JP2007130734A - 上下機構を備えた搬送ロボット - Google Patents
上下機構を備えた搬送ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007130734A JP2007130734A JP2005328263A JP2005328263A JP2007130734A JP 2007130734 A JP2007130734 A JP 2007130734A JP 2005328263 A JP2005328263 A JP 2005328263A JP 2005328263 A JP2005328263 A JP 2005328263A JP 2007130734 A JP2007130734 A JP 2007130734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertical axis
- vertical
- arm
- slider
- base arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】上下機構には、水平方向に延在するベースアームと、その両端部に鉛直方向に立設された2本の上下軸アームと、2本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段と、からなる複数の上下軸スライダ17、18、19を設けると共に、複数の上下軸スライダは、各々のベースアームの両端部が、他の上下軸スライダの上下案内手段に順次接続され、ベースアームには、前記2本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段を駆動する駆動手段を設けた。
【選択図】図1
Description
このような要求から、従来の液晶などの搬送用ロボットに適用される上下機構には、例えば伸縮するリンク式のものが適用されている。これは、安川電機製液晶搬送用クリーンロボットなどに採用されている。つまり、上下方向に動作可能なリンクをアームによって構成し、モータによってリンクを動作させるものである。リンク式の上下機構であれば、リンクの縮小時にはロボットの全高が低く抑えられ、伸長時には高い位置でワークを搬送できる。
また、上下機構には、ワークを搭載し得るフォークを有するアームユニットが搭載されている。アームユニットは、水平方向に動作し、カセットや所望の搬送位置にフォークを接近させることができる。アームユニットの構成は、リンク式やリニアモータ式をはじめ、様々な動作機構が既に公知となっている。そして、上下機構とアームユニットと、更に上下機構を旋回させる機構とを組み合わせることで、アームユニットに搭載したワークを所望の位置に搬送している。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、剛性を向上させた上下機構を提供することよって、その倒れを防止できるようにする。また、剛性を向上させることにより、上下機構の加減速時間を短縮できるので、ロボットのサイクルタイムを減少させることができる。
請求項1に記載の発明は、ワークを搭載するフォークを水平方向に移動させるアームユニットと、前記アームユニットを搭載して鉛直方向に移動させる上下機構と、を有する搬送ロボットであって、前記上下機構は、水平方向に延在するベースアームと、前記ベースアームの両端部に鉛直方向に立設された2本の上下軸アームと、前記2本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段と、からなる複数の上下軸スライダを有し、前記複数の上下軸スライダは、前記ベースアームの各々の両端部が、他の上下軸スライダの前記上下案内手段に接続された多段構成であると共に、最上段の前記上下軸スライダの前記2本の上下軸アームに前記アームユニットが接続され、前記ベースアームには、前記2本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段を駆動する駆動手段が設けられていることを特徴とする搬送ロボットとするものである。
また、請求項2に記載の発明は、前記複数の上下軸スライダのうち最下の上下軸スライダの前記ベースアームには、該最下の上下軸スライダを鉛直軸まわりに回転可能に支持する旋回機構が設けられた請求項1記載の搬送ロボットとするものである。
また、請求項3に記載の発明は、請求項1記載の搬送ロボットにおける動作方法であって、前記上下機構を上昇動作させる際、前記複数の上下軸スライダのうち最上段の前記上下軸スライダを上昇させ、前記最上段の上下軸スライダが所定の距離を上昇した後に、前記最上段の上下軸スライダに接続されている直下の上下軸スライダを上昇させるステップを繰り返すことで、順次鉛直方向上側のスライダから上昇させることとした請求項1記載の搬送ロボットにおける動作方法とするものである。
また、各段のスライドの上下軸アームが2本あるため、上下機構の上部に備えられたアームユニットを、分担して支持できるため、アームユニットが伸長してワークを把持しても、上下機構が倒れにくくなっている。
また、スライドの各段は、ベースアームにて連結されているため、剛性が強く、更に機構の倒れ防止に効果がある。
また、上下機構の所定の位置に旋回機構を設けているので、上下機構と共にアームユニットも旋回可能となって、広い動作範囲が確保できる。
また、上下機構を上方に動作させる際、複数のスライダのうち、最上段のスライダから動作させるように制御するので、上下機構が倒れることなく、更に上下動作の加速減速時間が短くできるため、サイクルタイムが短縮される。
本ロボットはアームユニットとして、ワークを把持させるための前後軸第1アームユニット10と、更に別のワークを把持させるための前後軸第2アームユニット11を備えている。これらは、詳細に説明しないが、図の前後にフォークを前後させることができる機構である。フォークにワークを搭載または把持することができる。前後軸第2アームユニット11は、略コの字形状の部材に吊られるように支持されている。一方、前後軸第1アームユニット10は、略コの字部材を支持する第4ベースアーム12に支持されている。これら前後軸第2アームユニット11と前後軸第1アームユニット10の、各々のフォークが上下に整列するように、それぞれのアームユニットは位置している。
本ロボットの上下軸機構13は、図1の下方から、上下軸スライダ1段目17と、上下軸スライダ2段目18と、上下軸スライダ3段目19とから構成される。各々のスライドアーム部は、上方に開口した略コの字形状となっている。
上下軸スライダ1段目17は、水平方向の第1ベースアーム7と、第1ベースアーム7の両端に垂直に支持されている上下軸第1アーム1と上下軸第4アーム4とから構成される。
上下軸スライダ2段目18は、水平方向の第2ベースアーム8と、第2ベースアーム8の両端に垂直に支持されている上下軸第2アーム2と上下軸第5アーム5とから構成される。
上下軸スライダ3段目19は、水平方向の第3ベースアーム9と、第3ベースアーム9の両端に垂直に支持されている上下軸第3アーム3と上下軸第6アーム6とから構成される。
上下軸スライダ2段目18には、第2ベースアーム8内に内蔵された駆動モータ15と、これにプーリなどを介して接続されたベルト22とベルト23と、更にこれらベルトによって回転されるボールネジ28とボールネジ29とが、上下軸第2アーム2と上下軸第5アーム5とに備えられている。また、上下軸第2アーム2と上下軸第5アーム5には、鉛直方向に案内するリニアガイド37とリニアガイド38とが設置されている。このリニアガイド37、38とボールネジ28、29とに、第3ベースアーム9の両端部が接続されている。よって、駆動モータ15の回転によって、上下軸スライダ3段目19は上下動作が可能となっている。
上下軸スライダ3段目19には、第3ベースアーム9内に内蔵された駆動モータ16と、これにプーリなどを介して接続されたベルト24とベルト25と、更にこれらベルトによって回転されるボールネジ30とボールネジ31とが、上下軸第3アーム3と上下軸第6アーム6とに備えられている。また、上下軸第3アーム3と上下軸第6アーム6には、鉛直方向に案内するリニアガイド39とリニアガイド40とが設置されている。このリニアガイド39、40とボールネジ30、31とに、第4ベースアーム12の両端部が接続されている。よって、駆動モータ16の回転によって、第4ベースアーム12に支持されているアームユニットの上下動作が可能となっている。
以上のように、上下軸スライダ1段目〜3段目は、図2が示す断面図が示すとおり、上下軸スライダ1段目の上下案内機構に2段目が接続され、その2段目の上下案内機構に3段目が接続される多段スライド構成となっている。そして、3段目のスライダの上下案内機構には、アームユニットを支持する部材が接続されている。
従って、本発明の上下機構によれば、1段目より上側のスライダを全て下降させれば、上下機構の全高は、ほぼ1段目のスライダの高さまで低くなることになる。
よって、旋回モータ32を回転させると、以上で構成される本ロボットを旋回減速機34の回転中心で回転させることができる。
また、各段のスライドの上下軸アームが2本あるため、上下機構の上部に備えられたアームユニットを、分担して支持できるため、アームユニットが伸長してワークを把持しても、上下機構が倒れにくくなっている。
また、スライドの各段は、ベースアームにて連結されているため、剛性が強く、更に機構の倒れ防止に効果がある。
また、上下軸の動作方法は、負荷の軽い上下軸スライダ3段目19から動作させることにより、上下機構が倒れることなく、更に上下動作の加速減速時間が短くできるため、サイクルタイムが短縮される。
2 上下軸第2アーム
3 上下軸第3アーム
4 上下軸第4アーム
5 上下軸第5アーム
6 上下軸第6アーム
7 第1ベースアーム
8 第2ベースアーム
9 第3ベースアーム
10 前後軸第1アームユニット
11 前後軸第2アームユニット
12 第4ベースアーム
13 上下機構
14 駆動モータ
15 駆動モータ
16 駆動モータ
17 上下軸スライダ1段目
18 上下軸スライダ2段目
19 上下軸スライダ3段目
20〜25 ベルト
26〜31 ボールネジ
32 旋回モータ
33 ベルト
34 旋回減速機
35〜40 リニアガイド
41 旋回機構
Claims (3)
- ワークを搭載するフォークを水平方向に移動させるアームユニットと、
前記アームユニットを搭載して鉛直方向に移動させる上下機構と、を有する搬送ロボットであって、
前記上下機構は、水平方向に延在するベースアームと、前記ベースアームの両端部に鉛直方向に立設された2本の上下軸アームと、前記2本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段と、からなる複数の上下軸スライダを有し、
前記複数の上下軸スライダは、前記ベースアームの各々の両端部が、他の上下軸スライダの前記上下案内手段に接続された多段構成であると共に、最上段の前記上下軸スライダの前記2本の上下軸アームに前記アームユニットが接続され、
前記ベースアームには、前記2本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段を駆動する駆動手段が設けられていることを特徴とする搬送ロボット。 - 前記複数の上下軸スライダのうち最下の上下軸スライダの前記ベースアームには、該最下の上下軸スライダを鉛直軸まわりに回転可能に支持する旋回機構が設けられたことを特徴とする請求項1記載の搬送ロボット。
- 請求項1記載の搬送ロボットにおける動作方法であって、
前記上下機構を上昇動作させる際、前記複数の上下軸スライダのうち最上段の前記上下軸スライダを上昇させ、前記最上段の上下軸スライダが所定の距離を上昇した後に、前記最上段の上下軸スライダに接続されている直下の上下軸スライダを上昇させるステップを繰り返すことで、順次鉛直方向上側のスライダから上昇させることを特徴とした請求項1記載の搬送ロボットにおける動作方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005328263A JP2007130734A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 上下機構を備えた搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005328263A JP2007130734A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 上下機構を備えた搬送ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007130734A true JP2007130734A (ja) | 2007-05-31 |
Family
ID=38152805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005328263A Pending JP2007130734A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 上下機構を備えた搬送ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007130734A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101022180B1 (ko) * | 2008-08-27 | 2011-03-17 | 현대중공업 주식회사 | 승강 암의 동기 및 비동기 제어가 가능한 로봇 |
KR101022069B1 (ko) * | 2008-08-27 | 2011-03-17 | 현대중공업 주식회사 | 승강 암의 추락 방지 시스템을 구비하는 로봇 |
JP2013098288A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送装置 |
JP2014060337A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理方法 |
CN112224306A (zh) * | 2020-08-28 | 2021-01-15 | 南京蹑波物联网科技有限公司 | 一种程控工业搬运机器人以及控制方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62297085A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-24 | 富士電機株式会社 | 両方向伸縮搬送装置 |
JPH08168980A (ja) * | 1994-10-21 | 1996-07-02 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 産業用ロボット |
JPH09155783A (ja) * | 1995-12-06 | 1997-06-17 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット |
JPH09193077A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-29 | Fujitsu Ltd | 搬送ロボット |
JPH11123675A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ロボットの垂直軸上下機構 |
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
JP2004106167A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板搬送ロボット |
JP2005150575A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Nachi Fujikoshi Corp | ダブルアーム型ロボット |
JP2006005362A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板搬送装置 |
JP2006176276A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Shinko Electric Co Ltd | 昇降装置 |
-
2005
- 2005-11-14 JP JP2005328263A patent/JP2007130734A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62297085A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-24 | 富士電機株式会社 | 両方向伸縮搬送装置 |
JPH08168980A (ja) * | 1994-10-21 | 1996-07-02 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 産業用ロボット |
JPH09155783A (ja) * | 1995-12-06 | 1997-06-17 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット |
JPH09193077A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-29 | Fujitsu Ltd | 搬送ロボット |
JPH11123675A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ロボットの垂直軸上下機構 |
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
JP2004106167A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板搬送ロボット |
JP2005150575A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Nachi Fujikoshi Corp | ダブルアーム型ロボット |
JP2006005362A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板搬送装置 |
JP2006176276A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Shinko Electric Co Ltd | 昇降装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101022180B1 (ko) * | 2008-08-27 | 2011-03-17 | 현대중공업 주식회사 | 승강 암의 동기 및 비동기 제어가 가능한 로봇 |
KR101022069B1 (ko) * | 2008-08-27 | 2011-03-17 | 현대중공업 주식회사 | 승강 암의 추락 방지 시스템을 구비하는 로봇 |
JP2013098288A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送装置 |
JP2014060337A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理方法 |
CN112224306A (zh) * | 2020-08-28 | 2021-01-15 | 南京蹑波物联网科技有限公司 | 一种程控工业搬运机器人以及控制方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101454125B (zh) | 工件输送系统 | |
EP2433299B1 (en) | Substrate container storage system | |
EP3056321B1 (en) | Loading/unloading robot | |
JP4277287B2 (ja) | 天井走行車 | |
JP7324422B2 (ja) | 天井吊下棚及び搬送システム | |
JP4615015B2 (ja) | コンテナ搬送システム | |
JP2007130734A (ja) | 上下機構を備えた搬送ロボット | |
JP2008135630A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5006411B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2001009765A (ja) | 昇降ユニット及びロボット装置 | |
US20130209201A1 (en) | Carrier device | |
CN101459100B (zh) | 紧凑式晶圆自动传输装置 | |
JP4618252B2 (ja) | 多関節ロボット | |
JP3350234B2 (ja) | 被処理体のバッファ装置、これを用いた処理装置及びその搬送方法 | |
JP2005150575A (ja) | ダブルアーム型ロボット | |
CN101465309A (zh) | 平移翻转式晶圆自动传输装置 | |
JP4354976B2 (ja) | ウェハーチップソーティング装置 | |
JP6240540B2 (ja) | 布線作業用装置 | |
CN116985159A (zh) | 一种手臂可升降的机械手 | |
JP3163939U (ja) | 搬送装置 | |
JP2020066499A (ja) | 搬送システム | |
CN201374322Y (zh) | 平移翻转式晶圆自动传输装置 | |
JP7191564B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2001267393A (ja) | 搬送ロボット | |
JP2006001658A (ja) | 移載装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100826 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110511 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110920 |