CN100407395C - 薄板状基板的运送装置及其运送控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及把液晶显示面板、玻璃基板等薄板状基板运送到处理装置内的运送装置，该运送装置，具备带有运送大型薄板状基板的转动臂(16)的比较大型的机器人(14)，即使有2m左右高度而能够稳定举起，且运送时能够矫正延伸转动臂(16)时的弯曲量。这种运送装置中，设有能够升降地悬臂支撑在2个直立支撑体(12)上的水平支撑台部(13)，在水平支撑台部(13)上放置具有转动臂(16)的运送机器人(14)。另外，延伸臂时的弯曲量通过对应于弯曲量上升水平支撑台部(13)的高度而矫正。弯曲量，也能够通过变化放置在水平支撑台部(13)上的机器人(14)的设置角度而矫正。

Description

薄板状基板的运送装置及其运送控制方法

技术领域

本发明涉及一种设置在规定的清洁环境下，用以移送或运送作为半导体晶片、液晶显示装置、等离子显示装置、有机及无机场致发光显示装置、场致发射显示装置、液晶显示面板、印刷电路基板等的原材料的基板、中间制品、制品等薄板状基板的薄板状基板的运送装置及运送控制方法。

背景技术

现有，作为在清洁环境下的薄板状基板的运送用机器人，一般使用专利第2739413号所代表的SCARA型机器人。不过，近年来，随着液晶显示器(液晶电视等)等显示器的大型化，而使它所使用的玻璃基板大面积化，运送它的机器人也逐渐被要求大型化。为此，在运入玻璃基板、向各种处理装置运送的工序中，必须将具有2m×2m以上大面积的玻璃基板沿高度方向举起2m以上、高速且准确地运送。大型的薄板状基板重量大、易弯曲，因此，存在的问题是很难将有一定重量的大型薄板状基板在高度方向高速且稳定地运送。为此，提出了各种发明。

例如，特表平9-505384号公报中公布了一种组合了多级滚珠丝杠的升降机构，特开平10-209241号公报中叙述了一种起重机式升降机构。另外，特开平11-238779号公报中公布了一种被当作焊接机器人等的曲臂式升降机构，特开2001-274218号公报中叙述了一种在上下面对面的2个水平转动型臂的根上配置升降机构的机器人。

专利文献1：特许第2739413号

专利文献2：特开平11-238779号公报

专利文献3：特开2001-274218号公报

不过，滚珠丝杠多级升降机构由于水平方向的强度弱而很难防止其横向摆动。另外，起重机式和曲臂式机器人等，在从低角度克服重力举起时，由于反杠杆原理而需要很大力。再有，为了保证耐得住该很大力的强度而导致臂的驱动机构粗而重。在水平转动型臂的根上配置1个升降机构的机器人，只能在设置臂的一侧自由地运送，因而存在着要向相反侧运送而必须在支撑大重量的升降机构的下部设置1根旋转轴使之旋转这种结构上的不合理之处。

另外，若随着薄板状基板的大型化，机器人自身大型化，机器人自身的重量也变重、延伸手端操作装置的距离也变长。从而，随着机器人的动作(随着手端操作装置的动作位置)，有时在机器人自身上发生弯曲。为此，不考虑由于弯曲而产生的倾斜，有时很难进行把薄板状基板从盒中取出、或插入盒内等运送动作。还有，本说明书的说明中，所谓利用运送机器人把薄板状基板从A位置向B位置的“运送”，包括利用运送机器人移动薄板状基板的全部移送。例如，从盒中取出薄板状基板并移动到处理室的动作、从处理室返回到盒中的动作全部都包括在“运送”中。

再有，要想利用手端操作装置升高并保持像作为液晶显示器基板的玻璃板这样大型且弯曲量大的薄板状基板，高速运送并配置在规定位置，很重要的一点是准确地保持薄板状基板的规定的基准位置。若保持的位置偏移，则不仅不能将薄板状基板配置在正确的位置，而且，不能准确地确认运送时玻璃板的移动路径及弯曲量，因此，还会担心薄板状基板与盒和其他机构等接触而破损。

发明内容

为此，本发明其目的在于提供一种运送装置及运送系统，其设置在规定的清洁环境下，即使在克服重力把大型薄板状基板在高度方向移送的情况下，也不需像现有那么大的力且能够稳定地动作。

另外，本发明其目的在于提供一种即使机器人自身产生弯曲也能够准确地运送薄板状基板的运送装置及其运送控制方法。

还有，本发明其目的在于提供一种能够在运送动作中验证是否将薄板状基板保持在正确的基准位置，算出其偏移量，以矫正运送路径的运送装置及其运送控制方法。

本发明，在直立的一对直立支撑体之间设置能够升降的水平支撑台部，在水平支撑台部上放置配备水平转动臂的机器人。另外，还可以采用在水平支撑台部上设置倾斜调整机构、可以调整机器人的倾斜角的构成。

本发明的运送装置的1个实施方式，是设置在规定的清洁环境下、把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的薄板状基板的运送装置，其特征在于：具备间隔开直立的一对直立支撑体、由一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部、使水平支撑台部上下方向升降的升降驱动装置和放置在水平支撑台部、具有举起并移送薄板状基板的水平转动臂的机器人，上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板。

根据该实施方式，机器人由2个直立支撑体支撑，沿直立支撑体上下升降，因此，在比较高的位置也能够进行稳定的升降动作。另外，即使在当前位置等位置，使机器人上升的负载也相同。另外，根据该实施方式，将一对直立支撑体的隔开间隔设定为薄板状基板的宽度以上的大小，从而，能够从一对直立支撑体之间取出薄板状基板并移送。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：水平支撑台部，具备倾斜调整装置，以使放置在该水平支撑台部的机器人相对于水平面的角度发生变化。根据该实施方式，在设置机器人的水平支撑台部设置倾斜装置可使机器人整体的倾斜稍微变化，从而，能够变化机器人的倾斜角度。例如，利用凸轮稍微升高或降下支撑机器人的台的1点或2点、或一边，从而，能够调整倾斜。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：具备弯曲矫正装置，矫正设置在举起并移送薄板状基板的转动臂前端的手端操作装置的弯曲量和转动臂的竖直方向的弯曲量。根据该实施方式，能够矫正随着薄板状基板变大、转动臂的移动量变大而产生的弯曲量，准确地保持薄板状基板并准确且安全地运送到目的位置。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：弯曲矫正装置矫正在利用手端操作装置举起薄板状基板的状态下产生的弯曲量。该实施方式中，随着是否保持薄板状基板而产生不同的弯曲量，与之相对应地进行矫正控制。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：弯曲矫正装置，具备弯曲存储装置，存储随着设置在转动臂或手端操作装置上的基准点的移动而产生的多个测定点的竖直方向的弯曲量，每当基准点移动到测定点，由弯曲存储装置读取与当前位置对应的弯曲量，并矫正该弯曲量。根据该实施方式，能够与随着转动臂的移动程度而不同的弯曲量相对应地分时进行矫正控制。从而，能够进行更高效率的运送动作。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：弯曲存储装置存储只由自重产生的弯曲量和保持薄板状基板时的弯曲量双方，在只有自重的情况和保持运送物的情况下变更矫正量。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：矫正装置，具备控制升降驱动装置的矫正控制装置，通过控制升降驱动装置、与弯曲量相对应地使水平支撑台部上升或下降从而矫正弯曲量。该实施方式中，与弯曲量相对应地调整放置机器人的水平支撑台部的高度，从而，进行弯曲量的矫正。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：矫正装置，具备控制倾斜调整装置的矫正控制装置，利用调整装置使放置水平支撑台部上的机器人倾斜，从而，使手端操作装置及转动臂的位置上升或下降，矫正弯曲量。该实施方式，是在水平支撑台部上使机器人倾斜，从而，使手端操作装置的端部位置上升，矫正弯曲量。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：矫正装置，具备控制升降驱动装置及倾斜装置的矫正控制装置，与弯曲量相对应地，升降水平支撑台部及/或使倾斜调整装置倾斜，从而，矫正弯曲量。该实施方式，能够进行由于水平支撑台部的高度方向调整、机器人的倾斜调整双方的控制而产生的弯曲量的矫正。从而，能够适当且有效地移送薄板状基板。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：还具备保持位置确认装置和偏移矫正装置，保持位置确认装置具备检测由手端操作装置保持的检测薄板状基板通过的保持位置传感器、根据保持位置传感器的检测信号算出规定的基准位置与保持位置的偏移量的算出装置，偏移矫正装置根据算出的偏移量矫正保持位置的偏移量。根据该方式，能够防止由于保持位置的偏移而产生的运送位置的偏移而准确地运送。另外，还能够防止由于保持位置偏移而在运送时与其他部分接触等事故。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：保持位置确认装置，算出从规定的基准位置向X轴方向的偏移、向Y轴方向的偏移、还有向旋转方向的偏移量，偏移矫正装置使手端操作装置向抵消算出的偏移量的方向移动而矫正偏移量。根据该方式，能够矫正X轴方向、Y方向、旋转方向的所有方向的保持位置的偏移。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：还具备使一对直立支撑台部水平移动的移动装置。根据该实施方式，通过采用能够水平移动放置有机器人的水平支撑台部的构成，从而，机器人能够被移送到水平方向及竖直方向的任意方向。从而，能够把机器人移动到规定的空间内的自由位置。

本发明的运送装置的其他实施方式，其特征在于：具备在将间隔开设置的一对直立支撑体维持平行的状态下结合并固定该一对直立支撑体顶部的梁部。该实施方式中，利用梁部加强直立支撑体的固定位置。

本发明的运送装置的运送控制方法的第1实施方式，是一种设置在规定的清洁环境下、把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的运送装置的运送控制方法，其特征在于：上述运送装置具备：间隔开直立的一对直立支撑体；由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂和手端操作装置的机器人，上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板；上述运送装置的运送控制方法包括(a)根据转动臂或手端操作装置的存取位置的位置信息，算出横向移动量、竖直方向的移动量及转动臂及手端操作装置的驱动数据的工序；(b)与算出的横向及竖直方向的移动量相对应地移送机器人、根据驱动数据驱动转动臂及手端操作装置的工序；(c)从规定的存储装置读取伸长转动臂及手端操作装置时的弯曲量数据；(d)根据弯曲量数据算出矫正该弯曲量的矫正数据的工序；(e)根据矫正数据、控制竖直方向的移动量以使调整竖直方向的移动量矫正弯曲量的工序。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：取代工序(e)而包括根据矫正数据调整机器人的倾斜角度从而矫正弯曲量的工序。该方式，通过调整机器人的高度从而进行矫正了弯曲量的运送。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：取代工序(e)而包括根据矫正数据调整竖直方向的移动量及/或上述机器人的倾斜角度从而矫正弯曲量的工序。该方式，通过变化机器人的倾斜角从而变化手端操作装置的端部的位置，进行弯曲量的矫正。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：在工序(c)中，读取多个移动地点的弯曲量，在工序(d)算出每个移动地点的矫正数据。该方式，采用机器人高度的调整及倾斜角的调整双方或任意一个进行弯曲量的矫正。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：工序(c)是从存储装置读取与是否保持薄板状基板相对应的弯曲量的工序。该方式，根据手端操作装置保持薄板状基板的情况与不保持的情况而变化弯曲量矫正量。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：取代上述工序(d)，而工序(c)中，从存储装置读取对应于弯曲量而预先算出的矫正量，根据该读取的矫正量施行工序(e)的处理。该方式中，预先算出与各移动位置对应的弯曲量的矫正数据，读取其矫正数据，进行弯曲量的矫正。从而，不必在移动时算出矫正数据，减轻控制部的负担，能够进行高速处理。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：还包括(h)确认由手端操作装置保持的薄板状基板的保持位置的工序；(i)比较保持位置和规定的基准位置、算出其偏移量的工序；(j)进行动作控制以矫正算出的偏移量的工序。

本发明的运送装置的运送控制方法的其他实施方式，其特征在于：工序(i)包括算出从基准位置向X轴方向的偏移、向Y轴方向偏移、还有向旋转方向的偏移的工序，工序(j)包括为了矫正工序(i)中算出的各方向的偏移而进行动作控制的工序。

发明的效果

根据本发明，把具备转动臂、能够向X轴及Y轴方向(水平面)准确地运送薄板状基板的机器人，放置在能够上下驱动的支撑台上。支撑台，由2根塔支撑能够上下活动。像这样由2根榙支撑支撑台，因此，可使支撑台以几m单位高速地上下活动，即使在支撑台上设置了机器人的状态高速地在水平方向动作，也能够稳定地动作。

从而，能够将有比较大重量的大的薄板状基板在上下方向及纵横方向，稳定且高速地运送(移送)比较长的距离(几m)。另外，能够对应于薄板状基板与手端操作装置的弯曲量等而调整机器人的倾斜角，因此，能够准确地运送。还有，能够形成验证由手端操作装置保持的薄板状基板的保持位置是否在规定的基准值内、在发生偏移时进行矫正这样的构成，因此，能够更准确且安全地运送。另外，形成吸引从机器人及可动部发生的尘埃并经由通风管排出到清洁环境外的构成，从而，能够保证规定的清洁环境。

附图说明

图1是具备本发明的运送装置的一实施方式的薄板制造系统的俯视图。

图2是图1所示的运送装置10的斜视图。

图3是图1的A-A’线的剖视图。

图4A是表示塔(直立支撑构件)的升降机构的实施例的侧视图。

图4B是图4A所示的B-B’线方向的剖视图。

图5是表示设置在塔上的升降机构的其他实施例的运送装置的侧视图。

图6是表示机器人及其手端操作装置的可能动作范围(方向)的图。

图7A是表示倾斜调整装置的一实施例的侧视图。

图7B是表示倾斜调整装置的一实施例的侧视图。

图7C是表示倾斜调整装置的一实施例的侧视图。

图8是表示其他实施方式的倾斜调整装置的侧视图。

图9是概念性表示其他实施方式的倾斜调整装置的模式图。

图10A是表示在伸展转动臂的过程中、手端操作装置上的规定的测定点(基准点)从测定地点A移动到J地点时的弯曲量的弯曲曲线D的图。

图10B是表示弯曲曲线和用以矫正弯曲的补偿曲线的图。

图11是表示进行水平方向、竖直方向移送控制的本发明的运送装置的一实施方式的功能框图。

图12A是表示由转动臂产生的手端操作装置17的最大移送距离的图。

图12B是表示在不进行弯曲量的矫正的情况下、将手端操作装置17插入规定的收纳容器中的情况的图。

图12C是表示利用倾斜调整部矫正弯曲量的情况的图。

图13是用以表示由机器人运送的薄板状基板的运送位置的俯视图。

图14是表示本发明的实施方式1的具备保持位置确认装置的运送装置的斜视图。

图15是表示以机器人的旋转中心为原点的X-Y平面(水平面)上的由手端操作装置保持的玻璃板的保持位置(示范位置)的图。

图16是表示保持位置在X轴方向偏移时与示范位置的偏移的模式图。

图17是表示保持位置向Y轴方向偏移时与示范位置的偏移的模式图。

图18是表示保持位置在X轴方向及Y轴方向平行移动及在旋转方向偏移时与示范位置的位置关系的模式图。

图19是表示从图18的状态向示范位置只旋转角度α的状态的图。

图20是表示设有2个位置确认传感器时的示范位置的图。

图21是说明在设有2个位置确认传感器时、根据其测定值算出距示范位置的旋转方向偏移的方法的图。

图22是用以说明防止由尘埃造成的清洁环境污染的一实施方式的部分斜视图。

图中：10-运送装置，11-移动台，12-塔(直立支撑体)，13-水平支撑台部，14-运送机器人，16-转动臂，17-手端操作装置，27-升降用马达，30-倾斜机构(倾斜调整装置)，40-基台部，41-移动台，42-轨道，50-载物台，60-处理装置，77-上下驱动装置，80-排气管，81a～81f-转动轴，82a～82e-排气管道，110-位置确认传感器。

具体实施方式

关于用以实施发明的最佳方式，参照附图进行以下详细说明。以下的说明中，作为薄板状基板假定为运送约边长2m的四方玻璃板的情况而进行说明。另外，本发明的运送装置为运送用以制成半导体集成电路的薄板状构件的装置，因此，尽管与所谓的无尘室相比较清洁度低，但是在一定的清洁环境下可以工作。从而，本申请发明的运送装置是具备抑制尘埃的发生等、用以在清洁环境下工作的规定要件的运送装置，其性质与通常的起重装置、仓库等中的升降机等运送装置完全不同。

图1表示具备本发明的运送装置的一实施方式的半导体集成电路用薄板制造系统的俯视图。薄板制造系统，具备运送装置10、设置在运送装置10前的载物台50、设置在其后方的处理装置60。图2是与图1及图3所示的运送装置10只有水平支撑台部的结构不同的其他实施方式的运送装置的斜视图。图3是图1的A-A’线方向的剖视图。载物台50上放置有收纳玻璃板53的盒51及空盒52。

运送装置10从盒51取出玻璃板53(图3)，移送到后方的处理装置60。在处理装置60，按照规定的目的对玻璃板进行加工处理。结束了处理的玻璃板53由运送装置10取出并移送到空的盒52中。盒51、52，经由AGV(Automotive Ground Vehicle)等运送并放置在载物台的规定部位或运出去。

运送装置10具备基台部40、直立的一对塔(直立支撑体)12、能够上下升降地支撑在一对塔12上的水平支撑台部13、放置并固定在水平支撑台部13上的机器人14。基台部40具备左右延伸的3条轨道42和能够在轨道42上左右(X轴方向)移动地设置的移动台11。

一对塔12设置在移动台41上，沿轨道42左右方向(X轴方向)能够水平移动。一对塔12的间隔成为薄板状基板能够进出这样程度的开口，塔12的高度由所要运入运送的玻璃基板收纳用盒的高度和基板处理装置的高度决定。另外，一对塔12，优选是由横跨其顶部的梁进行结合、强化而形成门形。

一对塔12上设有水平支撑台部13。水平支撑台部13由一对塔12悬臂(单侧)支撑以使其向处理装置60的方向突出，成为能够沿塔12升降的结构。水平支撑台部13的作为台部的水平面，优选是为必要最小限的大小，形成棋盘状或多孔板状。若作为运送对象的薄板状基板上附着尘埃则有效利用率(成品率)降低，因而薄板状基板需要高清洁的生产环境，因而，优选是尽量减少升降时的空气的搅乱以使不会搅乱工厂内的空气。

水平支撑台部13上放置并固定机器人14。机器人14具备能够以节为轴转动的2个转动臂16，在各转动臂16的端部设有移送玻璃板53的手端操作装置17。

从盒51取出玻璃板57之际，将固定一对塔12的移动台41在水平方向(X轴方向)移动，将水平支撑台部13上下(Z方向)升降，从而调整高度，将机器人14移动到收纳玻璃基板的盒51前。从盒51取出玻璃板53时，驱动转动臂6、把手端操作装置插入盒51内，使水平支撑台部13上升规定量(稍微)，掏取玻璃基板53。

其后，把手端操作装置17拉向机器人14的主体一方(Y轴方向)，使机器人14旋转180度，同时，使移动台41及水平支撑台部13在X轴及Z轴方向移动，在处置装置60的正面停止。其后，打开门61伸展臂16、把手端操作装置17插入装置60内、放置玻璃基板53。若玻璃基板53的处理结束，则由手端操作装置17从处理装置取出，收纳在另一个盒内52。

本发明所使用的具有转动型臂体的机器人，是臂水平转动的SCARA型机器人、关节部在垂直面内转动或沿臂方向的轴中心转动的关节机器人等。为了进行竖直方向的微调，也可以采用设置在水平支撑台部13的机器人自身也设有升降机构的构成。机器人自身具备升降机构时，具有能够进行Z轴方向微调的优点，不过，除了导致机器人的结构复杂以外，还因为重量重，所以具有水平支撑台部的上升负载大这样的问题点。

另外，本发明所使用的机器人，具有用以放置薄板状基板的手端操作装置17，能够在其上配备吸附机构，另外，其形状可以是众所周知的。另外，优选是除了在关节部施以由磁性流体产生的密封以外，在连接部分全部采用填料垫以使机器人体内的尘埃不会露到外部。

如上所述，一对塔12使放置机器人14的水平支撑台部13在上下方向(Z轴方向)升降。另外，一对塔12固定在移动台41上，在水平方向(X轴方向)移动。还有，在水平支撑台部13上具备倾斜机构(倾斜调整装置)30，经由倾斜调整装置设置机器人14。以下，关于本发明的一实施方式的运送装置的X轴方向的移动装置、Z轴方向的移动装置及倾斜调整装置进行说明。

(X轴方向的移动装置)

利用图1及图3，关于基台部40的结构及固定在基台部的一对塔12向X轴方向的移动进行说明。基台部40上设有能够在3条轨道42上滑动移动的移动台41，在其上固定一对塔12。移动台41上固定着马达19，依靠安装在马达19上的小齿轮和安装在轨道42上的齿条向X轴方向驱动。马达19、齿条及小齿轮可以安装在任意一个轨道42上，不过，优选是安装在中央轨道42上。

作为这种水平移动机构，能够采用水平平行轨道和、齿条与小齿轮方式、索道方式、滚珠丝杠轨道方式、轨道自行方式、空气悬浮方式、磁悬浮方式等众所周知的重物驱动方向。作为该水平移动机构的驱动源，能够使用伺服马达、步进马达、线性马达、利用油压和气压等的流体压缸、其他众所周知的驱动源。

(Z轴方向的移动装置)

一对塔12至少具有支撑设置机器人14的水平支撑台部13的功能、向上下方向(Z轴方向)升降驱动水平支撑台部13的功能。向上下方向的驱动，由确保上下方向的准确移动的导引部和升降驱动部进行。利用图4A及图4B说明具体机构的例子。

图4A，是表示设置在塔(直立支撑构件)12上的升降机构的实施例的侧视图，图4b是图4A所示的B-B’线方向的剖视图。图4A中，升降用马达27经由伞齿轮使连结轴26旋转。连结轴26经由设置在塔12底部的单个伞齿轮使两侧设置在塔12内的滚珠状丝杠25旋转。

丝杠25配合有固定在水平支撑台部13上的丝杠托28。若丝杠25旋转，则对应于其旋转方向，丝杠托28上升或下降。从而，基于丝杠25的旋转经由丝杠托28、水平支撑台部13沿着直线导引24上升或下降。水平支撑台部上13上如上所述设有机器人14，因此，能够调整机器人14的转动臂16及手端操作装置17的高度方向(Z方向)的位置。水平支撑台部13能够在最大高度H至最小高度L的范围内升降。

还有，作为导引部，有使轴承、辊等旋转体沿着基准轨道的辊导引机构、应用了磁相斥力或空气膜的被接触导引机构等。作为升降驱动部，可以采用滚珠丝杠、齿条和小齿轮、滑轮和缠在其上的悬挂绳体和平衡锤、带连杆或无连杆的气动平衡汽缸、各种制动器及其他众所周知的驱动部。

(Z轴方向驱动装置的其他实施例)

图5是表示设置在塔12上的升降机构的其他实施例的运送装置的侧视图。该升降机构中，为了最小地抑制能量，而具有气动平衡汽缸34。在设置于塔12下部的马达29和设置于塔顶附近的链轮32间，缠绕着环状的链33。在链33左面配置气动平衡汽缸34。由直线导引24导向并移动的水平支撑台部13和气动平衡汽缸34的卡盘，由链33结合，对气缸34施加与放有机器人14的水平支撑台部13的重量相称的气压。水平支撑台13能够从最低高度位置L移动到最大高度H。

(机器人的可移送范围)

图6表示机器人14及其手端操作装置17的动作范围。2式的转动臂16及安装在它们前端的手端操作装置17，在一对塔12的右侧部分，能够在设置于打开几乎220度的扇型范围内的处理装置60中进行存取。另外，关于一对塔12的左侧，则通过旋转机器人14从而通过一对塔12间使手端操作装置17能够在手端操作装置17载物台上的盒51及52中进行存取。若使2个手端操作装置17同时动作，则能够使薄板的运送速度提高为2倍。

(倾斜调整装置)

如图3所示，在水平支撑台部13，具备倾斜机构(倾斜调整装置)30，机器人14经由倾斜调整装置设置在水平支撑台部13上。利用倾斜调整机构，能够在角度“T”的范围调整机器人14的倾斜角度。图7A～图7C是表示倾斜调整装置30的一实施例的侧视图。

倾斜调整装置30，由能够转动地安装在水平支撑台部13上固定的折页部35的倾斜台31和倾斜驱动机构构成。倾斜驱动机构具备滚珠状的丝杠36及与丝杠36配合的丝杠托37、正反旋转驱动丝杠36的旋转驱动部45和轴承46。

若旋转驱动部38旋转丝杠36，则丝杠托37对应于丝杠36的旋转方向左右移动。在丝杠托37上安装有滑动折页38，滑动折页沿滑动导引39移动。从而，倾斜台31的左端部上升或下降，倾斜台31的上面角度发生变化。在倾斜台31的上面固定着机器人14，因此，对应于倾斜台31的角度变化，机器人14的水平方向倾斜发生变化。

图7B表示将具有顺时针方向旋转螺纹的丝杠36顺时针方向旋转驱动时的角度变化。若丝杠36顺时针方向旋转，则丝杠托37向左方向移动，倾斜台31左端部上升。图7C，表示逆时针旋转丝杠36时的角度变化。若逆时针方向旋转，则丝杠托37向右方向移动，倾斜台31右端部上升。

(倾斜调整装置的其他实施例)

图8表示其他实施方式的倾斜调整装置。该例中，形成的结构是与折页部72能够转动地连接的倾斜台71的角度，通过驱动凸轮73而变化。

另外，图9表示倾斜调整装置的其他实施方式。该例中，能够在水平面上360度方向变更倾斜角。倾斜台76由固定位置转动轴79、上下驱动装置77、78的3点支撑。固定位置转动轴79在位置固定的状态下能够在水平方向转动360度、在垂直方向转动90度。上下驱动装置77、78，利用油压等驱动装置77a、78a以驱动轴77b、78b上下驱动倾斜台76。从而，由驱动轴的前端部77c、78c上下驱动倾斜台76。固定位置旋转轴79的上下位置被固定，而2点分别能够被自由地上下驱动，因此，能够在包含前后左右的水平方向调整360度方向的倾斜。

(弯曲量的矫正)

本发明的运送装置，运送大型的薄板状基板。从而，机器人14也成为大型，转动臂也重。若伸展转动臂，则能够将手端操作装置中心从机器人中心延长4000mm以上。从而，由于转动臂的自重及薄板状基板的重量而使转动臂弯曲、手端操作装置的前端比本来位置向下方下降。从而，产生的情况是很难从盒等内部的规定位置准确地取出薄板状基板并放置在准确的位置。从而，为了准确且安全地运送薄板状基板，而优选是矫正弯曲量。

图10A所示的图表示在伸展转动臂的过程中、手端操作装置上的规定的测定点(基准点)从测定地点A移动到地点J时的弯曲量的弯曲曲线D。图中的直线S表示没有弯曲时的移动轨迹。弯曲曲线D表示A地点的弯曲量为0、其后逐渐弯曲、在J地点成为最大弯曲量d的例子。

本发明的其他实施方式中，为了准确且确实地将薄板状基板运送到目的位置，而进行矫正该弯曲量的控制。矫正控制是向上方向(Z轴方向)移动以使抵消图10A所示的弯曲量。即，图10A中，沿着以直线S为基准而线对称的图，向上方向驱动水平支撑台部31，从而，进行Z轴方向的矫正以使抵消弯曲量。

不过，图10A的图，是只不过绘出了各测定地点A～J的弯曲量的折线图。从而，由于在各测定地点间与实际的弯曲量存在误差，因而会担心发生在竖直方向产生振动的不合理现象。为此，进行补偿控制以使曲线图成为曲线，根据这个进行矫正处理。从而，转动臂的伸展动作变得顺畅。补偿控制，例如有以下方法，对全部各测定点进行作业等以算出包含前后3点的弯曲量的圆半径，通过施行该处理，从而，获得与折线图近似的曲线。从而，获得图10B所示那样的圆滑的曲线C，沿该曲线，进行Z轴方向的驱动，从而，能够实施顺畅的矫正处理动作。

(运送驱动控制)

图11是本发明的一实施方式的运送控制装置的功能框图。移送控制部120，为了存取薄板状基板、将薄板状基板运送到目的位置，而控制水平方向移动(X轴方向)、上下方向的移动(Z轴方向)、机器人14的倾斜角及机器人14的旋转及转动臂16的动作。Z轴方向的移动通过升降驱动装置121进行，X轴方向的移动通过水平移动装置130进行。从而，机器人14整体被运送到规定的位置。

机器人控制装置135，控制机器人的旋转及转动臂的动作。另外，通过倾斜调整装置125，调整水平支撑台部13的倾斜角。在各移动机构及机器人的各部设置各种传感器138，检测信号被反馈给移动控制部120。

移送控制部120，若接收到表示薄板状基板的存在场所及移动场所的位置数据等运送控制数据，则由位置数据和接收到的位置数据，算出移动方向及移动量。算出的移动量数据被分割成水平方向数据及垂直方向数据，向各自的驱动控制装置输出，根据它驱动水平驱动部131。Z方向的移动量数据向升降驱动装置121的垂直驱动控制部122输出，根据它驱动升降驱动部123。机器人14向X轴方向及Z轴方向的规定位置移动。

机器人控制部136根据来自移送控制装置120的移送数据，驱动臂等驱动部137，进行水平方向的旋转动作及使转动臂16动作。

图11所示的控制装置，还具备弯曲矫正装置140。弯曲矫正装置140，从移送控制部120收取机器人14的当前位置信息、转动臂的动作位置信息，调整手端操作装置17的前端部的高度以进行弯曲量的矫正。弯曲量矫正装置140具备算出矫正弯曲量的矫正量的矫正信息算出部141和存储伸展转动臂16时各测定位置的弯曲量数据的弯曲量信息存储部143。矫正信息算出部141，对应于接收到的位置信息等弯曲量，从信息存储部142读出预先测量的弯曲量(或矫正量)，算出应矫正数据。

算出的矫正数据，向升降驱动部122或倾斜驱动部126输出，通过变化水平支撑台部13升降位置或机器人14的倾斜角度，从而，矫正弯曲量。也可以通过变更水平支撑台部13的驱动及机器人14倾斜角的双方，从而，更准确地矫正弯曲量。

利用图12A～12C，具体说明利用倾斜调整部矫正弯曲量时的例子。图12A是表示由转动臂16产生的手端操作装置17的最大移送距离的图。从把手端操作装置17保持在机器人中心附近这样的状态100，延伸转动臂16将手端操作装置伸出到远处位置的状态101的距离的差(m)为转动臂16的最大移送距离。随着移送距离变长，转动臂16的弯曲量也变大。

图12B是表示在不进行弯曲量的矫正的情况下、将手端操作装置17插入规定的盒51中时的图。此时，只要驱动转动臂16，将手端操作装置17笔直向水平方向伸长，手端操作装置17就能碰到盒51。

图12C是表示利用倾斜调整装置30矫正弯曲量时的图。利用倾斜调整部30稍微升高倾斜角度，从而，转动臂16以规定的倾斜角伸长，因而，手端操作装置17的位置上升，能够不会碰到收纳容器51地进行移送。

(动作确认实验例)

按以下规格制造图2、图4和图13的形状的运送装置，使其实际操作，进行动作确认。还有，图13是用以表示由机器人14进行运送的薄板状基板的运送位置的俯视图。机器人14如图5所示，能够在220°角度运送，不过，也要在4个方向设置处理装置进行动作确认。

塔12在制罐(板金加工)中高度：4250mm、塔外壁间隔：3820mm、塔内壁间隔：2620mm、塔宽：600mm×500mm，机器人侧的角被削掉。

轨道长度：6500mm×3根(轨道间隔830mm和2000mm)，轨道宽度33mm×轨道上面高度220mm。架部3：在塔侧升降梁2700mm上安装宽度400mm×长度1800mm的底。

机器人14为第1臂共通型(所谓的自动返回型)双臂机器人，在距塔中心面1400mm的顶部中央设置机器人躯体中心。机器人高度：880mm、躯体直径：800mm，臂长度＝最小旋转半径：1625mm(关节中心间距离：1450mm)，第1臂开度：130度。从机器人中心轴到臂关节基于带轮和带使手端操作装置直线动作。

倾斜机构：相对于从机器人中心引出的轨道正交线以左右各60度的方向等距离地配置2个带蜗轮马达，360度方向倾斜自由，最大倾斜角度(倾斜调整角度)：±2度。

手端操作装置：全长2310mm，指部宽1260mm(60mm×4根)×长度1800mm。

该运送装置能力，可运送升程：1100mm～3600mm，升降时间：2500mm/3.5秒，水平移动距离2500mm。机器人的旋转角度500度，旋转速度180度/2秒，倾斜速度：±2度/1秒。如图6所示，机器人的单侧臂的最大运送距离为4150mm，能够从机器人中心到4300mm前延伸手端操作装置中心，其速度为4150mm/3秒。机器人14的运入·运出方向为图7的P、Q、R、S4个方向。塔12基于有轨道的水平移动机构5移动，因此，运送目的场所在水平移动距离2730mm的范围内为自由的。

用该运送装置把厚度0.7mm×宽度2000mm×长度2200mm的玻璃板从放置台上的一个盒51(宽度2200mm×深度2400mm×高度1600mm：最下层高度1200mm，最上层2720mm)运出，运送并放置到高度1600mm的处理装置60内的临时放置台上。处理后，打开门61，本发明的机器人14取出玻璃基板8，收纳在另一个盒52中。还有，上述说明中，只示出了设置1个水平支撑台部13的例子，不过，也可以设置多个水平支撑台部13，在各个水平支撑台部放置机器人。

(关于薄板状基板的保持位置偏移的算出及其矫正)

还有，可以在本发明的运送装置中设置像以下那样的保持位置确认装置。首先，如图13所示，在运送装置的规定位置设置能够检测薄板状基板的位置确认传感器110。若利用手端操作装置吸附并保持薄板状基板，则沿着保持的薄板状基板的邻接2边通过位置确认传感器110上面这样的规定圆弧，移送薄板状基板。根据此时的传感器的检测定时及预先已知的薄板状基板的大小及形状，能够判断是否由手端操作装置正确地吸附并保持着薄板状基板。

从而，能够检测手端操作装置上的薄板状基板的位置偏移，由例如控制装置算出位置偏移量。即，通过对比预先设定的示范位置和实际位置规定，从而，能够算出偏移。在此，算出的是距离和角度。其中，要算出偏移的角度而采用多个传感器或用1个传感器多次检测，因而能够获得必要的位置信息。

按照该方法，则具有的优点是只要通过1次至少1个位置确认传感器110上，就能够判断是否正确保持薄板状基板。另外，通过将用于该判断的移送与用于运送的移送路径组合，从而，能够进行更有效的判断。作为传感器，能够采用线传感器、点传感器等，优选是使用众所周知的光学式非接触传感器。

用图14～图21，关于检测由手端操作装置保持薄板状基板的保持位置及矫正保持位置的偏移的装置及方法进行更详细说明。以下例子中，采用作为薄板状基板运送玻璃板的例子进行说明。

图14是表示本发明的具备保持位置确认装置的一例的斜视图。图15～图21是用以关于以机器人的旋转中心为原点的X-Y平面(水平面)上的由手端操作装置保持的玻璃板的保持位置的分析进行说明的图。

图14所示的运送装置具备保持位置确认装置。保持位置确认装置，具备设置在水平支撑台部13上的位置确认传感器和根据从位置确认传感器发出的检测信号算出由手端操作装置保持的位置的偏移的位置运算部。位置运算处理部，能够由微处理机进行运算处理，该微处理机基于由CPU、其他逻辑电路、存储器及控制程序(包含运算程序)等构成的现有技术产生。这种由微处理机进行的运算处理众所周知，因此，关于微处理机的构成，不进行多余的说明。还有，关于运算的方法，后述。

位置确认传感器在上下间隔开设置的水平突出部相互对置地设置发射器和接收器，根据接收器是否接收到来自发射器的光(从发射器向接收器的光路是否隔断)，检测隔断物的存在。从而，利用手端操作装置把从盒内取出的玻璃板向处理装置运送时、或把玻璃板从处理装置返还到盒时的移送路径，是使至少玻璃板的一边横切位置确认传感器的光路，从而，位置确认装置能够检测手端操作装置上的玻璃板的放置位置。

(由保持位置确认装置进行的玻璃位置测定方法)

如图13所示，机器人14能够把从盒51取出的玻璃板至少运送到与盒51相反方向的180度内的任意处理室60。图13中，作为其一例，示出在3方向设置处理室60的例子。若机器人14从盒51取出玻璃板，则玻璃板的至少1边必须沿着隔断位置确认传感器110光路的规定路径移送。图15～图21，表示在规定的基准位置，利用手端操作装置保持玻璃板、使机器人14在水平方向转动动作时的玻璃板的各种检测状态。这些图，是在以机器人的旋转中心为原点的X-Y平面上进行表示，初始位置O(r，0)在X轴上。

保持位置确认装置，能够根据由机器人的控制部得到的手端操作装置的位置信息和由位置确认传感器检测的玻璃基板的检测信息，算出手端操作装置上的玻璃板的位置，算出测定位置和示范位置的偏移量。利用该保持位置确认装置进行测定的，是机器人从初始位置O(r，0)转动到检测出保持位置确认装置的传感器玻璃板周缘位置P1(XP1，YP1)、还有与包含P1的一边呈直角的一边上的位置P2(XP2，YP2)和P3(XP3，YP3)、再有与包含P2、P3的一边呈直角的一边上的位置P4(XP4，YP4)等时的机器人的动作角度(以下，称为测定角度θP1、θP2、θP3、θP4。)(参照图16～图19)。

该测定结果被传送到存储装置进行存储。该存储的测定结果和预先存储在存储装置中的示范位置的信息，适时被传送到算出装置而算出偏移量。还有，根据检测的位置信息的种类和个数等，能够算出向相对于玻璃板的行进方向(图中由Y所示的方向)或由转动臂手端产生的操作装置的行进方向垂直的方向(图中由X所示的方向)的偏移和转动方向(图中由θ所示的旋转方向)的偏移等。以下，叙述根据检测的位置信息进行运算的偏移量算出方法。

<基准保持位置的示范方法>

图15表示在预先设定的基准位置，手端操作装置保持玻璃板时，由位置确认传感器110检测的玻璃板各边的角度和位置(以下称该位置为“示范位置”)。将玻璃板保持在规定的基准位置、使手端操作装置移动到初始位置后，旋转机器人14，测定从初始位置到检测出玻璃板周缘部的位置的角度θQ1。以该结果作为示范角度θQ1，存储在存储装置中。根据该信息由算出装置算出示范位置Q1(XQ1、YQ1)。算出该示范位置Q1(XQ1、YQ1)的算出式如下。其中，r为从机器人的旋转中心到传感器的光轴的距离。

[式1]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{Q1}\\ Y_{Q1}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{Q1}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{Q1}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{Q1}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{Q1}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}r\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

从而，算出示范位置Q1(XQ1、YQ1)。另外，该示范位置Q1(XQ1、YQ1)可以不是测定值，而预先在存储装置设定要求的坐标。

同样，测定Q2、Q3、Q4的角度，算出示范位置。

<X轴方向的偏移量算出方法>

利用图16，说明X轴方向的偏移量的算出方法。图中，实线表示玻璃板的实际保持位置，虚线表示示范位置。图16中，玻璃板从示范位置向X轴正方向偏移并放置在手端操作装置上。相对地转动传感器，测定从初始位置到玻璃板与光轴相交的位置P1(XP1，YP1)的机器人的动作角度(以下称为测定角度θP1)。与上述的示范角度同样，通过测定产生的玻璃板位置P1(XP1，YP1)如以下算出。

[式2]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{P1}\\ Y_{P1}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{P1}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P1}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P1}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{P1}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}r\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

根据这些结果，偏移量(ΔXP1，ΔXP2)如以下算出。

[式3]

$\left(\begin{array}{c}\mathrm{\&Delta;}{X}_{P1}\\ \mathrm{\&Delta;}{Y}_{P1}\end{array}\right)=\left(\begin{array}{c}{X}_{P1}\\ Y_{P1}\end{array}\right)-\left(\begin{array}{c}{X}_{Q1}\\ Y_{Q1}\end{array}\right)$

根据这些偏移量的算出结果，算出|XP1-XQ1|，作为在手端操作装置上玻璃板向X轴方向的偏移量ΔXP1。

<Y轴方向的偏移量算出方法>

利用图17，说明Y轴方向的偏移量的算出方法。图中，实线表示玻璃板的实际保持位置，虚线表示示范位置。图17中，玻璃板从示范位置向Y轴正方向偏移放置在手端操作装置上。与在X轴方向偏移时同样，测定机器人到与包含P1的一边垂直的一边上的点P2(XP2，YP2)的机器人的测定角度θP2。根据该P2(XP2，YP2)，Y轴方向的偏移量如以下算出。

[式4]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{P2}\\ Y_{P2}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{P2}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P2}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P2}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{P2}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}r\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

若示范位置Q2的坐标为(XQ2，YQ2)，则Y轴方向的偏移量ΔY(ΔXP 1，ΔXP2)如以下算出。

[式5]

$\left(\begin{array}{c}\mathrm{\&Delta;}{X}_{P2}\\ \mathrm{\&Delta;}{Y}_{P2}\end{array}\right)=\left(\begin{array}{c}{X}_{P2}\\ Y_{P2}\end{array}\right)-\left(\begin{array}{c}{X}_{Q2}\\ Y_{Q2}\end{array}\right)$

从而，算出Y轴方向的偏移量ΔY的|YP2-YQ2|。

<旋转方向的偏移量算出方法>

利用图18，说明在旋转方向具有偏移量时的偏移量算出方法。与图16、图17同样，实线表示玻璃板的实际保持位置，虚线表示示范位置。图18，表示实线所示的玻璃板与处于示范位置的玻璃板比较向X及Y轴方向平行移动及在旋转方向有偏移的情况。算出该旋转方向的偏移量的方法，如上所述，除了玻璃板周缘一边上的点P1、P2以外，还测定到检测出与P2同一边上的P3(XP3，YP3)的测定角度θP3，与P1、P2同样，算出坐标。

[式6]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{P3}\\ Y_{P3}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{P3}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P3}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P3}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{P3}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}r\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

从而，算出P3(XP3，YP3)。

包含该测定位置P3(XP3，YP3)的一边，相对于包含示范位置Q3(XQ3，YQ3)的一边产生旋转偏移，其偏移量为α。该偏移量α为从P2向P3的矢量P2P3和从Q2向Q3的矢量Q2Q3所形成的角度，因而如以下算出。

[式7]

$\stackrel{\&RightArrow;}{P2P3}\&CenterDot;\stackrel{\&RightArrow;}{Q2Q3}=\left|\stackrel{\&RightArrow;}{P2P3}\right|\left|\stackrel{\&RightArrow;}{Q2Q}3\right|\&times;\mathrm{Cos\&alpha;}$

[式8]

$\mathrm{\&alpha;}={\mathrm{Cos}}^{-1}\left(\frac{(X_{P3}-X_{P2})(X_{Q3}-X_{Q2})+(Y_{P3}-Y_{P3})(Y_{Q3}-Y_{Q2})}{\sqrt{{(X_{P3}-X_{P2})}^2{(X_{Q3}-X_{Q2})}^2+{(Y_{P3}-Y_{P2})}^2{(Y_{Q3}-Y_{Q2})}^2}}\right)$

从而，算出偏移量α。

<偏移量的矫正方法>

如图16所示，玻璃板在X轴方向偏移时，相对于虚线所示的玻璃板的示范位置，实线所示的测定位置向图中右侧只偏移ΔX。在本申请发明的运送装置中从预先示范的放置玻璃板的位置向图中左侧只偏移ΔX而放置，因而能够矫正偏移。

如图17所示在Y轴方向有偏移时也同样，相对于从示范位置偏移的方向旋转在相反侧，因而可矫正偏移。

在旋转方向有偏移时，图19中实验玻璃板坐标，只转动机器人旋转方向的偏移量α。测定位置P1、P2分别移动到P4、P5。此时P4、P5的坐标由下式算出。

[式9]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{P4}\\ Y_{P4}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}\mathrm{Cos\&alpha;}& -\mathrm{Sin\&alpha;}\\ \mathrm{Sin\&alpha;}& \mathrm{Cos\&alpha;}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{X}_{P1}\\ Y_{P1}\end{array}\right)\end{array}$

[式10]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{P5}\\ Y_{P5}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}\mathrm{Cos\&alpha;}& -\mathrm{Sin\&alpha;}\\ \mathrm{Sin\&alpha;}& \mathrm{Cos\&alpha;}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{X}_{P2}\\ Y_{P2}\end{array}\right)\end{array}$

从而，能够算出P4、P5的坐标(XP4，YP4)、(XP5，YP5)。不过，旋转偏移能够矫正，而不能矫正X轴方向和Y轴方向的位置偏移。该X轴方向的偏移，是比较P4和Q1的X坐标值，Y轴方向的偏移是比较P5和Q2的Y坐标值，分别算出偏移量。根据该算出的偏移量，矫正用以放置玻璃基板的示范位置。本发明的运送装置中，X轴方向的偏移能够矫正移动台41的示范位置，Y轴方向的偏移通过伸长转动臂16而能够矫正，旋转方向的偏移如上所述通过机器人的转动而能够矫正。

图13～图19中，关于具备1个传感器的情况进行上述叙述，不过，与其相对地，图20所示的运送装置具备2个保持位置确认装置。保持位置确认装置，距机器人的旋转中心不同距离地具备上述位置确认传感器。如上所述，由位置运算部算出手端操作装置17的保持位置的偏移。还有，以下说明中，第2个传感器，比上述的传感器靠外侧设置，以坐标V(x，x)表示其示范位置。

<示范方法>

与上述同样，表示在手端操作装置把玻璃板保持在预先设定的基准位置时，由各位置确认传感器110检测的玻璃板各边的角度和位置。将玻璃板保持在规定的基准位置，使手端操作装置移动到初始位置后，旋转机器人14，测定从初始位置到检测出玻璃板周缘部的位置的角度θQ1θV1。

以该结果作为示范角度θQ1θV1，存储在存储装置中。根据该信息由算出装置算出示范位置Q1(XQ1、YQ1)V1(XV1，YV1)。算出该示范位置Q1(XQ1、YQ1)的算出式与上述式(2)同样，算出该示范位置V1(V1、YV1)的算出式如下。其中，r1、r2为从机器人的旋转中心到传感器的光轴的距离。

[式11]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{Q1}\\ Y_{Q1}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{Q1}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{Q1}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{Q1}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{Q1}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{r}_1\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

[式12]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{V1}\\ Y_{V1}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{V1}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{V1}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{V1}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{V1}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{r}_2\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

从而，算出示范位置Q1(XQ1、YQ1)V1(XV1，YV1)。另外，该示范位置Q1(XQ1、YQ1)V1(XV1，YV1)可以不是测定值，而预先在存储装置设定要求的坐标。

同样，测定Q2、Q3、Q4、V1、V2、V3、V4的角度，算出示范位置。还有，X轴方向的偏移量算出可以如上所述由各传感器进行。

在此，参照图21对具备2个传感器时、由其测定值算出距示范位置的旋转方向偏移的方法进行说明。图中，实线表示玻璃板的实际保持位置，虚线表示示范位置。图21中，玻璃板的中心点从示范位置偏移到坐标U，还有，以坐标U为中心逆时针旋转地偏移而放置在手端操作装置上。相对地转动各传感器，从初始位置到玻璃板与光轴相交的位置P1(XP1，YP1)W1(XW1，YW1)的机器人的动作角度(以下称为测定角度θP1θW1)。与上述的示范角度同样，由测定产生的玻璃板的位置P1(XP1，YP1)W1(XW1，YW1)如以下算出。

[式13]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{P1}\\ Y_{P1}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{P1}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P1}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{P1}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{P1}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{r}_1\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

[式14]

$\left(\begin{array}{c}{X}_{W1}\\ Y_{W1}\end{array}\right)=\begin{array}{c}\left(\begin{array}{cc}{\mathrm{Cos\&theta;}}_{W1}& -\mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{W1}\\ \mathrm{Sin}{\mathrm{\&theta;}}_{W1}& \mathrm{Cos}{\mathrm{\&theta;}}_{W1}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{r}_2\\ 0\end{array}\right)\end{array}$

根据由以下测定值算出的坐标结果，旋转方向的偏移量如以下算出。包含该测定位置P1(XP1，YP1)W1(XW1，YW1)的一边，相对于包含示范位置Q1(XQ1，YQ1)V1(XV1，YV1)的一边产生旋转偏移，其偏移量为β。该偏移量β为从P1向W1的矢量P1W1和从Q1向V1的矢量Q1V1所形成的角度，因而如以下算出。

[式15]

$\stackrel{\&RightArrow;}{P1W1}\&CenterDot;\stackrel{\&RightArrow;}{Q1V1}=\left|\stackrel{\&RightArrow;}{P1W1}\right|\left|\stackrel{\&RightArrow;}{Q1V1}\right|\&times;\mathrm{Cos\&alpha;}$

[式16]

$\mathrm{\&beta;}={\mathrm{Cos}}^{-1}\left(\frac{(X_{w1}-X_{P1})(X_{v1}-X_{Q1})+(Y_{w1}-Y_{P1})(Y_{v1}-Y_{Q1})}{\sqrt{{(X_{w1}-X_{P1})}^2{(X_{v1}-X_{Q1})}^2+{(Y_{w1}-Y_{P1})}^2{(Y_{v1}-Y_{Q1})}^2}}\right)$

从而，算出偏移量β。

以下，位置偏移矫正方法，能够将上述的α与β置换。

(尘埃的处理)

如上所述，本发明是在清洁环境下操作的薄板状基板的运送装置。从而，在进行运送动作时，优选是有防止尘埃的措施。首先，很重要的一点是尽量不发生尘埃。不过，只要有可动部分，由于部件的滑动等而不能使尘埃的发生为零。为此，优选是采用从运送装置的各发生尘埃部分取出尘埃向外部排出的构成。

图22是用以说明为了防止由于尘埃而污染清洁环境的一实施方式的部分斜视图。放置在支撑台部13上的机器人14(参照图3)中发生的尘埃，经由与机器人14的各尘埃发生源连接的排气管80汇集在排气管道82a。

排气管道82a，与排气管道82b连接，还有，经由贯通直立支撑体12及移动台41内部的排气管83、排气管道82c、82d及82e，连接到清洁环境外(外部)。这些排气管道82内被向外侧吸引，排气管道82内的空气或气体介质被排出到清洁环境外。另外，优选是在排气管80及排气管道82内收纳各种电线。

排气管道82a由转动轴部81a转动自由地轴支承在支撑台部13上，还有，经由能够转动的转动节81b与排气管道82b连接。另外，排气管道82b由转动轴81c轴支承在直立支撑体12上。从而，即使水平支撑台部13上下动，排气管道82a、82b也能够基于转动轴81a、81c及转动节81b的转动动作，随着水平支撑台部13的动作而移动。从而，转动节81等不会比水平支撑台部13靠上方，因此，转动节81等和水平台及机器人14不会碰到，另外，地板等上也不会接触配线。

同样地，排气管道82c也经由转动轴部81d与移动台41连接，还有，经由转动节81e与排气管道82d连接。排气管道82d经由设置于的滑动构件84上的转动轴81f与管道82e连接，滑动构件84在轨道42上滑动。这样，与滑动部84滑动的同时，转动轴81d、81f及转动节81e自由转动，因此，即使移动台41横向滑动移动，排气管道82c、82e、82d也能够随着其动作，将尘埃排出到外部。

图22中只示出了排出从机器人14产生的尘埃的例子，不过，优选是采用随着支撑台部13的上下滑动动作而产生的尘埃、随着移动台部41及滑动部84的横向滑动移动而产生的尘埃也汇集在排气管道82a～82e并排出的构成。

(其他实施方式)

另外，上述说明中，关于Y轴方向的运送装置没有说明。不过，本发明的运送装置，为了运送大型薄板(2m×2m玻璃板等)，而很多时候是运送前的多个盒间距离和多个处理装置间的距离等很长，为此优选是设置水平移动机构。作为机器人14的水平移动机构的具体例子，能够采用水平平行轨道和齿条与小齿轮方式、索道方式、滚珠丝杠轨道方式、轨道自行方式、空气悬浮方式、磁悬浮方式等众所周知的重物驱动方向。作为该水平移动机构的驱动源，能够使用伺服马达、步进马达、线性马达等。

Claims (22)

1.一种运送装置，是设置在规定的清洁环境下，把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的薄板状基板的运送装置，其特征在于，具备：

间隔开直立的一对直立支撑体；

由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；

使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和

放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂的机器人，

上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板。

2.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于：上述水平支撑台部具备倾斜调整装置，以使放置在该水平支撑台部的上述机器人相对于水平面的角度变化。

3.根据权利要求2所述的运送装置，其特征在于：具备弯曲矫正装置，该弯曲矫正装置矫正设置在举起并移送上述薄板状基板的上述转动臂前端的手端操作装置的弯曲量、和上述转动臂的竖直方向的弯曲量。

4.根据权利要求3所述的运送装置，其特征在于：上述弯曲矫正装置矫正在利用上述手端操作装置举起上述薄板状基板的状态下的上述两弯曲量。

5.根据权利要求4所述的运送装置，其特征在于：上述弯曲矫正装置具备弯曲存储装置，该弯曲存储装置存储随着设置在上述臂上或上述手端操作装置上的基准点的移动而产生的多个测定点的竖直方向的弯曲量，每当上述基准点移动到上述测定点，从上述弯曲存储装置读取与当前位置对应的弯曲量，矫正该弯曲量。

6.根据权利要求5所述的运送装置，其特征在于：上述弯曲存储装置存储有只由自重产生的弯曲量和保持上述薄板状基板时的弯曲量双方，在只有自重的情况下和保持上述薄板状基板的情况下变更矫正量。

7.根据权利要求3～6中任意一项所述的运送装置，其特征在于：上述弯曲矫正装置具备控制上述升降驱动装置的矫正控制装置，通过控制上述升降驱动装置使上述水平支撑台部与上述弯曲量相对应地上升或下降从而矫正上述弯曲量。

8.根据权利要求3～6中任意一项所述的运送装置，其特征在于：上述矫正装置具备控制上述倾斜调整装置的矫正控制装置，利用上述调整装置使放置在上述水平支撑台部上的上述机器人倾斜，而使上述手端操作装置及上述转动臂的位置上升或下降，矫正上述弯曲量。

9.根据权利要求3～6中任意一项所述的运送装置，其特征在于：上述矫正装置具备控制上述升降驱动装置及上述倾斜装置的矫正控制装置，与上述弯曲量相对应地升降上述水平支撑台部及/或使上述倾斜调整装置倾斜，而矫正上述弯曲量。

10.根据权利要求1～6中任意一项所述的运送装置，其特征在于：还具备保持位置确认装置和偏移矫正装置，

上述保持位置确认装置具备检测由上述手端操作装置保持的检测薄板状基板通过的保持位置传感器、和根据上述保持位置传感器的检测信号算出规定的基准位置与保持位置的偏移量的算出装置，

上述偏移矫正装置根据上述算出的偏移量矫正保持位置的偏移量。

11.根据权利要求10所述的运送装置，其特征在于：上述保持位置确认装置，算出从规定的基准位置向X轴方向的偏移、向Y轴方向的偏移、还有向旋转方向的偏移量，

上述偏移矫正装置使上述手端操作装置向抵消算出的偏移量的方向移动而矫正偏移量。

12.根据权利要求1～6中任意一项所述的运送装置，其特征在于：还具备使上述一对直立支撑台部水平移动的移动装置。

13.根据权利要求1～6中任意一项所述的运送装置，其特征在于：具备在将间隔开设置的上述一对直立支撑体维持平行的状态下结合固定该一对直立支撑体顶部的梁部。

14.一种运送装置的运送控制方法，是一种设置在规定的清洁环境下，把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的运送装置的运送控制方法，其特征在于，

上述运送装置具备：

间隔开直立的一对直立支撑体；

由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；

使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和

放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂和手端操作装置的机器人，

上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板；

上述运送装置的运送控制方法包括：

(a)根据上述转动臂或上述手端操作装置的存取位置的位置信息，算出横向移动量、竖直方向的移动量及上述转动臂及上述手端操作装置的驱动数据的工序；

(b)与算出的上述横向及竖直方向的移动量相对应地移送机器人、根据上述驱动数据驱动转动臂及手端操作装置的工序；

(c)从规定的存储装置读取伸长上述转动臂及手端操作装置时的弯曲量数据；

(d)根据上述弯曲量数据算出矫正该弯曲量的矫正数据的工序；

(e)根据上述矫正数据，控制上述竖直方向的移动量以调整上述竖直方向的移动量，而矫正上述弯曲量的工序。

15.一种运送装置的运送控制方法，是一种设置在规定的清洁环境下，把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的运送装置的运送控制方法，其特征在于：

上述运送装置具备：

间隔开直立的一对直立支撑体；

由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；

使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和

放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂和手端操作装置的机器人，

上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板；

上述运送装置的运送控制方法包括：

(a)根据上述转动臂或上述手端操作装置的存取位置的位置信息，算出横向移动量、竖直方向的移动量及上述转动臂及上述手端操作装置的驱动数据的工序；

(b)与算出的上述横向及竖直方向的移动量相对应地移送机器人、根据上述驱动数据驱动转动臂及手端操作装置的工序；

(c)从规定的存储装置读取伸长上述转动臂及手端操作装置时的弯曲量数据；

(d)根据上述弯曲量数据算出矫正该弯曲量的矫正数据的工序；

(e)根据上述矫正数据改变相对于上述水平支持台部的水平面的角度调整上述机器人的倾斜角度，而矫正上述弯曲量。

16.一种运送装置的运送控制方法，是一种设置在规定的清洁环境下，把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的运送装置的运送控制方法，其特征在于：

上述运送装置具备：

间隔开直立的一对直立支撑体；

由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；

使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和

放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂和手端操作装置的机器人，

上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板；

上述运送装置的运送控制方法包括：

(a)根据上述转动臂或上述手端操作装置的存取位置的位置信息，算出横向移动量、竖直方向的移动量及上述转动臂及上述手端操作装置的驱动数据的工序；

(b)与算出的上述横向及竖直方向的移动量相对应地移送机器人、根据上述驱动数据驱动转动臂及手端操作装置的工序；

(c)从规定的存储装置读取伸长上述转动臂及手端操作装置时的弯曲量数据；

(d)根据上述弯曲量数据算出矫正该弯曲量的矫正数据的工序；

(e)根据上述矫正数据调整上述竖直方向的移动量及上述机器人的倾斜角度，而矫正上述弯曲量。

17.根据权利要求14～16中任意一项所述的运送装置的运送控制方法，其特征在于：在上述工序(c)中，读取多个移动地点的弯曲量，在上述工序(d)算出每个移动地点的矫正数据。

18.根据权利要求17所述的运送装置的运送控制方法，其特征在于：上述工序(c)是从上述存储装置读取与是否保持上述薄板状基板相对应的弯曲量的工序。

19.一种运送装置的运送控制方法，是一种设置在规定的清洁环境下，把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的运送装置的运送控制方法，其特征在于，

上述运送装置具备：

间隔开直立的一对直立支撑体；

由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；

使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和

放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂和手端操作装置的机器人，

上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板；

上述运送装置的运送控制方法包括：

(a)根据上述转动臂或上述手端操作装置的存取位置的位置信息，算出横向移动量、竖直方向的移动量及上述转动臂及上述手端操作装置的驱动数据的工序；

(b)与算出的上述横向及竖直方向的移动量相对应地移送机器人、根据上述驱动数据驱动转动臂及手端操作装置的工序；

(c)从规定的存储装置读取伸长上述转动臂及手端操作装置时的弯曲量数据；

(e)根据上述矫正数据，控制上述竖直方向的移动量以调整上述竖直方向的移动量，而矫正上述弯曲量的工序，

并且，在上述工序(c)中，从上述存储装置读取对应于上述弯曲量而预先算出的矫正量，根据该读取的上述矫正量施行上述工序(e)的处理。

20.一种运送装置的运送控制方法，是一种设置在规定的清洁环境下，把大型的薄板状基板从规定的取出位置运送到其他处理位置的运送装置的运送控制方法，其特征在于：

上述运送装置具备：

间隔开直立的一对直立支撑体；

由上述一对直立支撑体能够升降地悬臂支撑的至少一个水平支撑台部；

使上述水平支撑台部沿上下方向升降的升降驱动装置；和

放置在上述水平支撑台部上，具有举起并移送上述薄板状基板的水平转动臂和手端操作装置的机器人，

上述机器人能够进行存取，以驱动上述水平转动臂从上述一对直立支撑体之间取出或返回上述薄板状基板；

上述运送装置的运送控制方法包括：

(a)根据上述转动臂或上述手端操作装置的存取位置的位置信息，算出横向移动量、竖直方向的移动量及上述转动臂及上述手端操作装置的驱动数据的工序；

(b)与算出的上述横向及竖直方向的移动量相对应地移送机器人、根据上述驱动数据驱动转动臂及手端操作装置的工序；

(c)从规定的存储装置读取伸长上述转动臂及手端操作装置时的弯曲量数据；

(e)根据上述矫正数据改变相对于上述水平支持台部的水平面的角度调整上述机器人的倾斜角度，而矫正上述弯曲量，

并且，在上述工序(c)中，从上述存储装置读取对应于上述弯曲量而预先算出的矫正量，根据该读取的上述矫正量施行上述工序(e)的处理。

21.根据权利要求14～18中任意一项所述的运送装置的运送控制方法，其特征在于：还包括：

(h)确认由上述手端操作装置保持的上述薄板状基板的保持位置的工序；

(i)比较上述保持位置和规定的基准保持位置，算出其偏移量的工序；

(j)进行动作控制以矫正算出的上述偏移量的工序。

22.根据权利要求21所述的运送装置的运送控制方法，其特征在于：

工序(i)包括算出从规定的基准保持位置向X轴方向的偏移、向Y轴方向的偏移、还有向旋转方向的偏移量的工序；

工序(j)包括进行动作控制以矫正上述工序(i)中算出的各方向的偏移的工序。

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