JPH09155783A - 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット - Google Patents
昇降装置及び昇降装置を備えたロボットInfo
- Publication number
- JPH09155783A JPH09155783A JP31815895A JP31815895A JPH09155783A JP H09155783 A JPH09155783 A JP H09155783A JP 31815895 A JP31815895 A JP 31815895A JP 31815895 A JP31815895 A JP 31815895A JP H09155783 A JPH09155783 A JP H09155783A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】重量物を載置した場合でも、昇降台を精度良く
位置決めすることができるとともに、安定した昇降動を
行うことができる昇降装置及び昇降装置を備えたロボッ
トを提供する。 【解決手段】２本の支柱３１と、支柱３１のガイドレー
ル３５に沿って上下動自在な昇降台３２と、支柱３１の
一方に設けられた駆動装置３３と、追従手段４とを備
え、追従手段４は、一端を昇降台３２の一側部に止着４
１ａした巻掛体４１を下方に導き、一方の支柱３１の下
部に軸支した第１巻掛車４２に巻掛けた後、他方の支柱
３１の下部に軸支した第２巻掛車４３に巻掛け、さらに
他方の支柱３１を上方に導き、上部に軸支した第３巻掛
車４４に巻掛けて下方に折り返し、その他端を昇降台３
２の他側部に止着４１ｂされている。また、上述のよう
に構成された昇降装置３が旋回自在な旋回台２上に載置
され、昇降台３２上には水平方向に移動自在なワーク移
載台５１、５２が搭載されている。
位置決めすることができるとともに、安定した昇降動を
行うことができる昇降装置及び昇降装置を備えたロボッ
トを提供する。 【解決手段】２本の支柱３１と、支柱３１のガイドレー
ル３５に沿って上下動自在な昇降台３２と、支柱３１の
一方に設けられた駆動装置３３と、追従手段４とを備
え、追従手段４は、一端を昇降台３２の一側部に止着４
１ａした巻掛体４１を下方に導き、一方の支柱３１の下
部に軸支した第１巻掛車４２に巻掛けた後、他方の支柱
３１の下部に軸支した第２巻掛車４３に巻掛け、さらに
他方の支柱３１を上方に導き、上部に軸支した第３巻掛
車４４に巻掛けて下方に折り返し、その他端を昇降台３
２の他側部に止着４１ｂされている。また、上述のよう
に構成された昇降装置３が旋回自在な旋回台２上に載置
され、昇降台３２上には水平方向に移動自在なワーク移
載台５１、５２が搭載されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、昇降台の昇降装置
及びこの昇降装置を備えたロボットに関するものであ
る。
及びこの昇降装置を備えたロボットに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、２本の支柱が所定間隔を隔てて平
行に立設され、該２本の支柱間に架設された昇降台が、
一方の支柱に設けた駆動装置により当該２本の支柱に配
設されたガイドレールに沿って昇降自在に設けられてい
た。
行に立設され、該２本の支柱間に架設された昇降台が、
一方の支柱に設けた駆動装置により当該２本の支柱に配
設されたガイドレールに沿って昇降自在に設けられてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、片側の支柱側でのみ昇降台の昇降駆動を行
うものでは、片側支持になるため、他側部をガイドレー
ルで案内しても昇降台に重量物を乗せて昇降させる場合
には、昇降台に揺れが生じて停止位置が定まり難く、精
度の要求されるロボットには不向きであった。
来のように、片側の支柱側でのみ昇降台の昇降駆動を行
うものでは、片側支持になるため、他側部をガイドレー
ルで案内しても昇降台に重量物を乗せて昇降させる場合
には、昇降台に揺れが生じて停止位置が定まり難く、精
度の要求されるロボットには不向きであった。
【０００４】また、両方の支柱に駆動装置を設け昇降台
の両側部を駆動させることもできるが、駆動装置を両方
に設けるとともに、これら駆動装置を同調させる機構が
必要になり装置全体が複雑になり大型化するという問題
があった。
の両側部を駆動させることもできるが、駆動装置を両方
に設けるとともに、これら駆動装置を同調させる機構が
必要になり装置全体が複雑になり大型化するという問題
があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
昇降装置は、所定間隔を隔てて平行に立設された２本の
支柱と、該支柱にそれぞれ設けられたガイドレールに沿
って上下動自在な昇降台と、上記支柱の何れか一方に設
けられ上記昇降台の一側部を上下動させる駆動装置と、
この駆動装置による昇降台の一側部の上下動に伴い当該
昇降台の他端部を追従させて上下動させる追従手段とを
備え、前記追従手段は、巻掛体が前記昇降台の両側部間
に亘って張設されたもので、該巻掛体は、一端が前記昇
降台の一側部に止着して下方に導かれ、上記一方の支柱
の下部に軸支した第１巻掛車に巻掛けた後、上記他方の
支柱の下部に軸支した第２巻掛車に巻掛け、さらに該他
方の支柱を上方に導かれ、この上部に軸支した第３巻掛
車に巻掛けて下方に折り返し、その他端が上記昇降台の
他側部に止着されてなるものである。
昇降装置は、所定間隔を隔てて平行に立設された２本の
支柱と、該支柱にそれぞれ設けられたガイドレールに沿
って上下動自在な昇降台と、上記支柱の何れか一方に設
けられ上記昇降台の一側部を上下動させる駆動装置と、
この駆動装置による昇降台の一側部の上下動に伴い当該
昇降台の他端部を追従させて上下動させる追従手段とを
備え、前記追従手段は、巻掛体が前記昇降台の両側部間
に亘って張設されたもので、該巻掛体は、一端が前記昇
降台の一側部に止着して下方に導かれ、上記一方の支柱
の下部に軸支した第１巻掛車に巻掛けた後、上記他方の
支柱の下部に軸支した第２巻掛車に巻掛け、さらに該他
方の支柱を上方に導かれ、この上部に軸支した第３巻掛
車に巻掛けて下方に折り返し、その他端が上記昇降台の
他側部に止着されてなるものである。
【０００６】本発明の請求項２記載の昇降装置を備えた
ロボットは、請求項１記載の昇降装置が旋回自在な旋回
台上に載置されるとともに、該昇降装置の昇降台上には
水平方向に移動自在なワーク移載台が搭載されたもので
ある。
ロボットは、請求項１記載の昇降装置が旋回自在な旋回
台上に載置されるとともに、該昇降装置の昇降台上には
水平方向に移動自在なワーク移載台が搭載されたもので
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【０００８】図１は、本発明の昇降装置を備えたロボッ
トの構成を示す正面図である。
トの構成を示す正面図である。
【０００９】図１において、１は、基台で、該基台上に
は水平旋回自在な旋回台２が搭載されている。
は水平旋回自在な旋回台２が搭載されている。
【００１０】旋回台２上には昇降装置３が設けられてい
る。
る。
【００１１】昇降装置３は、前記旋回台２に固設された
左右一対の支柱３１、３１と、該支柱３１、３１間に昇
降自在に架設された昇降台３２と、該昇降台３２を昇降
駆動する駆動装置３３とで構成されている。
左右一対の支柱３１、３１と、該支柱３１、３１間に昇
降自在に架設された昇降台３２と、該昇降台３２を昇降
駆動する駆動装置３３とで構成されている。
【００１２】前記支柱３１、３１は、所定の間隔を隔て
て平行に立設されており、これら支柱３１、３１にガイ
ドレール３５がこの支柱３１に沿ってそれぞれ配設され
ている。
て平行に立設されており、これら支柱３１、３１にガイ
ドレール３５がこの支柱３１に沿ってそれぞれ配設され
ている。
【００１３】これらガイドレール３５には、昇降台３２
の両側部に設けられたガイド部材３６が摺動自在に嵌入
され、昇降台３２がガイドレール３５に案内されながら
昇降するように構成されている。
の両側部に設けられたガイド部材３６が摺動自在に嵌入
され、昇降台３２がガイドレール３５に案内されながら
昇降するように構成されている。
【００１４】前記駆動装置３３は、前記一方の支柱３１
に前記ガイドレール３５と平行に配設されたボールネジ
３３１と、該ボールネジ３３１を正逆方向に回転駆動さ
せる昇降用モータ３３２と、前記昇降台３２の一側部に
形成され、上記ボールネジ３３１が螺入された雌ネジ部
３３３とで構成されている。
に前記ガイドレール３５と平行に配設されたボールネジ
３３１と、該ボールネジ３３１を正逆方向に回転駆動さ
せる昇降用モータ３３２と、前記昇降台３２の一側部に
形成され、上記ボールネジ３３１が螺入された雌ネジ部
３３３とで構成されている。
【００１５】前記ボールネジ３３１は、その上端と下端
部とが前記一方の支柱３１に軸支さされ、この下端が前
記昇降用モータ３３２の出力軸に例えばプーリ３３４、
タイミングベルト３３５からなる適宜な伝達手段を介し
て連係されている。
部とが前記一方の支柱３１に軸支さされ、この下端が前
記昇降用モータ３３２の出力軸に例えばプーリ３３４、
タイミングベルト３３５からなる適宜な伝達手段を介し
て連係されている。
【００１６】よって、昇降台３２は、昇降用モータ３３
２によるボールネジ３３１の正逆方向への回転駆動によ
り雌ネジ部３３３が形成された一側部を昇降させること
で、ガイドレール３５に案内されながら全体が昇降動す
る。
２によるボールネジ３３１の正逆方向への回転駆動によ
り雌ネジ部３３３が形成された一側部を昇降させること
で、ガイドレール３５に案内されながら全体が昇降動す
る。
【００１７】また、前記昇降台３２には、該昇降台３２
の昇降を円滑に行うための追従手段４が設けられてい
る。
の昇降を円滑に行うための追従手段４が設けられてい
る。
【００１８】追従手段４は、巻掛体４１が前記昇降台３
２の両側部間に亘って張設されたもので、該巻掛体４１
は、一端を前記昇降台３２の一側部に止着４１ａした巻
掛体４１を下方に導き、上記一方の支柱３１の下部に軸
支した第１巻掛車４２に巻掛けた後、上記他方の支柱３
１の下部に軸支した第２巻掛車４３に巻掛け、さらに該
他方の支柱３１を上方に導き、この上部に軸支した第３
巻掛車４４に巻掛けて下方に折り返し、その他端を上記
昇降台３２の他側部に止着４１ｂしている。
２の両側部間に亘って張設されたもので、該巻掛体４１
は、一端を前記昇降台３２の一側部に止着４１ａした巻
掛体４１を下方に導き、上記一方の支柱３１の下部に軸
支した第１巻掛車４２に巻掛けた後、上記他方の支柱３
１の下部に軸支した第２巻掛車４３に巻掛け、さらに該
他方の支柱３１を上方に導き、この上部に軸支した第３
巻掛車４４に巻掛けて下方に折り返し、その他端を上記
昇降台３２の他側部に止着４１ｂしている。
【００１９】前記巻掛体４１は、ベルト、ワイヤ、チェ
ーンなどの線状部材が用いられ、各巻掛車４２〜４４
は、プーリ、スプロケットなどが用いられる。
ーンなどの線状部材が用いられ、各巻掛車４２〜４４
は、プーリ、スプロケットなどが用いられる。
【００２０】このように構成された追従手段４は、昇降
台３２の一側部を前記駆動装置３３によって昇降動させ
ると上述のように張設された巻掛体４１の作用によりそ
の昇降動作に見合う分だけ他側部が同様に昇降動するこ
とになり、片側支持の昇降台３２を円滑にしかも重量物
を載置しても精度よく昇降動させることができる。
台３２の一側部を前記駆動装置３３によって昇降動させ
ると上述のように張設された巻掛体４１の作用によりそ
の昇降動作に見合う分だけ他側部が同様に昇降動するこ
とになり、片側支持の昇降台３２を円滑にしかも重量物
を載置しても精度よく昇降動させることができる。
【００２１】前記昇降台３２上には、ワーク移載台５
１、５２が上下に配置されている。ワーク移載台５１、
５２は、昇降台３２上に配設された左右の移動体５３、
５４によってそれぞれが別個に昇降台３２から前方へ水
平移動自在に構成されている。
１、５２が上下に配置されている。ワーク移載台５１、
５２は、昇降台３２上に配設された左右の移動体５３、
５４によってそれぞれが別個に昇降台３２から前方へ水
平移動自在に構成されている。
【００２２】次に、このように構成された昇降装置を備
えたロボットの動作について説明する。
えたロボットの動作について説明する。
【００２３】ここでは、このロボットによって図２及び
図３に示すような半導体ウエハなどの基板を処理する場
合の動作について説明する。
図３に示すような半導体ウエハなどの基板を処理する場
合の動作について説明する。
【００２４】図２及び図３に示す符号Ｍは、ワークＡを
上下に所定間隔隔てて複数枚収納するマガジンで、各ワ
ークＡは、その両側縁がマガジンＭの両側壁に突設され
た左右の棚Ｍ１によって支持された状態で収納されてい
る。
上下に所定間隔隔てて複数枚収納するマガジンで、各ワ
ークＡは、その両側縁がマガジンＭの両側壁に突設され
た左右の棚Ｍ１によって支持された状態で収納されてい
る。
【００２５】そこで、まず、昇降台３２をマガジンＭと
対峙する位置に旋回配置した後、該昇降台３２の正面を
昇降装置３３によって昇降させて所望位置に配置し、こ
の状態から何れか一方のワーク移載台５１（５２）を前
方に移動させて当該ワーク移載台５１（５２）をマガジ
ンＭ内に収納された一のワークＡの下方に配置する。こ
の後、ワーク移載台５１（５２）を若干上方に上昇させ
ることで、該ワーク移載台５１（５２）上にそのワーク
Ａを載置し、該ワークＡを棚Ｍ１から若干浮かせる。
対峙する位置に旋回配置した後、該昇降台３２の正面を
昇降装置３３によって昇降させて所望位置に配置し、こ
の状態から何れか一方のワーク移載台５１（５２）を前
方に移動させて当該ワーク移載台５１（５２）をマガジ
ンＭ内に収納された一のワークＡの下方に配置する。こ
の後、ワーク移載台５１（５２）を若干上方に上昇させ
ることで、該ワーク移載台５１（５２）上にそのワーク
Ａを載置し、該ワークＡを棚Ｍ１から若干浮かせる。
【００２６】この状態でワーク移載台５１（５２）を昇
降台３２側に移動させることでワークＡをマガジンＭか
ら取り出す。このワークＡの取り出しは他方のワーク移
載台でも同様に行われる。
降台３２側に移動させることでワークＡをマガジンＭか
ら取り出す。このワークＡの取り出しは他方のワーク移
載台でも同様に行われる。
【００２７】そして、旋回台２によって昇降台３２の正
面を処理部Ｎと対峙する位置に旋回させた後、ワーク移
載台５１（５２）を前方に移動させてワークＡを処理部
Ｎに配置し、該処理部ＮでワークＡを処理する。この処
理部Ｎで処理されたワークＡは再びマガジンＭに収納さ
れる。
面を処理部Ｎと対峙する位置に旋回させた後、ワーク移
載台５１（５２）を前方に移動させてワークＡを処理部
Ｎに配置し、該処理部ＮでワークＡを処理する。この処
理部Ｎで処理されたワークＡは再びマガジンＭに収納さ
れる。
【００２８】なお、ワーク移載台５１（５２）に載置し
たワークＡをマガジンＭに収納する場合には上述した動
作と逆の動作が行われる。
たワークＡをマガジンＭに収納する場合には上述した動
作と逆の動作が行われる。
【００２９】このようにマガジンＭと処理部Ｎとの間で
２つのワーク移載台５１、５２を効率よく用いてワーク
Ａを出し入れすることで、ワークＡを順次処理してい
く。
２つのワーク移載台５１、５２を効率よく用いてワーク
Ａを出し入れすることで、ワークＡを順次処理してい
く。
【００３０】この際、昇降台３２の昇降は追従手段４に
よって、駆動側となる昇降台３２の一側部と従属側にな
る他側部とが同調して昇降動するため、昇降台３２を精
度良く位置決めすることができるとともに、安定した昇
降動を行うことができ、ワークＡの処理を円滑に行うこ
とができる。
よって、駆動側となる昇降台３２の一側部と従属側にな
る他側部とが同調して昇降動するため、昇降台３２を精
度良く位置決めすることができるとともに、安定した昇
降動を行うことができ、ワークＡの処理を円滑に行うこ
とができる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１記載の昇降装置によれば、片側
支持による昇降台を追従手段によって両側部を円滑に昇
降させることができ、重量物を載置した場合でも、昇降
台を精度良く位置決めすることができるとともに、安定
した昇降動を行うことができる。
支持による昇降台を追従手段によって両側部を円滑に昇
降させることができ、重量物を載置した場合でも、昇降
台を精度良く位置決めすることができるとともに、安定
した昇降動を行うことができる。
【００３２】請求項２記載の昇降装置を備えたロボット
によれば、昇降装置により所望の昇降位置に精度良く配
置することができるため、ワーク移載台によるワークの
移送を円滑に行うことができ、ワークＡを円滑に処理す
ることができる。
によれば、昇降装置により所望の昇降位置に精度良く配
置することができるため、ワーク移載台によるワークの
移送を円滑に行うことができ、ワークＡを円滑に処理す
ることができる。
【図１】昇降装置を備えたロボットの構成を示す正面図
である。
である。
【図２】ロボットの動作を示す平面図である。
【図３】ロボットの動作を示す側面図である。
２ 旋回台 ３ 昇降装置 ３１ 支柱 ３２ 昇降台 ３３ 駆動装置 ３５ ガイドレール ４ 追従手段 ４１ 巻掛体 ４２ 第１巻掛車 ４３ 第２巻掛車 ４４ 第３巻掛車 ５１、５２ ワーク移載台
Claims (2)
- 【請求項１】 所定間隔を隔てて平行に立設された２本
の支柱と、該支柱にそれぞれ設けられたガイドレールに
沿って上下動自在な昇降台と、上記支柱の何れか一方に
設けられ上記昇降台の一側部を上下動させる駆動装置
と、この駆動装置による昇降台の一側部の上下動に伴い
当該昇降台の他端部を追従させて上下動させる追従手段
とを備え、 前記追従手段は、巻掛体が前記昇降台の両側部間に亘っ
て張設されたもので、該巻掛体は、一端が前記昇降台の
一側部に止着して下方に導かれ、上記一方の支柱の下部
に軸支した第１巻掛車に巻掛けた後、上記他方の支柱の
下部に軸支した第２巻掛車に巻掛け、さらに該他方の支
柱を上方に導かれ、この上部に軸支した第３巻掛車に巻
掛けて下方に折り返し、その他端が上記昇降台の他側部
に止着されてなることを特徴とする昇降装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の昇降装置が旋回自在な旋
回台上に載置されるとともに、該昇降装置の昇降台上に
は水平方向に移動自在なワーク移載台が搭載されたこと
を特徴とする昇降装置を備えたロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31815895A JPH09155783A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31815895A JPH09155783A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155783A true JPH09155783A (ja) | 1997-06-17 |
Family
ID=18096135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31815895A Pending JPH09155783A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09155783A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005002804A1 (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-13 | Rorze Corporation | 搬送装置、薄板状物の搬送方法、及び薄板状物製造システム |
| JP2007054939A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボット及びその輸送方法 |
| JP2007130734A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Yaskawa Electric Corp | 上下機構を備えた搬送ロボット |
| CN105397382A (zh) * | 2014-09-09 | 2016-03-16 | 株式会社神户制钢所 | 双支承定位器及其驱动监视方法 |
-
1995
- 1995-12-06 JP JP31815895A patent/JPH09155783A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005002804A1 (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-13 | Rorze Corporation | 搬送装置、薄板状物の搬送方法、及び薄板状物製造システム |
| JP2007054939A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボット及びその輸送方法 |
| JP2007130734A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Yaskawa Electric Corp | 上下機構を備えた搬送ロボット |
| CN105397382A (zh) * | 2014-09-09 | 2016-03-16 | 株式会社神户制钢所 | 双支承定位器及其驱动监视方法 |
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