JP2007109703A - 基板ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】プッシャ部材が基板又は搬送ロボットのハンドが衝突したときに、部品、機構又は周辺部品にダメージが波及することを防止することが出来るステージ装置を提供する。
【解決手段】プッシャ部材2が基板ステージ1に対して昇降可能に設けられ、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから没入して基板4を基板ステージ1に載置すると共に、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから突出し、基板4をプッシャ部材2によつて支持して搬送ロボットのハンド3との間で基板4の授受を行う基板ステージ装置において、プッシャ部材2が、基板4又は搬送ロボットのハンド3との衝突によつて傾倒する傾倒可能部20を備え、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて傾倒する。
【選択図】図1
【解決手段】プッシャ部材2が基板ステージ1に対して昇降可能に設けられ、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから没入して基板4を基板ステージ1に載置すると共に、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから突出し、基板4をプッシャ部材2によつて支持して搬送ロボットのハンド3との間で基板4の授受を行う基板ステージ装置において、プッシャ部材2が、基板4又は搬送ロボットのハンド3との衝突によつて傾倒する傾倒可能部20を備え、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて傾倒する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板ステージ装置に関するものであり、特に液晶表示装置用等のガラス基板を基板ステージに載置する基板ステージ装置に関するものである。
従来の基板ステージ装置として、例えば液晶パネルを製造するためのガラス基板の処理装置に使用されるものが知られている(例えば特許文献1)。先ず、ガラス基板の処理装置について説明する。ガラス基板の処理装置では、図7に示すように、未処理の液晶基板を回転駆動ステージ65を備えたロードロック室60に搬入し、回転駆動ステージ65によつて液晶基板を処理する方向に合わせて回転すると共に、プロセス室64のプロセス雰囲気に合わせてロードロック室60内を真空雰囲気等にコントロールした後、同様に雰囲気コントロールされた搬送室62内に配備された搬送ロボット63にて液晶基板を真空雰囲気等のプロセス室64内のプロセスステージ61に搬入し、レーザ照射部66からのレーザ光を基板へ照射させてプロセス処理を行う。各室60,62,64の液晶基板の出入口には、基板の搬入搬出時に開くゲート72,73,74が配設されている。
なお、ロードロック室60の手前には、未処理の基板及び処理済みの基板を収容するカセット67及び基板搬送ロボット68を備えるカセットステーション70が配置されている。カセット67は、長方形をなす未処理の基板及び処理済みの基板を縦横方向の内のいずれかの方向として収容している。
液晶基板をカセット67とロードロック室60との間で搬送する基板搬送ロボット68及び、液晶基板をロードロック室60とプロセスステージ61との間で搬送する搬送ロボット63は、いずれも2枚の基板を同時に搬送可能な2つのハンドを備える。基板搬送ロボット68の各ハンドは、カセット67とロードロック室60の回転駆動ステージ65との間で、カセット67に収容された方向のままで基板の受渡しを行う。真空雰囲気等に配備される搬送ロボット63の各ハンドは、基板を縦横両方向として載置可能である。
そして、プロセス室64内のプロセスステージ61には、長短辺つまり縦横を有して長方形をなす基板を長短両方向に送り可能とするX,Y駆動機構及び回動させるθ軸機構が組み込まれている。
しかして、カセット67の基板を基板搬送ロボット68によつてロードロック室60の回転駆動ステージ65に載置し、基板を縦横のいずれかの方向とした後、搬送ロボット63によつて受け取り、プロセスステージ61に載置し、X,Y駆動機構によつて液晶基板に送りを与えながら、処理を与える。ここで、基板の載置方向ひいては基板に施すプロセス処理の方向をカセット67内の基板投入方向を基準として90°異なる方向に変更する必要性は、基板上に形成させる半導体等の薄膜の種類や用途によつて生ずる。
プロセスステージ61上で処理の終了した基板は、搬送ロボット63によつて受け取り、回転駆動ステージ65に載置し、基板を縦横のいずれかの方向とした後、基板搬送ロボット68によつてカセット67に戻す。かくして、多数の基板に対する処理が次々に行われる。
このロードロック室60の回転駆動ステージ65及びプロセス室64内のプロセスステージ61が基板ステージを構成し、基板4を複数のプッシャ部材2によつて支持して搬送ロボットのハンド3との間で基板4の授受を行う。
この種の基板ステージ装置の内、プロセスステージ61の基板ステージ装置51では、図5,図6に示すように、昇降装置5によつて昇降駆動されるプッシャ部材2が基板ステージ1に設けられ、基板4をプッシャ部材2に載置・支持して搬送ロボット63のハンド3との間で基板4の授受を行う。昇降装置5によつて昇降駆動されるアーム部材15には、複数のプッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aを挿通可能に設けられているため、アーム部材15の上昇によつてプッシャ部材2が基板ステージ1上面から突出し、基板4を図6に仮想線にて示すように上昇させ、また、下降させて基板4を基板ステージ1上に載置させることができる。基板ステージ1の上方の隙間に搬送ロボットのハンド3を図5に示す矢印A方向に挿入し、基板4を上昇させた状態で、基板4の授受がなされる。具体的には、プッシャ部材2に基板4を載置させるときは、基板4を載せたハンド3を矢印A方向に進入させ、プッシャ部材2とハンド3とに相対移動を与えて基板4を相対的に昇降させてプッシャ部材2に基板4を載置させる。また、基板4を載せたプッシャ部材2からハンド3に基板4を受け取るときは、基板4を載せたプッシャ部材2を上昇させた状態で、ハンド3を矢印A方向に進入させ、プッシャ部材2とハンド3とに相対移動を与えて基板4を相対的に昇降させてハンド3に基板4を受け取る。
プロセスステージ61の基板ステージ装置51の1例について図6を参照して更に説明する。基板ステージ装置51は、X,Y駆動機構及びθ軸機構が組み込まれ、基板の処理のために、X軸ステージ120、Y軸ステージ121、θ軸機構122及びθ軸ステージ123を備えると共に、基板を昇降させるためにプッシャピン昇降駆動機構124を備えている。X軸ステージ120及びY軸ステージ121は、基板4を載せた基板ステージ1をθ軸ステージ123を介して、図6に示すように基板4を半導体面上で直交する方向に移動させる機能を有し、また、θ軸機構122は、θ軸ステージ123及び基板ステージ1を中心軸線回りに回動させ、ひいては基板ステージ1に載せた基板4を回動させる機能を有する。
図6に示すプッシャピン昇降駆動機構124(リンク方式)は、昇降装置5により、基板ステージ1に対して基板4を昇降させ、搬送ロボット63にて基板4を授受させる機能を有する。この昇降装置5は、θ軸ステージ123上に水平配置したモータ130によつて正逆に駆動されるボールスクリュ機構131により、リンク部材132の下端を図6上で左右に移動させ、リンク部材132の上端により、θ軸ステージ123に固設した案内部材133に沿つてアーム部材15を昇降させる。アーム部材15には、それぞれブラケット16を介して複数のプッシャピン2が基板ステージ1の通孔1aに挿通可能に固着して設けられているため、アーム部材15の上昇によつて一組をなすプッシャピン2が基板ステージ1上面から突出し、基板4を仮想線にて示すように上昇させ、また、下降させて基板4を基板ステージ1上に載置させることができる。プッシャピン2は、四隅のプッシャピン2と中央部の1本のプッシャピン2とを備えて5本又はそれ以上が設けられている。
なお、ロードロック室60の基板ステージ装置である回転駆動ステージ65は、基板の向きを変える機能を有すればよく、X,Y駆動機構を備える必要はない。
特開2005−5495公報
しかしながら、このような従来の基板ステージ装置にあつては、プッシャ部材が昇降装置に堅牢に取付けられているため、図5に示すように突出するプッシャ部材に基板又は搬送ロボットのハンドが衝突したときにプッシャ部材の先端部に強い衝撃力が作用し、その影響で昇降装置の位置ずれ、或いは部品取付部の破損が起こり、基板及び基板ステージの制御が困難になる恐れがある。また、プッシャ部材が貫通している基板ステージの通孔の上端縁部に衝突することによるダメージが起こり、基板ステージの重要な機能である平坦度が悪化するという不具合を発生する。昇降装置又は周辺部品が損傷すると、その補修及び調整に長時間を要することになる。このような基板又は搬送ロボットのハンドがプッシャ部材に衝突する現象は、誤操作、誤動作、誤ティーチング等に起因して生ずる。
請求項1に係る発明は、プッシャ部材2が基板ステージ1に対して昇降可能に設けられ、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから没入して基板4を基板ステージ1に載置すると共に、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから突出し、基板4をプッシャ部材2によつて支持して搬送ロボットのハンド3との間で基板4の授受を行う基板ステージ装置において、前記プッシャ部材2が、基板4又は搬送ロボットのハンド3との衝突によつて傾倒する傾倒可能部20を備え、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて傾倒することを特徴とする基板ステージ装置である。
請求項2の発明は、前記傾倒可能部20が、プッシャ部材2の中間部を小断面積に形成する小断面積部21,21Aであり、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて小断面積部21,21Aで折損することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置である。
請求項3の発明は、前記傾倒可能部20が、プッシャ部材2の中間部に形成され、プッシャ部材2の上部と下部とを弾性的に保持する弾性的保持部(22)によつて形成され、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて弾性的保持部(22)が変形することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置である。
請求項4の発明は、前記プッシャ部材2が昇降装置5に固着されて昇降駆動されると共に、前記傾倒可能部20が、昇降装置5にプッシャ部材2を固着させるカシメ部23によつて形成され、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつてカシメ部23が変形することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置である。
請求項5の発明は、前記基板ステージ1の通孔1aの上端縁部に、面取り部1bが形成されていることを特徴とする請求項1,2,3又は4の基板ステージ装置である。
請求項2の発明は、前記傾倒可能部20が、プッシャ部材2の中間部を小断面積に形成する小断面積部21,21Aであり、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて小断面積部21,21Aで折損することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置である。
請求項3の発明は、前記傾倒可能部20が、プッシャ部材2の中間部に形成され、プッシャ部材2の上部と下部とを弾性的に保持する弾性的保持部(22)によつて形成され、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて弾性的保持部(22)が変形することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置である。
請求項4の発明は、前記プッシャ部材2が昇降装置5に固着されて昇降駆動されると共に、前記傾倒可能部20が、昇降装置5にプッシャ部材2を固着させるカシメ部23によつて形成され、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつてカシメ部23が変形することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置である。
請求項5の発明は、前記基板ステージ1の通孔1aの上端縁部に、面取り部1bが形成されていることを特徴とする請求項1,2,3又は4の基板ステージ装置である。
搬送ロボットのハンドとプッシャ部材との間での基板の授受に際し、誤操作、誤動作、誤ティーチング等に起因してプッシャ部材に基板又はハンドが衝突すると、所定の衝撃力を超える衝突によつてプッシャ部材の傾倒可能部の作用で傾倒し、プッシャ部材に繋がる部品、機構又は周辺部品にまでダメージが波及することが防止される。その結果、簡単なプッシャ部材の修理のみで対応することが可能になり、プッシャ部材の衝突による損傷の修復に要する時間及び費用の発生が著しく軽減され、基板ステージ装置の再立ち上げをスムースにすることができると共に、基板ステージ装置のメンテナンス性も改善される。
本発明の1実施の形態に係る基板ステージ装置について、図1〜図4を参照し、従来例と同一機能部分には同一符号を付して説明する。基板ステージ装置51は、基板4をピン状をなすプッシャ部材2に載せて昇降させるために、プッシャ部材2の昇降装置5を備えている。すなわち、プッシャ部材2が基板ステージ1に対して昇降可能に設けられ、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから没入して基板4を基板ステージ1に載置すると共に、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから突出し、基板4をプッシャ部材2によつて支持して、搬送ロボットのハンド3との間で基板4の授受を行う。図1〜図4は、いずれもプッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから十分に突出した状態を示している。
このプッシャ部材2は、基板4又は搬送ロボットのハンド3との衝突によつて傾倒する傾倒可能部20を備え、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突によつて傾倒する。傾倒可能部20は、プッシャ部材2が基板4の授受のために十分に突出した状態での基板4又は搬送ロボットのハンド3との衝突箇所よりも下方に備えられ、基板4又は搬送ロボットのハンド3との所定の衝撃力を超える衝突により、プッシャ部材2の傾倒可能部20よりも上方の部分が傾倒する。
図1は、基板ステージ1の要部を示し、第1の構造例に係る傾倒可能部20を有するプッシャ部材2を備える。このプッシャ部材2の傾倒可能部20は、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから十分に突出した状態で、基板ステージ1より突出する箇所の下部に細い小断面積部21を形成して構成される。すなわち、小断面積部21は、基板ステージ1表面付近の突出部分を小断面積に形成し、プッシャ部材2の小断面積部21よりも上方に基板4又は搬送ロボット63のハンド3が衝突するようにしてある。
これにより、プッシャ部材2に基板4又は搬送ロボット63のハンド3が衝突したときには、プッシャ部材2の先端部に強い衝撃を受けるが、仮想線で示すように小断面積部21において折損・破断し、プッシャ部材2の下端部が固着する側の昇降装置5等の部品、機構又は周辺部品に与えるダメージが実用上問題とならない程度に軽減される。
図2は、基板ステージ1の要部を示し、第2の構造例に係る傾倒可能部20を有するプッシャ部材2を備える。第2の構造例は、第1の構造例と比較して、プッシャ部材2の小断面積部21Aを形成する位置が異なる。すなわち、プッシャ部材2が結合されている昇降装置5のアーム部材15の少し上方の部分、つまりプッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから十分に突出した状態で、基板ステージ1より下方部分に細い小断面積部21Aを形成してある。従つて、プッシャ部材2の小断面積部21Aよりも上部が、小断面積部21Aの折損によつて傾倒可能である。
これによれば、プッシャ部材2に基板4又は搬送ロボット63のハンド3が衝突したときには、プッシャ部材2の先端部に強い衝撃を受けるが、小断面積部21Aにおいて折損・破断し、通孔1aとの遊間の存在でプッシャ部材2が仮想線で示すように傾動するので、プッシャ部材2の下端部が固着する側の部品、機構又は周辺部品のダメージが実用上問題とならない程度に軽減される。
図3は、基板ステージ1の要部を示し、第3の構造例に係る傾倒可能部20を有するプッシャ部材2を備える。第3の構造例は、プッシャ部材2が基板ステージ1の通孔1aから十分に突出した状態で、プッシャ部材2の基板ステージ1から突出する部分の中間部に弾性体であるばね22を組み込み、プッシャ部材2の上部と下部とを傾倒可能に弾性的に連結・保持する弾性的保持部を形成している。従つて、プッシャ部材2の上部が、ばね22の弾性変形によつて傾倒可能である。
これによれば、プッシャ部材2に基板4又は搬送ロボット63のハンド3が衝突したときには、プッシャ部材2の先端部に強い衝撃を受けるが、プッシャ部材2の先端部が弾性的保持部であるばね22の弾性変形によつて仮想線で示すように曲がり、部品、機構又は周辺部品のダメージが実用上問題とならない程度に軽減される。
図4(イ),(ロ)は、基板ステージ1の要部を示し、第4の構造例に係る傾倒可能部20を有するプッシャ部材2を備える。第4の構造例は、プッシャ部材2と昇降装置5のアーム部材15との結合部をカシメ部23によつて形成し、所定荷重以上の衝撃力が作用することで外れる構造にしてある。すなわち、図4(ロ)に示すようにプッシャ部材2の下端部には支持板2bが溶接等の手段によつて固着され、この支持板2bをアーム部材15に固着したブラケット16の上面に載置した状態で、支持板2b及びブラケット16に金属製の板状部材17を巻き付け、カシメ部23によつて固定してある。
これにより、基板4又は搬送ロボットのハンド3が衝突し、プッシャ部材2が支持板2bと共に傾倒したときに、カシメ部23が変形してプッシャ部材2のブラケット16への固着状態が解除され、プッシャ部材2がブラケット16から外れて図4(イ)に仮想線で示すように傾倒するため、部品、機構又は周辺部品のダメージが実用上問題とならない程度に軽減される。なお、板状部材17を省略し、プッシャ部材2と一体をなす金属製の支持板2b自体を折り曲げてプッシャ部材2をブラケット16に結合し、プッシャ部材2と昇降装置5のアーム部材15との結合部をカシメ部23によつて構成することも可能である。
このような第1〜第4の構造例において、プッシャ部材2が斜めに倒れるとき、基板ステージ1の通孔1aの周囲に衝当に伴う損傷を与え、基板ステージ1の平坦度が悪化することがあり得る。基板ステージ1の平坦度の悪化は、特にプロセスステージの基板ステージ装置51において、載置する基板4の平坦度を悪化させ、ひいては基板4の正確な処理に悪影響を与える。このため、基板ステージ1の通孔1aの上端縁部に円錐形をなす面取り部1bを形成し、プッシャ部材2の多少の傾倒を面取り部1bによつて吸収するようにし、基板ステージ1の平坦度に悪影響が生じないようにしてある。勿論、基板ステージ1の通孔1a自体の大径化も有効である。
以上、図7に示すプロセスステージ61の基板ステージ装置51のプッシャ部材2について説明したが、ロードロック室60の基板ステージ装置である回転駆動ステージ65のプッシャ部材に同様に適用が可能であることは勿論である。
1:基板ステージ
1a:通孔
1b:面取り部
2:プッシャ部材
3:ハンド
4:基板
5:昇降装置
15:アーム部材
16:ブラケット
20:傾倒可能部
21,21A:小断面積部
22:ばね(弾性的保持部)
23:カシメ部
51:基板ステージ装置
63:搬送ロボット
68:基板搬送ロボット(搬送ロボット)
1a:通孔
1b:面取り部
2:プッシャ部材
3:ハンド
4:基板
5:昇降装置
15:アーム部材
16:ブラケット
20:傾倒可能部
21,21A:小断面積部
22:ばね(弾性的保持部)
23:カシメ部
51:基板ステージ装置
63:搬送ロボット
68:基板搬送ロボット(搬送ロボット)
Claims (5)
- プッシャ部材(2)が基板ステージ(1)に対して昇降可能に設けられ、プッシャ部材(2)が基板ステージ(1)の通孔(1a)から没入して基板(4)を基板ステージ(1)に載置すると共に、プッシャ部材(2)が基板ステージ(1)の通孔(1a)から突出し、基板(4)をプッシャ部材(2)によつて支持して搬送ロボットのハンド(3)との間で基板(4)の授受を行う基板ステージ装置において、
前記プッシャ部材(2)が、基板(4)又は搬送ロボットのハンド(3)との衝突によつて傾倒する傾倒可能部(20)を備え、基板(4)又は搬送ロボットのハンド(3)との所定の衝撃力を超える衝突によつて傾倒することを特徴とする基板ステージ装置。 - 前記傾倒可能部(20)が、プッシャ部材(2)の中間部を小断面積に形成する小断面積部(21,21A)であり、基板(4)又は搬送ロボットのハンド(3)との所定の衝撃力を超える衝突によつて小断面積部(21,21A)で折損することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置。
- 前記傾倒可能部(20)が、プッシャ部材(2)の中間部に形成され、プッシャ部材(2)の上部と下部とを弾性的に保持する弾性的保持部(22)によつて形成され、基板(4)又は搬送ロボットのハンド(3)との所定の衝撃力を超える衝突によつて弾性的保持部(22)が変形することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置。
- 前記プッシャ部材(2)が昇降装置(5)に固着されて昇降駆動されると共に、前記傾倒可能部(20)が、昇降装置(5)にプッシャ部材(2)を固着させるカシメ部(23によつて形成され、基板(4)又は搬送ロボットのハンド(3)との所定の衝撃力を超える衝突によつてカシメ部(23)が変形することを特徴とする請求項1の基板ステージ装置。
- 前記基板ステージ(1)の通孔(1a)の上端縁部に、面取り部(1b)が形成されていることを特徴とする請求項1,2,3又は4の基板ステージ装置。
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