JP2681592B2 - ゲートバルブ - Google Patents

ゲートバルブ

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JP2681592B2
JP2681592B2 JP5081353A JP8135393A JP2681592B2 JP 2681592 B2 JP2681592 B2 JP 2681592B2 JP 5081353 A JP5081353 A JP 5081353A JP 8135393 A JP8135393 A JP 8135393A JP 2681592 B2 JP2681592 B2 JP 2681592B2
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寛行 戸谷
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アネルバ株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、弁箱内に、全閉用の
弁体と、オリフィス板を装着した弁体の両方を互いに独
立して移動可能に設置したゲートバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空装置の配管路において、所要
のコンダクタンスを得る為には図５（ａ）〜（ｃ）に示
したような構成が採用されていた。図５（ａ）は配管路
３１にバルブ３２と固定オリフィスコンダクタンス３３
を介設した構成であり、図５（ｂ）は前記固定オリフィ
スコンダクタンス３３に代えて可変コンダクタンス３４
を介設した構成であり、又図５（ｃ）は、バルブ３２の
両側間にバイパス管路３５を設け、このバイパス管路３
５内にバルブ３６と固定オリフィスコンダクタンス３３
を介設した構成である。
【０００３】各図において３７は真空容器、３８は真空
ポンプ、３９はガス導入系、４０はガス導入バルブであ
る。ガス導入バルブ４０を開にして、ガス導入系３９を
通して、真空容器３７に、ある種のガスを導入する場
合、配管路３１のコンダクタンスと、ガス導入系３９を
通して導入されるガスの流量を平衡させて、真空容器３
７を所定の圧力に調整する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の所要コンダ
クタンスを形成する構成では、排気速度が制限された
り、システム全体が大型化するなどの問題点があった。
【０００５】即ち図５（ａ）の構成では、バルブ３２を
全開にしても、真空ポンプ３８の真空容器３７に対する
排気速度が固定オリフィスコンダクタンス３３で制限さ
れる為、真空容器３７内を先ず良い真空に排気しようと
する場合に排気時間に長時間を要し、効率の良い排気が
できなかった。図５（ｂ）の構成では、可変コンダクタ
ンス３４のコンダクタンスを大きくすることで、排気速
度の制限を軽減できるものであったが、可変コンダクタ
ンス３４の為にシステムが大型化し、コストアップとな
っていた。又図５（ｃ）の構成では、排気速度の制限を
一層軽減できるものであったが、管路が２系統となると
共に、バルブも２台必要で、システムの大型化、コスト
アップを避けられなかった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は前記の如くの
問題点に鑑みてなされたもので、バルブの機能を有し、
かつ所要のコンダクタンスと、大きなコンダクタンスを
選択できるゲートバルブを提供することを目的としてい
る。
【０００７】斯る目的を達成するこの発明のゲートバル
ブは、弁箱内で、弁体が弁座に対して平行方向に移動
し、かつ弁座に圧接されて通路を遮断する構成のゲート
バルブにおいて、前記弁体が複数個、互いに独立して移
動可能に設置してあり、少くとも１つの弁体に、オリフ
ィス板が装着されて、該オリフィス板のオリフィスを通
して弁体の両側が連通可能としてあることを特徴として
いる。
【０００８】前記オリフィス板は、弁体に対して着脱可
能に構成することができる。又、オリフィス板は、弁箱
に設けた接続用フランジを通して着脱可能に構成するこ
とができる。
【０００９】前記弁体は、２個互いに独立して移動可能
に設置してあり、一方の弁体は弁箱の一方の接続用フラ
ンジ側の弁座と圧接可能とされ、他方の弁体は他方の接
続用フランジ側の弁座と圧接可能とされた構成とするこ
とができる。
【００１０】
【作用】この発明のゲートバルブによれば、オリフィス
板を装着していない弁体で、バルブを全閉状態とした
り、全開状態の大きなコンダクタンスの状態とすること
ができる。又、オリフィス板を装着した弁体で、一定の
オリフィスコンダクタンスの状態とすることができる。
【００１１】
【実施例】以下この発明の実施例を図を参照して説明す
る。
【００１２】図１乃至図３は第１の実施例のゲートバル
ブで、偏平な方形密閉箱で構成した弁箱１（図は両側の
駆動機構収容部分および駆動機構は省略してある）の中
央部上下面に円形の開口部２ａ、２ｂを形成し、開口部
２ａ、２ｂの外側に接続用フランジ３ａ、３ｂを固着し
てあると共に、開口部２ａ、２ｂの内側を弁座４ａ、４
ｂとしてある。
【００１３】弁箱１の内部両側には、円盤状の弁体５
ａ、５ｂが設置してある。各弁体５ａ、５ｂは、夫々、
ローラー６、７、１５、ストッパ８、リンク板９を用い
た通常の移動機構により、弁座４ａ、４ｂと平行な方向
で移動可能として、前記開口部２ａ、２ｂと正対する位
置と、弁箱１の側部の位置の間で往復できるようにして
あり、かつ開口部２ａ、２ｂと正対する位置において
は、ストッパ８とリンク板９の作用によって、弁体５ａ
は弁座４ａに対し、又、弁体５ｂは弁座４ｂに対して圧
接できるようになっている。各弁体５ａ、５ｂの弁座４
ａ、４ｂと対向する面の周縁部にはＯリング１０が装着
してあり、弁座４ａ、４ｂとの間で気密なシールが形成
できるようにしてある。
【００１４】前記２つの弁体５ａ、５ｂのうち一方の弁
体５ａの内側には貫通孔１１が形成され、該貫通孔１１
の、弁座２ａ側の周囲に円形の凹入部１２が形成されて
いる。前記凹入部１２内には凹入部１２と略同一径の小
円盤で、中央にオリフィス１３を穿設したオリフィス板
１４が装着してある。
【００１５】上記実施例のゲートバルブにおいて、図
１、２に示した状態では、開口部２ａ、２ｂが全開状態
となり、大きなコンダクタンスを確保することができ
る。
【００１６】次に、弁体５ａを図３に示したように開口
部２ａ側に移動させると、弁体５ａは弁座４ａに圧接さ
れ、開口部２ａにオリフィス板１４のオリフィス１３に
よる所定のコンダクタンスが形成される。一方、弁体５
ａは弁箱１の側方へ退避させ、弁体５ｂを開口部２ｂ側
に移動させると、弁体５ｂが弁座４ｂに圧接されて、開
口部２ｂを全閉状態とすることができる。
【００１７】又、図３のように、弁体５ａを弁座４ａに
圧接させた状態においては、弁体５ａに装着したオリフ
ィス板１４が接続フランジ３ａの内側および開口部２ａ
に露出しているので、オリフィス板１４を、接続フラン
ジ３ａを通して着脱することができる。従って、オリフ
ィス１３の径の異なるオリフィス板１４を準備しておく
ことによって、所望のオリフィスコンダクタンスに変更
することもできる。
【００１８】このような構造となっているので、真空容
器と真空ポンプの配管路内にこのゲートバルブを介設す
れば、真空容器の排気時には開口部２ａ、２ｂを全開状
態として、配管路に大きなコンダクタンスを確保できる
と共に、弁体５ｂによって、配管路を遮断して真空容器
を真空保管することもできる。又、弁体５ｂによって配
管路を所定のコンダクタンスにして、ガス導入系からの
ガス導入の際、真空容器内の圧力を目標の圧力に調整す
ることができる。
【００１９】図４はこの発明の第２の実施例のゲートバ
ルブである。弁箱１を平面Ｌ字状に形成して、弁体５
ａ、５ｂの移動方向を互いに交差する方向としたもの
で、他の構造は第１の実施例と同様としてある。
【００２０】このようにＬ字型とすることによって、配
管路のスペース上の制約を回避することもできる。
【００２１】以上、二つの実施例について説明したが、
弁箱１を平面Ｔ字形や十字形として、弁体を３個又は４
個設置した構造とすることもできる。弁体を３個又は４
個設置した場合、２個又は３個の弁体に異なるオリフィ
スコンダクタンスのオリフィス板１４を装着しておくこ
とが可能で、弁体の選択によって、オリフィスコンダク
タンスを変化させることもできる。
【００２２】
【発明の効果】以上に説明したようにこの発明によれ
ば、バルブの機能と、コンダクタンス設定機能を一つの
弁箱内に収容できるので、排気のシステムを大型化する
ことなくコンパクトに構成できる効果がある。
【００２３】又、大きなコンダクタンスの確保ができる
ので、真空容器の排気を短時間で可能にできる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施例の一部横断平面図であ
る。
【図２】同じく第１の実施例の一部縦断正面図である。
【図３】同じく第１の実施例の一定コンダクタンス状態
の図である。
【図４】この発明の第２の実施例の一部横断平面図であ
る。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は従来の真空装置の配
管路の構成を示した系統図である。
【符号の説明】
１ 弁箱 ２ａ、２ｂ 開口部 ３ａ、３ｂ 接続フランジ ４ａ、４ｂ 弁座 ５ａ、５ｂ 弁体 ６、７ ローラ ８ ストッパ ９ リンク板 １０ Ｏリング １１ 貫通孔 １２ 凹入部 １３ オリフィス １４ オリフィス板

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 弁箱内で、弁体が弁座に対して平行方向
    に移動し、かつ弁座に圧接されて通路を遮断する構成の
    ゲートバルブにおいて、前記弁体が複数個、互いに独立
    して移動可能に設置してあり、少くとも１つの弁体に、
    オリフィス板が装着されて、該オリフィス板のオリフィ
    スを通して弁体の両側が連通可能としてあることを特徴
    とするゲートバルブ。
  2. 【請求項２】 オリフィス板は、弁体に対して着脱可能
    としてある請求項１記載のゲートバルブ。
  3. 【請求項３】 オリフィス板は、弁箱に設けた接続用フ
    ランジを通して着脱可能とした請求項１記載のゲートバ
    ルブ。
  4. 【請求項４】 弁体は２個互いに独立して移動可能に設
    置してあり一方の弁体は弁箱の一方の接続用フランジ側
    の弁座と圧接可能とされ、他方の弁体は他方の接続用フ
    ランジ側の弁座と圧接可能とされる構成とした請求項１
    記載のゲートバルブ。
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