JPH06272768A - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
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- JPH06272768A JPH06272768A JP8135393A JP8135393A JPH06272768A JP H06272768 A JPH06272768 A JP H06272768A JP 8135393 A JP8135393 A JP 8135393A JP 8135393 A JP8135393 A JP 8135393A JP H06272768 A JPH06272768 A JP H06272768A
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- valve body
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Abstract
ンスと、大きなコンダクタンスを選択できるゲートバル
ブを提供することを目的としている。 【構成】 弁箱内で弁体が弁座に対して平行方向に移動
し、かつ弁座に圧接されて通路を遮断する構成のゲート
バルブにおいて、弁体5a、5bが複数個、互いに独立
して移動可能に設置してあり、少くとも1つの弁体5a
に、オリフィス板14が装着されて、オリフィス板14
のオリフィス13を通して弁体5aの両側が連通可能と
してある。
Description
弁体と、オリフィス板を装着した弁体の両方を互いに独
立して移動可能に設置したゲートバルブに関する。
のコンダクタンスを得る為には図5(a)〜(c)に示
したような構成が採用されていた。図5(a)は配管路
31にバルブ32と固定オリフィスコンダクタンス33
を介設した構成であり、図5(b)は前記固定オリフィ
スコンダクタンス33に代えて可変コンダクタンス34
を介設した構成であり、又図5(c)は、バルブ32の
両側間にバイパス管路35を設け、このバイパス管路3
5内にバルブ36と固定オリフィスコンダクタンス33
を介設した構成である。
ポンプ、39はガス導入系、40はガス導入バルブであ
る。ガス導入バルブ40を開にして、ガス導入系39を
通して、真空容器37に、ある種のガスを導入する場
合、配管路31のコンダクタンスと、ガス導入系39を
通して導入されるガスの流量を平衡させて、真空容器3
7を所定の圧力に調整する。
クタンスを形成する構成では、排気速度が制限された
り、システム全体が大型化するなどの問題点があった。
全開にしても、真空ポンプ38の真空容器37に対する
排気速度が固定オリフィスコンダクタンス33で制限さ
れる為、真空容器37内を先ず良い真空に排気しようと
する場合に排気時間に長時間を要し、効率の良い排気が
できなかった。図5(b)の構成では、可変コンダクタ
ンス34のコンダクタンスを大きくすることで、排気速
度の制限を軽減できるものであったが、可変コンダクタ
ンス34の為にシステムが大型化し、コストアップとな
っていた。又図5(c)の構成では、排気速度の制限を
一層軽減できるものであったが、管路が2系統となると
共に、バルブも2台必要で、システムの大型化、コスト
アップを避けられなかった。
問題点に鑑みてなされたもので、バルブの機能を有し、
かつ所要のコンダクタンスと、大きなコンダクタンスを
選択できるゲートバルブを提供することを目的としてい
る。
ブは、弁箱内で、弁体が弁座に対して平行方向に移動
し、かつ弁座に圧接されて通路を遮断する構成のゲート
バルブにおいて、前記弁体が複数個、互いに独立して移
動可能に設置してあり、少くとも1つの弁体に、オリフ
ィス板が装着されて、該オリフィス板のオリフィスを通
して弁体の両側が連通可能としてあることを特徴として
いる。
能に構成することができる。又、オリフィス板は、弁箱
に設けた接続用フランジを通して着脱可能に構成するこ
とができる。
に設置してあり、一方の弁体は弁箱の一方の接続用フラ
ンジ側の弁座と圧接可能とされ、他方の弁体は他方の接
続用フランジ側の弁座と圧接可能とされた構成とするこ
とができる。
板を装着していない弁体で、バルブを全閉状態とした
り、全開状態の大きなコンダクタンスの状態とすること
ができる。又、オリフィス板を装着した弁体で、一定の
オリフィスコンダクタンスの状態とすることができる。
る。
ブで、偏平な方形密閉箱で構成した弁箱1(図は両側の
駆動機構収容部分および駆動機構は省略してある)の中
央部上下面に円形の開口部2a、2bを形成し、開口部
2a、2bの外側に接続用フランジ3a、3bを固着し
てあると共に、開口部2a、2bの内側を弁座4a、4
bとしてある。
a、5bが設置してある。各弁体5a、5bは、夫々、
ローラー6、7、15、ストッパ8、リンク板9を用い
た通常の移動機構により、弁座4a、4bと平行な方向
で移動可能として、前記開口部2a、2bと正対する位
置と、弁箱1の側部の位置の間で往復できるようにして
あり、かつ開口部2a、2bと正対する位置において
は、ストッパ8とリンク板9の作用によって、弁体5a
は弁座4aに対し、又、弁体5bは弁座4bに対して圧
接できるようになっている。各弁体5a、5bの弁座4
a、4bと対向する面の周縁部にはOリング10が装着
してあり、弁座4a、4bとの間で気密なシールが形成
できるようにしてある。
体5aの内側には貫通孔11が形成され、該貫通孔11
の、弁座2a側の周囲に円形の凹入部12が形成されて
いる。前記凹入部12内には凹入部12と略同一径の小
円盤で、中央にオリフィス13を穿設したオリフィス板
14が装着してある。
1、2に示した状態では、開口部2a、2bが全開状態
となり、大きなコンダクタンスを確保することができ
る。
部2a側に移動させると、弁体5aは弁座4aに圧接さ
れ、開口部2aにオリフィス板14のオリフィス13に
よる所定のコンダクタンスが形成される。一方、弁体5
aは弁箱1の側方へ退避させ、弁体5bを開口部2b側
に移動させると、弁体5bが弁座4bに圧接されて、開
口部2bを全閉状態とすることができる。
圧接させた状態においては、弁体5aに装着したオリフ
ィス板14が接続フランジ3aの内側および開口部2a
に露出しているので、オリフィス板14を、接続フラン
ジ3aを通して着脱することができる。従って、オリフ
ィス13の径の異なるオリフィス板14を準備しておく
ことによって、所望のオリフィスコンダクタンスに変更
することもできる。
器と真空ポンプの配管路内にこのゲートバルブを介設す
れば、真空容器の排気時には開口部2a、2bを全開状
態として、配管路に大きなコンダクタンスを確保できる
と共に、弁体5bによって、配管路を遮断して真空容器
を真空保管することもできる。又、弁体5bによって配
管路を所定のコンダクタンスにして、ガス導入系からの
ガス導入の際、真空容器内の圧力を目標の圧力に調整す
ることができる。
ルブである。弁箱1を平面L字状に形成して、弁体5
a、5bの移動方向を互いに交差する方向としたもの
で、他の構造は第1の実施例と同様としてある。
管路のスペース上の制約を回避することもできる。
弁箱1を平面T字形や十字形として、弁体を3個又は4
個設置した構造とすることもできる。弁体を3個又は4
個設置した場合、2個又は3個の弁体に異なるオリフィ
スコンダクタンスのオリフィス板14を装着しておくこ
とが可能で、弁体の選択によって、オリフィスコンダク
タンスを変化させることもできる。
ば、バルブの機能と、コンダクタンス設定機能を一つの
弁箱内に収容できるので、排気のシステムを大型化する
ことなくコンパクトに構成できる効果がある。
ので、真空容器の排気を短時間で可能にできる効果があ
る。
る。
の図である。
る。
管路の構成を示した系統図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 弁箱内で、弁体が弁座に対して平行方向
に移動し、かつ弁座に圧接されて通路を遮断する構成の
ゲートバルブにおいて、前記弁体が複数個、互いに独立
して移動可能に設置してあり、少くとも1つの弁体に、
オリフィス板が装着されて、該オリフィス板のオリフィ
スを通して弁体の両側が連通可能としてあることを特徴
とするゲートバルブ。 - 【請求項2】 オリフィス板は、弁体に対して着脱可能
としてある請求項1記載のゲートバルブ。 - 【請求項3】 オリフィス板は、弁箱に設けた接続用フ
ランジを通して着脱可能とした請求項1記載のゲートバ
ルブ。 - 【請求項4】 弁体は2個互いに独立して移動可能に設
置してあり一方の弁体は弁箱の一方の接続用フランジ側
の弁座と圧接可能とされ、他方の弁体は他方の接続用フ
ランジ側の弁座と圧接可能とされる構成とした請求項1
記載のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5081353A JP2681592B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5081353A JP2681592B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | ゲートバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06272768A true JPH06272768A (ja) | 1994-09-27 |
JP2681592B2 JP2681592B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=13744000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5081353A Expired - Fee Related JP2681592B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2681592B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002156052A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Tsuchiura Sokuryo Sekkei Kk | 減圧弁及びこれを備えた減圧構造 |
JP2005127511A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
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JPH01146073U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-06 |
-
1993
- 1993-03-16 JP JP5081353A patent/JP2681592B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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JP2002156052A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Tsuchiura Sokuryo Sekkei Kk | 減圧弁及びこれを備えた減圧構造 |
JP4615116B2 (ja) * | 2000-11-20 | 2011-01-19 | 株式会社Ecow | 減圧構造を備えた減圧弁 |
JP2005127511A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2681592B2 (ja) | 1997-11-26 |
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