JP2014060337A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収容容器を搬送する基板処理装置において、ベース部と、ベース部に配置される第1の駆動部と、第1の駆動部が動作することによって摺動する第1テーブル96と、第1テーブルに配置される第2の駆動部と、第2の駆動部が動作することによって基板収容容器を移動させる第2テーブル99と、を有し、基板収容容器を搬送する搬送装置と、第1の駆動部と第2の駆動部に接続され、第1の駆動部と第2の駆動部に信号を送信し、第1テーブルと第2テーブルとが同期して摺動するように制御する制御部と、を有する。
【選択図】図4
Description
基板処理装置において、FOUPローダは外部から受け渡しステージへ搬入されたFOUPをFOUP棚、またはFOUPオープナへ搬送するものである。
しかし、ウエハ径が300mmから450mmへと大径化することにより、FOUPのサイズもそれに応じて大型化する。具体的にはFOUP内のウエハ間の装填ピッチは10mmから12mmとなり、1つのFOUPに25枚のウエハを収納する場合のFOUPの高さは300mmウエハの場合に比べて、高さは50mm以上高くなる。また、ウエハを装填したFOUPの重量は300mmウエハの場合に比べて3倍以上となる。
そのため、450mm装置は300mm装置に比べて装置高さが高くなり、FOUPローダは縦型基板処理装置の上方から下方にまで配置されたFOUP載置箇所にアクセスが必須となる。それらに伴いFOUPローダは300mm装置のものに比べ大型・長尺化してしまう。縦型基板処理装置を航空機等により輸送の際には高さの制限がある。よって、長尺化したFOUPローダは解体し、450mm装置から外した状態で輸送しなければならない。そして解体したFOUPローダは装置搬入後に再度組み付け・調整を行う必要がある。
前記搬送装置は、ベース部と、前記ベース部に配置される第1の駆動部と、前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと、前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と、前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルと、を有し、前記第1の駆動部と前記第2の駆動部は、制御信号を受信して前記第1のテーブルと第2のテーブルを同期して摺動させる搬送装置を提供することができる。
本発明が適用される実施形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置(IC)の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やCVD処理などを行う縦型の装置(以下、単に処理装置という)を適用した場合について述べる。
しかし、図8に記載の通り、モータ81とテーブル85はそれぞれが一つずつ設置されているだけであるため、FOUPローダの最下位置から最上位置へ移動する際に時間がかかる。さらに、450mm装置に対応するようFOUPローダを長尺化すると輸送の際の高さ制限があるため、単純に長尺化することができない。
筐体111の正面壁111aにはポッド搬入搬出口112が筐体111の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口112はフロントシャッタ113によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口112の正面前方側には、搬入搬出部として用いられるロードポート114が設置されており、ロードポート114はポッド110を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド110はロードポート114上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、かつまた、ロードポート114上から搬出されるようになっている。
ボート217は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50〜125枚程度)のウエハ200をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
クリーンユニット134から吹き出されたクリーンエア133は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置125a、待機部126にあるボート217に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体111の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット134の吸い込み側である一次側(供給側)にまで循環され、再びクリーンユニット134によって、移載室124内に吹き出されるように構成されている。
尚、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作は、コントローラ240により制御される。
図3には、コントローラ240の構成が示されている。コントローラ240は、入出力装置241を介して、FOUPローダ118、ポッド棚105、ウエハ移載機構125、モータ1、モータ2、第1のポッドテーブル、第2のポッドテーブル等を制御する。
また、コントローラ240は図示しない温度センサやヒータを制御する温度制御部、バルブやMFCを制御するガス流量制御部、APCバルブや圧力センサなどを制御する圧力制御部と接続され、それぞれを制御するように構成されている。
図1及び図2に示されているように、ポッド110がロードポート114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はFOUPローダ118によって筐体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。
搬入されたポッド110は、ポッド棚105の指定された載置部117へFOUPローダ118によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、ポッド棚105から一方のポッドオープナ121に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、ポッド棚105から一方のポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載される。この際、ポッドオープナ121のウエハ搬入搬出口120はキャップ着脱機構123によって閉じられており、移載室124にはクリーンエア133が流通され、充満されている。例えば、移載室124にはクリーンエア133として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が20ppm以下と、筐体111の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
ポッド110がポッドオープナ121によって開放されると、ウエハ200はポッド110からウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置135にてウエハを整合した後、移載室124の後方にある待機部126へ搬入され、ボート217に装填(チャージング)される。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aはポッド110に戻り、次のウエハ200をボート217に装填する。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置135でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ200及びポッド110は筐体の外部へ払い出される。
これら2つの第1テーブル96,第2テーブル99を同期させて伸縮させるには、ボールねじ92、ボールねじ98のリード比も2:1とし、それぞれ2つのモータ91、95を同じ回転数で運転を行う。これにより、全ストロークを第1テーブル96、第2テーブル99をともにスムースに昇降することができる。ここで、2つのモータ91、95を同じ回転数で運転を行うということは、1つの制御信号をそれぞれのモータに供給することができるということである。
上記の手段を用いることにより、上位のコントローラから各モータ91、95への指令を1つの制御信号で複数のモータを制御にすることができる。
上位コントローラからの指令を1つにすることで、2つ以上のモータを用いてテーブル(ワーク)の同期運転を非常に容易にすることができる。
テーブルの位置制御を行う対象が、本発明のように、移動しない(固定である)FOUP棚のようなものであれば、前述のように、複数のモータに対して一つの制御信号で動作させる方が、位置調整が容易にできるというメリットが生じる。
このように、複数のモータに対して一つの制御信号でテーブル96、99の位置制御を行うということは、一方のテーブルが動いているときは必ずもう一方のテーブルも同期して動くこととなる。
基板を収容する基板収容容器を搬送する基板処理装置において、
ベース部と、
前記ベース部に配置される第1の駆動部と、
前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと、
前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と、
前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルと、を有し、前記基板収容容器を搬送する搬送装置と、
前記第1の駆動部と前記第2の駆動部に接続され、前記第1の駆動部と前記第2の駆動部に信号を送信し、前記第1のテーブルと前記第2のテーブルとが同期して摺動するように制御する制御部と、を有する基板処理装置。
前記第1のテーブルが摺動する第1の摺動長さと前記第2のテーブルが摺動する第2の摺動長さは、前記第1の摺動長さの方が前記第2の摺動長さよりも長く設定される付記1に記載の基板処理装置。
前記第1のテーブルと前記第2のテーブルは、併設されて同方向に摺動する付記1または2に記載の基板処理装置。
前記第1の駆動部と前記第2の駆動部は電子ギヤを有するモータによって構成され、
前記第1の駆動部と前記第2の駆動部の電子ギヤの比率は、2:1となるように設けられている付記1から3のいずれかに記載の基板処理装置
基板処理装置の筐体内に設けられた基板収容容器を収容する収納棚へ前記基板収容容器を搬送する搬送装置において、
前記搬送装置は、ベース部と、
前記ベース部に配置される第1の駆動部と、
前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと、
前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と、
前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルと、
を有し、
前記第1の駆動部と前記第2の駆動部は、制御信号を受信して前記第1のテーブルと第2のテーブルを同期して摺動させる搬送装置。
前記第1のテーブルが摺動する第1の摺動長さと前記第2のテーブルが摺動する第2の摺動長さは、前記第1の摺動長さの方が前記第2の摺動長さよりも長く設定される付記3に記載の搬送装置。
ベース部と前記ベース部に配置される第1の駆動部と前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルとを有し、基板を収容する基板収容容器を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御部とを備える基板処理装置の基板処理方法において、
前記搬送装置が前記基板収容容器を保持し、前記第1の駆動部と前記第2の駆動部が前記制御部からの信号を受信し前記第1のテーブルと前記第2のテーブルを同期して摺動させ、前記基板収容容器を所定の位置に搬送する工程と、
前記搬送された基板収容容器から基板を搬出する工程と、
前記搬出された基板を処理する工程と、
を有する基板処理方法。
基板収容容器を搬送する基板処理装置において、
本体ベースと、
前記本体ベースに配置される第1のモータと、
前記第1のモータに接続される第1のボールねじと、
前記第1のボールねじと接続される第1のテーブルと、
前記第1のテーブルに配置された第2のモータと、
前記第2のモータに接続される第2のボールねじと、
前記第2のボールねじと接続される第2のテーブルと、
を備え、
前記第1のモータ及び第2のモータへ同一の信号を送信する制御部と
を備えた基板処理装置。
93・・・・本体ベース
95・・・・第2のモータ
96・・・・第1のテーブル
99・・・・第2のテーブル
100・・・基板処理装置
118・・・FOUPローダ
Claims (3)
- 基板を収容する基板収容容器を搬送する基板処理装置において、
ベース部と、
前記ベース部に配置される第1の駆動部と、
前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと、
前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と、
前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルと、を有し、前記基板収容容器を搬送する搬送装置と、
前記第1の駆動部と前記第2の駆動部に接続され、前記第1の駆動部と前記第2の駆動部に信号を送信し、前記第1のテーブルと前記第2のテーブルとが同期して摺動するように制御する制御部と、を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の筐体内に設けられた基板収容容器を収容する収納棚へ前記基板収容容器を搬送する搬送装置において、
前記搬送装置は、ベース部と、
前記ベース部に配置される第1の駆動部と、
前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと、
前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と、
前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルと、
を有し、
前記第1の駆動部と前記第2の駆動部は、制御信号を受信して前記第1のテーブルと第2のテーブルを同期して摺動させる搬送装置。 - ベース部と前記ベース部に配置される第1の駆動部と前記第1の駆動部が動作することによって摺動する第1のテーブルと前記第1のテーブルに配置される第2の駆動部と前記第2の駆動部が動作することによって前記基板収容容器を移動させる第2のテーブルとを有し、基板を収容する基板収容容器を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御部とを備える基板処理装置の基板処理方法において、
前記搬送装置が前記基板収容容器を保持し、前記第1の駆動部と前記第2の駆動部が前記制御部からの信号を受信し前記第1のテーブルと前記第2のテーブルを同期して摺動させ、前記基板収容容器を所定の位置に搬送する工程と、
前記搬送された基板収容容器から基板を搬出する工程と、
前記搬出された基板を処理する工程と、
を有する基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012205748A JP6031304B2 (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014060337A true JP2014060337A (ja) | 2014-04-03 |
JP2014060337A5 JP2014060337A5 (ja) | 2015-11-05 |
JP6031304B2 JP6031304B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=50616532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012205748A Active JP6031304B2 (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6031304B2 (ja) |
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-
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JP6031304B2 (ja) | 2016-11-24 |
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