JP2013098288A

JP2013098288A - 搬送装置

Info

Publication number: JP2013098288A
Application number: JP2011238516A
Authority: JP
Inventors: Kazutaka Kuwana; 一孝桑名
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2011-10-31
Filing date: 2011-10-31
Publication date: 2013-05-20

Abstract

【課題】ウエーハ等の板状物を収容したカセットを上下に２段以上重ねた状態で板状物の搬出および搬入を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】板状物を保持する保持手段と保持手段を支持するアーム機構とアーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構とを具備する搬送装置であって、支持機構は、保持ユニットが装着される第1の移動基板と、第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、第1の移動基板を第1の案内レールに沿って移動せしめる第１の移動手段とを備えた第1の支持機構と、第1の基台が装着される第２の移動基板と、第２の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第２の基台と、第２の移動基板を第２の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第２の支持機構とを具備している。
【選択図】図７

Description

本発明は、研削装置等の加工装置に装備され被加工物であるウエーハ等の板状物を搬送するための搬送装置に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、切削装置等のダイシング装置によって半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。このようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。

研削装置やダイシング装置等の加工装置は、加工前の複数のウエーハを収容したカセットからウエーハを搬出するともに、加工後のウエーハをカセットに搬入する搬送装置を具備している。このような搬送装置は、ウエーハを吸引保持する保持手段と、該保持手段を支持するアーム機構と、該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、該保持ユニットを上下方向に移動せしめる昇降機構を具備している。昇降機構は、保持ユニットを装着する移動基板と、該移動基板を上下方向に移動可能に支持するガイドレールを備えた基台と、移動基板をガイドレールに沿って移動せしめる移動手段とからなっている。（例えば、特許文献１参照）。

特開２００５−１５３０９０号公報

而して、ウエーハを収容したカセットを上下に２段以上重ねてウエーハの搬出および搬入を行うには、保持ユニットの保持手段を最下位置から最上位置まで移動させる距離が長くなり、このため保持ユニットが装着された移動基板を上下方向に移動可能に案内する案内レールを保持手段の移動距離に対応して長くしなければならない。また、移動基板に装着された保持ユニットが案内レールに沿って下降すると、保持手段を支持するアーム機構の旋回動が案内レールに妨げられるため、実質的にカセットを上下に２段以上重ねて使用することはできないという問題がある。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、ウエーハ等の板状物を収容したカセットを上下に２段以上重ねた状態で板状物の搬出および搬入を行うことができる搬送装置を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を保持する保持手段と該保持手段を支持するアーム機構と該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、該保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構と、を具備する搬送装置において、
該支持機構は、
該保持ユニットが装着される第１の移動基板と、該第１の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第１の案内レールを備えた第１の基台と、該第１の移動基板を該第１の案内レールに沿って移動せしめる第１の移動手段とを備えた第１の支持機構と、
該第１の基台が装着される第２の移動基板と、該第２の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第２の案内レールを備えた第２の基台と、該第２の移動基板を該第２の案内レールに沿って移動せしめる第２の移動手段とを備えた第２の支持機構と、を具備している、
ことを特徴とする搬送装置が提供される。

本発明による搬送装置は、板状物を保持する保持手段と、該保持手段を支持するアーム機構と、該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、
該保持ユニットが装着される第１の移動基板と、該第１の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第１の案内レールを備えた第１の基台と、該第１の移動基板、を第１の案内レールに沿って移動せしめる第１の移動手段とを備えた第１の支持機構と、
該第１の基台が装着される第２の移動基板と、該第２の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第２の案内レールを備えた第２の基台と、第２の移動基板５１を第２の案内レールに沿って移動せしめる第２の移動手段５３とを備えた第２の支持機構５と、からなっているので、保持手段の移動距離に対応して案内レールを長くする必要がないとともに、保持ユニットが装着された第１の移動基板が下降しても第１の案内レールが保持手段を支持するアーム機構の旋回動を妨げることがない。

本発明に従って構成された搬送装置の斜視図。図１に示す搬送装置を構成する保持ユニットの斜視図。図１に示す搬送装置を構成する第１の支持機構の斜視図。図１に示す搬送装置を構成する第２の支持機構の斜視図。図１に示す搬送装置における第１の移動手段を最上位の位置に作動するとともに第２の移動手段を最下位の位置に作動した状態を示す斜視図。図１に示す搬送装置における第１の移動手段を最下位の位置に作動するとともに第２の移動手段を最上位の位置に作動した状態を示す斜視図。図１に示す搬送装置における第１の移動手段を最上位の位置に作動するとともに、第２の移動手段を最上位の位置に作動した状態を示す斜視図。

以下、本発明に従って構成された搬送装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。

図１には本発明に従って構成された搬送装置の斜視図が示されている。
図示の実施形態における搬送装置２は、板状物を吸引保持して搬送する保持ユニット３と、該保持ユニット３を上下方向に移動可能に支持する第１の支持機構４と、該第１の支持機構４を上下方向に移動可能に支持する第２の支持機構５とからなっている。

搬送装置を構成する保持ユニット３について、図２を参照して説明する。
保持ユニット３は、ウエーハ等の板状物を保持する保持手段３１と、該保持手段３１を支持するアーム機構３２と、該アーム機構３２を駆動するための駆動機構３３とからなっている。保持手段３１は、二股状のハンドからなり、上面に複数の吸引孔３１１が設けられており、この複数の吸引孔３１１が図示しない吸引手段と連通している。従って、二股状のハンドからなる保持手段３１の上面にウエーハ等の板状物を支持し図示しない吸引手段を作動することにより、板状物は保持手段３１に吸引保持される。アーム機構３２は、第１のアーム３２１と第２アーム３２２とからなっており、第１アーム３２１の自由端に上記保持手段３１が取付けられ、第１のアーム３２１の基端が第２のアーム３２２の一端に連結される。アーム機構３２を構成する第２のアーム３２２は、基端が駆動機構３３の作動軸３３１に連結されている。この作動軸３３１は駆動機構３３を構成するハウジング３３２内に配設された図示しない回転駆動手段によって回動せしめられる。このように作動軸３３１が回動することにより、作動軸３３１にアーム機構３２を介して連結された保持手段３１は旋回せしめられる。

次に、搬送装置２を構成する第１の支持機構４について、図３を参照して説明する。
図示の実施形態における第１の支持機構４は、上記保持ユニット３が装着される第１の移動基板４１と、該第１の移動基板４１を上下方向に移動可能に支持する第１の基台４２と、第１の移動基板４１を上下方向に移動せしめる第１の移動手段４３とからなっている。第１の支持機構４を構成する第１の移動基板４１は、前面４１aに上記駆動機構３３を構成するハウジング３３２が装着されるようになっており、後面４１bに上下方向に延びる一対の被案内溝４１１、４１１が設けられている。第１の支持機構4を構成する第１の基台４２は、上下方向に延びる垂直部４２１と水平方向に延びる水平部４２２とによってL字状に形成されている。このように形成された第１の基台４２を構成する垂直部４２１の前面４２１aには、上記第１の移動基板４１の後面４１bに設けられた被案内溝４１１、４１１が嵌合する一対の第１の案内レール４２３、４２３が上下方向に設けられている。従って、第１の基台４２は、一対の第１の案内レール４２３、４２３に上記第1の移動基板４１に設けられた被案内溝４１１、４１１を嵌合することにより、第１の移動基板４１を上下方向に移動可能に支持する。第１の支持機構4を構成する第１の移動手段４３は、上記一対の第１の案内レール４２３と４２３の間に平行に配設されたボールスクリュー４３１と、該ボールスクリュー４３１を回転駆動するためのパルスモータ４３２等の駆動源を含んでいる。ボールスクリュー４３１は、その一端が上記第１の基台４２の垂直部４２１に固定された軸受ブロック４３３に回転自在に支持されており、その他端が第１の基台４２の水平部４２２に配設されたパルスモータ４３２の出力軸に伝動連結されている。なお、ボールスクリュー４３１は、上記第1の移動基板４１に上下方向に沿って形成された貫通雌ネジ穴４１２に螺合されている。従って、パルスモータ４３２によってボールスクリュー４３１を正転および逆転駆動することにより、第１の移動基板４１は第１の案内レール４２３、４２３に沿って上下方向に移動せしめられる。

次に、搬送装置２を構成する第２の支持機構５について、図４を参照して説明する。
図示の実施形態における第２の支持機構５は、上記第１の支持機構４を構成する第１の基台４２が装着される第２の移動基板５１と、該第２の移動基板５１を上下方向に移動可能に支持する第２の基台５２と、第２の移動基板５１を上下方向に移動せしめる第２の移動手段５３とからなっている。第２の支持機構５を構成する第２の移動基板５１は、前面５１aに上記第１の支持機構４を構成する第1の基台４２が装着されるようになっており、後面５１bに上下方向に延びる一対の被案内溝５１１、５１１が設けられている。第２の支持機構５を構成する第２の基台５２は、上下方向に延びる垂直部５２１と水平方向に延びる水平部５２２とによってL字状に形成されている。このように形成された第２の基台５２を構成する垂直部５２１の前面５２１aには、上記第２の移動基板５１の後面５１bに設けられた被案内溝５１１、５１１が嵌合する一対の第２の案内レール５２３、５２３が上下方向に設けられている。従って、第２の基台５２は、一対の第2の案内レール５２３、５２３に上記第２の移動基板５１に設けられた被案内溝５１１、５１１を嵌合することにより、第２の移動基板５１を上下方向に移動可能に支持する。第２の支持機構５を構成する第２の移動手段５３は、上記一対の案内レール５２３と５２３の間に平行に配設されたボールスクリュー５３１と、該ボールスクリュー５３１を回転駆動するためのパルスモータ５３２等の駆動源を含んでいる。ボールスクリュー５３１は、その一端が上記第２の基台５２の垂直部５２１に固定された軸受ブロック５３３に回転自在に支持されており、その他端が第２の基台５２の水平部５２２に配設されたパルスモータ５３２の出力軸に伝動連結されている。なお、ボールスクリュー５３１は、上記第２の移動基板５１に上下方向に沿って形成された貫通雌ネジ穴５１２に螺合されている。従って、パルスモータ５３２によってボールスクリュー５３１を正転および逆転駆動することにより、第２の移動基板５１は第２の案内レール５２３、５２３に沿って上下方向に移動せしめられる。

保持ユニット３と第１の支持機構４および第２の支持機構５は以上のように構成されており、保持ユニット３の駆動機構３３を構成するハウジング３３２を第１の支持機構４を構成する第１の移動基板４１の前面４１aに装着し、第１の支持機構4を構成する第１の基台４２を第２の支持機構５を構成する第２の移動基板５１の前面５１aに装着することにより、図1に示す搬送装置を組み立てることができる。図1は、第１の移動手段４３を最下位の位置に作動するとともに、第２の移動手段５３を最下位の位置に作動した状態を示している。図５は、第１の移動手段４３を最上位の位置に作動するとともに、第２の移動手段５３を最下位の位置に作動した状態を示している。図６は、第1の移動手段４３を最下位の位置に作動するとともに、第２の移動手段５３を最上位の位置に作動した状態を示している。図７は、第１の移動手段４３を最上位の位置に作動するとともに、第２の移動手段５３を最上位の位置に作動した状態を示している。以上のように第１の移動手段４３および第２の移動手段５３を作動することにより、保持ユニット３の保持手段３１は図1に示す最も低い位置から図７に示す最も高い位置までの所定位置に位置付けられる。従って、図１に示すようにカセット６Aと６Bを２段重ねした状態において、下側のカセット６Aの最下段の棚から図７に示すように上側のカセット６Bの最上段の棚に亘って板状物の搬出および搬入を行うことができる。

上述したように図示の実施形態における搬送装置２は、板状物を保持する保持手段３１と該保持手段３１を支持するアーム機構３２と、該アーム機構３２を駆動するための駆動機構３３を備えた保持ユニット３と、
該保持ユニット３が装着される第1の移動基板４１と該第1の移動基板４１を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レール４２３、４２３を備えた第1の基台４２と、該第1の基台４２を第1の案内レール４２３、４２３に沿って移動せしめる第１の移動手段４３とを備えた第1の支持機構４と、
該第1の基台４２が装着される第２の移動基板５１と、該第２の移動基板５１を上下方向に移動可能に支持する第２の案内レール５２３、５２３を備えた第２の基台５２と、第２の移動基板５１を第２の案内レール５２３、５２３に沿って移動せしめる第２の移動手段５３とを備えた第２の支持機構５とからなっているので、保持手段３１の移動距離に対応して案内レールを長くする必要がないとともに、保持ユニット３が装着された第1の移動基板４１が下降しても第１の案内レール４２３、４２３が保持手段を支持するアーム機構の旋回動を妨げることがない。

２：搬送装置
３：保持ユニット
３１：保持手段
３２：アーム機構
３３：駆動機構
４：第１の支持機構
４１：第1の移動基板
４２：第1の基台
４２３：第1の案内レール
４３：第１の移動手段
５：第２の支持機構
５１：第２の移動基板
５２：第２の基台
５２３：第２の案内レール
５３：第２の移動手段

Claims

板状物を保持する保持手段と該保持手段を支持するアーム機構と該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、該保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構と、を具備する搬送装置において、
該支持機構は、
該保持ユニットが装着される第1の移動基板と、該第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、該第1の移動基板を該第1の案内レールに沿って移動せしめる第１の移動手段とを備えた第1の支持機構と、
該第1の基台が装着される第２の移動基板と、該第２の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第２の基台と、該第２の移動基板を該第２の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第２の支持機構と、を具備している、
ことを特徴とする搬送装置。