JP4835535B2 - 板状体検査設備 - Google Patents

Description

本発明は、たとえば搬送経路上で搬送されているガラス基板などの板状体を目視検査するときに使用される板状体検査設備に関するものである。

従来、この種のものとしては、次のような構成が提供されている。すなわち板状体を、複数の搬送装置により形成した搬送経路上で搬送させ、その際に、上手の搬送装置における上手の板状体検査設備の部分において板状体の表面側を検査し、次いで上手中間の搬送装置における板状体反転設備の部分において、板状体を反転させて表裏を変えている。そして、下手中間の搬送装置における下手の板状体検査設備の部分において板状体の裏面側を検査したのち、下手の搬送装置における板状体取り出し設備の部分において、両板状体検査設備の検査により不良品と判断された板状体を取り出し、また良品と判断された板状体を次の搬送装置へ送り込んでいる（たとえば、特許文献１参照。）。

また板状体検査設備としては、次のような構成が提供されている。すなわち、板状体を搬入させる前においては、昇降手段により昇降体を最下段位置に下降させるとともに、揺動手段により揺動体を軸心の周りに下方に揺動させることにより、揺動体に設けた板状体支持部の支持面を、搬送経路の搬送面に対して下方に位置した水平状姿勢にしている。これにより、搬送経路上で搬送してきた板状体の揺動体の上方への搬入は、揺動体に衝突などすることなく行える。そして、板状体支持部の上方に板状体を停止させた状態で、揺動手段により揺動体を軸心の周りに上方へ揺動させるとともに、昇降手段により昇降体および揺動手段を一体状で上昇させることにより、支持面を搬送面に対して上方に位置する傾斜状姿勢にし得るとともに、傾斜姿勢にある揺動体を上昇し得、以て搬送面上の板状体を支持面により支持して傾斜状で持ち上げ得る。これにより板状体を、目視検査部に向けて傾斜させるとともに上昇させ得、その際に傾斜角度ならびに上昇位置を、それぞれ複数段に調整することで、作業者の身長などに応じて最も目視検査し易い状態にし得る。この状態で、作業者によって板状体に対する所期の目視検査を行う。その後に、上述とは逆作動、すなわち、揺動手段により揺動体を軸心の周りに下方へ揺動させるとともに、昇降手段により昇降体および揺動手段を一体状で下降させることにより、支持面を搬送面に対して下方に位置する水平状姿勢にし得、以て板状体を搬送面により支持して搬送経路上に戻し得、その後に板状体を搬送経路上で搬出し得る（たとえば、特許文献２参照。）。

このような構成（特許文献１，２の組み合わせ構成）によると、上手の板状体検査設備の部分において板状体を傾斜させた状態で表面側を検査し、次いで板状体反転設備の部分において板状体を反転させて表裏を変え、そして下手の板状体検査設備の部分において板状体を傾斜させた状態で裏面側を検査することになる。
特開２００６−１０３８６３号公報（第８頁、図１０） 特開２００６−１０５７４７号公報（第４頁、図１−６）

しかし、上記した従来構成（特許文献１，２の組み合わせ構成）によると、板状体反転設備の部分から下手の板状体検査設備の部分における板状体の搬送は、ローラコンベヤ形式の搬送装置によって表面側を支持して行うことになり、この場合に、板状体（製品）の品質上、好まれないことが生じる恐れもある。すなわち、板状体の材質、板状体の製品としての使用目的、搬送装置における搬送用輪体（ローラ）の材質、搬送装置による搬送速度、下手の板状体検査設備に対向させるための搬送停止作用、などの条件によっては表面側に悪影響を及ぼす恐れがあり、これら条件に十分に注意する必要がある。また、搬送経路中に板状体反転設備を配設しなければならず、全体を大型化するとともに制御を複雑化している。

そこで本発明の請求項１記載の発明は、常に一方の面を支持して搬送しながらも、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供することを目的としたものである。

前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の板状体検査設備は、搬送装置による板状体の搬送経路中で、搬送経路の側方に設けられた目視検査部に対向する部分には、昇降動手段と反転動手段とが設けられ、前記昇降動手段は、搬送面の下方に位置される昇降体と、この昇降体に連動された昇降装置と、前記搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けられた板状体持ち上げ体とにより構成され、前記反転動手段は、搬送面の上下に亘って位置されて搬送経路の幅方向に移動自在な移動体と、この移動体の下部に連動された横移動装置と、前記移動体の上部に、搬送経路方向に沿った横軸心の周りに回動自在に設けられた回動体と、この回動体の回動装置と、前記回動体が水平状姿勢のときに下面側に位置される板状体保持装置とにより構成され、前記回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置される水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置される傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成されていることを特徴としたものである。

したがって請求項１の発明によると、板状体を搬送装置に搬入させる前においては、昇降装置により昇降体を下降させ、板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動させている。また横移動装置を作動させることで、移動体を目視検査部から最も離れた位置に移動させている。そして回動装置の駆動によって、板状体保持装置が搬送面に対向して水平状姿勢となるように、回動体を回動させている。このような状態で、その下向き面が支持された状態で搬送装置に搬入させてきた板状体を、昇降動手段と板状体保持装置との間に位置させて停止させたのち、まず昇降動手段を作動させる。すなわち、昇降装置を作動させることで昇降体を上昇させ、板状体持ち上げ体を搬送面に対して突出動させることにより、搬送面で支持していた板状体を板状体持ち上げ体によって持ち上げる。

次いで、板状体を板状体保持装置により保持したのち、反転動手段の横移動装置と回動装置とを作動させる。すなわち、横移動装置の作動により移動体を目視検査部側へと接近移動させることで、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に向かって幅方向に移動させるとともに、回動装置の作動により回動体を横軸心の周りに上方へと回動させることで、板状体保持装置により保持している板状体を、水平状姿勢から傾斜状姿勢へと姿勢変更させ得る。これにより、板状体を目視検査部側へ最も接近させるとともに、その下向き面を上向き傾斜状姿勢へと姿勢変更し得る。

このようにして、板状体の下向き面を作業者が目視検査し易い姿勢（向き、角度）にした状態で、作業者によって下向き面に対する所期の目視検査を行って、板状体が不良品であるか良品であるかを判断する。そして検査終了後において、反転動手段を上述とは逆作動させて、板状体を搬送経路上に戻す。すなわち、横移動装置と回動装置とを逆作動して、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に対して幅方向で離間移動させるとともに、傾斜状姿勢から水平状姿勢へと姿勢変更させて、その下向き面を下向きとして昇降動手段の上方に位置させる。そして、昇降装置を作動させることで昇降体を上昇させ、搬送面に対して突出動させた板状体持ち上げ体を、板状体の下向き面に当接させる。

次いで、板状体保持装置による保持を開放したのち、昇降装置の作動で昇降体を下降させることで、板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動させ得、以て板状体を、その下向き面を介して搬送面上に戻し得る。その後に、搬送装置を駆動することで、板状体を搬出し得る。以上により、目視検査設備において板状体の下向き面の目視検査を終えるのであり、引き続いて次の板状体を搬送装置に搬入し得る。

また本発明の請求項２記載の板状体検査設備は、上記した請求項１記載の構成において、板状体保持装置は、幅方向で一対の上規制部材と、これら上規制部材を互いに接近離間動させる接近離間動装置と、回動自在な下規制部材とからなり、両上規制部材にはそれぞれ、板状体保持装置が水平状姿勢のときに下向きとなる規制受け面と、相対向される幅規制面とが形成されて、昇降動手段により持ち上げられた板状体の上向き面に規制受け面が対向自在に構成され、そして両下規制部材にはそれぞれ、回動により上向きとなったときに、昇降動手段により持ち上げられた板状体の下向き面に当接自在な規制押し上げ面が形成されていることを特徴としたものである。

したがって請求項２の発明によると、板状体を搬送装置に搬入させる前で板状体保持装置が搬送面に対向して水平状姿勢のときにおいては、上規制部材を互いに最も離間した位置へと移動させるとともに、下規制部材を下方かつ外側へと回動させて上規制部材の下方を開放させている。そして、板状体を板状体持ち上げ体によって持ち上げたのち、接近離間動装置を駆動して両上規制部材を互いに接近移動させる。この接近移動は、板状体の寸法情報（サイズ情報）に基づいて制御し得、以て板状体の側面に幅規制面が当接する前に停止し得る。次いで、下規制部材を上方かつ内側へと回動させて、昇降動手段により持ち上げた板状体の下向き面に規制押し上げ面を下方から当接させる。そして、昇降装置を逆作動して昇降体を下降させ、板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動させることにより、板状体を板状体保持装置により保持し得る。

所期の目視検査を行ったのち、裏面検査設備を逆作動させて、板状体保持装置により保持している板状体を、その下向き面を下向きとして昇降動手段の上方に位置させる。そして、昇降装置を作動して昇降体を上昇させることで、搬送面に対して突出動させた板状体持ち上げ体を、板状体の下向き面に当接させる。次いで、下規制部材を下方かつ外側へと回動させて板状体の下方を開放させたのち、接近離間動装置を逆駆動して上規制部材を互いに最も離間した位置へと移動させる。そして昇降装置を逆作動させることで、昇降体を下降させて板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動させ得、以て板状体を、その下向き面を介して搬送面上に戻し得る。

上述の動作によって、異なるサイズの板状体も同様にして取り扱えるものであり、その際に上規制部材の移動量が自動的に調整される。なお、板状体が幅方向において位置ずれした状態で搬送されたのち、昇降動手段の上方に停止していたとき、互いに接近移動してきた上規制部材のうち、位置ずれした側の上規制部材の幅規制面を板状体の側面に当接させて、幅方向に移動させることになる。

そして本発明の請求項３記載の板状体検査設備は、上記した請求項１または２記載の構成において、反転動手段は、板状体保持装置により板状体を保持したのち、移動体を介して板状体保持装置を目視検査部に向かって幅方向に移動させながら、回動体を介して板状体保持装置を水平状姿勢から傾斜状姿勢へと回動すべく構成されていることを特徴としたものである。

したがって請求項３の発明によると、反転動手段の横移動装置と回動装置とを同時状に作動制御して、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に向かって幅方向に移動させながら、水平状姿勢から傾斜状姿勢へと姿勢変更し得る。すなわち、横移動装置の作動によって移動体を目視検査部側へと接近移動させると同時に、回動装置の作動によって回動体を横軸心の周りに上方へと回動させる。これにより、板状体を目視検査部側へと接近移動させながら、その下向き面を下向き水平状姿勢から上向き傾斜状姿勢へと姿勢変更し得、以て板状体の姿勢変更と目視検査部側への接近動とを能率良く行える。

そして所期の目視検査の終了によって、裏面検査設備を上述とは逆作動させて、板状体を搬送経路上に戻す。すなわち、反転動手段の横移動装置と回動装置とを同時状に逆作動制御して、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に対して幅方向に離間移動させながら、傾斜状姿勢から水平状姿勢へ向けて姿勢変更し得る。これにより板状体を、水平状姿勢へと姿勢変更させて、その下向き面を下向きとして昇降動手段の上方に位置させ得、以て板状体の姿勢変更と目視検査部からの離間動とを能率良く行える。

さらに本発明の請求項４記載の板状体検査設備は、上記した請求項１〜３のいずれか１項に記載の構成において、板状体は表面と裏面とが形成され、搬送装置により裏面が支持された状態で搬送され、反転動手段により傾斜状姿勢とされたとき、裏面が目視検査部に向けられるように構成されていることを特徴としたものである。

したがって請求項４の発明によると、板状体は、搬送装置により常に裏面を支持した状態で搬送し得、そして反転動手段によって、裏面を目視検査部に向けて傾斜状姿勢とし得る。

上記した本発明の請求項１によると、板状体を搬送装置に搬入させる前においては、昇降装置により昇降体を下降させて、板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動させている。また横移動装置を作動させることで、移動体を目視検査部から最も離れた位置に移動させている。そして回動装置の駆動によって、板状体保持装置が搬送面に対向して水平状姿勢となるように、回動体を回動させている。このような状態で、その下向き面が支持された状態で搬送装置に搬入させてきた板状体を、昇降動手段と板状体保持装置との間に位置させて停止させたのち、まず昇降動手段の昇降装置を作動させることで、昇降体を上昇させて板状体持ち上げ体を搬送面に対して突出動でき、これにより、搬送面で支持していた板状体を板状体持ち上げ体によって持ち上げることができる。

次いで、板状体を板状体保持装置により保持したのち、横移動装置の作動により移動体を目視検査部側へと接近移動させることで、板状体を目視検査部に向かって幅方向に移動できるとともに、回動装置の作動により回動体を横軸心の周りに上方へと回動させることで、板状体を水平状姿勢から傾斜状姿勢へと姿勢変更できる。これにより、板状体を目視検査部側へ最も接近できるとともに、その下向き面を上向き傾斜状姿勢へと姿勢変更できる。

このようにして、板状体の下向き面を作業者が目視検査し易い姿勢（向き、角度）にした状態で、作業者によって下向き面に対する所期の目視検査を行って、板状体が不良品であるか良品であるかを判断できる。そして検査終了後において、反転動手段を上述とは逆作動させて、板状体を搬送経路上に戻すことができる。すなわち、横移動装置と回動装置とを逆作動して、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に対して幅方向で離間移動できるとともに、傾斜状姿勢から水平状姿勢へと姿勢変更させて、その下向き面を下向きとして昇降動手段の上方に位置できる。そして、昇降装置を作動させることで昇降体を上昇でき、搬送面に対して突出動させた板状体持ち上げ体を、板状体の下向き面に当接できる。

次いで、板状体保持装置による保持を開放したのち、昇降装置の作動で昇降体を下降させることで、板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動でき、以て板状体を、その下向き面を介して搬送面上に戻すことができる。その後に、搬送装置を駆動することで、板状体を搬出できる。以上により、目視検査設備において板状体の下向き面の目視検査を終えるのであり、引き続いて次の板状体を搬送装置に搬入できる。

このように板状体を、搬送経路上で常に一方の面を支持して搬送できながらも、搬送経路の全体を大型化することなく、また制御を複雑化することなく、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行うことができる。

また上記した本発明の請求項２によると、板状体を搬送装置に搬入させる前で板状体保持装置が搬送面に対向して水平状姿勢のときにおいては、上規制部材を互いに最も離間した位置へと移動できるとともに、下規制部材を下方かつ外側へと回動させて上規制部材の下方を開放できる。そして、板状体を板状体持ち上げ体によって持ち上げたのち、接近離間動装置を駆動して両上規制部材を互いに接近移動できる。この接近移動は、板状体の寸法情報（サイズ情報）に基づいて制御でき、以て板状体の側面に幅規制面が当接する前に停止できる。次いで、下規制部材を上方かつ内側へと回動させて、昇降動手段により持ち上げた板状体の下向き面に規制押し上げ面を下方から当接できる。そして、昇降装置を逆作動して昇降体を下降させ、板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動させることにより、板状体を板状体保持装置により保持できる。

所期の目視検査を行ったのち、裏面検査設備を逆作動させて、板状体保持装置により保持している板状体を、その下向き面を下向きとして昇降動手段の上方に位置できる。そして、昇降装置を作動して昇降体を上昇させることで、搬送面に対して突出動させた板状体持ち上げ体を、板状体の下向き面に当接できる。次いで、下規制部材を下方かつ外側へと回動させて板状体の下方を開放させたのち、接近離間動装置を逆駆動して上規制部材を互いに最も離間した位置へと移動できる。そして昇降装置を逆作動させることで、昇降体を下降させて板状体持ち上げ体を搬送面に対して退入動でき、以て板状体を、その下向き面を介して搬送面上に戻すことができる。

上述の動作によって、異なるサイズの板状体も同様にして取り扱うことができ、その際に上規制部材の移動量を自動的に調整できる。なお、板状体が幅方向において位置ずれした状態で搬送されたのち、昇降動手段の上方に停止していたとき、互いに接近移動してきた上規制部材のうち、位置ずれした側の上規制部材の幅規制面を板状体の側面に当接させて、幅方向に移動させることができ、以て幅方向の位置ずれを自動的に調整できる。

そして上記した本発明の請求項３によると、反転動手段の横移動装置と回動装置とを同時状に作動制御して、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に向かって幅方向に移動させながら、水平状姿勢から傾斜状姿勢へと姿勢変更できる。すなわち、横移動装置の作動によって移動体を目視検査部側へと接近移動できると同時に、回動装置の作動によって回動体を横軸心の周りに上方へと回動できる。これにより、板状体を目視検査部側へと接近移動させながら、その下向き面を下向き水平状姿勢から上向き傾斜状姿勢へと姿勢変更でき、以て板状体の姿勢変更と目視検査部側への接近動とを能率良く行うことができる。

そして所期の目視検査の終了によって、裏面検査設備を上述とは逆作動させて、板状体を搬送経路上に戻すことができる。すなわち、反転動手段の横移動装置と回動装置とを同時状に逆作動制御して、板状体保持装置により保持している板状体を、目視検査部に対して幅方向に離間移動させながら、傾斜状姿勢から水平状姿勢へ向けて姿勢変更できる。これにより板状体を、水平状姿勢へと姿勢変更させて、その下向き面を下向きとして昇降動手段の上方に位置でき、以て板状体の姿勢変更と目視検査部からの離間動とを能率良く行うことができる。

さらに上記した本発明の請求項４によると、板状体は、搬送装置により常に裏面を支持した状態で搬送でき、そして反転動手段によって、裏面を目視検査部に向けて傾斜状姿勢にできる。

［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態を、ガラス基板の搬送に採用した状態として、図に基づいて説明する。ここでガラス基板は、たとえばＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用で、図４に示すように、短寸ガラス基板（板状体の一例）Ｇａと、この短寸ガラス基板Ｇａに対して前後長さや左右幅が少し大きい中寸ガラス基板（板状体の一例）Ｇｂと、この中寸ガラス基板Ｇｂに対して前後長さや左右幅が少し大きい長寸ガラス基板（板状体の一例）Ｇｃとが取り扱われるものとする。そしてガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃには、表面ＧＡと裏面ＧＢとが形成されている。

図７において、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの搬送経路１は、複数の搬送装置２，３，１０，５，７により形成され、その際に搬送装置３は表面目視検査部Ａに対向し、搬送装置１０は裏面目視検査部（目視検査部の一例）Ｂに対向して設けられている。そして、搬送装置３にはガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの表面検査設備４が設けられ、搬送装置１０にはガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの裏面検査設備（板状体検査設備の一例）３０が設けられ、搬送装置５には板状体取り出し設備６が設けられている。

前記搬送装置２，３，１０，５，７は同様な構成であって、以下において搬送装置１０を主として説明し、他の搬送装置２，３，５，７の説明は同一符号を付して省略する。すなわち図１〜図３において、搬送装置１０は、たとえばローラコンベヤ形式であって、枠状本体１１と、この枠状本体１１上に配設された左右一対のコンベヤフレーム１３と、コンベヤフレーム１３の長さ方向の複数箇所において両コンベヤフレーム１３間に配設される搬送体１７群と、これら搬送体１７群に回転力を付与する回転駆動手段２０などから構成される。

前記枠状本体１１は、左右一対の上部前後材１１ａと、これら上部前後材１１ａの前端間や後端間を連結する２本（複数本）の上部左右材１１ｂと、上部前後材１１ａの各前後端下面から垂設される脚材１１ｃと、左右の脚材１１ｃの下端間を連結する下部左右材１１ｄなどにより箱枠状に構成されている。そして下部の四隅部分には、調整自在な着地体１２が設けられている。

前記コンベヤフレーム１３の所定箇所、すなわち搬送体１７を配設する複数箇所やテンション用案内輪体（後述する。）を配設する複数箇所、駆動部フレーム（後述する。）および反転用案内輪体（後述する。）を配設する複数箇所などには、左右方向の貫通孔が、それぞれ機械加工などにより直孔状に形成されている。このコンベヤフレーム１３は、上部左右材１１ｂ間に亘ってそれぞれ載置され、そしてボルト・ナット（連結具の一例）１４を介して連結されている。

前記搬送体１７は、軸（ローラ軸）１８と、この軸１８の長さ方向の６箇所（複数箇所）に設けられた大径の搬送用輪体（ローラ）１９とにより構成され、前記軸１８の両端が、コンベヤフレーム１３に形成された貫通孔に嵌め込みにより配置されたボールベアリング形式（またはローラベアリング形式）の軸受１５に挿通されて、回転自在に支持されている。このようにして左右のコンベヤフレーム１３間に多数の搬送体１７が配設される。そして、搬送用輪体１９群により搬送経路１の搬送面１Ａが形成され、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃは、搬送面１Ａにより常に裏面（一方の被支持面）ＧＢが支持された状態で搬送されるように構成されている。

コンベヤ幅方向の片側、すなわち軸１８における他端側のコンベヤフレーム１３の周辺に前記回転駆動手段２０が配設されている。すなわち、軸１８の他端にはそれぞれ受動輪体２１が取り付けられ、そして受動輪体２１間でかつ適宜の位置にはテンション用案内輪体２２が配設されている。ここでテンション用案内輪体２２は、前記貫通孔に挿通されるボルト・ナットなどを介してコンベヤフレーム１３側に遊転自在に取り付けられている。さらに、他端側のコンベヤフレーム１３の外面側には駆動部フレーム２３が、コンベヤフレーム１３に対して上下位置を調整自在として取り付けられている。この駆動部フレーム２３には、減速機付きのモータなどからなる駆動部２４が連結具を介して取り付けられるとともに、駆動部２４からの出力軸には駆動用輪体２５が設けられている。そして駆動部２４の近くにおいてコンベヤフレーム１３側には、前記貫通孔を挿通するボルト・ナットなどを介して一対の反転用案内輪体２６が遊転自在に設けられている。

駆動用の無端ベルトなどからなる無端回動体２７は、テンション用案内輪体２２群に下方から掛けられることで、前記受動輪体２１群に上方から当接自在に構成されるとともに、その当接により回転動力が伝達されるように構成されている。さらに無端回動体２７は、両反転用案内輪体２６に掛けられたのち、駆動用輪体２５に掛けられることで、回動力が付与される構成になっている。すなわち搬送体１７群は、回転駆動手段２０の無端回動体２７が受動輪体２１群に上方から当接されることで駆動回転可能に構成されている。なお、少なくとも搬送経路１の方向の両端に位置される受動輪体２１や、駆動用輪体２５、反転用案内輪体２６には、両側に鍔部が形成されており、以て無端回動体２７の幅方向の位置ずれが防止されている。以上の２１〜２７などにより回転駆動手段２０の一例が構成され、そして以上の１１〜２７などにより搬送装置１０の一例が構成される。

図１〜図６、図８、図９において、前記搬送装置１０によるガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの搬送経路１中で、搬送経路１の側方に設けられた裏面目視検査部Ｂに対向する部分には前記裏面検査設備３０が設けられ、この裏面検査設備３０は、昇降動手段４１や反転動手段５１などにより構成されている。ここで左右一対の上部前後材１１ａの下面には、下方への垂設部材３１が設けられ、これら垂設部材３１の下面間に、平面視で矩形状の設備ベース体３２が、上下位置調整自在な複数の連結具（ボルト・ナット）３３を介して連結されている。

前記昇降動手段４１は、搬送面１Ａの下方に位置される昇降体４２と、この昇降体４２に連動されたシリンダー装置（昇降装置の一例）４６と、前記搬送面１Ａに対して出退動自在として昇降体４２に設けられた板状体持ち上げ体４７などにより構成されている。すなわち、昇降体４２は平面視で矩形状であって、搬送経路１の方向の両端部で下面側には連結部材４３が設けられ、これら連結部材４３から垂設された搬送経路１の幅方向１Ｗで一対の被ガイド体４４が、設備ベース体３２の外側面に設けられたガイド体４５に昇降自在に案内されている。そして、ガイド体４５側には上向きのシリンダー装置４６が設けられ、このシリンダー装置４６のピストンロッド４６ａが連結部材４３に連結されている。前記板状体持ち上げ体４７はロッド状であって、昇降体４２の上面４箇所（上面複数箇所）から立設され、シリンダー装置４６の伸縮動によって、搬送体１７の間を通って搬送面１Ａに対して出退動自在に構成されている。以上の４２〜４７などにより、昇降動手段４１の一例が構成される。

前記反転動手段５１は、搬送面１Ａの上下に亘って位置されて搬送経路１の幅方向１Ｗに移動自在な移動体５２と、この移動体５２の下部に連動された横移動装置５５と、前記移動体５２の上部に、搬送経路方向に沿った横軸心６３Ａの周りに回動自在に設けられた回動体６１と、この回動体６１の回動装置６５と、前記回動体６１が水平状姿勢のときに下面６１Ａ側に位置される板状体保持装置７１などにより構成されている。

すなわち前記移動体５２は、設備ベース体３２の上方に位置される横向き板部５２ａと、この横向き板部５２ａにおける搬送経路１の方向の両端から立設される縦向き板部５２ｂとによって、幅方向１Ｗから見たときにＵ字状に形成されている。そして横向き板部５２ａの下面に設けられた筒状体（被ガイド体）５３が、設備ベース体３２上に設けられた幅方向１Ｗのガイドロッド（ガイド体）５４に支持案内されることで、移動体５２は幅方向１Ｗに移動自在に構成されている。その際に、筒状体５３とガイドロッド５４とからなるガイド機構は、搬送経路１の方向において一対（単数または複数）に設けられている。

また、前記移動体５２の一対の縦向き板部５２ｂを、搬送面１Ａの上下に亘って位置させて幅方向１Ｗに移動させるために、両縦向き板部５２ｂは、それぞれ搬送体１７の間を通って搬送面１Ａの上下に亘って位置されており、さらに昇降体４２には、縦向き板部５２ｂの幅方向１Ｗの移動を許す溝状の切り欠き部４２Ａが形成されている。

前記横移動装置５５は、設備ベース体３２の下面側に設けられるもので、幅方向１Ｗの両端部部分に遊転自在に設けられた反転用輪体５６ａと、幅方向１Ｗの中央部分に遊転自在に設けられた一対の案内用輪体５６ｂと、これら案内用輪体５６ｂ間に正逆駆動装置（モータや減速機など）５７を介して設けられた駆動用輪体５６ｃと、各輪体５６ａ，５６ｂ，５６ｃ間に亘って巻回された無端回動体（チェーンなど）５８などによって構成されている。そして無端回動体５８の所定箇所が、クランプ形式の連結部材５９を介して移動体５２の横向き板部５２ａに連結されている。

前記移動体５２における両縦向き板部５２ｂの上部それぞれには、裏面目視検査部Ｂに向けて突出される状態で軸受６２が設けられ、これら軸受６２間に、搬送経路１の方向に沿った横軸６３が設けられている。前記回動体６１は矩形板状であって、裏面目視検査部Ｂから離れた側でかつ搬送経路１の方向の両側面から上方に連設された一対のブラケット６４が前記横軸６３に外嵌固定されることで、搬送経路１の方向に沿った横軸心６３Ａの周りに回動自在に設けられる。前記回動装置６５は、一方の縦向き板部５２ｂの上部に設けられた正逆駆動自在なモータ６６と、そのモータ軸が連動連結された減速部６７などからなり、この減速部６７に前記横軸６３が連動連結されている。

したがって前記回動装置６５の正逆駆動によって、板状体保持装置７１が搬送経路１の搬送面１Ａに対向して位置される水平状姿勢（図１参照）と、板状体保持装置７１が搬送面１Ａに対して起立状に位置される傾斜状姿勢（図１５参照）との間で、回動体６１を回動すべく構成される。

板状体保持装置７１は、幅方向１Ｗで一対の上規制部材７２と、これら上規制部材７２を互いに接近離間動させる接近離間動装置８１と、回動自在な下規制部材９１などからなる。すなわち前記回動体６１の下面６１Ａ側には、幅方向１Ｗに沿ったロッド状のガイド体７３が両端支持部材７４を介して設けられるとともに、このガイド体７３は搬送経路１の方向の両端部分に振り分けて一対が配設されている。そして一対の上規制部材７２は、その上面側に設けられた筒状の被ガイド体７５が前記ガイド体７３に外嵌されることで、互いに接近離間動自在に構成されている。ここで両上規制部材７２にはそれぞれ、板状体保持装置７１が水平状姿勢のときに下向きとなる規制受け面７２Ａと、相対向される幅規制面７２Ｂとが形成されるように、横向きＬ字状に構成されている。そして、前記昇降動手段４１により持ち上げられたガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの表面（上向き面）ＧＡに規制受け面７２Ａが対向自在に構成されている。

前記接近離間動装置８１は回動体６１の下面６１Ａ側に設けられるもので、幅方向１Ｗの両端部部分に遊転自在に設けられた反転用輪体８２と、幅方向１Ｗの中央部分に遊転自在に設けられた案内用輪体８３と、この案内用輪体８３の近くに正逆駆動装置（モータや減速機など）８４を介して設けられた駆動用輪体８５と、案内用輪体８３と駆動用輪体８５との間に位置調整具８６を介して設けられたテンション用輪体８７と、各輪体８２，８３，８５，８７間に亘って巻回された無端回動体（チェーンなど）８８などによって構成されている。そして無端回動体８８の所定箇所が、それぞれ連結部材８９を介して上規制部材７２側に連結されている。

前記下規制部材９１は、幅方向１Ｗで一対の前記上規制部材７２に対して、それぞれ搬送経路１の方向の外方位置で回動自在に設けられている。すなわち、上規制部材７２の外方位置には、搬送経路１に沿った方向の回転軸９２が設けられ、この回転軸９２は、上規制部材７２側からの軸受９３に回転自在に支持されている。そして回転軸９２の両端に前記下規制部材９１の基端が連結されている。前記上規制部材７２の上面側には、幅方向１Ｗに沿ったシリンダー装置９４が配設され、そのシリンダー本体９４ａが、搬送経路１に沿った連結軸９５を介して上規制部材７２側に連結されている。そしてシリンダー装置９４の外側に向いたピストンロッド９４ｂの遊端に、前記回転軸９２の中間部分から連設されたリンク体９６の遊端が連結ピン９７を介して相対回動自在に連結されている。

したがって、シリンダー装置９４の伸縮動によりリンク体９６を介して回転軸９２を回転させることで、この回転軸９２と一体の下規制部材９１を回動し得る。その際に各下規制部材９１にはそれぞれ、回動により上向きとなったときに、昇降動手段４１により持ち上げられたガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの裏面（下向き面）ＧＢに当接自在な規制押し上げ面９１Ａが形成されている。なお回動体６１の下面６１Ａ側には、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの中央部分の撓みを防止するための吸着パッド９９が設けられている。ここで吸着パッド９９は、幅方向１Ｗの中央部分でかつ搬送経路１の方向の２箇所（単数箇所または複数箇所）に配設されている。

以上の７２〜９９などにより板状体保持装置７１の一例が構成され、そして以上の５２〜９９などにより反転動手段５１の一例が構成され、そして以上の３１〜９９などにより裏面検査設備３０の一例が構成される。ここで裏面検査設備３０の反転動手段５１は、横移動装置５５と回動装置６５とを同時状に作動制御することによって、板状体保持装置７１によりガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃを保持したのち、移動体５２を介して板状体保持装置７１を裏面目視検査部Ｂに向かって幅方向１Ｗに移動させながら、回動体６１を介して板状体保持装置７１を水平状姿勢から傾斜状姿勢へと回動すべく構成されている。そしてガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃは、反転動手段５１により傾斜状姿勢とされたとき、裏面ＧＢが裏面目視検査部Ｂに向けられるように構成されている。

以下に、上記した実施の形態１における作用を説明する。
図１〜図３、図７において、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃは、複数の搬送装置２，３，１０，５，７により形成した搬送経路１上で搬送し得る。すなわち、回転駆動手段２０によって搬送体１７群を回転駆動させることで、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃを搬送経路１上で搬送し得、その際に搬送は、搬送面１Ａにより裏面ＧＢを支持した状態で行われる。そして、搬送装置３における表面検査設備４の部分において、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃを持ち上げて傾斜させることで表面目視検査部Ａの作業者は表面ＧＡ側を検査し得、次いで搬送装置１０における裏面検査設備３０の部分において、裏面目視検査部Ｂの作業者がガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの裏面ＧＢ側を検査したのち、搬送装置５における板状体取り出し設備６の部分において、両検査設備４，３０の検査により不良品と判断されたガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃを取り出し、また良品と判断されたガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃを搬送装置７へ送り込む。

このような搬送経路１上での基本的な搬送状態において、以下において搬送装置１０における裏面検査設備３０の作用を、短寸ガラス基板Ｇａを取扱う状態として説明する。
すなわち、短寸ガラス基板Ｇａを搬送装置３から搬送装置１０に搬入させる前において裏面検査設備３０は、図１〜図３に示すように、昇降動手段４１のシリンダー装置４６を収縮動させることで昇降体４２を下降させ、板状体持ち上げ体４７群を搬送面１Ａに対して退入動させている。また横移動装置５５の正逆駆動装置５７を駆動することで、移動体５２を裏面目視検査部Ｂから最も離れた位置に移動させている。そして回動装置６５の駆動によって、板状体保持装置７１が搬送経路１の搬送面１Ａに対向して位置した水平状姿勢となるように、回動体６１を回動させている。さらに接近離間動装置８１の正逆駆動装置８４を駆動させ、上規制部材７２を互いに最も離間した位置へと移動させて長寸ガラス基板Ｇｃでも対応し得るようにするとともに、シリンダー装置９４の収縮動により下規制部材９１を下方かつ外側へと回動させて上規制部材７２の下方を開放させている。

このような状態で、搬送装置１０に搬入させてきた短寸ガラス基板Ｇａの前端を該当する検出部（図示せず。）により検出することで、正常搬入として、回転駆動手段２０の駆動部２４を停止させる。これにより図１〜図３、図８、図９に示すように、短寸ガラス基板Ｇａを昇降動手段４１と板状体保持装置７１との間に位置させた状態で、その搬送を停止し得る。

このようにして短寸ガラス基板Ｇａを停止させたのち、まず昇降動手段４１を作動させる。すなわち、シリンダー装置４６を伸展動させることで昇降体４２を上昇させ、板状体持ち上げ体４７群を搬送面１Ａに対して突出動させている。これにより、図１０の仮想線に示すように搬送面１Ａで支持していた短寸ガラス基板Ｇａを、板状体持ち上げ体４７群によって持ち上げ、以て図４の実線、図１０の実線に示すように、その表面ＧＡの中央部分が吸着パッド９９に当接する状態で上昇を停止させる。

次いで、接近離間動装置８１の正逆駆動装置８４を駆動し、両上規制部材７２を互いに接近するように移動させる。この接近移動は、ガラス基板の寸法情報（サイズ情報）に基づいて制御され、以て図４の仮想線、図１１の実線に示すように、短寸ガラス基板Ｇａの側面に幅規制面７２Ｂが当接する前に停止し得る。なお、短寸ガラス基板Ｇａが幅方向１Ｗにおいて位置ずれした状態で搬送されたのち、昇降動手段４１の上方に停止されていたとき、接近移動してきた上規制部材７２のうち、一方の上規制部材７２の幅規制面７２Ｂが短寸ガラス基板Ｇａの側面に当接して幅方向１Ｗに移動させることになるが、このとき短寸ガラス基板Ｇａの移動は、板状体持ち上げ体４７群に対して裏面ＧＢが摺動する状態で行われる。

次いで、シリンダー装置９４の伸展動により下規制部材９１を上方かつ内側へと回動させ、以て図４の仮想線、図１２の実線に示すように、昇降動手段４１により持ち上げた短寸ガラス基板Ｇａの裏面（下向き面）ＧＢに規制押し上げ面９１Ａを下方から当接させる。そして、昇降動手段４１を逆作動させる。すなわち、シリンダー装置４６を収縮動させることで昇降体４２を下降させ、板状体持ち上げ体４７群を搬送面１Ａに対して退入動させる。これにより、図４の仮想線、図１３に示すように、短寸ガラス基板Ｇａを板状体保持装置７１により保持し得る。

次いで、横移動装置５５の正逆駆動装置５７と回動装置６５とを同時状に作動制御して、板状体保持装置７１により保持している短寸ガラス基板Ｇａを、裏面目視検査部Ｂに向かって幅方向１Ｗに移動させながら、水平状姿勢から傾斜状姿勢へと姿勢変更させる。すなわち、横移動装置５５の正逆駆動装置５７を駆動によって、移動体５２を裏面目視検査部Ｂ側へと接近移動させると同時に、回動装置６５の駆動によって、回動体６１を横軸心６３Ａの周りに上方へと回動させる。このような動作によって、図１４に示すように、短寸ガラス基板Ｇａを裏面目視検査部Ｂ側へと接近移動させながら、その裏面ＧＢを下向き水平状姿勢から斜め下向き傾斜状姿勢へと姿勢変更させたのち、図１５に示すように、短寸ガラス基板Ｇａを裏面目視検査部Ｂ側へ最も接近させるとともに、その裏面ＧＢを上向き傾斜状姿勢へと姿勢変更し得る。

これにより、短寸ガラス基板Ｇａの姿勢変更と裏面目視検査部Ｂ側への接近動とを能率良く行える。このようにして短寸ガラス基板Ｇａの裏面ＧＢを作業者が目視検査し易い姿勢（向き、角度）にした状態で、作業者によって短寸ガラス基板Ｇａの裏面ＧＢに対する所期の目視検査を行う。そして短寸ガラス基板Ｇａが、不良品であるか良品であるかを判断し、その判断結果に基づいて操作部を操作し、下手の板状体取り出し設備６を作動させるか否かを指示する。

そして検査終了によって、裏面検査設備３０を上述とは逆作動させて、短寸ガラス基板Ｇａを搬送経路１上に戻す。すなわち、横移動装置５５の正逆駆動装置５７と回動装置６５とを同時状に逆作動制御して、図１５に示すように裏面ＧＢを上向き傾斜状姿勢として板状体保持装置７１により保持している短寸ガラス基板Ｇａを、裏面目視検査部Ｂに対して幅方向１Ｗに離間移動させながら、傾斜状姿勢から水平状姿勢へ向けて姿勢変更させる。これにより、図１４に示すように斜め下向き傾斜状姿勢へと姿勢変更させたのち、図１３に示すように水平状姿勢へと姿勢変更させて、その裏面ＧＢを下向きとして昇降動手段４１の上方に位置させる。そして、昇降動手段４１のシリンダー装置４６を伸展動させることで昇降体４２を上昇させ、図１２に示すように、搬送面１Ａに対して突出動させた板状体持ち上げ体４７群を、短寸ガラス基板Ｇａの裏面ＧＢに当接させる。

次いで図１１に示すように、シリンダー装置９４の収縮動により下規制部材９１を下方かつ外側へと回動させて短寸ガラス基板Ｇａの下方を開放させたのち、図１０に示すように、正逆駆動装置８４を駆動して上規制部材７２を互いに最も離間した位置へと移動させる。そして昇降動手段４１のシリンダー装置４６を収縮動させることで、昇降体４２を下降させて板状体持ち上げ体４７群を搬送面１Ａに対して退入動させ得、以て図１、図２に示すように、短寸ガラス基板Ｇａを、その裏面ＧＢを介して搬送面１Ａ上に戻し得る。その後に、搬送装置１０における回転駆動手段２０の駆動部２４を駆動することで、短寸ガラス基板Ｇａを搬送装置５側へと搬出し得る。

以上により、裏面検査設備３０において短寸ガラス基板Ｇａの裏面ＧＢの目視検査を終えるのであり、引き続いて次の短寸ガラス基板Ｇａを搬送装置３から搬送装置１０に搬入させる。なお、中寸ガラス板（板状体の一例）Ｇｂや長寸ガラス板Ｇｃも同様にして取り扱われるものであり、その際に上規制部材７２の移動量が自動的に調整される。

上記した実施の形態１では、昇降動手段４１の昇降装置としてシリンダー装置４６を採用した形式が示されているが、これは螺子軸形式やラック・ピニオン形式などであってもよい。

上記した実施の形態１では、板状体持ち上げ体４７として、昇降体４２の上面４箇所からロッド体を立設した形式が示されているが、これは、プレート体を搬送体１７の間を通って搬送面１Ａに対して出退動自在に構成した形式などであってもよい。

上記した実施の形態１では、横移動装置５５や接近離間動装置８１として無端回動体５９，８８を採用した形式が示されているが、これはシリンダー装置を採用した形式、螺子軸形式、ラック・ピニオン形式などであってもよい。

上記した実施の形態１では、回動装置６５としてモータ６６と減速部６７とからなる形式が示されているが、これはシリンダー装置とリンク体とからなる形式などであってもよい。

上記した実施の形態１では、板状体保持装置７１として、幅方向１Ｗで一対の上規制部材７２，７２と、これら上規制部材７２，７２を互いに接近離間動させる接近離間動装置８１と、回動自在な下規制部材９１，９１とからなる形式が示されているが、これは、たとえば１種類の板状体（ガラス基板）を取り扱う場合、接近離間動させることなく接近離間動装置８１を省略した形式などであってもよい。また板状体保持装置７１としては、接近動させたのちクランプ（挟持）する形式などであってもよい。

上記した実施の形態１では、短寸ガラス基板Ｇａを保持した板状体保持装置７１を、裏面目視検査部Ｂに向かって幅方向１Ｗに移動させながら、同時状に水平状姿勢から傾斜状姿勢へと回動させているが、これは板状体保持装置７１を、裏面目視検査部Ｂに向かって幅方向１Ｗに移動させたのち、水平状姿勢から傾斜状姿勢へと回動させる形式や、板状体保持装置７１を、水平状姿勢から傾斜状姿勢へと回動させたのち、裏面目視検査部Ｂに向かって幅方向１Ｗに移動させる形式などであってもよく、これらも同様に、作業者にとって最も目視検査し易い状態に傾斜角度ならびに上昇位置として、所期の目視検査を行えることになる。

上記した実施の形態１では、短寸ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃには表面ＧＡと裏面ＧＢとが形成され、搬送装置１０により裏面ＧＢが支持された状態で搬送され、反転動手段５１により傾斜状姿勢とされたとき、裏面ＧＢが裏面目視検査部Ｂに向けられるように構成された形式が示されているが、これは両面とも表面の板状体で、搬送経路上で常に一方の面（表面）を支持して搬送しながらも、その一方の面（支持される表面）の検査作業を行う形式などであってもよい。

上記した実施の形態１では、板状体として異なる寸法の３種類のガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃが示されているが、これは常に同じ寸法の１種類のガラス基板を取り扱う形式や、４種類以上のガラス基板を取り扱う形式などであってもよく、また板状体としては金属板や樹脂板などであってもよい。

上記した実施の形態１では、回動体６１の下面６１Ａ側に、ガラス基板Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの中央部分の撓みを防止するための吸着パッド９９を設けた形式が示されているが、これは、吸着パッド９９が省略された形式などであってもよい。

本発明の実施の形態１を示し、板状体検査設備における板状体搬入時の一部切り欠き正面図である。 同板状体検査設備における板状体搬入時の側面図である。 同板状体検査設備における板状体搬入時の一部切り欠き平面図である。 同板状体検査設備における要部の正面図である。 同板状体検査設備における接近離間動装置部分の横断平面図である。 同板状体検査設備における横移動装置部分の横断平面図である。 同板状体検査設備を含む搬送経路部分の概略平面図である。 同板状体検査設備における板状体保持装置部分の縦断正面図である。 同板状体検査設備における接近離間動装置部分の縦断正面図である。 同板状体検査設備における板状体上昇時の一部切り欠き正面図である。 同板状体検査設備における上規制部材接近時の一部切り欠き正面図である。 同板状体検査設備における下規制部材回動時の一部切り欠き正面図である。 同板状体検査設備における板状体保持時の一部切り欠き正面図である。 同板状体検査設備における板状体姿勢変更中の要部の一部切り欠き正面図である。 同板状体検査設備における板状体姿勢終了時の要部の一部切り欠き正面図である。

符号の説明

１ 搬送経路
１Ａ 搬送面
１Ｗ 幅方向
４ 表面検査設備
６ 板状体取り出し設備
１０ 搬送装置
１１ 枠状本体
１３ コンベヤフレーム
１７ 搬送体
１８ 軸（ローラ軸）
１９ 搬送用輪体（ローラ）
２０ 回転駆動手段
２４ 駆動部
２７ 無端回動体
３０ 裏面検査設備（板状体検査設備）
３２ 設備ベース体
４１ 昇降動手段
４２ 昇降体
４２Ａ 切り欠き部
４６ シリンダー装置（昇降装置）
４７ 板状体持ち上げ体
５１ 反転動手段
５２ 移動体
５２ａ 横向き板部
５２ｂ 縦向き板部
５５ 横移動装置
６１ 回動体
６１Ａ 下面
６３ 横軸
６３Ａ 横軸心
６５ 回動装置
７１ 板状体保持装置
７２ 上規制部材
７２Ａ 規制受け面
７２Ｂ 幅規制面
８１ 接近離間動装置
８４ 正逆駆動装置
８８ 無端回動体
９１ 下規制部材
９１Ａ 規制押し上げ面
９２ 回転軸
９４ シリンダー装置
９９ 吸着パッド
Ａ 表面目視検査部
Ｂ 裏面目視検査部（目視検査部）
Ｇａ 短寸ガラス基板（板状体）
Ｇｂ 中寸ガラス基板（板状体）
Ｇｃ 長寸ガラス基板（板状体）
ＧＡ 表面（上向き面）
ＧＢ 裏面（下向き面）

Claims (4)

1. 搬送装置による板状体の搬送経路中で、搬送経路の側方に設けられた目視検査部に対向する部分には、昇降動手段と反転動手段とが設けられ、前記昇降動手段は、搬送面の下方に位置される昇降体と、この昇降体に連動された昇降装置と、前記搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けられた板状体持ち上げ体とにより構成され、前記反転動手段は、搬送面の上下に亘って位置されて搬送経路の幅方向に移動自在な移動体と、この移動体の下部に連動された横移動装置と、前記移動体の上部に、搬送経路方向に沿った横軸心の周りに回動自在に設けられた回動体と、この回動体の回動装置と、前記回動体が水平状姿勢のときに下面側に位置される板状体保持装置とにより構成され、前記回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置される水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置される傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成されていることを特徴とする板状体検査設備。
2. 板状体保持装置は、幅方向で一対の上規制部材と、これら上規制部材を互いに接近離間動させる接近離間動装置と、回動自在な下規制部材とからなり、両上規制部材にはそれぞれ、板状体保持装置が水平状姿勢のときに下向きとなる規制受け面と、相対向される幅規制面とが形成されて、昇降動手段により持ち上げられた板状体の上向き面に規制受け面が対向自在に構成され、そして両下規制部材にはそれぞれ、回動により上向きとなったときに、昇降動手段により持ち上げられた板状体の下向き面に当接自在な規制押し上げ面が形成されていることを特徴とする請求項１記載の板状体検査設備。
3. 反転動手段は、板状体保持装置により板状体を保持したのち、移動体を介して板状体保持装置を目視検査部に向かって幅方向に移動させながら、回動体を介して板状体保持装置を水平状姿勢から傾斜状姿勢へと回動すべく構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の板状体検査設備。
4. 板状体は表面と裏面とが形成され、搬送装置により裏面が支持された状態で搬送され、反転動手段により傾斜状姿勢とされたとき、裏面が目視検査部に向けられるように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体検査設備。

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