KR20190063399A - 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치 - Google Patents

기판 반송 장치 및 기판 가공 장치 Download PDF

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가츠요시 나카타
히라미치 다니가이토
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 벨트의 말려 올라감에 의한 취성 재료 기판의 부상을 방지하고, 양호한 정밀도로 기판을 가공할 수 있는 기판 가공 장치를 제공한다.
(해결 수단) 기판 가공 장치는 취성 재료 기판을 반송하는 벨트 (11) 와, 벨트 (11) 상에 놓여진 취성 재료 기판을 클램프하는 클램프 장치 (40) 를 구비한다. 클램프 장치 (40) 는, 하방으로부터 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지부 (51) 와, 기판 지지부 (51) 에 대해 회전 또는 이동하고, 기판 지지부 (51) 와의 사이에 취성 재료 기판을 끼우는 아암 (57) 을 구비하고, 상기 벨트에 구멍이 형성되고, 상기 기판 지지부가 상기 구멍에 배치되고, 상기 구멍의 형상이 상기 취성 재료 기판의 반송 방향을 향하여 테이퍼드 형상으로 되어 있다.

Description

기판 반송 장치 및 기판 가공 장치{SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 취성 재료 기판을 반송하는 기판 반송 장치 및 취성 재료 기판을 가공하는 기판 가공 장치에 관한 것이다.
기판 가공 장치는, 예를 들어, 유리 등에 의해 형성되는 취성 재료 기판을 분단하기 위해 사용된다. 특허문헌 1 은 종래의 기판 가공 장치의 일례를 개시하고 있다. 이 기판 가공 장치는 취성 재료 기판을 반송하는 벨트, 취성 재료 기판의 반송 방향에 있어서 벨트의 상류측에 배치되는 위치 결정 장치 및 클램프 장치 (기판 반송 장치), 그리고, 취성 재료 기판의 반송 방향에 있어서 벨트의 하류측에 배치되는 스크라이브 장치를 구비한다. 기판 반송 장치는, 추가로, 벨트에 대한 클램프 장치의 높이를 변경하기 위한 승강 기구를 구비한다.
상기 기판 반송 장치에 의하면, 먼저, 승강 기구에 의해 클램프 장치가 벨트의 하방의 위치로 퇴피되고, 위치 결정 장치에 의해 취성 재료 기판의 위치가 결정된다. 다음으로, 위치 결정 장치에 의해 취성 재료 기판이 벨트 상으로 반송된다. 이 때, 취성 재료 기판은 벨트의 하방으로 퇴피하고 있는 클램프 장치 상을 통과한다. 다음으로, 승강 기구에 의해 클램프 장치가 클램프 가능한 위치로 이동하고, 벨트 상에 놓여져 있는 취성 재료 기판이 클램프 장치에 의해 클램프된다. 다음으로, 반송 방향에 있어서 벨트 및 클램프 장치가 이동하도록 벨트 및 클램프 장치가 구동되어, 취성 재료 기판이 스크라이브 장치로 반송된다. 벨트는, 예를 들어, 무단 (無端) 벨트이고, 벨트를 구동하기 위한 구동 롤러와 벨트를 지지하는 자유롭게 회전하는 복수의 회전 롤러에 의해 지지되어 있으며, 구동 롤러의 회전에 의해 회전 롤러를 따라 구동된다. 다음으로, 스크라이브 장치에 의해 취성 재료 기판에 분단선이 형성된다. 그리고, 이 취성 재료 기판이 분단선을 따라 분단됨으로써, 소정 크기의 패널이 형성된다.
특허문헌 2 에는, 벨트에 구멍을 형성하고, 클램프 장치의 클램프부 (50) (기판을 하방으로부터 지지하는 기판 지지부 및 기판을 상방으로부터 가압하는 아암) 를, 당해 구멍에 고정하여, 벨트의 이동에 수반하여 벨트의 구멍과 함께 이동시키고, 벨트 상의 기판의 단부 (端部) 를 당해 구멍의 위치에서 클램프시키는 것이 개시되어 있다.
일본 재공표 특허공보 WO2005/087458호 일본 공개특허공보 2016-083822호
그런데, 취성 재료 기판을 반송하는 벨트에 형성되는 구멍은, 예를 들어, 클램프 장치로 취성 재료 기판의 반송 방향 상류측의 단부를 클램프하는 경우, 통상적으로, 취성 재료 기판의 반송 방향 (하류측) 을 향하여 반원 형상으로 되어 있다. 그러나, 반원 형상에서는, 클램프 장치의 이동에 의해 클램프된 취성 재료 기판을, 예를 들어, 반송 방향 하류측의 스크라이브 장치로 반송할 때에, 벨트의 구멍이 벨트의 기판 재치면 (載置面) 의 하류측 단부를 지지하는 회전 롤러 상으로 이동하여, 회전 롤러의 표면을 따라 만곡되면 벨트의 구멍의 반원 형상 부분의 가장자리가 말려 올라가 취성 재료 기판이 들떠 버리기 때문에, 이 상태로 기판을 가공하는 경우, 정밀도가 양호한 기판의 가공이 곤란해지고, 또, 벨트의 구멍의 말려올라간 가장자리에 의해 기판이 손상될 우려가 있다.
본 발명의 목적은, 클램프 장치로 취성 재료 기판을 지지하여 반송하는 기판 반송 장치 및 가공하는 기판 가공 장치에 있어서, 클램프 장치의 클램프부를 배치하기 위해 형성된 벨트의 구멍의 가장자리가 말려 올라가, 취성 재료 기판을 부상 (浮上) 시키는 것 및 손상시키는 것을 방지하고, 양호한 정밀도로 기판을 가공할 수 있는 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 따르는 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치는, 취성 재료 기판을 반송하는 벨트와, 상기 벨트 상에 놓여진 상기 취성 재료 기판을 클램프하는 클램프 장치를 구비하고, 상기 클램프 장치는, 하방으로부터 상기 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부에 대해 회전 또는 이동하고, 상기 기판 지지부와의 사이에 상기 취성 재료 기판을 끼우는 아암을 구비하고, 상기 벨트에 구멍이 형성되고, 상기 기판 지지부가 상기 구멍에 배치되고, 상기 구멍의 형상이 상기 취성 재료 기판의 반송 방향을 향하여 테이퍼드 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치에 있어서는, 상기 벨트가 상기 취성 재료 기판이 놓여지는 부분의 상기 취성 재료 기판의 반송 방향의 상류측에 배치된 롤러 및 하류측에 배치된 롤러에 의해 지지되어도 된다.
본 기판 반송 장치 및 가공 장치에 의하면, 취성 재료 기판을 반송하는 벨트에 형성되는 구멍의 형상이 취성 재료 기판의 반송 방향을 향하여 테이퍼드 형상으로 되어 있기 때문에, 클램프 장치의 이동에 의해 클램프된 취성 재료 기판을, 반송 방향 하류측 (예를 들어, 스크라이브 장치) 으로 반송할 때에, 구멍의 형상이 반송 방향을 향하여 반원 형상인 경우에는 구멍이 벨트를 지지하는 회전 롤러의 면 상을 이동하여 벨트가 만곡될 때에 구멍의 가장자리와 롤러의 회전축이 이루는 각도가 평행에 가깝기 때문에 벨트의 구멍의 가장자리가 부상되기 쉬운 데 반해, 구멍의 형상이 반송 방향을 향하여 테이퍼드 형상으로 되어 있는 경우에는 구멍의 가장자리와 롤러의 회전축이 이루는 각도가 보다 직각에 가깝기 때문에 벨트가 만곡되어도 벨트의 구멍의 가장자리가 잘 부상되지 않게 되어, 벨트의 구멍의 가장자리의 말려 올라감에 의한 취성 재료 기판의 부상을 방지하고, 기판의 손상을 방지하고, 또, 양호한 정밀도로 기판을 가공할 수 있다.
상기 클램프 장치의 상기 벨트에 대한 위치가 고정된 본 기판 반송 장치 및 가공 장치에 의하면, 전(前)공정 장치에 의해 벨트의 상방으로부터 벨트 상에 취성 재료 기판이 놓여진다. 이 때문에, 클램프 장치를 구성하는 기판 지지부는, 벨트에 대한 위치가 미리 고정되어 있어도, 취성 재료 기판이 벨트 상으로 이동하는 과정에 있어서 취성 재료 기판의 이동을 방해하지 않는다. 그리고, 기판 지지부의 위치가 고정된 구조를 취할 수 있음으로써, 종래의 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치에 포함되는 클램프 장치의 승강 기구를 생략할 수 있다. 이 때문에, 클램프 장치의 구성이 간소화된다.
본 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치에 의하면, 상기 벨트에 구멍이 형성되고, 상기 기판 지지부가 상기 구멍에 배치된다.
이 때문에 기판 지지부가 벨트의 주위에 배치되는 경우와 비교하여, 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치에 있어서 기판 지지부 및 벨트가 차지하는 영역이 좁아진다. 이 때문에, 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치를 소형화하기 쉽다.
본 발명의 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치에 의하면, 벨트의 구멍의 가장자리의 말려 올라감에 의한 취성 재료 기판의 부상을 방지하고, 기판의 손상을 방지할 수 있고, 또, 양호한 정밀도로 기판을 가공할 수 있다.
도 1 은 실시형태의 기판 가공 장치의 정면측의 사시도이다.
도 2 는 도 1 의 기판 가공 장치의 평면도이다.
도 3 은 도 1 의 기판 가공 장치의 배면측의 사시도이다.
도 4 는 도 1 의 기판 가공 장치의 클램프부의 확대도이다.
도 5 는 도 1 의 클램프 장치의 평면도이다.
도 6 은 도 5 의 클램프 장치의 측면도이다.
도 7 은 도 6 의 클램프 장치의 아암이 열려 있는 상태의 측면도이다.
도 8 은 도 7 의 클램프 장치의 아암이 닫힌 상태의 측면도이다.
도 9 는 도 3 의 기판 가공 장치가 한창 취성 재료 기판을 반송하고 있을 때의 배면측의 사시도이다.
도 10 은 도 1 의 기판 가공 장치의 일 실시형태에 관련된 클램프부의 확대 도이다.
도 1 을 참조하여, 기판 가공 장치 (1) 의 구성에 대하여 설명한다.
기판 가공 장치 (1) 는 유리 등에 의해 형성되는 취성 재료 기판 (300) 을 반송하는 기판 반송 장치 (10), 기판 반송 장치 (10) 를 구성하며 취성 재료 기판 (300) 을 클램프하는 복수의 클램프 장치 (40), 및, 기판 반송 장치 (10) 에 의해 반송된 취성 재료 기판 (300) 에 분단선을 형성하는 스크라이브 장치 (90) 를 구비한다. 또, 스크라이브 장치 (90) 보다 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향의 하류측에는, 취성 재료 기판 (300) 을 분단선을 따라 분할하는 브레이크 장치 (200) 가 배치되어 있다. 또한, 기판 가공 장치 (1) 의 프레임 (2) 의 측방에는, 기판 반송 장치 (10) 의 벨트 (11) 의 폭 방향에 있어서의 벨트 (11) 에 대한 취성 재료 기판 (300) 의 위치를 결정하고, 벨트 (11) 의 상방으로부터 벨트 (11) 상에 취성 재료 기판 (300) 을 놓는 전공정 장치 (100) 가 배치되어 있다.
도 2 를 참조하여 기판 반송 장치 (10) 의 구성에 대하여 설명한다.
기판 반송 장치 (10) 는 취성 재료 기판 (300) 이 놓여지는 벨트 (11) (도 1 참조), 기판 가공 장치 (1) 의 프레임 (2) 에 장착되어 있는 복수의 지지판 (12), 및, 벨트 (11) 가 둘러 감기는 롤러 (13A, 13B) 를 구비한다.
벨트 (11) 는 복수의 구멍 (11A) (도 4 참조) 이 형성되고, 기판 지지부 (51) 가 각 구멍에 배치된다. 복수의 지지판 (12) 은 벨트 (11) (도 1 참조) 의 폭 방향으로 간격을 두고 나열되고, 선단에 복수의 롤러 (13A) 가 장착되어 있다. 또, 프레임 (2) 중 지지판 (12) 보다 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향의 상류측에는 1 개의 롤러 (13B) 가 장착되어 있다.
도 3 및 도 4 를 참조하여, 구동 장치 (20) 의 구성에 대하여 설명한다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 구동 장치 (20) 는 프레임 (2) 의 측방에 형성되어 있는 1 쌍의 레일 (21), 레일 (21) 을 따라 이동하는 1 쌍의 가이드 (22), 1 쌍의 가이드 (22) 를 연결하는 2 장의 가이드 연결판 (23), 가이드 연결판 (23) 과 벨트 (11) 를 연결하는 벨트 연결부 (24), 및, 1 쌍의 가이드 (22) 를 이동시키는 모터 (25) 를 구비한다.
1 쌍의 레일 (21) 은 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향으로 연장되는 형상이다. 1 쌍의 가이드 (22) 는 모터 (25) 의 출력축과 예를 들어 이송 나사 기구 (도시 생략) 를 개재하여 연결되어 있다.
2 장의 가이드 연결판 (23) 은 1 쌍의 가이드 (22) 중 일방의 가이드 (22) 에서부터 타방의 가이드 (22) 에 걸치도록 배치되어 있다.
도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 벨트 연결부 (24) 는 가이드 연결판 (23) 의 하면에서부터 하방으로 연장되는 지주 (24A), 및, 벨트 (11) 의 상면에 장착되어 있는 지주 연결 부재 (24B) 를 구비한다.
지주 연결 부재 (24B) 는 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향으로 연장되는 직방체이고, 1 개의 클램프 장치 (40) 에 대해 지지판 (12) 의 짧은 쪽 방향으로 간격을 두고 2 개 배치되고, 상면에 지주 (24A) 가 장착되어 있다.
또, 1 쌍의 레일 (21) 의 하방에는 케이블 안내 장치 (30) 가 배치되어 있다. 케이블 안내 장치 (30) 는 모터 (25) 의 제어 장치 (도시 생략) 에 전력을 공급하는 케이블 (도시 생략) 이 수용된 벨트 (31) 를 구비한다. 벨트 (31) 의 일방의 단부인 고정단 (31A) 은 전원 (도시 생략) 과 접속되어 있고, 타방의 단부인 이동단 (31B) 은 가이드 연결판 (32) 을 개재하여 레일 (21) 과 연결되어 있다.
도 3 을 참조하여 클램프 장치 (40) 의 구성에 대하여 설명한다.
복수의 클램프 장치 (40) 는 지지판 (12) 의 짧은 쪽 방향으로 간격을 두고 배치되고, 취성 재료 기판 (300) (도 1 참조) 의 단부를 클램프하는 클램프부 (50), 및, 클램프부 (50) 를 구동하는 클램프 구동 장치 (60) 를 구비한다.
클램프부 (50) 는 인접하는 지지판 (12) 의 사이에 배치되어 있다. 클램프 구동 장치 (60) 는 클램프부 (50) 보다 취성 재료 기판 (300) (도 1 참조) 의 반송 방향의 상류측에 배치되어 있다.
도 4 를 참조하여 클램프부 (50) 의 구성에 대하여 설명한다.
클램프부 (50) 는 벨트 (11) 의 하면에 장착되어 있는 기판 지지부 (51), 벨트 (11) 의 상면에 장착되어 있는 아암 장착대 (52), 기판 지지부 (51) 와의 사이에서 취성 재료 기판 (300) (도 1 참조) 을 끼우는 아암 (57), 및, 클램프 구동 장치 (60) 의 아암 연결 로드 (80) 와 연결되는 로드 연결부 (58) 를 구비한다.
기판 지지부 (51) 의 선단의 지지면 (51A) 과 벨트 (11) 의 상면의 관계는 면일 (面一) (동일 평면 상에 있음) 이다.
아암 장착대 (52) 는 2 개의 지주 연결 부재 (24B) 의 단부에 복수의 나사 (56) 에 의해 고정되어 있는 벽부 (53), 및, 벽부 (53) 로부터 취성 재료 기판 (300) (도 1 참조) 의 반송 방향의 하류측으로 돌출되고, 벨트 (11) 의 상면에 장착되어 있는 아암 배치부 (54) 를 구비한다.
벽부 (53) 는, 아암 배치부 (54) 와 일체적으로 성형되고, 아암 연결 로드 (80) 가 삽입되는 구멍 (53A) 이 형성되어 있다.
아암 (57) 은 아암 배치부 (54) 의 홈 (54A) 에 배치되어 있다. 아암 (57) 은 아암 배치부 (54) 에 장착된 회전축 (55) 에 회전 가능하게 장착되어 있다. 또, 아암 (57) 은 로드 연결부 (58) 에 장착된 연결축 (58A) 에 회전 가능하게 장착되어 있다.
도 5 및 도 6 을 참조하여, 클램프 구동 장치 (60) 의 구성에 대하여 설명한다.
클램프 구동 장치 (60) 는 왕복동식의 에어 실린더 (70), 에어 실린더 (70) 와 로드 연결부 (58) 를 연결하는 아암 연결 로드 (80), 에어 실린더 (70) 의 동력을 아암 연결 로드 (80) 에 전달하는 동력 전달 부재 (61), 및, 지주 연결 부재 (24B) 에 장착되는 규제 부재 (62) 를 구비한다.
에어 실린더 (70) 는 튜브 (71), 튜브 (71) 의 내부에 배치되는 피스톤 (72), 및, 피스톤 (72) 과 연결되어 있는 피스톤 로드 (73) 를 구비한다.
튜브 (71) 에는 압축 공기가 이송되어 오는 관 (71A 및 71B) 이 장착되어 있다. 피스톤 (72) 은 관 (71A) 을 통해 압축 공기가 튜브 (71) 의 내부로 이송되어 오는 한편, 관 (71B) 으로부터 공기가 배출됨으로써 전방으로 이동한다. 한편, 피스톤 (72) 은 관 (71B) 을 통해 압축 공기가 튜브 (71) 의 내부로 이송되어 오는 한편, 관 (71A) 을 통해 공기가 배출됨으로써 후방으로 이동한다.
동력 전달 부재 (61) 의 상단은 피스톤 로드 (73) 의 단부에 대해 회전 가능하게 연결되고, 하단은 아암 연결 로드 (80) 에 대해 회전 가능하게 연결되어 있다. 또, 동력 전달 부재 (61) 중 아암 연결 로드 (80) 와 연결되어 있는 부분은 탄성 부재 (도시 생략) 에 의해 전방으로 탄성 지지되어 있다.
규제 부재 (62) 는 동력 전달 부재 (61) 의 전방으로의 이동의 한계 위치를 결정한다. 규제 부재 (62) 는 지주 연결 부재 (24B) 의 상면에 고정되고, 피스톤 로드 (73) 가 튜브 (71) 로부터 돌출됨으로써 동력 전달 부재 (61) 가 접촉하는 오목부 (62A) 가 형성되어 있다.
아암 연결 로드 (80) 는 인접하는 지주 연결 부재 (24B) 의 사이에 배치되고, 일방의 단부가 동력 전달 부재 (61) 와 연결되고, 타방의 단부가 로드 연결부 (58) 와 연결되어 있다.
도 7 ∼ 도 9 를 참조하여, 기판 가공 장치 (1) 의 작용에 대하여 설명한다.
도 7 에 나타내는 바와 같이, 관 (71A) 으로부터 압축 공기가 튜브 (71) 의 내부의 공간으로 이송되어 오는 한편, 관 (71B) 으로부터 공기가 배출됨으로써 피스톤 (72) 이 전방으로 이동하고, 피스톤 로드 (73) 가 튜브 (71) 로부터 돌출된다. 이 때문에, 피스톤 로드 (73) 와 연결되어 있는 동력 전달 부재 (61) 가 전방으로 이동하여 규제 부재 (62) 의 오목부 (62A) 와 접촉하고, 동력 전달 부재 (61) 중 피스톤 로드 (73) 와 연결되어 있는 부분이 회전한다. 그리고, 동력 전달 부재 (61) 중 아암 연결 로드 (80) 와 연결되어 있는 부분이 후방으로 이동함으로써, 아암 연결 로드 (80) 및 로드 연결부 (58) 가 후방으로 이동한다. 아암 연결 로드 (80) 가 후방으로 이동함으로써, 아암 (57) 이 회전축 (55) 둘레로 회전하여, 지지면 (51A) 의 상방이 개방된다. 그리고, 전공정 장치 (100) (도 1 참조) 에 의해 벨트 (11) 의 폭 방향의 위치 결정이 이루어진 취성 재료 기판 (300) 이 지지면 (51A) 의 상방으로부터 강하하여 지지면 (51A) 에 놓여진다.
도 8 에 나타내는 바와 같이, 관 (71A) 으로부터 공기가 배출되는 한편, 관 (71B) 으로부터 압축 공기가 튜브 (71) 의 내부의 공간으로 이송되어 옴으로써, 피스톤 (72) 이 후방으로 이동한다. 이 때문에, 피스톤 로드 (73) 가 튜브 (71) 의 내부로 비집고 들어가, 피스톤 로드 (73) 와 연결되어 있는 동력 전달 부재 (61) 가 후방으로 이동한다. 이 때문에, 동력 전달 부재 (61) 가 규제 부재 (62) 의 오목부 (62A) 로부터 이간된다. 그리고, 탄성 부재 (도시 생략) 의 탄성력에 의해 동력 전달 부재 (61) 중 아암 연결 로드 (80) 와 연결되어 있는 부분이 전방으로 이동하고, 아암 연결 로드 (80) 및 로드 연결부 (58) 가 전방으로 이동한다. 이 때문에, 아암 (57) 이 회전축 (55) 둘레로 회전하고, 기판 지지부 (51) 의 지지면 (51A) 과의 사이에서 취성 재료 기판 (300) 을 끼워 클램프한다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 클램프 장치 (40) 가 취성 재료 기판 (300) 을 클램프한 상태에서 모터 (25) 에 전력이 공급되고, 이송 나사 기구 (도시 생략) 에 의해 가이드 (22) 가 레일 (21) 을 따라 이동한다.
1 쌍의 가이드 (22) 를 연결하고 있는 가이드 연결판 (23) 이 벨트 연결부 (24) 를 개재하여 벨트 (11) 와 연결되어, 벨트 (11) 와 클램프 장치 (40) 가 연결되어 있다. 이 때문에, 가이드 (22) 가 레일 (21) 을 따라 이동함에 수반하여, 벨트 (11) 및 클램프 장치 (40) 도 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향으로 이동하여, 취성 재료 기판 (300) 이 스크라이브 장치 (90) 로 반송된다.
기판 가공 장치 (1) 및 기판 반송 장치 (10) 에 의하면, 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 본 기판 가공 장치 (1) 및 기판 반송 장치 (10) 에 의하면, 취성 재료 기판 (300) 을 반송하는 벨트 (11) 에 형성되는 구멍 (11A) 의 형상이 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향을 향하여 테이퍼드 형상 (전형적으로는, ＞ 형의 형상) 으로 되어 있기 때문에, 클램프 장치 (40) 의 클램프부 (50) (기판 지지부 (51) 및 아암 (57)) 의 이동에 의해 클램프된 취성 재료 기판 (300) 을 스크라이브 장치 (90) 로 반송할 때에, 예를 들어, 구멍 (11A) 이 벨트 (11) 를 지지하는 롤러 (13A) 의 면 상을 이동하여 벨트 (11) 가 롤러 (13A) 의 롤러면을 따라 만곡될 때에 벨트의 구멍 (11A) 의 테이퍼드 형상 부분의 가장자리와 롤러 (13A) 의 회전축이 이루는 각도가 직각에 가깝기 (벨트에 부가되는 장력의 방향과 평행에 가깝기) 때문에 구멍 (11A) 의 가장자리가 잘 부상되지 않게 되어, 벨트 (11) 의 말려 올라감에 의한 취성 재료 기판 (300) 의 부상을 방지하고, 양호한 정밀도로 기판을 가공할 수 있다. 벨트의 구멍의 테이퍼드 형상 부분의 가장자리와 롤러 (13A) 의 회전축이 이루는 각도는, 특히 테이퍼드 형상의 선단 부분에 있어서 30°이상, 바람직하게는 45°이상, 더욱 바람직하게는 60°이상 (통상은 90°미만) 으로 할 수 있다. 이 경우, 벨트의 구멍의 테이퍼드 형상 부분의 가장자리와 기판의 반송 방향 (벨트의 이동 방향) 이 이루는 각도는, 특히 테이퍼드 형상의 선단 부분에 있어서, 60°이하, 바람직하게는 45°이하, 더욱 바람직하게는 30°이하 (통상은 0°보다 큼) 가 된다.
(2) 전공정 장치 (100) 에 의해 벨트 (11) 의 상방으로부터 벨트 (11) 상에 취성 재료 기판 (300) 이 놓여진다. 이 때문에, 클램프 장치 (40) 를 구성하는 기판 지지부 (51) 는, 벨트 (11) 에 대한 위치가 미리 고정되어 있어도, 취성 재료 기판 (300) 이 벨트 (11) 상으로 이동하는 과정에 있어서 취성 재료 기판 (300) 의 이동을 방해하지 않는다. 그리고, 기판 지지부 (51) 의 위치가 고정된 구조를 취할 수 있음으로써, 종래의 기판 반송 장치 및 기판 가공 장치에 포함되는 클램프 장치의 승강 기구를 생략할 수 있다. 이 때문에, 클램프 장치 (40) 의 구성이 간소화된다.
(3) 기판 지지부 (51) 가 벨트 (11) 의 구멍 (11A) 에 배치되어 있기 때문에, 기판 지지부 (51) 가 벨트 (11) 의 주위에 배치되는 경우와 비교하여, 기판 가공 장치 (1) 에 있어서 기판 지지부 (51) 및 벨트 (11) 가 차지하는 영역이 좁아진다. 이 때문에, 기판 가공 장치 (1) 및 기판 반송 장치 (10) 를 소형화하기 쉽다.
(4) 전공정 장치 (100) 에 의해 위치가 결정된 취성 재료 기판 (300) 이 벨트 (11) 및 기판 지지부 (51) 상에 놓여진다. 다음으로, 클램프 장치 (40) 의 아암 (57) 이 회전함으로써, 취성 재료 기판 (300) 이 클램프 장치 (40) 에 의해 클램프된다. 이 때문에, 클램프 장치 (40) 가 취성 재료 기판 (300) 을 클램프 할 때에 결정된 취성 재료 기판 (300) 의 위치가 잘 어긋나지 않는다.
(5) 벨트 (11) 와 클램프 장치 (40) 가 연결되어 있기 때문에, 벨트 (11) 의 이동 속도와 클램프 장치 (40) 의 이동 속도가 실질적으로 일치한다. 이 때문에, 취성 재료 기판 (300) 과 벨트 (11) 사이에 마찰이 발생할 우려가 저감되어, 취성 재료 기판 (300) 에 손상이 잘 생기지 않는다.
(6) 공통의 구동 장치 (20) 에 의해 벨트 (11) 및 클램프 장치 (40) 가 반송 방향으로 이동하기 때문에, 벨트 (11) 의 이동 속도와 클램프 장치 (40) 의 이동 속도가 실질적으로 일치한다. 이 때문에, 취성 재료 기판 (300) 과 벨트 (11) 사이에 마찰이 발생하는 것이 억제되어, 취성 재료 기판 (300) 에 손상이 잘 생기지 않는다.
(7) 기판 지지부 (51) 가 벨트 (11) 의 구멍 (11A) 에 배치되어 있기 때문에, 아암 (57) 과 지지면 (51A) 사이에 벨트 (11) 가 개재하지 않는다. 이로써, 아암 (57) 과 지지면 (51A) 이 직접적으로 취성 재료 기판 (300) 을 사이에 끼울 수 있기 때문에, 아암 (57) 과 지지면 (51A) 사이에 벨트 (11) 가 개재하는 경우와 비교하여 취성 재료 기판 (300) 을 보다 강하게 클램프할 수 있다.
(8) 기판 지지부 (51) 가 벨트 (11) 의 구멍 (11A) 에 배치되어 있기 때문에, 기판 지지부 (51) 가 벨트 (11) 의 하면과 간격을 두고 배치되어 있는 경우와 비교하여, 기판 지지부 (51) 가 취성 재료 기판 (300) 을 지지했을 때에, 벨트 (11) 가 휘어, 취성 재료 기판 (300) 의 위치가 어긋나는 것이 억제된다.
(9) 클램프부 (50) 가 인접하는 지지판 (12) 의 사이에 배치되어 있기 때문에, 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향으로 이동했을 때에, 지지판 (12) 의 선단에 장착되어 있는 복수의 롤러 (13A) 와 간섭하지 않는다. 이 때문에, 취성 재료 기판 (300) 을 한창 반송하고 있을 때, 클램프부 (50) 가 클램프하고 있는 취성 재료 기판 (300) 의 위치가 잘 어긋나지 않는다.
기판 가공 장치 및 기판 반송 장치가 취할 수 있는 구체적인 형태는 상기 실시형태에 예시된 형태에 한정되지 않는다. 기판 가공 장치 및 기판 반송 장치는 상기 실시형태와는 상이한 각종의 형태를 취할 수 있다. 이하에 나타내는 상기 실시형태의 변형예는 기판 가공 장치 및 기판 반송 장치가 취할 수 있는 각종 형태의 일례이다.
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 벨트 (11) 와 클램프 장치 (40) 가 직접적으로 연결되지 않는다.
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 클램프 장치 (40) 의 클램프부 (50) 와 벨트 (11) 가 중간 부재를 개재하여 간접적으로 연결되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 클램프 장치 (40) 의 클램프부 (50) 가 벨트 (11) 보다 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향의 상류측에 배치되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 벨트 (11) 에 형성되는 구멍 (11A) 의 형상이 취성 재료 기판의 반송 방향을 향하여 2 변이 움푹 패인 ＞ 형의 형상으로 형성되고, 이 구멍 (11A) 에 기판 지지부 (51) 가 배치되어 있다 (도 10 참조).
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 벨트 (11) 에 형성되는 구멍 (11A) 의 형상이 취성 재료 기판의 반송 방향을 향하여 2 변이 불룩해진 ＞ 형의 형상으로 형성되고, 이 구멍 (11A) 에 기판 지지부 (51) 가 배치되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 기판 지지부 (51) 와 연결되지 않고, 기판 지지부 (51) 에 대해 이동함으로써 기판 지지부 (51) 의 지지면 (51A) 에 놓여진 취성 재료 기판 (300) 을 클램프하는 아암 (57) 을 구비한다. 이 변형예의 아암 (57) 은 직접적, 또는, 간접적으로 벨트 (11) 와 연결되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 의하면, 모터 (25) 의 출력축이 롤러 (13A 및 13B) 의 적어도 일방의 회전축과 연결되고, 모터 (25) 가 롤러 (13A 및 13B) 의 적어도 일방을 회전시킴으로써, 벨트 (11) 및 클램프 장치 (40) 를 취성 재료 기판 (300) 의 반송 방향으로 이동시킨다.
1 : 기판 가공 장치,
11 : 벨트,
11A : 구멍,
20 : 구동 장치,
40 : 클램프 장치,
51 : 기판 지지부,
57 : 아암,
100 : 전공정 장치,
300 : 취성 재료 기판.

Claims (3)

  1. 취성 재료 기판을 반송하는 벨트와, 상기 벨트 상에 놓여진 상기 취성 재료 기판을 클램프하는 클램프 장치를 구비하고,
    상기 클램프 장치는, 하방으로부터 상기 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부에 대해 회전 또는 이동하고, 상기 기판 지지부와의 사이에 상기 취성 재료 기판을 끼우는 아암을 구비하고,
    상기 벨트에 구멍이 형성되고, 상기 기판 지지부가 상기 구멍에 배치되고, 상기 구멍의 형상이 상기 취성 재료 기판의 반송 방향을 향하여 테이퍼드 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 벨트가 상기 취성 재료 기판이 놓여지는 부분의 상기 취성 재료 기판의 반송 방향의 상류측에 배치된 롤러 및 하류측에 배치된 롤러에 의해 지지되는, 기판 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 기판 반송 장치를 구비한, 기판 가공 장치.
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