JP2007075964A - 基板分断システム - Google Patents

Abstract

【課題】スクライブラインが形成された基板を、搬送時に分断されることを防止する。
【解決手段】スクライブラインが形成された貼り合わせマザー基板が載置されて、載置された貼り合わせマザー基板を搬送する第３基板支持ユニットが、４台のベルトコンベア３１によって構成されており、各ベルトコンベア３１は、それぞれ、駆動プーリ３１ａと従動プーリ３１ｂとに巻き掛けられた平ベルト３１ｃを有している。各平ベルト３１ｃに載置された貼り合わせマザー基板は、安定的に分断ユニットに搬送される。
【選択図】 図４

Description

本発明は、液晶表示装置等の表示パネルに使用されるガラス基板等のマザー基板等のような各種基板を分断するために使用される基板分断システムに関し、特に、一対の脆性材料基板を相互に貼り合わせた貼り合わせマザー基板の分断に好適に使用することができる基板分断システムに関する。

液晶表示装置等の表示パネルは、通常、脆性材料基板であるガラス基板を用いて形成されている。液晶表示装置の表示パネルは、一対のガラス基板を、適当な間隙を形成して貼り合わせて、その間隙内に液晶を封入することによって構成される。

このような表示パネルを製造する際には、マザーガラス基板を貼り合わせた貼り合わせマザー基板を分断することによって、マザーガラス基板から複数の分断ガラス基板に分断することが行われている。貼り合わせマザー基板を分断するために使用されるスクライブ装置が、実公昭５９−２２１０１号公報（特許文献１）に開示されている。

図６は、このスクライブ装置の概略構成図である。このスクライブ装置９５０は、貼り合わせマザー基板９０８の両側の側縁部をそれぞれ載置するテーブル９５１を備えている。テーブル９５１には、貼り合わせマザー基板９０８の各側縁部をクランプするクランプ具９５２が取り付けられている。スクライブ装置９５０は、貼り合わせマザー基板９０８の上方および下方にそれぞれ設けられたカッターヘッド９５３および９５４を備えている。各カッターヘッド９５３および９５４は、貼り合わせマザー基板９０８を挟んで相互に対向した状態になっている。

このような構成のスクライブ装置９５０においては、貼り合わせマザー基板９０８が各クランプ具９５２によって各テーブル９５１にそれぞれ固定されると、一対のカッターヘッド９５３および９５４によって、貼り合わせマザー基板９０８を構成する上側の基板および下側の基板が、それぞれ同時にスクライブ加工されて、スクライブラインが形成される。
実公昭５９−２２１０１号公報

しかしながら、このようなスクライブ装置９５０では、スクライブラインが形成された貼り合わせマザー基板９０８は、完全に分断されていないことから、分断工程に搬送して分断装置（ブレイク装置）によって分断する必要がある。しかしながら、スクライブラインが形成された貼り合わせマザー基板９０８を分断装置に搬送する際に、貼り合わせマザー基板９０８に応力が加わると、貼り合わせマザー基板９０８がスクライブラインに沿って分断されるおそれがある。この場合、貼り合わせマザー基板９０８に対して均一な応力が加わらないために、貼り合わせマザー基板９０８は、スクライブラインの全体にわたって、スクライブラインに沿った状態に分断されずに、欠け、割れ等が発生するおそれがある。

貼り合わせマザー基板を、スクライブ加工に連続して分断加工を自動的に行なうようなシステムとすることによって、貼り合わせマザー基板の分断作業効率は著しく向上することになる。しかしながら、この場合にも、スクライブラインが形成された貼り合わせマザー基板を分断工程へ搬送する際に、貼り合わせマザー基板に応力が加わると、貼り合わせマザー基板が、スクライブラインに沿った状態で完全に分断されないおそれがある。

また、スクライブ工程から分断工程まで、貼り合わせマザー基板を同一の姿勢で搬送することにより、分断工程において貼り合わせマザー基板を位置決めする必要がなく、これにより作業効率は著しく向上する。しかしながら、貼り合わせマザー基板の搬送時に、貼り合わせマザー基板を安定的に支持することができないと、貼り合わせマザー基板の姿勢が変化するという問題がある。この場合には、分断工程において、貼り合わせマザー基板を位置決めする必要があり、作業効率が低下する。

このような問題は、貼り合わせマザー基板に限らず、単板によって構成された基板の場合にも生じる。特に、大きな面積であって厚さが薄い単板によって構成されたマザーガラス基板の場合には、マザーガラス基板自体が撓みやすく、搬送中に応力が容易に加わるために、スクライブラインが形成されたマザーガラス基板は、欠け、割れ等が生じて容易に分断されるおそれがある。

また、大きな面積であって厚さが薄いマザーガラス基板の場合には、上述のように、容易に撓むことから、スクライブラインが形成されていない状態であっても、搬送時において安定的に支持しないと、割れ、欠け等が発生するおそれがある。

本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、各種マザー基板を、割れ、欠け等が発生することなく安定的に搬送することができて、分断作業効率を著しく向上させることができる基板分断システムを提供することにある。

本発明の基板分断システムは、スクライブラインが形成された基板が載置されて、載置された該基板を搬送する第１の基板支持ユニットと、該第１の基板支持ユニットによって搬送される前記基板が移載される第２の基板支持ユニットと、前記第１の基板支持ユニットと前記第２の基板支持ユニットとの間に前記基板のスクライブラインが位置されることによって、該スクライブラインに対向し得るように配置されて、該スクライブラインに沿って前記基板を分断する分断ユニットとを備えた基板分断システムであって、前記第１の基板支持ユニットは、平ベルトを有するベルトコンベアによって構成されていることを特徴とする。

好ましくは、前記第２の基板支持ユニットは、平ベルトを有するベルトコンベアによって構成されている。

本発明の基板分断システムでは、平ベルトを有するベルトコンベアによって、スクライブラインが形成された基板を安定的に搬送できるために、搬送時に基板が分断されて、割れ、欠け等が生じることを確実に防止することができる。また、第１の基板支持ユニットにて搬送される基板は、第２の基板支持ユニットへと安定的に移載されるために、基板の側縁部が分断されて、両基板支持ユニットの間に落下することも防止することができる。

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、本発明の基板分断システムの実施形態の一例を示す概略斜視図、図２は、その平面図、図３はその側面図である。本発明の基板分断システム１００は、複数の基板に分断されるマザー基板、また、鋼板等の金属基板、木板、プラスチック基板およびセラミックス基板、半導体基板、ガラス基板等の脆性材料基板等の単板等の「基板」の分断に使用される。また、このような単板に限らず、一対の基板同士を貼り合わせた貼り合わせ基板、一対の基板同士を積層させた積層基板の分断にも使用される。

なお、以下においては、本発明の基板分断システムによって、貼り合わせマザー基板を複数の分断貼り合わせ基板に分断する場合について説明する。

本発明の基板分断システム１００は、図１に示すように、中空の直方体状の架台８１を有している。架台８１は、直線状に長く延びている。なお、架台８１の長く延びる方向をＹ方向、そのＹ方向と水平面内にて直交する方向をＸ方向、垂直方向をＺ方向とする。

架台８１の上面には、搬送ロボットよって基板分断システム１００に搬送される貼り合わせマザー基板９０（図２参照）を水平状態で支持してＹ方向に搬送する第１基板支持ユニット１０と、この第１基板支持ユニット１０の搬送方向下流側に配置されて、第１基板支持ユニット１０にて搬送される貼り合わせマザー基板９０が水平状態で移載される第２基板支持ユニット２０とを有している。第１基板支持ユニット１０と第２基板支持ユニット２０との間には、第１基板支持ユニット１０と第２基板支持ユニット２０とによって水平状態で支持された貼り合わせマザー基板９０をＸ方向に沿ってスクライブするスクライブユニット５０が設けられている。第２基板支持ユニット２０は、スクライブユニット５０によってスクライブされた貼り合わせマザー基板９０をＹ方向に搬送するようになっている。

第２基板支持ユニット２０の搬送方向下流側には、第２基板支持ユニット２０によって搬送されるスクライブ後の貼り合わせマザー基板９０が移載されてＹ方向に沿って搬送する第３基板支持ユニット３０が設けられており、第３基板支持ユニット３０の搬送方向下流側には、第３基板支持ユニット３０によって搬送される貼り合わせマザー基板９０が移載される第４基板支持ユニット４０が設けられている。

第３基板支持ユニット３０と第４基板支持ユニット４０との間には、第３基板支持ユニット３０と第４基板支持ユニット４０とによって水平状態で支持されたスクライブ後の貼り合わせマザー基板９０をＸ方向に沿って分断する分断ユニット６０が設けられている。第４基板支持ユニット４０は、分断ユニット６０によって分断された分断貼り合わせ基板９１をＹ方向に搬送可能になっている。

第４基板支持ユニット４０の搬送方向下流側には、基板搬出ユニット７０が設けられており、第４基板支持ユニット４０上に載置された分断貼り合わせ基板９１は、第４基板支持ユニット４０の搬送方向下流側に設けられた基板搬出ユニット７０によって、架台８１のＹ方向の側部に設けられた搬出テーブル８２上に載置される。

図４は、第１基板支持ユニット１０の斜視図、図５は、その横断面図である。第１基板支持ユニット１０は、例えば、それぞれがＹ方向に沿って配置された４台のベルトコンベア１１を有している。各ベルトコンベア１１は、隣接するベルトコンベア１１とは、Ｘ方向の間隙が数ｃｍ〜数ｍｍ程度になるように並んで配置されている。各ベルトコンベア１１は、搬送方向下流側に配置された駆動プーリ１１ａと、搬送方向下流側に配置された従動プーリ１１ｂ（図４参照）と、それら駆動プーリ１１ａと従動プーリ１１ｂとに巻き掛けられた平ベルト１１ｃとを有しており、各駆動プーリ１１ａは、１台の駆動モータ１２によって、同期して一体的に回転駆動される。平ベルト１１ｃは、例えば、アラミド繊維によって幅が１５０ｍｍ程度に構成されており、その表面はフッ素樹脂によってコーティングされている。

図１に示すように、第１基板支持ユニット１０の搬送方向下流側に配置された第２基板支持ユニット２０は、第１基板支持ユニット１０と同様に、それぞれがＹ方向に沿って延びる４台のベルトコンベア２１を有している。各ベルトコンベア２１は、図４に示すように、それぞれ前記第１基板支持ユニット１０の各ベルトコンベア１１と同様の構成になっており、搬送方向下流側に配置された駆動プーリ２１ａと、搬送方向下流側に配置された従動プーリ２１ｂと、それら駆動プーリ２１ａと従動プーリ２１ｂとに巻き掛けられた平ベルト２１ｃとを有している。各駆動プーリ２１ａは、１台の駆動モータ２２によって、同期して一体的に回転駆動される。平ベルト２１ｃは、例えば、アラミド繊維によって幅が１５０ｍｍ程度に構成されており、その表面はフッ素樹脂によってコーティングされている。

第１基板支持ユニット１０と第２基板支持ユニット２０との間に設けられた分断ユニット５０は、第１基板支持ユニット１０と第２基板支持ユニット２０とにわたって架設状態で水平に支持された貼り合わせマザー基板９０の上方および下方に、それぞれがＸ方向に沿って配置された上部ガイドレール５１および下部ガイドレール５２を備えており、上部ガイドレール５１および下部ガイドレール５２のそれぞれに、上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４が、Ｘ方向に沿って移動可能に設けられている。

上部スクライブ装置５３及び下部スクライブ装置５４には、それぞれ、カッターホイールを有するカッターヘッドが設けられている。カッターホイールは、例えば、特開平９−１８８５３４号公報に開示されているように、幅方向の中央部が鈍角のＶ字状になるように突出した刃先を有しており、その刃先に、所定の高さの突起が周方向に所定のピッチで形成されている構成になっている。

下部スクライブ装置５４は、上部スクライブ装置５３と同様の構成であって、上下方向を反転した状態で配置されている。

上部スクライブ装置５３のカッターホイールは、貼り合わせマザー基板９０の上面に圧接され、下部スクライブ装置５４のカッターホイールも、貼り合わせマザー基板９０の下面に圧接される。そして、上部スクライブ装置５３と下部スクライブ装置５４とを、それぞれのカッターホイールを相互に対向させた状態で、同時に同一の方向へ移動させることにより、貼り合わせマザー基板９０にスクライブラインが形成される。

第２基板支持ユニット２０の搬送方向下流側に配置された第３基板支持ユニット３０も、第１基板支持ユニット１０と同様に、それぞれがＹ方向に沿って延びる４台のベルトコンベア３１を有している。各ベルトコンベア３１は、図４に示すように、それぞれ前記第１基板支持ユニット１０の各ベルトコンベア１１と同様の構成になっており、搬送方向下流側に配置された駆動プーリ３１ａと、搬送方向下流側に配置された従動プーリ３１ｂと、それら駆動プーリ３１ａと従動プーリ３１ｂとに巻き掛けられた平ベルト３１ｃとを有している。各駆動プーリ３１ａは、１台の駆動モータ３２によって、同期して一体的に回転駆動される。平ベルト３１ｃは、例えば、アラミド繊維によって幅が１５０ｍｍ程度に構成されており、その表面はフッ素樹脂によってコーティングされている。

第３基板支持ユニット３０と第４基板支持ユニット４０との間に設けられた分断ユニット６０は、スクライブユニット５０によってスクライブ加工された貼り合わせマザー基板９０を完全に分断するものであり、貼り合わせマザー基板９０を形成する上側のマザー基板に蒸気を吹き付ける上部スチーム吹き付け部６１（図３参照）と、貼り合わせマザー基板９０における下側のマザー基板に蒸気を吹き付ける下部スチーム吹き付け部６２（図３参照）とを有している。上部スチーム吹き付け部６１は、第３基板支持ユニット３０と第４基板支持ユニット４０とによって水平状態に支持される貼り合わせマザー基板９０の上方および下方に、それぞれＸ方向に沿って配置された上下の各ガイドレール６３および６４（いずれも図３参照）にＸ方向へのスライド可能に取り付けられている。

図１に示すように、第３基板支持ユニット３０の搬送方向下流側に配置された第４基板支持ユニット４０も、第１基板支持ユニット１０と同様に、それぞれがＹ方向に沿って延びる４台のベルトコンベア４１を有している。各ベルトコンベア４１は、図４に示すように、それぞれ前記第１基板支持ユニット１０の各ベルトコンベア１１と同様の構成になっており、搬送方向下流側に配置された駆動プーリ４１ａと、搬送方向下流側に配置された従動プーリ４１ｂと、それら駆動プーリ４１ａと従動プーリ４１ｂとに巻き掛けられた平ベルト４１ｃとを有している。各駆動プーリ４１ａは、１台の駆動モータ４２によって、同期して一体的に回転駆動される。平ベルト４１ｃは、例えば、アラミド繊維によって幅が１５０ｍｍ程度に構成されており、その表面はフッ素樹脂によってコーティングされている。

分断ユニット６０によって分断された分断貼り合わせ基板９１が第４基板支持ユニット４０上に載置されると、第４基板支持ユニット４０の基板搬送方向下流側に設けられた基板搬出ユニット７０によって、搬出テーブルに搬出される。基板搬出ユニット７０は、図１に示すように、第４基板支持ユニット４０上に支持された分断貼り合わせ基板９１を吸着保持して基板搬出側にスライドする搬出ロボット７１と、この搬出ロボット７１によってスライドされた分断貼り合わせ基板９１が載置されて、その分断貼り合わせ基板９１を吸着保持して上下を反転させる反転搬送ロボット７２とを有しており、反転搬送ロボット７２によって反転された分断貼り合わせ基板９１は、搬出テーブル８２上に載置される。

このような構成の基板分断システムの動作について説明する。大判のガラス基板が相互に貼り合わせられた貼り合わせマザー基板９０は、搬送ロボット等によって本発明の基板分断システム１００における第１基板支持ユニット１０上の各ベルトコンベア１１上に載置される。

各ベルトコンベア１１上に載置された貼り合わせマザー基板９０は、図示しない位置決め手段によって、各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃ上に所定の姿勢になるように位置決めされる。

その後、各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃ上に位置決めされた貼り合わせマザー基板９０は、図示しないクランプ手段によって、基板搬入側に位置する貼り合わせマザー基板９０の基板搬入側の側縁部がクランプされる。なお、上記クランプ手段は、各コンベアベルト１１間の間隙に沿って、Ｙ方向に移動自在に設けられている。

基板搬入側に位置する貼り合わせマザー基板９０の側縁部がクランプ手段によってクランプされると、貼り合わせマザー基板９０が各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃによって補助的に支持された状態になる。

このような状態になると、クランプ手段によって、貼り合わせマザー基板９０が基板搬出方向である＋Ｙ方向に沿って所定速度で移動されるとともに、第１基板支持ユニット１０における各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃ、および、第２基板支持ユニット２０における各ベルトコンベア２１の平ベルトが、クランプ手段による貼り合わせマザー基板９０の移動速度と同じ周回速度となるように駆動される。

このとき、上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４のカッターホイールを、所定の位置で、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面にそれぞれ圧接させた状態で、貼り合わせマザー基板９０をＹ方向に移動させることによって、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面にＹ方向に沿ったスクライブラインがそれぞれ形成される。なお、Ｙ方向に沿った複数のスクライブラインを形成する場合には、上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４のＸ方向の位置を変更して、貼り合わせマザー基板９０をＹ方向に沿って複数回移動させるようにすればよい。あるいは、複数の上部スクライブ装置および下部スクライブ装置を用いることによって、貼り合わせマザー基板９０の両面に同時に複数のスクライブラインを形成するようにしてもよい。

これにより、移動するクランプ手段に保持された貼り合わせマザー基板９０は、第１基板支持ユニット１０における各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃにて補助的に支持された状態でスライドされて、第２基板支持ユニット２０における各ベルトコンベア２１の平ベルトに補助的に支持された状態になる。この場合、クランプ手段に保持されてスライドする貼り合わせマザー基板９０は、第１基板支持ユニット１０における各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃおよび第２基板支持ユニット２０における各ベルトコンベア２１の平ベルトに、それぞれ摺接することなく搬送される。

また、第１基板支持ユニット１０における各ベルトコンベア１１は、隣接する平ベルト１１ｃ同士のＸ方向の間隙が数ｃｍ〜数ｍｍ程度になっており、貼り合わせマザー基板９０の下面のほぼ全体が、全ての平ベルト１１ｃによって支持されるために、貼り合わせマザー基板９０が撓むおそれがなく、貼り合わせマザー基板９０を安定的に搬送することができる。そして、貼り合わせマザー基板９０の一部が第２基板支持ユニット２０における各ベルトコンベア２１の平ベルトによって支持された場合も、同様に、撓むことなく安定的に搬送される。

Ｙ方向に沿ったスクライブラインが形成されると、その後、貼り合わせマザー基板９０は、クランプ手段、第１基板支持ユニット１０および第２基板支持ユニット２０によって、上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４のＹ方向の位置と貼り合わせマザー基板９０のＸ方向に沿ったスクライブ予定ラインとが一致する位置に移動される。

そして、スクライブユニット５０の上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４が、貼り合わせマザー基板９０におけるスクライブ予定ライン上に位置されるとともに、スクライブ予定ラインに沿って移動される。

このようにして、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面に、上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４のそれぞれのカッターホイールによって、垂直方向に沿ったクラックがＸ方向に沿って順次形成され、これにより、Ｘ方向に沿ったスクライブラインが形成される。

なお、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面に、Ｘ方向に沿った複数のスクライブラインをＹ方向に所定の間隔をあけて形成する必要がある場合には、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面にそれぞれスクライブラインが形成されると、貼り合わせマザー基板９０をクランプするクランプ手段と、第１基板支持ユニット１０における各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃおよび第２基板支持ユニット２０における各ベルトコンベア２１の平ベルトとによって、貼り合わせマザー基板９０がＹ軸方向に移動された後に、スクライブユニット５０の上部スクライブ装置５３および下部スクライブ装置５４によって、上記動作と同様の動作により、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面に、Ｘ方向に沿ったスクライブラインが形成される。

貼り合わせマザー基板９０の上面および下面に、Ｘ方向およびＹ方向に沿ったスクライブラインがそれぞれ形成されると、クランプ手段による貼り合わせマザー基板９０のクランプが解除されて、第１基板支持ユニット１０における各ベルトコンベア１１の平ベルト１１ｃおよび第２基板支持ユニット２０における各ベルトコンベア２１の平ベルトと、さらには、第３基板支持ユニット３０における各ベルトコンベア３１の平ベルトとが同期して駆動される。これにより、貼り合わせマザー基板９０は、第２基板支持ユニット２０上に移載されて、第２基板支持ユニット２０にて搬送されて、第３基板支持ユニット３０上に移載される。

この場合も、貼り合わせマザー基板９０の下面のほぼ全体が、第２基板支持ユニット２０における全ての平ベルトおよび第２基板支持ユニット３０における全ての平ベルトによって支持されるために、スクライブラインが形成された貼り合わせマザー基板９０が撓むおそれがなく、その結果、貼り合わせマザー基板９０は、スクライブラインに沿って分断されることなく安定的に搬送される。

さらには、第３基板支持ユニット３０のベルトコンベアが駆動されると、その駆動に同期して、第４基板支持ユニット４０のベルトコンベアが駆動され、第３基板支持ユニット３０上に移載されて搬送される貼り合わせマザー基板９０の一部が第４基板支持ユニット４０のベルトコンベア上に位置される。この場合も、貼り合わせマザー基板９０の下面のほぼ全体が、第２基板支持ユニット２０における全ての平ベルトおよび第３基板支持ユニット３０における全ての平ベルトによって支持されるために、スクライブラインが形成された貼り合わせマザー基板９０が撓むおそれがない。

また、貼り合わせマザー基板９０に形成されたスクライブラインよりも搬送方向下流側に位置する貼り合わせマザー基板９０の一部（例えば、分断後の表示パネルから分離される不要部）が垂れ下がることによって、第４基板支持ユニット４０のベルトコンベアに移載されずに第４基板支持ユニット４０のベルトコンベアに当接するおそれがなく、従って、分断貼り合わせ基板９１部分が分断されて第３基板支持ユニット３０のベルトコンベアと第４基板支持ユニット４０のベルトコンベアに落下するおそれ、および、第３基板支持ユニット３０のベルトコンベア上に載置された貼り合わせマザー基板９０の姿勢が変化するおそれもない。その結果、貼り合わせマザー基板９０を、スクライブラインに沿って分断されることなく安定的に搬送することができる。

その後、分断貼り合わせ基板９１部分が、第４基板支持ユニット４０上に載置された状態になり、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面に形成されたスクライブラインが、第３基板支持ユニット３０と第４基板支持ユニット４０との間に位置されると、第３基板支持ユニット３０と第４基板支持ユニット４０とによる貼り合わせマザー基板９０の搬送が停止される。そして、分断ユニット６０の上部スチーム吹き付け部６１および下部スチーム吹き付け部６２から噴出されるスチームが、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面に形成されたスクライブラインに沿って吹き付けられて、貼り合わせマザー基板９０の上面および下面におけるスクライブラインが形成された領域が加熱される。これにより、スクライブラインを形成する垂直クラックが垂直方向に延伸し、貼り合わせマザー基板９０はスクライブラインに沿って分断される。

貼り合わせマザー基板９０が分断された状態になると、第３基板支持ユニット３０のベルトコンベアと第４基板支持ユニット４０のベルトコンベアとが同期して駆動されて、分断貼り合わせ基板９１が第４基板支持ユニット４０のベルトコンベア上に移載される。

第４基板支持ユニット４０上に移載された分断貼り合わせ基板９１は、基板搬出ユニット７０の搬出ロボット７１によって吸着保持されて反転搬送ロボット７２上に搬送され、反転搬送ロボット７２によって保持された分断貼り合わせ基板９１は、上下を反転されて搬出テーブル８２上に移載される。

以上のように、第１〜第３の各基板搬送ユニット１０〜３０および第４基板支持ユニット４０に設けられたコンベアベルトの平ベルトによって、貼り合わせマザー基板９０または分断貼り合わせ基板９１が、撓むことなく安定的に搬送されるために、貼り合わせマザー基板９０に対するスクライブ加工および分断加工を高精度で安定的に実施することができる。

なお、上記実施の形態において、第１基板支持ユニット１０において、４台のベルトコンベア１１を設ける構成であったが、貼り合わせマザー基板を支持することができる平ベルトを有する１台のベルトコンベアを設ける構成にしてもよい。第２〜第３の各基板搬送ユニット２０〜３０および第４基板支持ユニット４０においても同様の構成としてもよい。

また、各ベルトコンベアの平ベルトの材質等は、貼り合わせマザー基板または分断貼り合わせ基板を安定的に支持して搬送することができるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、金属や樹脂などの材質で構成されていてもよいし、形状がメッシュ状であってもよい。なお、メッシュ状の平ベルトを用いた場合には、基板の破片等がコンベアベルト上に残ることが防止され、貼り合わせマザー基板が傷つくことを低減することができる。また、メッシュ状の平ベルトを第３基板支持コンベアに用いた場合、第３基板支持コンベア上において基板を支持した状態で分断ユニットをＹ方向に移動させながら貼り合わせマザー基板スチームを上下から吹き付ける構成にすることができる。

さらに、平ベルトとして、例えばフッ素樹脂のように貼り合わせマザー基板に対して低摩擦の材質を用いる構成、あるいは、平ベルトの表面をフッ素樹脂コーティング材のような低摩擦材質の物質にてコーティングするようにしてもよい。これにより、複数のコンベアベルトおよびクランプ装置の速度差、移動距離の誤差等に起因して、貼り合わせマザー基板を搬送動作時に、貼り合わせマザー基板に応力が加わることを低減することができる。

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

液晶表示装置等の表示パネルに使用されるガラス基板等の基板を、スクライブラインが形成された状態で、安定的に搬送することができ、搬送時に、基板に割れ、欠け等が発生することを防止できる。

本発明の基板分断システムの実施形態の一例を示す概略斜視図である。 その基板分断システムの概略構成を示す平面図である。 その基板分断システムの概略構成を示す側面図である。 その基板分断システムに使用される第１〜第４の基板支持ユニットの概略構成を示す斜視図である。 その第１基板支持ユニットの要部の概略を示す断面図である。 従来のスクライブ装置の構成を示す概略正面図である。

符号の説明

１０ 第１基板支持ユニット
１１ ベルトコンベア
１１ａ 駆動プーリ
１１ｂ 従動プーリ
１１ｃ 平ベルト
２０ 第２基板支持ユニット
２１ ベルトコンベア
２１ａ 駆動プーリ
２１ｂ 従動プーリ
２１ｃ 平ベルト
３０ 第３基板支持ユニット
３１ ベルトコンベア
３１ａ 駆動プーリ
３１ｂ 従動プーリ
３１ｃ 平ベルト
４０ 第４基板支持ユニット
４１ ベルトコンベア
４１ａ 駆動プーリ
４１ｂ 従動プーリ
４１ｃ 平ベルト
５０ スクライブユニット
６０ 分断ユニット
７０ 基板搬出ユニット

Claims (2)

1. スクライブラインが形成された基板が載置されて、載置された該基板を搬送する第１の基板支持ユニットと、
   該第１の基板支持ユニットによって搬送される前記基板が移載される第２の基板支持ユニットと、
   前記第１の基板支持ユニットと前記第２の基板支持ユニットとの間に前記基板のスクライブラインが位置されることによって、該スクライブラインに対向し得るように配置されて、該スクライブラインに沿って前記基板を分断する分断ユニットとを備えた基板分断システムであって、
   前記第１の基板支持ユニットは、平ベルトを有するベルトコンベアによって構成されていることを特徴とする基板分断システム。
2. 前記第２の基板支持ユニットは、平ベルトを有するベルトコンベアによって構成されている請求項１に記載の基板分断システム。

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