JP2002093882A - 基板搬送装置及び基板検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】実際に据え付けられた基板検査装置におけるＬ
ＣＤ基板を置くべき位置に正確にＬＣＤ基板を直接置く
こと。 【解決手段】２つの位置ずれ検出センサ４０、４１を基
板検査装置１に設け、これら位置ずれ検出センサ４０、
４１により検出されたＬＣＤ基板２の縁の位置に基づい
て左側ハンド１７上に保持されているＬＣＤ基板２の実
際に据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置
くべき位置３３ｂに対する位置ずれを求め、この位置ず
れに基づいてＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに置く
ように基板搬送ロボット６により修正動作する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板、例えば液晶
基板やウエハ基板等の基板搬送装置及び基板検査システ
ムに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０及び図１１は液晶ディスプレイ
（ＬＣＤ）の基板検査装置及び基板搬送装置の全体構成
図であって、図１０は正面図、図１１は上方から見た構
成図である。基板検査装置１は製造過程にあるＬＣＤ基
板２を検査する機能を有するものであり、基板搬送装置
３は未検査のＬＣＤ基板２を基板検査装置１に供給し、
かつ検査済みのＬＣＤ基板２を基板検査装置１から取り
出すものとなっている。

【０００３】このうち基板搬送装置３は、未検査のＬＣ
Ｄ基板２及び検査済みのＬＣＤ基板２をまとめて収納し
て運搬するためのカセット４を収容するカセットステー
ション５と、ＬＣＤ基板２を基板検査装置１とカセット
４との間で搬送するための基板搬送ロボット６とからな
っている。なお、カセット４は、未検査のＬＣＤ基板２
を収納するカセット４ａと、検査済みのＬＣＤ基板２を
収納するカセット４ｂとからなっている。

【０００４】この基板搬送ロボット６は、ロボット胴体
７と、このロボット胴体７を基板検査装置１とカセット
ステーション５との間で横方向（矢印イ方向）に平行移
動させる横移動機構８とを備えている。これらロボット
胴体７と横移動機構８とは、それぞれ連動し、基板搬送
ロボット６の動作によって、未検査のＬＣＤ基板２を収
納するカセット４ａから未検査のＬＣＤ基板２を取り出
して基板検査装置１の基板載置用ステージ９上に載置
し、基板載置用ステージ９上に載置されたＬＣＤ基板２
は検査され、検査済みのＬＣＤ基板２を基板載置用ステ
ージ９から取り出してその検査済みＬＣＤ基板２を検査
済み基板を収納するカセット４ｂに差し入れるものとな
っている。

【０００５】なお、横移動機構８は、基板検査装置１と
カセットステーション５との間で横方向に配置された一
対の直動軸受け１０と、この直動軸受け１０に対して平
行に配置されたボールねじ１１とからなっている。

【０００６】図１２(a)(b)は基板搬送ロボット６の外観
図である。ロボット胴体７には、昇降可能なアーム台１
２が設けられている。このアーム台１２には、左側搬送
アーム１３と右側搬送アーム１４とがそれぞれ回動自在
に、左右対称に対（ツインアーム）をなすように設けら
れている。

【０００７】左側搬送アーム１３は、アーム台１２に回
転自在に設けられた第１アーム１５と、この第１アーム
１５に連結された第２アーム１６と、この第２アーム１
６に連結された左側ハンド１７とから構成されている。

【０００８】又、右側搬送アーム１４は、左側搬送アー
ム１３と同様に、アーム台１２に回転自在に設けられた
第１アーム１８と、この第１アーム１８に連結された第
２アーム１９と、この第２アーム１９に連結された右側
ハンド２０とから構成されている。

【０００９】なお、アーム台１２の内部には、左側と右
側搬送アーム１３，１４をそれぞれ前進（伸ばす動き）
又は後退（縮める動き）させるための２つのアーム駆動
モータが設けられている。そして、左側と右側搬送アー
ム１３，１４は、それぞれ図示しない歯付プーリ及び歯
付ベルトによって左側と右側ハンド１７、２０を前進又
は後退するように構成されている。

【００１０】なお、図１０ではロボット胴体７に左側搬
送アーム１３及び左側ハンド１７のみを示しているが、
これは図示すると左側搬送アーム１３と右側搬送アーム
１４との動作が混乱するのを避けるためである。従っ
て、以下の図面においても左側搬送アーム１３及び左側
ハンド１７のみを示す。

【００１１】このような構成の基板搬送ロボット６は、
アーム台１２が図示しない昇降モータの駆動によって昇
降することにより、図１３に示すようにアーム台１２か
ら上の左側搬送アーム１３及び右側搬送アーム１４が一
体となって昇降する。

【００１２】又、基板搬送ロボット６は、図１４に示す
ように横移動機構８の動作によって基板検査装置１とカ
セットステーション５との間で横方向に平行移動する。

【００１３】又、基板搬送ロボット６は、ＬＣＤ基板２
の方向を転換するために図示しない旋回モータの回転駆
動によってアーム台１２から上全体を図１５に示すよう
に一体的に旋回運動する。

【００１４】又、基板搬送ロボット６は、ＬＣＤ基板２
をカセットステーション５のカセット４ａ、４ｂ、又は
基板検査装置１の基板載置用ステージ９に対して収納又
は取り出し、載置するために、図１６に示すように図示
しないアーム駆動モータの回転駆動により左側と右側バ
ンド１７，２０を前進・後退させる動き（進退運動）を
行う。

【００１５】このように構成された基板検査装置及び基
板搬送装置でのＬＣＤ基板２の検査の一連の動作につい
て説明する。

【００１６】先ず、基板搬送ロボット６は、横移動機構
８の動作によって未検査のＬＣＤ基板２を収納するカセ
ット４ａの前方に移動し、この未検査のＬＣＤ基板２を
取り出すために左側搬送アーム１３の左側ハンド１７を
カセット４ａの方向へ伸ばし、そのＬＣＤ基板２の下に
左側ハンド１７を入れる。

【００１７】次に、昇降モータの駆動によって左側ハン
ド１７を少し上昇させ、ＬＣＤ基板２を左側ハンド１７
上に載置し、左側搬送アーム１３を縮めてＬＣＤ基板２
をカセット４ａから取り出し、基板搬送ロボット６の上
方まで持ってくる。

【００１８】次に、左側及び右側搬送アーム１３，１４
を旋回モータの回転駆動によって１８０度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット６を横移動機構８によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
１７並びに右側ハンド２０の高さ位置を基板検査装置１
の基板載置用ステージ９の高さ位置に合せる。

【００１９】基板搬送ロボット６が横移動して基板検査
装置１の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト６は、基板検査装置１内の検査済みのＬＣＤ基板２を
取り出すために右側搬送アーム１４の右側ハンド２０を
伸ばし、そのＬＣＤ基板２の下に右側ハンド２０を入れ
る。

【００２０】次に、昇降モータの駆動によって右側ハン
ド２０を少し上昇させ、検査済みＬＣＤ基板２を右側ハ
ンド２０上に載置し、右側搬送アーム１４を縮めてその
ＬＣＤ基板２を基板載置用ステージ９上から取り出し、
基板搬送ロボット６の上方まで持ってくる。

【００２１】この検査済みＬＣＤ基板２の取り出しと差
し違いに、基板搬送ロボット６は、未検査のＬＣＤ基板
２を持っている左側ハンド１７を前進させ、そのＬＣＤ
基板２を基板載置用ステージ９上に載置した後、何も載
置しない状態で左側ハンド１７を後退させる。

【００２２】次に、基板搬送ロボット６は、１８０度旋
回すると共に、横移動機構８の動作によって検査済みの
ＬＣＤ基板２を収納するカセット４ｂの前方に移動し、
このカセット４ｂ内に検査済みのＬＣＤ基板２を収納さ
せるために右側搬送アーム１４の右側ハンド２０を伸ば
し、そのＬＣＤ基板２をカセット４ｂ内に収納する。そ
して、右側搬送アーム１４を縮める。

【００２３】これ以降、上記ＬＣＤ基板２の検査の一連
の動作が繰り返される。

【００２４】

【発明が解決しようとする課題】カセット４ａ内には、
複数のＬＣＤ基板２が収納されているが、その収納スペ
ースはＬＣＤ基板２の大きさよりも広く形成されている
ので、各ＬＣＤ基板２は、カセット４ａ内においてそれ
ぞれまちまちにずれた位置に収納されている。

【００２５】このようにまちまちの位置に収納されてい
るＬＣＤ基板２を基板搬送ロボット６の左側又は右側ハ
ンド１７、２０により取り出して基板検査装置１におけ
る基板載置用ステージ９上のＬＣＤ基板２を検査するた
めの所定位置に載置するには、基板搬送ロボット６で取
り出したＬＣＤ基板２の位置ずれを検出する位置ずれ検
出手段と、この位置ずれを補正する補正機構とが必要と
なる。

【００２６】このＬＣＤ基板２の位置ずれを検出、補正
する技術としては、例えば特開平１１−３１２７２６号
公報がある。この技術は、ＬＣＤ基板の移動路上に固定
的に配置された位置ずれ検出センサによりＬＣＤ基板の
隣り合う２辺から合計３点以上の位置検出を行い、ハン
ド等の支持部材に対するＬＣＤ基板の前後及び左右のず
れと傾きの全ての位置情報を取得し、これら位置情報に
基づいてハンドを駆動してＬＣＤ基板の位置補正を行う
ものである。

【００２７】ところが、図１７に示すようにカセット４
ａ、４ｂを設置するためのカセット架台３０及び基板検
査装置１は、実際にはいくらかのずれを持って据え付け
られることは避けられない。すなわち、カセット架台３
０は、設計上のカセット架台の位置３０ａに対して実際
に据え付けられたカセット架台の位置３０ｂにはずれを
有しており、かつカセット４ａ、４ｂも設計上のカセッ
トの位置３１ａに対して実際に置かれるカセット４ａ、
４ｂの位置３１ｂにもずれを有している。しかるに、カ
セット４ａ内に収納されているＬＣＤ基板２の実際の位
置３２もまちまちにずれた位置に収納されている。

【００２８】基板搬送ロボット６の左側ハンド１７によ
りカセット４ａからＬＣＤ基板２を取り出したとき、こ
の左側ハンド１７上に保持されるＬＣＤ基板２は、位置
ずれのないときのＬＣＤ基板２の位置２ａに対して、実
際に保持されているＬＣＤ基板２の位置２ｂにずれが生
じる。

【００２９】又、基板検査装置１も同様に、設計上の基
板検査装置の位置１ａに対して実際に据え付けられた基
板検査装置の位置１ｂにもずれを有している。このよう
な事から基板検査装置１内における設計上のＬＣＤ基板
２を置く位置３３ａに対して実際に据え付けられた基板
検査装置１においてＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂ
がずれて設定される。

【００３０】このように据え付けられているカセット架
台３０及び基板検査装置１に対して上記ＬＣＤ基板２の
位置ずれを検出、補正する技術を適用すれば、図１７に
示すように位置ずれ検出センサＳが基板搬送ロボット６
のロボット架台３４に固定されることにより、このロボ
ット架台３４に対してカセット架台３０がずれていて
も、実際に取り出されたＬＣＤ基板２の位置とずれのな
いＬＣＤ基板２とのずれ量を正確に算出できる。

【００３１】しかしながら、基板搬送ロボット６側で
は、基板検査装置１の実際に据え付けられた位置１ｂが
設計上の据え付け位置１ａからどれだけずれて据え付け
られているかを認識していないので、ＬＣＤ基板２の位
置ずれを補正したとしても、ＬＣＤ基板２の載置位置
は、設計上のＬＣＤ基板２を置く位置３３ａに置くこと
になる。

【００３２】このため，設計上のＬＣＤ基板２を置く位
置３３ａに置かれたＬＣＤ基板２を、実際に据え付けら
れた基板検査装置１においてＬＣＤ基板２を置くべき位
置３３ｂに微修正する必要がある。

【００３３】図１８乃至図２３はかかる基板検査装置１
側でのＬＣＤ基板２の微修正機構の作用を説明するため
の図である。基板載置用ステージ９には、ＬＣＤ基板２
を受け渡しするための４本の基板リフタ３５ａ〜３５ｄ
と、ＬＣＤ基板２を支持するための所定間隔毎に縦横方
向に配置された複数のピン３６と、ＬＣＤ基板２を位置
決めするための複数のクランプ用ローラ３７ａ〜３７ｈ
とが備えられている。これらクランプ用ローラ３７ａ〜
３７ｈは、それぞれ空気圧シリンダ３８ａ〜３８ｄによ
り駆動するようになっている。

【００３４】このような微修正機構の作用を説明する
と、先ず、図１８(a)(b)に示すように左側ハンド１７上
にＬＣＤ基板２が保持されて基板載置用ステージ９の上
方に向かって搬送される。このとき、４本の基板リフタ
３５ａ〜３５ｄは、上昇した状態にある。なお、同図１
８(a)は上方から見た図、同図(b)は側方から見た図であ
る。

【００３５】次に、図１９(a)(b)に示すように左側ハン
ド１７上に保持されているＬＣＤ基板２が載置すべき位
置の真上に配置される。なお、同図１９(a)は上方から
見た図、同図(b)は側方から見た図である。

【００３６】次に、図２０に示すように基板搬送ロボッ
ト６により左側ハンド１７が下降され、ＬＣＤ基板２が
４本の基板リフタ３５ａ〜３５ｄ上に載せられる。

【００３７】次に、図２１(a)(b)に示すようにＬＣＤ基
板２が４本の基板リフタ３５ａ〜３５ｄ上に載せられた
後、基板搬送ロボット６により左側ハンド１７が抜かれ
る。なお、同図２１(a)は上方から見た図、同図(b)は側
方から見た図である。

【００３８】次に、図２２に示すように４本の基板リフ
タ３５ａ〜３５ｄが下降し、ＬＣＤ基板２が複数のピン
３６上に載置される。

【００３９】次に、図２３(a)(b)に示すように各クラン
プ用ローラ３７ａ〜３７ｈが各空気圧シリンダ３８ａ〜
３８ｄの駆動により動作し、ＬＣＤ基板２を実際に据え
付けられた基板検査装置１においてＬＣＤ基板２を置く
べき位置３３ｂに微修正する。この場合、ＬＣＤ基板２
の二辺となる例えば各クランプ用ローラ３７ｅ〜３７ｈ
を基準位置として固定し、他の二辺の各クランプ用ロー
ラ３７ａ〜３７ｄを駆動してＬＣＤ基板２を基準位置の
各クランプ用ローラ３７ｅ〜３７ｈに押し付けるように
してＬＣＤ基板２の位置を微修正する。

【００４０】しかしながら、ＬＣＤ基板２の大きさは、
ＬＣＤの大面積化に伴って大型化する傾向にある。ＬＣ
Ｄ基板２の大きさがある程度大きくなると、ＬＣＤ基板
２の重量が重くなる。そうすると、各クランプ用ローラ
３７ａ〜３７ｈを動かしてＬＣＤ基板２を押そうとして
も、ＬＣＤ基板２と各ピン３６との間の摩擦が大きくな
って、ＬＣＤ基板２が動かなくなる。無理矢理に各クラ
ンプ用ローラ３７ａ〜３７ｈを動かしてＬＣＤ基板２を
押すと、ＬＣＤ基板２が薄いために割れる虞がある。

【００４１】そこで本発明は、実際に据え付けられた基
板検査装置におけるＬＣＤ基板を置くべき位置に正確に
ＬＣＤ基板を直接置ける基板搬送装置を提供することを
目的とする。

【００４２】又、本発明は、実際に据え付けられた基板
検査装置におけるＬＣＤ基板を置くべき位置に正確にＬ
ＣＤ基板を直接置いてＬＣＤ基板の検査ができる基板検
査システムを提供することを目的とする。

【００４３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、ハンド上に基板を保持して搬送して所定位置に置
く基板搬送装置において、前記ハンドで保持された前記
基板の搬送経路上でかつこの搬送方向に対して略垂直方
向に設けられ、搬送される前記基板の縁を検出する位置
ずれ検出手段と、この位置ずれ検出手段により検出され
た前記基板の縁の位置に基づいて前記基板の前記所定位
置に対する位置ずれを求める位置ずれ演算手段と、この
位置ずれ演算手段により求められた位置ずれに基づいて
前記基板を前記所定位置に修正する位置修正手段と、を
具備したことを特徴とする基板搬送装置である。

【００４４】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の基板搬送装置において、前記位置ずれ検出手段は、
前記搬送方向に対して略垂直方向に設けられたラインセ
ンサ又は少なくとも２つの位置ずれ検出センサであるこ
とを特徴とする。

【００４５】請求項３記載による本発明は、ハンド上に
基板を保持して搬送して所定位置に置く基板搬送装置に
おいて、前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも
二辺の縁を検出するように設けられた位置ずれ検出手段
と、この位置ずれ検出手段により前記基板の二辺の縁が
検出されるように前記基板の位置を修正する位置修正手
段と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置であ
る。

【００４６】請求項４記載による本発明は、請求項３記
載の基板搬送装置において、前記位置ずれ検出手段は、
前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁
を検出するように設けられた少なくとも３つの位置ずれ
検出センサ又は少なくとも二辺の縁を検出するように設
けられた少なくとも２つのラインセンサであることを特
徴とする。

【００４７】請求項５記載による本発明は、請求項１又
は３記載の基板搬送装置において、前記位置修正手段
は、ハンドの姿勢を前後移動、左右移動、旋回運動させ
ることを特徴とする。

【００４８】請求項６記載による本発明は、請求項１又
は３記載の基板搬送装置において、前記位置修正手段
は、前記ハンド上に設けられ、前記基板を保持すると共
に微動可能な複数の可動保持体と、これら可動保持体を
前記基板の二辺の縁が前記位置ずれ検出手段により検出
されるようにそれぞれ微動させる駆動機構と、からなる
ことを特徴とする。

【００４９】請求項７記載による本発明は、請求項６記
載の基板搬送装置において、前記可動保持体は、前後方
向、左右方向、回転方向に微動自在であることを特徴と
する。

【００５０】請求項８記載による本発明は、基板を収納
するカセットステーションを有し、前記基板を保持する
ハンドを備えた基板搬送装置と、前記基板を検査する基
板検査装置とを備え、前記基板搬送装置の動作により、
前記カセットステーションに収納されている前記基板を
前記ハンド上に保持して取り出し、この基板を前記ハン
ド上に保持した状態で前記基板検査装置内に搬送し、前
記基板を前記基板検査装置内のステージ上の所定位置に
載置する基板検査システムにおいて、前記基板搬送装置
に、請求項１又は３記載の基板搬送装置を用いたことを
特徴する基板検査システムである。

【００５１】

【発明の実施の形態】（１）以下、本発明の第１の実施
の形態について図面を参照して説明する。なお、図１０
乃至図１２、図１７と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略する。

【００５２】図１は基板搬送装置３と基板検査装置１と
を備えた基板検査システムの構成図である。基板検査装
置１には、２つの位置ずれ検出センサ４０、４１が設け
られている。これら位置ずれ検出センサ４０、４１は、
基板搬送ロボット６の左側又は右側ハンド１７、２０上
にＬＣＤ基板２を保持して搬送するときのその搬送方向
に対して略垂直方向上に、ＬＣＤ基板２の幅よりも狭い
間隔をおいて並べて設けられている。なお、図１では左
側ハンド１７のみ示している。これら位置ずれ検出セン
サ４０、４１は、搬送されるＬＣＤ基板２の縁を検出す
るもので、例えば一対の発光素子と受光素子との組み合
わせや、磁気や電気によって位置を検出するその他の検
出素子から構成されている。

【００５３】位置ずれ演算手段４２は、２つの位置ずれ
検出センサ４０、４１から出力される各検出信号を入力
し、これら検出信号からＬＣＤ基板２の縁の位置に基づ
いて左側ハンド１７上に保持されているＬＣＤ基板２の
所定位置、すなわち実際に据え付けられた基板検査装置
１でＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに対する位置ず
れを求める機能を有している。

【００５４】位置修正手段４３は、位置ずれ演算手段４
２により求められた実際に据え付けられた基板検査装置
１でＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに対する位置ず
れを受け取り、この位置ずれに基づいて左側ハンド１７
上に保持されているＬＣＤ基板２を、実際に据え付けら
れた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置くべき位置３３
ｂに置くように修正する修正指令を基板搬送ロボット６
に送出する機能を有している。

【００５５】なお、これら位置ずれ演算手段４２及び位
置修正手段４３は、基板検査装置１側又は基板搬送装置
３側のいずれに設けてもよい。

【００５６】次に、上記の如く構成された基板検査シス
テムの作用について説明する。

【００５７】先ず、基板搬送ロボット６は、横移動機構
８の動作によって未検査のＬＣＤ基板２を収納するカセ
ット４ａの前方に移動し、この未検査のＬＣＤ基板２を
取り出すために左側搬送アーム１３をカセット４ａの方
向へ伸ばし、そのＬＣＤ基板２の下に左側ハンド１７を
入れる。

【００５８】次に、昇降モータの駆動によって左側ハン
ド１７を少し上昇させ、ＬＣＤ基板２を左側ハンド１７
上に載置し、左側搬送アーム１３を縮めてＬＣＤ基板２
をカセット４ａから取り出し、基板搬送ロボット６の上
方まで持ってくる。

【００５９】次に、左側及び右側搬送アーム１３，１４
を旋回モータの回転駆動によって１８０度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット６を横移動機構８によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
１７並びに右側ハンド２０の高さ位置を基板検査装置１
の基板載置用ステージ９の高さ位置に合せる。

【００６０】基板搬送ロボット６が横移動して基板検査
装置１の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト６は、基板検査装置１内の検査済みのＬＣＤ基板２を
取り出すために右側搬送アーム１４を伸ばし、そのＬＣ
Ｄ基板２の下に右側ハンド２０を入れる。

【００６１】次に、昇降モータの駆動によって右側ハン
ド２０を少し上昇させ、検査済みＬＣＤ基板２を右側ハ
ンド２０上に載置し、右側搬送アーム１４を縮めてその
ＬＣＤ基板２を基板載置用ステージ９上から取り出し、
基板搬送ロボット６の上方まで持ってくる。

【００６２】この検査済みＬＣＤ基板２の取り出しと差
し違いに、基板搬送ロボット６は、未検査のＬＣＤ基板
２を持っている左側ハンド１７を前進させ、そのＬＣＤ
基板２を基板載置用ステージ９上に載置した後、何も載
置しない状態で左側ハンド１７を後退させる。

【００６３】このように左側ハンド１７を前進させてＬ
ＣＤ基板２を基板載置用ステージ９上に載置するとき、
左側ハンド１７上に保持しているＬＣＤ基板２を、実際
に据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置く
べき位置３３ｂに対して位置修正を行う。

【００６４】この位置修正の動作について図２(a)〜(e)
を参照して説明する。なお、ここでも左側搬送アーム１
３についてのみ説明する。

【００６５】左側ハンド１７上に保持しているＬＣＤ基
板２は、カセット架台３０の設置位置のずれやカセット
４ａ内のＬＣＤ基板２のそれぞれ異なる収納位置、基板
検査装置１の設置位置のずれなどによって、各位置ずれ
検出センサ４０，４１の配置方向に対して傾いて保持さ
れている。

【００６６】この状態で、基板搬送ロボット６が左側搬
送アーム１３を伸ばしていくと、図２(a)に示すように
左側ハンド１７上に保持しているＬＣＤ基板２の前縁が
いずれか一方の位置ずれ検出センサ４０，４１、例えば
位置ずれ検出センサ４１の配置位置に先に到達、すなわ
ち位置ずれ検出センサ４１を切るようになる。このと
き、位置ずれ検出センサ４１は、ＬＣＤ基板２の前縁を
検出してその検出信号を出力する。

【００６７】位置ずれ演算手段４２は、位置ずれ検出セ
ンサ４１から出力された検出信号を入力し、このときの
左側搬送アーム１３の第２アーム１６の角度を記憶し、
この角度に基づいてＬＣＤ基板２の前後方向のずれ量を
算出する。

【００６８】左側搬送アーム１３がさらに伸びると、図
２(b)に示すように左側ハンド１７上に保持しているＬ
ＣＤ基板２の前縁が他方の位置ずれ検出センサ４０の配
置位置を切る。このとき、位置ずれ検出センサ４０は、
ＬＣＤ基板２の前縁を検出してその検出信号を出力す
る。

【００６９】位置ずれ演算手段４２は、位置ずれ検出セ
ンサ４０から出力された検出信号を入力し、このときの
左側搬送アーム１３の第２アーム１６の角度を記憶し、
先の位置ずれ検出センサ４１によりＬＣＤ基板２の前縁
を検出したときの第２アーム１６の角度と今回の第２ア
ーム１６の角度とに基づいてＬＣＤ基板２の傾きを算出
する。

【００７０】左側搬送アーム１３はさらに伸び、図２
(c)に示すように左側ハンド１７上に保持しているＬＣ
Ｄ基板２が基板載置用ステージ９の上方に重なるように
なる。そして、基板搬送ロボット６は、横移動機構８の
動作によって横方向に移動する。この横移動によりＬＣ
Ｄ基板２の側縁が他方の位置ずれ検出センサ４０の配置
位置を切る。このとき、位置ずれ検出センサ４０は、Ｌ
ＣＤ基板２の側縁を検出してその検出信号を出力する。

【００７１】位置ずれ演算手段４２は、基板搬送ロボッ
ト６の横方向への移動距離を記憶し、この移動距離に基
づいてＬＣＤ基板２の左右方向のずれ量を算出する。

【００７２】位置修正手段４３は、位置ずれ演算手段４
２により求められた実際に据え付けられた基板検査装置
１でＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに対する位置ず
れ、すなわちＬＣＤ基板２の前後方向のずれ量、傾き及
び左右方向のずれ量を受け取り、これらＬＣＤ基板２の
前後方向のずれ量、傾き及び左右方向のずれ量に基づい
て左側ハンド１７上に保持されているＬＣＤ基板２を、
実際に据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を
置くべき位置３３ｂに置くように修正する修正指令を基
板搬送ロボット６に送出する。

【００７３】この基板搬送ロボット６は、位置修正手段
４３からの修正指令を受けて、図２(e)に示すように左
側ハンド１７上に保持されているＬＣＤ基板２を、実際
に据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置く
べき位置３３ｂに置くように修正動作する。

【００７４】次に、基板搬送ロボット６は、１８０度旋
回すると共に、横移動機構８の動作によって検査済みの
ＬＣＤ基板２を収納するカセット４ｂの前方に移動し、
このカセット４ｂ内に検査済みのＬＣＤ基板２を収納さ
せるために右側搬送アーム１４を伸ばし、そのＬＣＤ基
板２をカセット４ｂ内に収納する。そして、右側搬送ア
ーム１４を縮める。

【００７５】これ以降、上記ＬＣＤ基板２の検査の一連
の動作が繰り返される。

【００７６】このように上記第１の実施の形態において
は、２つの位置ずれ検出センサ４０、４１を基板検査装
置１に設け、これら位置ずれ検出センサ４０、４１によ
り検出されたＬＣＤ基板２の縁の位置に基づいて左側ハ
ンド１７上に保持されているＬＣＤ基板２の実際に据え
付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置くべき位
置３３ｂに対する位置ずれを求め、この位置ずれに基づ
いてＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに置くように修
正動作するので、ＬＣＤ基板２の大きさがＬＣＤの大面
積化に伴って大型化してその重量が重くなっても、ＬＣ
Ｄ基板２を無理矢理に押して動かして割る可能性も防止
することができ、ＬＣＤ基板２を、実際に据え付けられ
た基板検査装置１における基板載置用ステージ９上のＬ
ＣＤ基板２を置くべき位置に正確に直接置くことが出来
る。これにより、基板検査装置１では、ＬＣＤ基板２に
対して高精度な検査が可能となる。

【００７７】（２）次に、本発明の第２の実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分
には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

【００７８】図３は基板搬送装置３と基板検査装置１と
を備えた基板検査システムの構成図である。

【００７９】実際に据え付けられた基板検査装置１の基
板載置用ステージ９上におけるＬＣＤ基板２を置くべき
位置３３ｂの縁の二辺上には、３つの位置ずれ検出セン
サ５０、５１、５２が設けられている。これら位置ずれ
検出センサ５０、５１、５２は、左側ハンド１７又は右
側ハンド２０に保持されているＬＣＤ基板２の縁を検出
するもので、例えば反射型センサが用いられている。な
お、これら位置ずれ検出センサ５０、５１、５２は、一
対の発光素子と受光素子との組み合わせや、磁気や電気
によって位置を検出するその他の検出素子から構成して
もよい。

【００８０】位置修正手段５３は、各位置ずれ検出セン
サ５０、５１、５２から出力された検出信号を入力し、
これら検出信号に基づいて左側ハンド１７又は右側ハン
ド２０上に保持されているＬＣＤ基板２を、実際に据え
付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置くべき位
置３３ｂ上でＬＣＤ基板２の二辺の縁が検出されるよう
にＬＣＤ基板２の姿勢を修正する修正指令を基板搬送ロ
ボット６に送出する機能を有している。

【００８１】次に、上記の如く構成された基板検査シス
テムの作用について説明する。

【００８２】先ず、基板搬送ロボット６は、横移動機構
８の動作によって未検査のＬＣＤ基板２を収納するカセ
ット４ａの前方に移動し、この未検査のＬＣＤ基板２を
取り出すために今度は右側搬送アーム１４をカセット４
ａの方向へ伸ばし、そのＬＣＤ基板２の下に右側ハンド
２０を入れる。

【００８３】次に、昇降モータの駆動によって右側ハン
ド２０を少し上昇させ、ＬＣＤ基板２を右側ハンド２０
上に載置し、右側搬送アーム１４を縮めてＬＣＤ基板２
をカセット４ａから取り出し、基板搬送ロボット６の上
方まで持ってくる。

【００８４】次に、左側及び右側搬送アーム１３，１４
を旋回モータの回転駆動によって１８０度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット６を横移動機構８によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
１７並びに右側ハンド２０の高さ位置を基板検査装置１
の基板載置用ステージ９の高さ位置に合せる。

【００８５】基板搬送ロボット６が横移動して基板検査
装置１の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト６は、基板検査装置１内の検査済みのＬＣＤ基板２を
取り出すために左側搬送アーム１３を伸ばし、そのＬＣ
Ｄ基板２の下に左側ハンド１７を入れる。

【００８６】次に、昇降モータの駆動によって左側ハン
ド１７を少し上昇させ、検査済みＬＣＤ基板２を左側ハ
ンド１７上に載置し、左側搬送アーム１３を縮めてその
ＬＣＤ基板２を基板載置用ステージ９上から取り出し、
基板搬送ロボット６の上方まで持ってくる。

【００８７】この検査済みＬＣＤ基板２の取り出しと差
し違いに、基板搬送ロボット６は、未検査のＬＣＤ基板
２を持っている右側ハンド２０を前進させ、そのＬＣＤ
基板２を基板載置用ステージ９上に載置した後、何も載
置しない状態で右側ハンド２０を後退させる。

【００８８】このように右側ハンド２０を前進させてＬ
ＣＤ基板２を基板載置用ステージ９上に載置するとき、
右側ハンド２０上に保持しているＬＣＤ基板２を、実際
に据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置く
べき位置３３ｂに対して位置修正を行う。

【００８９】この位置修正の動作について図４(a)〜(d)
を参照して説明する。なお、ここでは右側搬送アーム１
４についてのみ説明する。

【００９０】右側ハンド２０上に保持しているＬＣＤ基
板２は、カセット架台３０の設置位置のずれやカセット
４ａ内のＬＣＤ基板２のそれぞれ異なる収納位置、基板
検査装置１の設置位置のずれなどによって、基板検査装
置１でＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに対してずれ
て右側ハンド２０上に保持されている。

【００９１】この状態で、基板搬送ロボット６が右側搬
送アーム１４を伸ばしていくと、ＬＣＤ基板２の縁が図
４(a)に示すように３つの位置ずれ検出センサ５０，５
１，５２のうち例えば１つの位置ずれ検出センサ５０を
切る。このとき位置ずれ検出センサ５０は、ＬＣＤ基板
２の縁を検出してその検出信号を出力する。

【００９２】位置修正手段５３は、位置ずれ検出センサ
５０から出力された検出信号を入力し、このときの基板
搬送ロボット６の姿勢を記憶する。

【００９３】もう少し基板搬送ロボット６が右側搬送ア
ーム１４を伸ばすと、ＬＣＤ基板２の縁が他の位置ずれ
検出センサ５１を切る。このとき位置ずれ検出センサ５
１は、ＬＣＤ基板２の縁を検出してその検出信号を出力
する。

【００９４】位置修正手段５３は、先に位置ずれ検出セ
ンサ５０によりＬＣＤ基板２の縁を検出したときの基板
搬送ロボット６の姿勢と、今回位置ずれ検出センサ５１
によりＬＣＤ基板２の縁を検出したときの基板搬送ロボ
ット６の姿勢とに基づいてＬＣＤ基板２の回転方向に対
する微修正量を算出し、その修正指令を基板搬送ロボッ
ト６に送出する。

【００９５】この基板搬送ロボット６は、位置修正手段
５３からの修正指令を受けると、図４(b)に示すように
回転方向に対する微修正動作を行う。

【００９６】次に、基板搬送ロボット６は、図４(c)に
示すように右側搬送アーム１４をさらに伸ばす。そうす
ると、ＬＣＤ基板２の縁が再び位置ずれ検出センサ５０
を切る。このとき位置ずれ検出センサ５０は、再びＬＣ
Ｄ基板２の縁を検出してその検出信号を出力する。

【００９７】位置修正手段５３は、位置ずれ検出センサ
５１から出力された検出信号を入力し、このとき基板搬
送ロボット６による右側搬送アーム１４の差し出しを停
止する。

【００９８】次に、基板搬送ロボット６は、図４(c)に
示すように横移動機構８によって横方向に移動させる。
そうすると、ＬＣＤ基板２の縁が位置ずれ検出センサ５
１、５２を切る。このとき位置ずれ検出センサ５１、５
２は、ＬＣＤ基板２の縁を検出してその検出信号を出力
する。位置修正手段５３は、位置ずれ検出センサ５１、
５２から出力された検出信号を入力し、このとき横移動
機構８による基板搬送ロボット６の横移動を停止する。

【００９９】しかして、基板搬送ロボット６は、図４
(d)に示すように右側搬送アーム１４を動作させ、右側
ハンド２０上に保持されているＬＣＤ基板２を、実際に
据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板２を置くべ
き位置３３ｂに置く。

【０１００】次に、基板搬送ロボット６は、１８０度旋
回すると共に、横移動機構８の動作によって検査済みの
ＬＣＤ基板２を収納するカセット４ｂの前方に移動し、
このカセット４ｂ内に検査済みのＬＣＤ基板２を収納さ
せるために右側搬送アーム１４を伸ばし、そのＬＣＤ基
板２をカセット４ｂ内に収納する。そして、右側搬送ア
ーム１４を縮める。

【０１０１】これ以降、上記ＬＣＤ基板２の検査の一連
の動作が繰り返される。

【０１０２】このように上記第２の実施の形態において
は、実際に据え付けられた基板検査装置１の基板載置用
ステージ９上におけるＬＣＤ基板２を置くべき位置３３
ｂの縁の二辺上に３つの位置ずれ検出センサ５０、５
１、５２を設け、これら位置ずれ検出センサ５０、５
１、５２により検出されたＬＣＤ基板２の縁の位置に基
づいて右側ハンド２０上に保持されているＬＣＤ基板２
を、実際に据え付けられた基板検査装置１でＬＣＤ基板
２を置くべき位置３３ｂ上でＬＣＤ基板２の二辺の縁が
検出されるようにＬＣＤ基板２の姿勢を修正するので、
上記第１の実施の形態と同様に、ＬＣＤ基板２の大きさ
がＬＣＤの大面積化に伴って大型化してその重量が重く
なっても、ＬＣＤ基板２を無理矢理に押して動かして割
る可能性を防止することができ、ＬＣＤ基板２を、実際
に据え付けられた基板検査装置１における基板載置用ス
テージ９上のＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに正確
に直接置くことが出来る。これにより、基板検査装置１
では、ＬＣＤ基板２に対して高精度な検査が可能とな
る。

【０１０３】又、基板検査装置１の基板載置用ステージ
９上におけるＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂの縁の
二辺上に３つの反射型の位置ずれ検出センサ５０、５
１、５２を設けるだけなので、上記第１の実施の形態の
ように、基板検査装置１の組立時の各位置ずれ検出セン
サ５０、５１、５２の調整が不要であり、その分だけ装
置全体の原価を下げることができる。

【０１０４】（３）次に、本発明の第３の実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分
には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

【０１０５】本発明の第３の実施の形態は、実際に据え
付けられた基板検査装置１における基板載置用ステージ
９上の置くべき位置３３ｂにＬＣＤ基板２を修正して置
くための位置修正手段を左側及び右側ハンド１７，２０
に設けたものである。なお、ここでは右側ハンド２０に
設けた位置修正手段について説明する図５は右側ハンド
２０に設けた位置修正機構の構成図である。右側ハンド
２０には、ハンドの元側にＬＣＤ基板２を保持すると共
に微動可能な可動保持体としての２つの可動パッド６
０，６１がそれぞれ対称な位置に設けられ、かつ先端側
に２つの固定パッド６２，６３がそれぞれ対称な位置に
設けられている。

【０１０６】各可動パッド６０，６１は、図６(a)に示
すように右側ハンド２０内に埋め込まれる如く内設され
るもので、テフロン（登録商標）管６４によりベース６
５が回転自在に設けられている。このベース６５には、
凹形状の嵌合部６６が形成されている。この嵌合部６６
には、弾性部材６７が設けられている。そして、この弾
性部材６７には、吸着パッド６８が設けられている。

【０１０７】各固定パッド６２，６３は、図６(b)に示
すように右側ハンド２０内に埋め込まれる如く内設され
るもので、ベース６９上に弾性部材７０が設けられ、こ
の弾性部材７０上に吸着パッド７１が固定されている。
このように弾性部材７０上に吸着パッド７１が固定され
ているので、吸着パッド７１にはガタが持たされてい
る。

【０１０８】上記各可動パッド６０，６１は、図５に示
すように、それぞれ各モータ７２〜７５、各変換部７６
〜７９及び各リンク機構８０〜８３からなる駆動機構に
よって右側ハンド２０上に保持しているＬＣＤ基板２の
姿勢を、前後、左右及び回転方向に微動駆動するものと
なっている。なお、各変換部７６〜７９は、それぞれ各
モータ７２〜７５の回転運動を直線運動に変換するもの
で、例えば各モータ７２〜７５の軸に連結された棒状の
ネジに移動体を螺合したものとなっている。

【０１０９】ここで、一方の可動パッド６０は、１組づ
つの各モータ７２，７３、各変換部７６，７７及び各リ
ンク機構８０，８１により微動駆動し、他方の可動パッ
ド６５は、１組づつの各モータ７４，７５、各変換部７
８，７９及び各リンク機構８２，８３により微動駆動す
るものとなっている。

【０１１０】一方の可動パッド６０に対して各リンク機
構８０，８１は、それぞれベース６５における互いに直
交する隣り合う各辺上の各端部８４，８５に連結されて
いる。又、他方の可動パッド６１に対して各リンク機構
８２，８３は、それぞれベース６５における互いに直交
する隣り合う各辺上の各端部８６，８７に連結されてい
る。

【０１１１】次に、ＬＣＤ基板２の姿勢を前後、左右及
び回転方向に微動駆動する作用について図７を参照して
説明する。

【０１１２】同図(a)はＬＣＤ基板２の姿勢を前後移動
するときの図を示す。このＬＣＤ基板２の前後移動は、
各モータ７２，７４を駆動して各リンク機構８０，８２
を動作させると共に、各モータ７３，７５を停止して各
リンク機構８１，８３を固定する。これにより、各可動
パッド６０、６１の各ベース６５は、それぞれ固定され
た端部８５、８７を中心として回転し、その結果として
右側ハンド２０上に保持されているＬＣＤ基板２が前後
移動する。

【０１１３】同図(b)はＬＣＤ基板２の姿勢を左右移動
するときの図を示す。このＬＣＤ基板２の左右移動は、
各モータ７３，７５を駆動して各リンク機構８１，８３
を動作させると共に、各モータ７２，７４を停止して各
リンク機構８０，８２を固定する。これにより、各可動
パッド６０、６１の各ベース６５は、それぞれ固定され
た端部８４、８６を中心として回転し、その結果として
右側ハンド２０上に保持されているＬＣＤ基板２が左右
移動する。

【０１１４】同図(c)はＬＣＤ基板２の姿勢を図中時計
回りに回転するときの図を示す。このＬＣＤ基板２の回
転は、モータ７２のみを駆動してリンク機構８０のみを
動作させると共に、他の各モータ７３，７４、７５を停
止して他のリンク機構８１，８２、８３を固定する。こ
れにより、可動パッド６０のベース６５のみが固定され
た端部８５を中心として回転し、その結果として右側ハ
ンド２０上に保持されているＬＣＤ基板２が回転する。

【０１１５】なお、図８は左側ハンド１７及び右側ハン
ド２０の概略断面図である。左側ハンド１７の直ぐ上方
に右側ハンド２０が重なるように配置されている。右側
ハンド２０には、上記の如く各モータ７２〜７５、各変
換部７６〜７９及び各リンク機構８０〜８３が設けら
れ、左側ハンド１７にも同様に、可動パッド８８、８
９、モータ９０，９１、各変換部９２，９３及び各リン
ク機構９４，９５が設けられている。

【０１１６】次に、上記第２の実施の形態の基板検査シ
ステムに適用した場合の基板検査装置１でのＬＣＤ基板
２を置くべき位置３３ｂに対して位置修正するときの動
作について図９を参照して説明する。なお、基板搬送装
置３と基板検査装置１とを備えた基板検査システム全体
の動作は、上記第１及び第２の実施の形態と同様なので
省略する。

【０１１７】基板搬送ロボット６が右側搬送アーム１４
を伸ばしていくと、ＬＣＤ基板２は、３つの位置ずれ検
出センサ５０，５１，５２の上方に位置するようにな
る。

【０１１８】この状態に、上記図７(a)に示すように各
モータ７２，７４を駆動して各リンク機構８０，８２を
動作させると共に、各モータ７３，７５を停止して各リ
ンク機構８１，８３を固定することにより、ＬＣＤ基板
２を前後移動させると、図９(a)(b)に示すようにＬＣＤ
基板２の縁が３つの位置ずれ検出センサ５０，５１，５
２のうち各位置ずれ検出センサ５０、５１をそれぞれ異
なるタイミングで切る。これらタイミングは、ＬＣＤ基
板２の前への移動、又は後への移動により異なる。

【０１１９】このとき位置ずれ検出センサ５０、５１
は、それぞれのタイミングでＬＣＤ基板２の縁を検出し
てその検出信号を出力する。

【０１２０】位置修正手段５３は、各位置ずれ検出セン
サ５０、５１からそれぞれ出力された各検出信号を入力
し、このときの基板搬送ロボット６の各姿勢をそれぞれ
記憶する。そして、位置修正手段５３は、例えば、先に
位置ずれ検出センサ５１によりＬＣＤ基板２の縁を検出
したときの基板搬送ロボット６の姿勢と、今回位置ずれ
検出センサ５０によりＬＣＤ基板２の縁を検出したとき
の基板搬送ロボット６の姿勢とに基づいてＬＣＤ基板２
の回転方向に対する微修正量を算出し、この微修正量に
応じた各モータ制御信号を各モータ７２〜７５に送出す
る。

【０１２１】これにより、モータ７２のみが駆動してリ
ンク機構８０のみが動作し、可動パッド６０のベース６
５のみが固定された端部８５を中心として図７(c)の場
合の回転とは逆に回転し、その結果として右側ハンド２
０上に保持されているＬＣＤ基板２が図９(c)に示すよ
うに旋回する。

【０１２２】次に、基板搬送ロボット６は、右側搬送ア
ーム１４をさらに伸ばす。そうすると、ＬＣＤ基板２の
縁が再び各位置ずれ検出センサ５０、５１を切る。この
とき各位置ずれ検出センサ５０、５１は、再びＬＣＤ基
板２の縁を検出してその各検出信号を出力する。位置修
正手段５３は、各位置ずれ検出センサ５０、５１から出
力された各検出信号を入力し、このとき基板搬送ロボッ
ト６による右側搬送アーム１４の差し出しを停止する。

【０１２３】次に、基板搬送ロボット６は、図９(d)に
示すように横移動機構８によって横方向に移動させる。
そうすると、ＬＣＤ基板２の縁が位置ずれ検出センサ５
２を切る。このとき位置ずれ検出センサ５２は、ＬＣＤ
基板２の縁を検出してその検出信号を出力する。位置修
正手段５３は、位置ずれ検出センサ５２から出力された
検出信号を入力し、このとき横移動機構８による基板搬
送ロボット６の横移動を停止する。

【０１２４】しかして、基板搬送ロボット６は、右側搬
送アーム１４を動作させ、右側ハンド２０上に保持され
ているＬＣＤ基板２を、実際に据え付けられた基板検査
装置１でＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに置く。

【０１２５】このように上記第３の実施の形態において
は、左側ハンド１７及び右側ハンド２０に、それぞれ２
つの可動パッド６０，６１を設け、これら可動パッド６
０，６１を各モータ７２〜７５、各変換部７６〜７９及
び各リンク機構８０〜８３からなる駆動機構により動作
させるようにしたので、上記第１の実施の形態と同様
に、ＬＣＤ基板２の大きさがＬＣＤの大面積化に伴って
大型化してその重量が重くなっても、ＬＣＤ基板２を無
理矢理に押して動かして割るようなことが無く、ＬＣＤ
基板２を左側ハンド１７及び右側ハンド２０上で、実際
に据え付けられた基板検査装置１における基板載置用ス
テージ９上のＬＣＤ基板２を置くべき位置３３ｂに正確
に位置合わせすることができる。これにより、基板検査
装置１では、ＬＣＤ基板２に対して高精度な検査が可能
となる。

【０１２６】又、２つの可動パッド６０，６１の駆動に
よりＬＣＤ基板２を微動することができ、高精度に基板
載置用ステージ９上のＬＣＤ基板２を置くべき位置３３
ｂに位置合わせできる。

【０１２７】なお、上述した実施の形態での可動パッド
６０、６１の駆動は、前後移動、左右移動、回転移動を
夫々別々のタイミングで行なうようにしていたが、これ
に限られるものではなく、夫々の駆動を組み合わせて同
じタイミングで行わせることで、基板の位置合わせに要
していた時間を短縮することができる。

【０１２８】なお、本発明は、上記第１乃至第３の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。

【０１２９】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【０１３０】例えば、上記第３の実施の形態は、基板検
査装置１における基板載置用ステージ９上の置くべき位
置３３ｂにＬＣＤ基板２を修正して置くための動作を基
板搬送ロボット６により行う代わりに、左側ハンド１７
及び右側ハンド２０に設けられた各可動パッド６０，６
１等により行っているが、これに限らず、基板搬送ロボ
ット６によるＬＣＤ基板２の位置修正動作を行った後
に、左側ハンド１７及び右側ハンド２０に設けられた各
可動パッド６０，６１等によりＬＣＤ基板２の微修正を
行うようにしてもよい。

【０１３１】又、上記第１の実施の形態においても基板
搬送ロボット６によりＬＣＤ基板２の位置修正動作を行
っているが、これを左側ハンド１７及び右側ハンド２０
に設けられた各可動パッド６０，６１等による位置修正
に代えてもよい。

【０１３２】さらに、上記第１の実施の形態における基
板搬送ロボット６によるＬＣＤ基板２の位置修正動作を
行った後に、左側ハンド１７及び右側ハンド２０に設け
られた各可動パッド６０，６１等によりＬＣＤ基板２の
微修正を行うようにしてもよい。

【０１３３】なお、本発明の基板搬送装置で搬送される
基板は、上述した実施の形態ではＬＣＤ基板の例でしか
説明しなかったが、これに限られるものではなく、例え
ばＬＣＤ基板同様、大型化の傾向があるウエハ基板の搬
送にも有効である。

【０１３４】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、実
際に据え付けられた基板検査装置におけるＬＣＤ基板を
置くべき位置に正確にＬＣＤ基板を直接置ける基板搬送
装置を提供できる。

【０１３５】又、本発明によれば、実際に据え付けられ
た基板検査装置におけるＬＣＤ基板を置くべき位置に正
確にＬＣＤ基板を直接置いてＬＣＤ基板の検査ができる
基板検査システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板搬送装置と基板検査装置と
を備えた基板検査システムの第１の実施の形態を示す構
成図。

【図２】本発明に係わる基板検査システムの第１の実施
の形態におけるＬＣＤ基板を置くときの位置修正動作を
示す図。

【図３】本発明に係わる基板搬送装置と基板検査装置と
を備えた基板検査システムの第２の実施の形態を示す構
成図。

【図４】本発明に係わる基板検査システムの第２の実施
の形態におけるＬＣＤ基板を置くときの位置修正動作を
示す図。

【図５】本発明に係わる基板検査システムの第３の実施
の形態に適用する右側ハンドに設けた位置修正機構の構
成図。

【図６】本発明に係わる基板検査システムの第３の実施
の形態に適用する位置修正機構の可動パッド及び固定パ
ッドの構成図。

【図７】本発明に係わる基板検査システムの第３の実施
の形態に適用する位置修正機構によるＬＣＤ基板の姿勢
を前後、左右及び回転方向に微動駆動する作用を説明す
るための図。

【図８】本発明に係わる基板検査システムの第３の実施
の形態に適用する位置修正機構を設けた左側ハンド及び
右側ハンドの概略断面図。

【図９】本発明に係わる基板検査システムの第３の実施
の形態におけるＬＣＤ基板を置くときの位置修正動作を
示す図。

【図１０】従来におけるＬＣＤの基板検査装置及び基板
搬送装置を正面から見た全体構成図。

【図１１】従来におけるＬＣＤの基板検査装置及び基板
搬送装置を上方から見た構成図。

【図１２】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの構成図。

【図１３】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの昇降動作を示す図。

【図１４】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの横移動を示す図。

【図１５】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの旋回運動を示す図。

【図１６】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの伸ばす動き及び縮める動きを示す図。

【図１７】従来における基板搬送装置及び基板検査装置
での設置位置のずれを示す図。

【図１８】従来における基板検査装置側でのＬＣＤ基板
の微修正機構の作用を説明するための図。

【図１９】従来における基板検査装置側でのＬＣＤ基板
の微修正機構の作用を説明するための図。

【図２０】従来における基板検査装置側でのＬＣＤ基板
の微修正機構の作用を説明するための図。

【図２１】従来における基板検査装置側でのＬＣＤ基板
の微修正機構の作用を説明するための図。

【図２２】従来における基板検査装置側でのＬＣＤ基板
の微修正機構の作用を説明するための図。

【図２３】従来における基板検査装置側でのＬＣＤ基板
の微修正機構の作用を説明するための図。

【符号の説明】

１：基板検査装置 ２：ＬＣＤ基板 ３：基板搬送装置 ４（４ａ，４ｂ）：カセット ５：カセットステーション ６：基板搬送ロボット ７：ロボット胴体 ８：横移動機構 ９：基板載置用ステージ １０：直動軸受け １１：ボールねじ １２：アーム台 １３：左側搬送アーム １４：右側搬送アーム １５，１８：第１アーム １６，１９：第２アーム １７：左側ハンド ２０：右側ハンド ３０：カセット架台 ３０ａ：設計上のカセット架台の位置 ３０ｂ：実際に据え付けられたカセット架台の位置 ３１ａ：設計上のカセットの位置 ３１ｂ：実際に置かれるカセットの位置 ３２：カセット内に収納されているＬＣＤ基板の実際の
位置 １ａ：設計上の基板検査装置の位置 １ｂ：実際に据え付けられた基板検査装置の位置 ３３ｂ：実際に据え付けられた基板検査装置でＬＣＤ基
板を置くべき位置 ４０，４１：位置ずれ検出センサ ４２：位置ずれ演算手段 ４３：位置修正手段 ５０，５１，５２：位置ずれ検出センサ ５３：位置修正手段 ６０，６１：可動パッド ６２，６３：固定パッド ６４：テフロン管 ６５：ベース ６６：嵌合部 ６７：弾性部材 ６８：吸着パッド ６９：ベース ７０：弾性部材 ７１：吸着パッド ７２〜７５：モータ ７６〜７９：変換部 ８０〜８３：リンク機構 ８４，８５，８６，８７：端部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハンド上に基板を保持して搬送して所定
   位置に置く基板搬送装置において、 前記ハンドで保持された前記基板の搬送経路上でかつこ
   の搬送方向に対して略垂直方向に設けられ、搬送される
   前記基板の縁を検出する位置ずれ検出手段と、 この位置ずれ検出手段により検出された前記基板の縁の
   位置に基づいて前記基板の前記所定位置に対する位置ず
   れを求める位置ずれ演算手段と、 この位置ずれ演算手段により求められた位置ずれに基づ
   いて前記基板を前記所定位置に修正する位置修正手段
   と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記位置ずれ検出手段は、前記搬送方向
   に対して略垂直方向に設けられたラインセンサ又は少な
   くとも２つの位置ずれ検出センサであることを特徴とす
   る請求項１記載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 ハンド上に基板を保持して搬送して所定
   位置に置く基板搬送装置において、 前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁
   を検出するように設けられた位置ずれ検出手段と、 この位置ずれ検出手段により前記基板の二辺の縁が検出
   されるように前記基板の位置を修正する位置修正手段
   と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置。
4. 【請求項４】 前記位置ずれ検出手段は、前記所定位置
   に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁を検出するよ
   うに設けられた少なくとも３つの位置ずれ検出センサ又
   は少なくとも二辺の縁を検出するように設けられた少な
   くとも２つのラインセンサであることを特徴とする請求
   項３記載の基板搬送装置。
5. 【請求項５】 前記位置修正手段は、ハンドの姿勢を前
   後移動、左右移動、旋回運動させることを特徴とする請
   求項１又は３記載の基板搬送装置。
6. 【請求項６】 前記位置修正手段は、前記ハンド上に設
   けられ、前記基板を保持すると共に微動可能な複数の可
   動保持体と、 これら可動保持体を前記基板の二辺の縁が前記位置ずれ
   検出手段により検出されるようにそれぞれ微動させる駆
   動機構と、からなることを特徴とする請求項１又は３記
   載の基板搬送装置。
7. 【請求項７】 前記可動保持体は、前後方向、左右方
   向、回転方向に微動自在であることを特徴とする請求項
   ６記載の基板搬送装置。
8. 【請求項８】 基板を収納するカセットステーションを
   有し、前記基板を保持するハンドを備えた基板搬送装置
   と、前記基板を検査する基板検査装置とを備え、前記基
   板搬送装置の動作により、前記カセットステーションに
   収納されている前記基板を前記ハンド上に保持して取り
   出し、この基板を前記ハンド上に保持した状態で前記基
   板検査装置内に搬送し、前記基板を前記基板検査装置内
   のステージ上の所定位置に載置する基板検査システムに
   おいて、 前記基板搬送装置に、請求項１又は３記載の基板搬送装
   置を用いたことを特徴する基板検査システム。