JPH063229Y2

JPH063229Y2 - 真空ゲ−ト弁

Info

Publication number: JPH063229Y2
Application number: JP1987094839U
Authority: JP
Inventors: 賢児前野; 兵伍松井
Original assignee: Shinmaywa Industries Ltd
Current assignee: Shinmaywa Industries Ltd
Priority date: 1987-06-19
Filing date: 1987-06-19
Publication date: 1994-01-26
Anticipated expiration: 2002-06-19
Also published as: JPS64770U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、逆圧にも耐え得る真空ゲート弁に関し、特
に、真空側と大気圧側とが逆転する場合にも使用可能と
するものに係わる。

（従来の技術）従来より、真空側と大気圧側とが逆転する場合にも使用
可能な真空ゲート弁として、例えば実開昭５３−１５４
４２６号公報に開示されるように、弁箱の相対向する両
側面にそれぞれ開口部を設け、弁箱の内部に、シリンダ
ロッドにより摺動する移動部材を設け、該移動部材の一
側方に弁板を設けるとともに、この両者間にＬ字状のリ
ンクを設けて、前記移動部材が弁箱内を摺動し、弁板が
弁箱の一方の開口部を閉じる位置に来たとき、前記リン
クを起立させて固定するように構成したものが知られて
いる。

（考案が解決しようとする課題）ところが、前記従来のものでは、弁板が閉じる弁箱の一
方の開口部側を大気圧側とし、他方の開口部側を真空側
として使用した場合、前記弁体に作用する逆圧荷重は、
リンクと移動部材の両方を介して弁箱の真空側側面に支
持されるため、その支持が直接的なものでなく、十分な
支持強度を確保することができないという問題があっ
た。

本考案はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、真空側と大気圧側とが逆転する場合
にも使用可能な真空ゲート弁において、大気圧側から弁
体に作用する逆圧荷重を弁箱の真空側側面に直接的に伝
達支持せしめることにより、充分な支持強度を確保する
ようにするものである。

（課題を解決するための手段）前記の目的を達成するため、本考案の解決手段は、箱形
弁箱の前・後面にそれぞれ開口部を設け、前側開口部内
側周辺にシール材を設け、前記弁箱の内部に、左・右端
の案内材に沿ってシリンダロッドにより上下動し前面が
前記シリンダロッドより前方にある上下動材を設け、該
上下動材の後部上・下にそれぞれ左右方向へ適宜間隔を
隔てて後方へ突出した押圧ローラを設け、一端を該各押
圧ローラと同軸に枢着しかつ他端を前方に設けた弁板に
枢着したリンクを設け、前記上下動材が最下降位置に下
降した際、前記リンクが前記前・後面に対しほぼ直角方
向に延びた状態で、押圧ローラが後面開口部上下の内壁
を押圧するとともに前記弁体が前記シール材を押圧して
前面開口部を密封状に閉鎖するよう構成するものであ
る。

（作用）このような構成により、弁閉時には、後面内壁を押圧し
ている押圧ローラから前後面に対してほぼ直角方向に延
びたリンクを介して弁板をシール材に押圧しているた
め、前側開口部側を大気圧側とし、後側開口部側を真空
側として使用した場合、弁板に作用する逆圧荷重は、押
圧ローラから上下動材を会することなく直接弁箱の後面
内壁に伝達支持されることになり、その支持強度が強固
なものとなる。しかも、上下動材の前面がシリンダロッ
ドより前方にあるため、弁板前後の移動距離が小さく、
弁の開閉時に弁板が損傷されことはなく、また、騒音も
少なくなる。

（実施例）以下、第１〜５図に示す本考案の実施例について説明す
る。尚、説明の便宜上、第１、第３及び第５図における
左・右を「左」・「右」と、第２及び第５図における左
・右を「前」・「後」とそれぞれ称呼する。

１０は真空ゲート弁であって、該真空ゲート弁１０は、
箱形弁箱１１の前・後面１１ａ，１１ｂ下部にそれぞれ
前側及び後側真空装置Ｖ１，Ｖ２の開口に臨ましめて連
結した前面開口部１１ａ_１及び後面開口部１１ｂ_１を有
しており、該前面開口部１１ａ_１の内壁周面にはシール
材としてのＯリング１２が押え金具１３によって一部が
内方へ突出させて取付けられている。また、前記前・後
面１１ａ，１１ｂの上面にはそれぞれ点検孔１１ａ_２，
１１ｂ_２が開口して設けられ、該各点検孔１１ａ_２，１
１ｂ_２は蓋１４ａ，１４ｂにより密封状に封鎖されてい
る。

１５は弁箱１１内を上下動自在に設けられた垂直矩形状
板状の上下動材であって、該上下動材１５の左・右端部
の上・下部には、左右規制用ガイドローラ１６及び前後
規制用ガイドローラ１７がこれらを１組として４組取付
けられており、これらのガイドローラ１６，１７は、弁
箱１１の左・右側面に上下方向に固設されたガイドレー
ル１８ａ，１８ｂに係合されている。

１９は弁箱１１の左右方向中央上部に垂直状に据付けら
れた作動シリンダであって、該作動シリンダ１９は、弁
箱１１内に垂直下方に導出したロッド１９ａの下端を前
記上下動材１５の上端面に連結し、該ロッド１９ａの伸
縮動作により上下動材１５を前記ガイドレール１８ａ，
１８ｂに沿って垂直状に昇降させるようになっている。

２０ａ，２０ｂは前記上下動材１５の上・下面に左右に
適宜間隔をもって固設された複数個のローラ取付材であ
って、該ローラ取付材２０ａ，２０ｂの左右側部には押
圧材として左右２宛の上・下部押圧ローラ２１ａ，２１
ｂが回転自在に取付けられている。

２２ａ，２２ｂは前記後面開口部１１ｂ_１の上側及び下
側内壁面に固設された当板であり、前記上・下部押圧ロ
ーラ２１ａ，２１ｂが下降した際該当板２２ａ，２２ｂ
に転動しながら当接するようになっている。

２３は前記上下動材１５の前方に配設された矩形板状の
弁体、２４ａ，２４ｂはそれぞれ後端部を前記上・下部
押圧ローラ２１ａ，２１ｂと同軸に枢着した左右１対宛
の等長のリンクであって、該各リンク２４ａ，２４ｂの
前端部は、前記弁体２３の後面に全体に平行リンク状に
枢着され、これらのリンク２４ａ，２４ｂを介して弁体
２３が上下動材１５に対し前後方向に接近離反可能な重
合状に保持されている。

２５は弁箱１内底面の前方部左右に軸支された弁板２４
の移動案内用ローラ、２６は弁板２３の下面左右に固設
された当板であり、弁板２３が下降した際該当板２６が
前記ローラ２５上に衝接するようになっている。

また、上下動材１５の前面はシリンダロッド１９ａより
も若干前方となっている。このため、弁体２３が前後に
移動できる距離が小となっている。

次に、前記実施例の作用について説明する。作動シリン
ダ１９がロッド１９ａを短縮しているとき、上下動材１
５及び弁板２３等は前面及び後面開口部１１ａ_１，１１
ａ_１より上方に一体に引き上げられており、前側及び後
側真空装置Ｖ１，Ｖ２は開放状態の弁箱１１を介して互
いに連通している（第５図の状態）。この状態のとき、
弁板２３はリンク２４ａ，２４ｂにより自重で吊下げら
れ、該弁板２３の後面が上下動材１５の上・下部前面に
当接し、弁板２３と上下動材１５とは完全に密接して重
合している。

このような状態（第５図）から、作動シリンダ１９がロ
ッド１９ａを伸長すると、上下動材１５及び弁板２３が
一体に下降する。そして、これらが最下降位置付近に達
すると、上・下部押圧ローラ２１ａ，２１ｂがそれぞれ
当板２２ａ，２２ｂに当接し、また弁板２３下面の当板
２６も移動案内用ローラ２５上に衝接する。前記ロッド
１９ａが更に若干伸長することにより、上下動材１５及
び上・下部押圧ローラ２１ａ，２１ｂが下降し、これに
伴い弁板２３は後壁から押圧ローラ２１ａ，２１ｂ及び
リンク２４ａ，２４ｂを介して前方に押動されてＯリン
グ１２に押付けられ、リンク２４ａ，２４ｂが前・後面
１１ａ，１１ｂに対し直角方向に即ち水平状になったと
ころでロッド１９ａの伸長動作を停止する。これで弁体
２３はＯリング１２を介して前面開口部１１ａ_１を密封
状に閉鎖する（図２の状態）。

従って、前側真空装置Ｖ１が「真空」にされ、後側真空
装置Ｖ２が「大気」に開放される場合、弁板２３は二点
鎖線矢印Ｂで示す外圧により前方即ちＯリング１２を押
圧する方向に押付けられ、前面開口部１１ａ_１は密封状
に閉鎖される。

また逆に、前側真空装置Ｖ１が「大気」に開放され、後
側真空装置Ｖ２が「真空」にされる場合、弁体２３は実
線矢印Ｂ′で示す外圧により後方即ちＯリング１２から
引き離される方向に押圧されるものの、該弁板２３は水
平状のリンク２４ａ，２４ｂ及び押圧ローラ２１ａ，２
１ｂにより当板２２ａ，２２ｂに突張られているため、
即ち逆圧荷重がこれらリンク２４ａ，２４ｂ等を介して
弁箱１１の後面１１ｂ_１に伝達されるため、弁板２３は
後方に移動することなく密封作用を保持する。しかも、
前記押圧ローラ２１ａ，２１ｂは、弁箱１１の後面１１
ｂ_１（当板２２ａ，２２ｂ）に直接当接して、逆圧荷重
が、これらの押圧ローラ２１ａ，２１ｂから上下動材１
５を介することなく直接弁箱１１の後面１１ｂ_１に伝達
されるので、弁板２３の支持強度を強固にすることがで
き、前面開口部１１ａ_１の密封性を充分に確保すること
ができる。

また、上下動材１５の前面はシリンダロッド１９ａより
も前方に位置しているため、弁開閉時に弁体２３が前後
に移動できる距離が小さく、その分弁板２３が損傷を受
け難くなり、また、騒音も少なくなる。

（考案の効果）以上のように、本考案の真空ゲート弁によれば、弁閉時
に、後面内壁を押圧している押圧ローラから前後面に対
してほぼ直角方向に延びたリンクを介して弁板をシール
材に押圧するようにしたことにより、前面側を大気圧側
とし、後面側を真空側として使用した場合にも、弁板の
支持強度を高めて密封性を充分に確保することができ
る。しかも、上下動材の前面がシリンダロッドより前方
にあるため、弁板前後の移動距離を小さくして、弁板の
損傷及び騒音を減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１乃至第５図は本考案の一実施例を示すもので、第１
図は真空ゲート弁の正面図、第２図は第１図のII〜II矢
視拡大側面断面図、第３図は第１図のIII−III矢視拡大
断面図、第４図は第３図のIII−III矢視図、第５図は弁
板を引き上げた状態を示す第２図同様の断面図である。図中、１０は真空ゲート弁、１１は弁箱、１１ａ_１は前
面開口部、１１ｂ_１は後面開口部、１５は上下動材、２
１ａ，２１ｂは押圧ローラ、２３は弁板、２４ａ，２４
ｂはリンクである。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】箱形弁箱の前・後面にそれぞれ開口部を設
け、前側開口部内側周辺にシール材を設け、前記弁箱の
内部に、左・右端の案内材に沿ってシリンダロッドによ
り上下動し前面が前記シリンダロッドより前方にある上
下動材を設け、該上下動材の後部上・下にそれぞれ左右
方向へ適宜間隔を隔てて後方へ突出した押圧ローラを設
け、一端を該各押圧ローラと同軸に枢着しかつ他端を前
方に設けた弁板に枢着したリンクを設け、前記上下動材
が最下降位置に下降した際、前記リンクが前記前・後面
に対しほぼ直角方向に延びた状態で、押圧ローラが後面
開口部上下の内壁を押圧するとともに前記弁体が前記シ
ール材を押圧して前面開口部を密封状に閉鎖するごとく
したことを特徴とする真空ゲート弁。