドローラ５７が調節した傾斜角度に保持される。これにより、前記ローラピース５３の配列ピッチの大きさに応じてガイドローラ５７の傾斜角度を調節できる。
　図６、図１７及び図１８に示すように、前記装置フレーム３１における装置ベース３２の上面の左側には、板状のワーク４９をワーク送り方向に沿って移動させるワーク案内部として作用する供給パレット６７が設けられている。これにより、ワークを加工用ローラの間のワイヤに対して上方から供給する従来構成とは異なり、長尺の板状のワーク４９に対しても、装置フレーム３１の高さ方向の寸法を大きく確保することなく、ワーク４９をワーク切断位置へ向けて横方向へ容易に送り移動することができる。
　装置ベース３２上には支持テーブル６８が固定されている。支持テーブル６８の上面には、複数枚の板状のワーク４９を搭載した供給パレット６７を取り外し可能に支持するための一対の支持台７０が配置されている。各支持台７０上には、供給パレット６７の底面に形成された図示しない係合孔に係合可能な係合突起７１が設けられている。支持テーブル６８の上面には、供給パレット６７を加工用ローラ４５の間のワイヤ４７と対応する所定位置に位置決めするための複数の位置決め部材７２が配置されている。支持テーブル６８の後部上面には、ワーク４９を配置した供給パレット６７の支持台７０上への搬入を案内するための一対のガイドロッド７３が突設されている。
　装置フレーム３１内に未加工のワーク４９を搬入する場合には、図３に示すように、左側の３枚の前面扉３６が前部扉収容部３８内に収納されて、前部開口３４の左側部が開放される。この状態で、複数枚の板状のワーク４９を配置した供給パレット６７がクレーンにより吊り下げられて、装置フレーム３１の前部開口３４の左側開放部から内部に搬入される。そして、供給パレット６７がガイドロッド７３により案内されながら支持台７０上に載置されて、位置決め部材７２により所定位置に位置決めされるとともに、係合突起７１との係合により支持台７０上に移動不能に保持される。
　図１７及び図１９～図２１に示すように、前記供給パレット６７は、案内台７４を備えている。案内台７４の上面には、突条よりなる複数の底部案内面７４１と、複数の凹溝状の配置部７４２とが交互に形成されている。底部案内面７４１は、複数の板状のワーク４９の底部を支持して、ワーク４９を互いに平行な状態で右方向に向かってスライドさせるように案内する。各配置部７４２には、ワーク案内部材７５が配置される。
　各ワーク４９のワーク送り方向後端、すなわち各ワーク４９の左端の上部には、小片状の切断可能な合成樹脂よりなる捨て材７６が取付けられる。この捨て材７６は、ワーク４９が案内台７４上へ配置される前に、低融点の接着剤を用いて接着される。
　案内台７４の右端上部には、装置フレーム３１内へ供給パレット６７が搬入される前に、滑落防止部材として作用するワーク規制部材７７がその両側下端の係合凹部７７１と案内台７４上の係合ピン７８との係合により取り外し可能に取り付けられる。ワーク規制部材７７には、クレーンによる装置フレーム３１内への供給パレット６７の搬入時に、供給パレット６７上のワーク４９が右側方へ滑落しないように規制するための規制部７７２と、このワーク規制部材７７を供給パレット６７に対して脱着するためのハンドル７７３とを備えている。
　図１９及び図２０に示すように、前記供給パレット６７の各ワーク案内部材７５は、案内台７４の配置部７４２上に間隔をおいて配置された案内ブロック７９を備えている。この案内ブロック７９の一側面には、前記底部案内面７４１上のワーク４９の第一側面を案内するための側部案内面７９２が形成されている。案内ブロック７９は、２つのくさび状の固定部材７４３，７４４のくさび作用によって配置部７４２内に固定されている。従って、固定部材７４３，７４４を取り外すことによって、案内ブロック７９を交換できる。案内ブロック７９の交換のために、異なる厚みを有する複数種類の案内ブロックが用意されている。図１９に示すように、最前部の案内ブロック７９は案内台７４上に移動不能に固定されている。
　案内ブロック７９の上面には、一対の凹部７９１が形成されている。案内ブロック７９の各凹部７９１内には、押圧体８０がその底面に設けられた係合孔８０１と凹部７９１の内底面に突設された係合ピン８１との係合により取り外し可能に取り付けられている。押圧体８０の上面には、押圧体８０を案内ブロック７９の凹部７９１に対して着脱するためのループ状のハンドル８２が突設されている。
　前記各押圧体８０は、ワーク４９の側面と直交する方向へ移動可能な押圧ピン８４を内部に有する支持ブロック８３を備える。各押圧体８０は、押圧ピン８４をワーク４９の側面に向かって押圧するように付勢するバネ８５と、押圧ピン８４及びバネ８５を支持ブロック８３内に保持する保持板８６とを備える。押圧体８０の押圧ピン８４がバネ８５の付勢力によりワーク４９の第二側面を押圧して、そのワーク４９が押圧ピン８４と、隣の案内ブロック７９の側部案内面７９２との間で案内可能に保持される。ワーク４９の板厚が変更された場合、案内ブロック７９は異なる厚みを有する案内ブロックと交換される。このとき、ハンドル８２を持つことにより、押圧体８０を新たに使用される案内ブロック７９に付け替えることができる。
　図６、図１７、図１８及び図２１に示すように、前記装置フレーム３１の装置ベース３２上には、ボールネジ８７がワーク４９の移動方向（ワーク送り方向）に沿って延びており、その軸線の周りに回転可能に支持されている。装置ベース３２上には、ボールネジ８７を回転させるためのモータ８８が配置されている。ボールネジ８７には、移動部材８９が、ナット部８９１を介して、ボールネジ８７の軸線方向に沿ってボールネジ８７に対して相対的に移動可能に螺合されている。移動部材８９の上端には、ワーク４９の左端に接着された捨て材７６に接合可能な押し出し体９０が設けられている。装置ベース３２上には、ボールネジ８７及びモータ８８の周囲を覆うための可撓性カバー９１が設けられている。
　前記モータ８８によりボールネジ８７が回転されることによって、移動部材８９が図６の右方向に移動され、押し出し体９０を介して供給パレット６７上の複数のワーク４９がワーク送り方向に押し出される。これにより、各ワーク４９が平行な起立状態で案内台７４上の底部案内面７４１に沿って、加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に向かって送り移動され、ワイヤ４７により各ワーク４９がそのワーク送り方向先端からスライス状に切断加工される。この場合、図２１に鎖線で示すように、ワーク４９がその全長にわたってスライス状に切断され、そのワーク４９の左端に接着された捨て材７６も切断される。
　図１、図６、図１７及び図２２～図２４に示すように、前記装置フレーム３１における装置ベース３２の上面の右側において、ワーク送り方向におけるワイヤ４７の下流側にはワーク受け位置が設定され、該ワーク受け位置には、切断されたワーク４９を受けるためのワーク受け部９３が配置されている。すなわち、ワーク受け部９３は、ワーク送り方向においてワーク切断位置の下流側に配置されている。ワーク受け部９３と供給パレット６７とは、ワーク切断位置の上方および下方に配置された２本の加工用ローラ４５の間のワイヤ４７を挟んで並設されている。ワーク受け部９３は、装置ベース３２上に固定された支持テーブル９４を備えている。支持テーブル９４の上面には、一対のガイドレール９５及び一対のローラコンベア９６がワーク送り方向と直交する前後方向に沿って平行に延びるように敷設されている。装置フレーム３１の外側であって支持テーブル９４の前方には、搬出テーブル９７が配置されている。搬出テーブル９７の上面には、一対のガイドレール９８及び一対のローラコンベア９９が、支持テーブル９４上のガイドレール９５及びローラコンベア９６に整合するように敷設されている。
　前記両ローラコンベア９６，９９上には、受けパレット１００が両ガイドレール９５，９８に沿って、前後方向に移動可能に支持されている。受けパレット１００は、スライス状に切断加工されたワーク４９を送り姿勢の起立状態のままで保持する。受けパレット１００は、ワイヤ４７が周回する周回域の内側と、その前方外側との間において移動可能である。支持テーブル９４上には、受けパレット１００を前後方向に移動させる搬出部材として作用するシリンダ１０１が配置されている。支持テーブル９４の上面の後端及び搬出テーブル９７の上面の前端の各々には、受けパレット１００の移動端位置を規制するためのストッパ１０２が配置されている。ワーク４９の切断前において、受けパレット１００は、シリンダ１０１により支持テーブル９４上のワイヤ周回域の内側のワーク受け位置に移動されて設置される。この状態において、受けパレット１００は、切断されたワーク４９を起立状態のままで受けて、切断済みのワーク４９がワイヤ４７の周回域の内側に留め置かれる。その後、シリンダ１０１により受けパレット１００が前方に移動され、切断済みのワーク４９がワイヤ４７の周回域の内側から加工用ローラ４５の軸線方向に沿って外側へ向けて移動されて、搬出テーブル９７上に配置される。
　図６、図１７及び図２２～図２４に示すように、前記ワーク受け部９３の受けパレット１００は、平板状の保持板１０３を備えている。保持板１０３の上面には、ワーク４９を起立状態で平行に保持するための複数の小片状の保持片１０４が立設されている。保持片１０４は、前後方向へワーク４９の板厚に相当する間隔をおくとともに左右方向へ間隔をおいて配置されている。そして、保持板１０３上において各保持片１０４により、切断されたワーク４９が起立状態のままで保持される。
　次に、前記のように構成されたワイヤソーの作用を説明する。
　このワイヤソーによりワークを切断加工する場合には、供給パレット６７に、複数枚の板状のワーク４９が平行な起立状態で搭載され、そのワーク４９がワーク規制部材７７で位置規制される。図３に示すように、装置フレーム３１の前部開口３４の左側部が開放され、ワーク４９を搭載した供給パレット６７が図示しないクレーンにより吊り下げられて、この前部開口３４の左側開放部から装置フレーム３１内に搬入される。搬入後、ワーク規制部材７７は供給パレット６７から取り外される。そして、供給パレット６７が支持テーブル６８の支持台７０上に載置されて、位置決め部材７２により位置決めされる。供給パレット６７は、係合突起７１との係合によりその位置決め状態に移動不能に保持される。ここで、ワーク４９は、供給パレット６７の底部案内面７４１上に載置されて、案内ブロック７９の押圧ピン８４により隣接する案内ブロックの案内面７９２に対して押圧されている。底部案内面７４１には複数枚のワーク４９を積層状態で載置可能であるが、この場合、底部案内面７４１の幅が最大の積層厚さとなる。
　そして、図１に示すように、装置フレーム３１の前部開口３４が閉じられた後、図７及び図８に示す複数のモータ４８により各加工用ローラ４５が同期して同方向に回転されて、ワイヤ４７が加工用ローラ４５の周りを周回移動させられる。それとともに、図６に示す供給パレット６７において、モータ８８によりボールネジ８７が回転されて、移動部材８９が同図の右方向に移動され、供給パレット６７上の複数枚の板状のワーク４９が押し出し体９０を介してワーク送り方向に押し付けられる。これにより、各ワーク４９が供給パレット６７の案内台７４上の底部案内面７４１及び側部案内面７９２に沿って、互いに平行な状態でワーク送り方向へ移動させられる。このワーク４９は、ワーク切断位置において上方および下方に配置された加工用ローラ４５の間において上下方向に張られたワイヤ４７に向かって移動され、ワイヤ４７によりワーク送り方向先端からスライス状に切断加工される。この切断に先だって、ワーク４９の厚さ，枚数，切断厚さ，供給パレット６７上における配置間隔等の諸条件に従って、適切な幅，個数，環状溝４６のピッチを備えたローラピース５３により加工用ローラ４５が構成される。
　このように、ワイヤ４７により切断されたワーク４９は、図６及び図２２～図２４に示すワーク受け部９３の受けパレット１００上に送り姿勢である起立状態のまま保持される。そして、この状態で切断済みのワーク４９が加工用ローラ４５の周りのワイヤ４７の周回域の内側に留め置かれる。その後、図４に示すように、装置フレーム３１の前部開口３４の右側部が開放される。この状態で、シリンダ１０１により受けパレット１００が前方に移動され、切断済みのワーク４９がワイヤ４７の周回域の内側から加工用ローラ４５の軸線方向に沿って外側へ向けて移動されて、搬出テーブル９７上に搬出される。そして、この切断済みのワーク４９は後工程に搬送される。この後工程では、温水等により捨て材７６の接着剤が溶解されて、捨て材７６がワーク４９から除去される。
　従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
　（１）　このワイヤソーにおいては、ワーク４９を起立状態で加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に向かってワーク送り方向に沿って送り移動させるように案内する供給パレット６７が設けられている。ワーク切断位置よりもワーク送り方向における下流側のワーク受け位置には、切断されたワーク４９を起立状態のまま受けるための受けパレット１００が設けられている。
　従って、ワーク４９が供給パレット６７により、加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に向かって起立状態で送り移動されて、ワイヤ４７によりワーク送り方向先端から切断加工される。切断されたワーク４９がワーク送り方向におけるワイヤ４７の下流側のワーク受け位置において、起立状態のまま受けパレット１００により受け止められる。よって、ワーク４９を送り装置に固定することなく、加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に向かって送り移動させることができて、送り装置の移動体に対するワーク４９の固定作業を不要にすることができる。また、切断後のワーク４９を加工送り方向と逆方向に戻すように移動させる必要がないため、切断後のワーク４９がワイヤ４７と接触して傷ついたり、切断されたワーク４９が折れたりすることを防止できる。
　（２）　四角形の頂点位置に配置された４本の加工用ローラ４５を用いることにより、装置ベース３２上の加工部の高さを低くできて、ワイヤソーの全体の高さを低くできる。
　（３）　４本の加工用ローラ４５をそれぞれ直接回転駆動する４つのモータ４８が設けられるため、加工用ローラ４５の間のワイヤ４７の全体の張力を均等にすることが可能になる。このため、加工精度を向上できるとともに、ワイヤ４７が破断する可能性を低くすることができる。
　（４）　互いに対向する一対のフレーム４２，４３が設けられ、加工用ローラ４５は、フレーム４２及び４３の間に支持され、各加工用ローラ４５の近傍において前記フレーム４２，４３の間に加工用ローラ４５の軸線と平行に延びる補強のための架設材４４が架設されている。従って、加工用ローラ４５の支持剛性が向上し、加工精度を向上させることができる。
　（５）　ワーク切断位置における下側の加工用ローラ４５（図６の左側上方の加工用ローラ）は、上側の加工用ローラ４５（図６の左側下方の加工用ローラ）よりも、ワーク送り方向において下流側に配置される。これにより、ワーク切断位置における一対の加工用ローラ４５の間のワイヤ４７が鉛直線に対して下方ほどワーク４９から離間するように傾斜している。このため、ワーク４９による切断負荷がワイヤ４７に対して斜めに作用するため、ワイヤ４７が破断する可能性を低下できる。また、ワーク切断によって発生した切り屑がワイヤ４７から離れるように落下するため、加工効率及び加工精度の向上に有用である。
　（６）　加工用ローラ４５は、その軸線方向に沿って、脱着可能に積層された複数のローラピース５３によって構成されている。従って、幅の異なるローラピース５３や環状溝４６の数の異なるローラピース５３に交換することができ、ワーク４９の厚さや積層枚数の変化等に対応できる。また、いずれかのローラピース５３が損傷した場合は、そのローラピース５３を交換するのみでよく、加工用ローラ４５の全体を交換する必要はなくなる。
　（７）　前記複数の加工用ローラ４５のうち、１つの加工用ローラ４５のローラピース５３から、そのローラピース５３の隣のローラピース５３に対応する別の加工用ローラ４５のローラピース５３までワイヤ４７を案内するガイドローラ５７が設けられ、それらのガイドローラ５７は加工用ローラ４５の軸線方向に沿って移動可能である。このため、加工用ローラ４５の位置においてローラピース５３の幅や使用されるローラピース５３に数に応じてワイヤの走行経路を設定できる。
　（８）　加工用ローラ４５の軸線方向に対する前記ガイドローラ５７の回転軸線の傾斜角度は調節可能である。これにより、前記ワイヤの走行経路を任意に設定できる。従って、加工用ローラ４５やガイドローラ５７の異常摩耗を防止できる。
　（９）　未加工ワークを案内するワーク案内部が装置ベース３２上に着脱可能な供給パレット６７によって構成されている。また、加工済みワークを受けるワーク受け部がローラコンベア９６によってワイヤソーから出し入れ可能で、そのローラコンベア９６に対して着脱可能な受けパレット１００によって構成されている。このため、ワーク４９をワイヤソーの外で供給パレット６７上に搭載し、その供給パレット６７をワイヤソー内に搬入することができる。また、加工済みワーク４９を受けパレット１００ごとワイヤソーの外に搬出できる。従って、ワイヤソー内へのワーク４９の搬入及びワイヤソーからの搬出を容易に、かつワーク４９が損傷することなく行うことができる。
　（１０）　前記供給パレット６７が、ワーク４９をスライド可能に案内するためのレール状の底部案内面７４１を有する。このため、ワーク４９を供給パレット６７の底部案内面７４１に沿って送り方向に正確にスライドさせることができて、ワーク４９を均等な厚さに正確にスライスできる。
　（１１）　前記供給パレット６７の案内ブロック７９を厚さの異なるものと交換することにより、ワーク案内間隔の幅を調節することが可能になる。このため、送り移動されるワーク４９の厚さや積層枚数の変化に容易に対応でき、よって、ワーク４９の種類や切断加工枚数の変更等の各種の加工態様に対処できる。
　（１２）　前記ワーク受け部９３が、ワーク４９を起立状態で保持するための受けパレット１００を備えている。このため、ワイヤ４７により切断されたワーク４９をそのままワーク切断位置から送り出すことができ、切断されたワーク４９の損傷を防止することができる。
　（１３）　前記受けパレット１００をワーク受け位置から加工用ローラ４５の軸線方向に沿って外側位置に移動させるための搬出部材として作用するシリンダ１０１が設けられている。このため、ワーク４９の切断後に、ワーク４９を支持したワーク受け部９３をワーク受け位置から加工用ローラ４５の軸線方向に沿って外側位置に移動させることができる。よって、切断済みのワーク４９を加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に干渉することなく、ワイヤ４７の周回域の内側から外側へ向けて送り出すことができて、次工程に容易に搬送できる。
　（１４）　前記供給パレット６７及び受けパレット１００は、ワーク送り方向において、ワーク切断位置の上流側及び下流側にそれぞれ配置されている。このため、ワーク４９を供給パレット６７上からワーク切断位置を経て受けパレット１００上に円滑に送ることができるとともに、ワイヤソーの加工領域の位置を低くできる。
　（１５）　前記供給パレット６７には、ワーク４９のワーク送り方向先端の位置を規制するワーク規制部材７７が着脱可能に設けられる。このため、たとえば、供給パレット６７をクレーンによって吊下げた時において、ワーク４９がパレット６７上から滑落することを防止できる。また、ワーク４９の送り開始位置を位置決めすることができる。
　（１６）　前記供給パレット６７上のワーク４９がそのワーク送り方向後端から押し出し体９０等の押し出し装置によってワーク送り方向に沿って押圧されて、ワイヤ４７へ向けて送られる。このため、すべてのワーク４９を同時に押し出すことができて、高い作業効率を得ることができる。
　（１７）　ワイヤソーの装置カバー３３に前部開口３４が設けられており、前部開口３４は、供給パレット６７の上方および前方において連続して開放されているため、供給パレット６７の搬入及び搬出を支障なく容易に行うことができる。
　（１８）　このワイヤソーにおけるワーク加工方法では、ワーク４９がワーク切断位置における加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に向かって、互いに平行な起立状態で移動される。ワーク４９は、そのワイヤ４７によって切断され、起立状態を維持したままワイヤ４７の周回域の内側に留め置かれる。その後、ワーク４９は、そのワイヤ４７の周回域の内側から加工用ローラ４５の軸線方向に沿って外側位置に移動される。
　このため、切断済みのワーク４９が加工用ローラ４５の間のワイヤ４７に干渉されることなく、ワイヤ４７の周回域の内側から外側へ送り出され、切断済みのワーク４９がワイヤ４７との接触により傷付くことを防止することができる。
　（１９）　ワーク４９の送り方向後端に捨て材７６が接着される。そして、その捨て材７６が押し出し体９０によって押されてワーク４９がワイヤ４７に向かって送り移動される。従って、捨て材７６の位置まで切断が行われるようにすることにより、ワーク４９をその全長にわたって切断できる。また、切断が捨て材７６の位置で終了されるようにすることにより、押し出し体９０がワイヤ４７で傷つくことを防止できる。
　（変更例）
　この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
　・　加工用ローラ４５の本数を２本，３本あるいは５本以上にしてもよい。
　・　ワーク４９がワーク送り方向における上流側において上方および下方に配置される一対の加工用ローラ４５の間のワイヤ４７と、下流側において上方および下方に配置される一対の加工用ローラ４５の間のワイヤ４７とを通過するように構成してもよい。この場合、受けパレット１００は加工用ローラ４５の間のワイヤ４７の周回域の外側に設けられ、ワイヤ４７の周回域の内側には供給パレット６７と受けパレット１００との間においてワーク４９の送りを案内する案内路が設けられる。
　・　装置カバー３３の前側の上部は、供給パレット６７の上方においてのみ開放されるように構成されてもよい。
　・　加工用ローラ４５をモータ４８によって直接駆動する構成に代えて、加工用ローラ４５が、モータによって駆動されるチェーンを介して回転されるように構成されてもよい。
　・　４本の加工用ローラ４５のうち、左側（ワーク切断位置）の２本の加工用ローラ４５のみをモータによって直接駆動し、他の加工用ローラ４５は、ワイヤ４７の周回に追随して従動回転するように構成してもよい。あるいは、４本の加工用ローラ４５のうち、左側の２本の加工用ローラ４５を含む３本の加工用ローラ４５をモータによって直接駆動し、他の加工用ローラ４５は、ワイヤ４７の周回に追随して従動回転するように構成してもよい。
　３１…装置フレーム、３２…装置ベース、３３…装置カバー、３４…前部開口（開放部）、３６…前面扉（扉）、４１…支持ブラケット、４２…フレーム、４３…フレーム、４４…架設材（補強材）、４５…加工用ローラ、４６…環状溝、４７…ワイヤ、４８…モータ、４９…ワーク、５３…ローラピース、５６…ガイドローラユニット、５７…ガイドローラ、６７…供給パレット（ワーク案内部）、７４…案内台、７５…ワーク案内部材、７６…捨て材、７７…ワーク規制部材、８７…ボールネジ、８８…モータ、８９…移動部材、９０…押し出し体、９３…ワーク受け部、９６…ローラコンベア、９９…ローラコンベア、１００…受けパレット、１０１…シリンダ（搬出部材）、７４１…底部案内面、７９２…側部案内面。

Claims (22)

  1. 複数の加工用ローラの間にワイヤを巻回し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを前記加工用ローラの周りに周回移動させ、ワーク切断位置にて、そのワイヤにより板状のワークを切断するワイヤソーにおいて、
    　前記ワークを起立状態で前記ワーク切断位置のワイヤに向かってワーク送り方向に沿って移動させるように案内するワーク案内部と、
    　前記ワーク送り方向において、前記ワーク案内部よりも下流側に設定されたワーク受け位置に配置されるとともに、前記ワイヤにより切断されたワークを前記起立状態のまま受けるためのワーク受け部と
    を備えたことを特徴とするワイヤソー。
  2. 前記複数の加工用ローラは、四角形の頂点位置にそれぞれ配置された４本の加工用ローラからなることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。
  3. 前記複数の加工用ローラのうち、２つの加工用ローラは、前記ワーク切断位置に配置され、前記ワイヤソーは、前記２つの加工用ローラをそれぞれ直接駆動する２つのモータを備えることを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー。
  4. 前記ワイヤソーは、互いに対向する一対のフレームを備え、前記加工用ローラはフレームの間に支持され、各加工用ローラの近傍において前記フレームの間には加工用ローラの軸線と平行に延びる補強材が架設されることを特徴とする請求項２又は３に記載のワイヤソー。
  5. 前記複数の加工用ローラのうち、２つの加工用ローラは、前記ワーク切断位置において、上方および下方にそれぞれ配置され、前記ワーク送り方向は、水平方向に沿って前記ワーク切断位置に向かうように配向され、前記ワーク送り方向において、前記下方の加工用ローラは、前記上方の加工用ローラよりも下流側に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  6. 加工用ローラはその軸線方向に沿って、脱着可能に積層された複数のローラピースによって構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  7. 前記ワイヤソーは、前記複数のローラピースのうちの１つのローラピースから別のローラピースに前記ワイヤを案内するためのガイドローラを備え、該ガイドローラは加工用ローラの軸線方向に沿って移動可能であることを特徴とする請求項６に記載のワイヤソー。
  8. 前記加工用ローラの軸線方向に対する前記ガイドローラの回転軸線の傾斜角度は調節可能であることを特徴とする請求項７に記載のワイヤソー。
  9. 前記複数の加工用ローラのうち、２つの加工用ローラは、前記ワーク切断位置において、上方および下方にそれぞれ配置され、前記ワーク送り方向は、水平方向に沿って前記ワーク切断位置に向かうように配向され、前記ワーク案内部及び前記ワーク受け部は、前記ワーク送り方向において、前記ワーク切断位置の上流側及び下流側にそれぞれ配置されることを特徴とする請求項２又は３に記載のワイヤソー。
  10. 前記ワーク案内部は、ワークの一側面を受けてワークを起立状態に規制するとともに、ワークの案内方向を規定する側部案内面と、その側部案内面に対してワークを弾性的に押圧するワーク案内部材とを有することを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  11. 前記側部案内面と、該側部案内面に隣接する前記ワーク案内部材との間の間隔は調節可能であることを特徴とする請求項１０に記載のワイヤソー。
  12. 前記ワーク案内部は、前記ワークの前記ワーク送り方向先端において前記ワークの移動を規制する規制位置と、そこから退避する退避位置との間において移動可能な規制部材を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  13. 前記ワイヤソーは装置ベースを備え、前記ワーク案内部は、前記装置ベース上に着脱可能なパレットによって構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  14. 前記パレット上のワークを前記ワーク送り方向に押し出す押し出し装置を備えることを特徴とする請求項１３に記載のワイヤソー。
  15. 前記押し出し装置は、前記ワークのワーク送り方向後端に対して接触可能な押し出し体を備え、該押し出し体によってワークを押し出すことを特徴とする請求項１４に記載のワイヤソー。
  16. 前記パレットは、該パレットが傾斜した際に、前記ワークが前記パレットから滑落することを防止する滑落防止位置と、そこから退避する退避位置との間を移動可能な滑落防止部材を備えることを特徴とする請求項１３に記載のワイヤソー。
  17. 前記ワーク受け部を前記ワーク受け位置から、前記加工用ローラの軸線方向に沿って外側位置に搬出するための搬出部材を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  18. 前記ワイヤソーは、前記ワーク案内部と前記ワーク受け部とを覆う装置カバーを備え、その装置カバーは、前記ワーク案内部及び前記ワーク受け部の前方において開放されるとともに、少なくとも前記ワーク案内部の上方において開放される開放部と、該開放部を選択的に開放および閉鎖可能な扉とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソー。
  19. 複数の加工用ローラの間にワイヤを巻回し、前記加工用ローラの回転により前記ワイヤを前記加工用ローラの周りに周回移動させ、ワーク切断位置において、そのワイヤにより板状のワークを切断するワイヤソーによるワーク加工方法において、
    　前記ワークを起立状態で前記ワーク切断位置のワイヤに向かいワーク送り方向に沿って移動させて、そのワイヤにより前記ワークを切断し、
    　切断されたワークを前記起立状態のまま前記ワイヤが周回移動する周回域の内側に留め置いた後、そのワイヤの周回域の内側から、前記加工用ローラの軸線方向に沿って外側位置に搬出することを特徴とするワイヤソーによるワーク加工方法。
  20. 前記ワークの前記ワーク送り方向の後端に捨て材を接着し、その捨て材を押して前記ワークを前記ワーク送り方向に沿って移動させることを特徴とする請求項１９に記載のワイヤソーによるワーク加工方法。
  21. ワイヤによってワークを切断する加工部と、その加工部にワークを供給するワーク案内部と、前記加工部および前記ワーク案内部を覆う装置カバーとを備え、前記加工部と前記ワーク案内部とは横方向に並設されるワイヤソーにおいて、
    　前記装置カバーは、前記加工部および前記ワーク案内部の前方において開放される開放部と、該開放部を選択的に開放および閉鎖可能な扉とを備えることを特徴とするワイヤソー。
  22. 前記ワイヤソーは、前記加工部のワイヤを巻回する複数の加工用ローラと、該複数の加工用ローラをそれぞれ単独で駆動する複数のモータとを備え、前記モータによって前記加工用ローラを回転させることにより、前記ワイヤを周回移動させて、そのワイヤにより前記ワークを切断することを特徴とする請求項２１に記載のワイヤソー。
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