JPH0611055A - ガス配管用バルブ構造 - Google Patents
ガス配管用バルブ構造Info
- Publication number
- JPH0611055A JPH0611055A JP16969392A JP16969392A JPH0611055A JP H0611055 A JPH0611055 A JP H0611055A JP 16969392 A JP16969392 A JP 16969392A JP 16969392 A JP16969392 A JP 16969392A JP H0611055 A JPH0611055 A JP H0611055A
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- flow
- gas flow
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ガス流路１２内に導入側と排出側に仕切るよ
うにガス流量調節部材１３を内壁面から突出して形成す
る。このガス流通量調節部材１３には、前記導入側と排
出側とに貫通する径０．２ｍｍ程度の定流量ガス流通孔
１７が形成されている。 【効果】 主流路の開閉を行なうハンドル６と、一定流
量のガスを放出する定流量ガス流通孔１７とを内蔵する
から、構造が簡単でかつ安価で製作することが出来る
上、コンパクトに製作することが出来て一定流量のガス
を流通させるべきガス流路への取り付けを容易すること
が出来る。
うにガス流量調節部材１３を内壁面から突出して形成す
る。このガス流通量調節部材１３には、前記導入側と排
出側とに貫通する径０．２ｍｍ程度の定流量ガス流通孔
１７が形成されている。 【効果】 主流路の開閉を行なうハンドル６と、一定流
量のガスを放出する定流量ガス流通孔１７とを内蔵する
から、構造が簡単でかつ安価で製作することが出来る
上、コンパクトに製作することが出来て一定流量のガス
を流通させるべきガス流路への取り付けを容易すること
が出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置に雰囲
気となるガスを供給するガス配管用バルブ構造に関す
る。
気となるガスを供給するガス配管用バルブ構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガス配管回路１において配管内に
一定量のガスを流通させるには、図２に示すような流量
計２及びニードルバルブ３を組み込んだ定流量放出回路
４を主配管５に並列に接続するようにしている。前記配
管回路１にあっては、主配管５に設けられた止め弁６を
閉鎖した状態で、主配管４に、予め目的の流量を放出す
べき開放された前記ニードルバルブ３より放出されたガ
スが常に一定量で流れる。また、前記一定の放出量を越
える量のガスを放出させるには、止め弁６を開放する。
止め弁６を開放した際の主配管５を流れるガスの流通量
は、前記ニードルバルブ３と止め弁６の双方から放出さ
れる放出量の総和となっている。
一定量のガスを流通させるには、図２に示すような流量
計２及びニードルバルブ３を組み込んだ定流量放出回路
４を主配管５に並列に接続するようにしている。前記配
管回路１にあっては、主配管５に設けられた止め弁６を
閉鎖した状態で、主配管４に、予め目的の流量を放出す
べき開放された前記ニードルバルブ３より放出されたガ
スが常に一定量で流れる。また、前記一定の放出量を越
える量のガスを放出させるには、止め弁６を開放する。
止め弁６を開放した際の主配管５を流れるガスの流通量
は、前記ニードルバルブ３と止め弁６の双方から放出さ
れる放出量の総和となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなガス配管回路１の場合、主配管５に前記定流量放
出回路４を流量計２及びニードルバルブ３等の装置を接
続して構成しなければならないから、製作に手間がかか
り配管回路１の製作コストを上昇させるといった問題が
生じていた。また、前記ガス配管回路１は、主配管５に
おけるガスの流通量を調節するには、ニードルバルブ３
と止め弁６の二つのバルブを作動させる必要が生じて操
作が複雑となって作業性に不満があった。
ようなガス配管回路１の場合、主配管５に前記定流量放
出回路４を流量計２及びニードルバルブ３等の装置を接
続して構成しなければならないから、製作に手間がかか
り配管回路１の製作コストを上昇させるといった問題が
生じていた。また、前記ガス配管回路１は、主配管５に
おけるガスの流通量を調節するには、ニードルバルブ３
と止め弁６の二つのバルブを作動させる必要が生じて操
作が複雑となって作業性に不満があった。
【０００４】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、ガス配管回路の製作コストを低減し、バルブの開
閉回数を減少してガス供給の作業性を向上するガス配管
用バルブ構造を提供することを目的とするものである。
ので、ガス配管回路の製作コストを低減し、バルブの開
閉回数を減少してガス供給の作業性を向上するガス配管
用バルブ構造を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のガス配管用バル
ブ構造では、ガスの流路内に該流路を導入側と排出側に
仕切るように設けたガス流量調節部材と、配管内を移動
してガス流量調整部材をガス流路方向に貫通して形成さ
れた通気孔を密閉可能なダイヤフラムと、このダイヤフ
ラムを移動可能に支持する移動機構とを備え、前記ガス
流量調整部材にはガスが予め設定した流量で流通可能な
定流量ガス流通孔を形成することを前記課題の解決手段
とした。
ブ構造では、ガスの流路内に該流路を導入側と排出側に
仕切るように設けたガス流量調節部材と、配管内を移動
してガス流量調整部材をガス流路方向に貫通して形成さ
れた通気孔を密閉可能なダイヤフラムと、このダイヤフ
ラムを移動可能に支持する移動機構とを備え、前記ガス
流量調整部材にはガスが予め設定した流量で流通可能な
定流量ガス流通孔を形成することを前記課題の解決手段
とした。
【０００６】
【作用】本発明のガス配管用バルブ構造によれば、通気
孔の開閉にかかわらず、定流量ガス流通孔から常に一定
基準内の量のガスを放出する。また、ガス配管用バルブ
構造は、主流路の開閉を行なう移動機構と、一定流量の
ガスを放出する定流量ガス流通孔とを内蔵するから、コ
ンパクトに製作することができる。
孔の開閉にかかわらず、定流量ガス流通孔から常に一定
基準内の量のガスを放出する。また、ガス配管用バルブ
構造は、主流路の開閉を行なう移動機構と、一定流量の
ガスを放出する定流量ガス流通孔とを内蔵するから、コ
ンパクトに製作することができる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例を、図１を参照して説
明する。図中符号１１は、本実施例のガス配管用バルブ
構造を備えたガス流路の制御バルブである。
明する。図中符号１１は、本実施例のガス配管用バルブ
構造を備えたガス流路の制御バルブである。
【０００８】前記制御バルブ１１は、円筒状のバルブ本
体１１ａと、バルブ本体１１ａの下端部から水平方向左
右に突出して形成されたガス流路１２と、バルブ本体１
１ａの内部でガス導入側のガス流路１２を覆うように形
成されたガス流量調節部材１３と、制御バルブ１１ａの
ガス流路１２内を移動してガス流量調整部材１３の上部
に開口する通気孔１４を密閉可能なダイヤフラム１５
と、このダイヤフラム１５を通気孔１４の軸線方向に移
動可能に支持するハンドル（移動機構）１６とで構成さ
れている。
体１１ａと、バルブ本体１１ａの下端部から水平方向左
右に突出して形成されたガス流路１２と、バルブ本体１
１ａの内部でガス導入側のガス流路１２を覆うように形
成されたガス流量調節部材１３と、制御バルブ１１ａの
ガス流路１２内を移動してガス流量調整部材１３の上部
に開口する通気孔１４を密閉可能なダイヤフラム１５
と、このダイヤフラム１５を通気孔１４の軸線方向に移
動可能に支持するハンドル（移動機構）１６とで構成さ
れている。
【０００９】図１に示すように、前記ガス流量調整部材
１３は、バルブ本体１１ａの下部で前記導入側の壁部か
ら中央部底部を連結するように形成され、制御バルブ１
１内において導入側のガス流路１２とバルブ本体１１ａ
の上部に形成されたガス放出空間１１ｂ及び排出側のガ
ス流路１２とを隔離している。ガス流量調節部材１３の
上部には、前記ダイヤフラム１５が当設可能な通気孔部
１３ａが上方に突出して形成され、通気孔部１３ａの中
央部を貫通してバルブ本体１１ａと導入側のガス流路１
２とを接続する通気孔１４が開口している。また、ガス
流量調節部材１３の排出側側部には、ガスが予め設定し
た流量で流通可能な定流量ガス流通孔１７が形成されて
いる。通気孔部１３ａは、側面視概略台形の突起であっ
て、上端面が前記ダイヤフラム１５を上方から圧接する
ことにより前記通気孔１４を密閉可能な水平な平面に形
成されている。
１３は、バルブ本体１１ａの下部で前記導入側の壁部か
ら中央部底部を連結するように形成され、制御バルブ１
１内において導入側のガス流路１２とバルブ本体１１ａ
の上部に形成されたガス放出空間１１ｂ及び排出側のガ
ス流路１２とを隔離している。ガス流量調節部材１３の
上部には、前記ダイヤフラム１５が当設可能な通気孔部
１３ａが上方に突出して形成され、通気孔部１３ａの中
央部を貫通してバルブ本体１１ａと導入側のガス流路１
２とを接続する通気孔１４が開口している。また、ガス
流量調節部材１３の排出側側部には、ガスが予め設定し
た流量で流通可能な定流量ガス流通孔１７が形成されて
いる。通気孔部１３ａは、側面視概略台形の突起であっ
て、上端面が前記ダイヤフラム１５を上方から圧接する
ことにより前記通気孔１４を密閉可能な水平な平面に形
成されている。
【００１０】図１に示すように、ハンドル１６は、バル
ブ本体１１ａの上部に上下方向に貫設された回転軸１６
ａと、この回転軸１６ａの上端部に固定された円盤状の
ハンドル部材１６ｂと、回転軸１６ａの下端部に揺動自
在に取り付けられた前記ダイヤフラム１５と、バルブ本
体１１ａの内面とダイヤフラム１５の上面との間に嵌装
されたバネ１６ｃとで構成されている。回転軸１６ａ
は、直に形成されたネジ部材であって、バルブ本体１１
ａの上部中央部に形成された軸挿通孔１１ｃに螺刻され
た雌ネジ部分と螺合してハンドル部材１６ｂの回転にし
たがって上下動するようになっている。
ブ本体１１ａの上部に上下方向に貫設された回転軸１６
ａと、この回転軸１６ａの上端部に固定された円盤状の
ハンドル部材１６ｂと、回転軸１６ａの下端部に揺動自
在に取り付けられた前記ダイヤフラム１５と、バルブ本
体１１ａの内面とダイヤフラム１５の上面との間に嵌装
されたバネ１６ｃとで構成されている。回転軸１６ａ
は、直に形成されたネジ部材であって、バルブ本体１１
ａの上部中央部に形成された軸挿通孔１１ｃに螺刻され
た雌ネジ部分と螺合してハンドル部材１６ｂの回転にし
たがって上下動するようになっている。
【００１１】ダイヤフラム１５は、ガス放出空間１１ｂ
の内壁面よりやや半径の小さい円盤状であって、前記回
転軸１６ａの上下動にともなってガス放出空間１１ｂ内
を水平に上下動するようになっている。また、ダイヤフ
ラム１５の下面には通気孔部１３ａの上面に圧接するこ
とにより通気孔１４を気密に密閉するシート１８が取り
付けられている。シート１８は、適切な弾力性を有する
部材であって、通気孔部１３ａの外周よりやや大きい円
盤状に形成されている。また、シート１８は、ダイヤフ
ラム１５を介して前記バネ１６ｃにより下方に付勢され
ているから、前記回転軸１６ａの下方への移動にともな
って適切位置で通気孔部１３ａの上面に圧接されるよう
になっている。
の内壁面よりやや半径の小さい円盤状であって、前記回
転軸１６ａの上下動にともなってガス放出空間１１ｂ内
を水平に上下動するようになっている。また、ダイヤフ
ラム１５の下面には通気孔部１３ａの上面に圧接するこ
とにより通気孔１４を気密に密閉するシート１８が取り
付けられている。シート１８は、適切な弾力性を有する
部材であって、通気孔部１３ａの外周よりやや大きい円
盤状に形成されている。また、シート１８は、ダイヤフ
ラム１５を介して前記バネ１６ｃにより下方に付勢され
ているから、前記回転軸１６ａの下方への移動にともな
って適切位置で通気孔部１３ａの上面に圧接されるよう
になっている。
【００１２】前記定流量ガス流通孔１７は、ガス流量調
節部材１３のガス流路１２の軸線上に開口されている径
０．２ｍｍ程度の小孔であって、ガス流路１２の導入側
が広く開口し排出側ほどその径を小さくして形成されて
いる。
節部材１３のガス流路１２の軸線上に開口されている径
０．２ｍｍ程度の小孔であって、ガス流路１２の導入側
が広く開口し排出側ほどその径を小さくして形成されて
いる。
【００１３】以下、本実施例の作用を説明する。前記制
御バルブ１１は、ハンドル部材１６ｂを回転してダイヤ
フラム１５を上下動させることによりその開閉を行なう
が、通気孔１４の開閉にかかわらずガス流路１２の導入
側のガス圧が排出側より高い場合、定流量ガス流通孔１
７から常に一定基準内の量のガスを排出する。
御バルブ１１は、ハンドル部材１６ｂを回転してダイヤ
フラム１５を上下動させることによりその開閉を行なう
が、通気孔１４の開閉にかかわらずガス流路１２の導入
側のガス圧が排出側より高い場合、定流量ガス流通孔１
７から常に一定基準内の量のガスを排出する。
【００１４】例えば、本実施例のガス配管用バルブ構造
が適用された配管に、実ガスとこの実ガスをパージする
パージガスを流通させる場合、導入側から実ガスととも
にパージガスを導入することにより、実ガスの導入停止
後にはパージガスの導入圧力にしたがって定流量ガス流
通孔１７から排出可能な量のガスが気流を成して常にガ
ス流路１２排出側から放出されて配管内を流れることと
なり、結果配管内をパージガスのみが流通して常にパー
ジ状態に維持しておくことが出来る。
が適用された配管に、実ガスとこの実ガスをパージする
パージガスを流通させる場合、導入側から実ガスととも
にパージガスを導入することにより、実ガスの導入停止
後にはパージガスの導入圧力にしたがって定流量ガス流
通孔１７から排出可能な量のガスが気流を成して常にガ
ス流路１２排出側から放出されて配管内を流れることと
なり、結果配管内をパージガスのみが流通して常にパー
ジ状態に維持しておくことが出来る。
【００１５】したがって、本実施例のガス配管用バルブ
構造が設けられた制御バルブ１１によれば、定流量ガス
流通孔１７から常にガスを一定流量放出してバルブの操
作を減すことができるから、操作が容易であり作業性が
向上する。また、ガス配管用バルブ構造は、主流路の開
閉を行なうハンドル６と、一定流量のガスを放出する定
流量ガス流通孔１７とを内蔵するから、構造が簡単でか
つ安価で製作することが出来る上、コンパクトに製作す
ることが出来て一定流量のガスを流通させるべきガス流
路への取り付けを容易することが出来る。
構造が設けられた制御バルブ１１によれば、定流量ガス
流通孔１７から常にガスを一定流量放出してバルブの操
作を減すことができるから、操作が容易であり作業性が
向上する。また、ガス配管用バルブ構造は、主流路の開
閉を行なうハンドル６と、一定流量のガスを放出する定
流量ガス流通孔１７とを内蔵するから、構造が簡単でか
つ安価で製作することが出来る上、コンパクトに製作す
ることが出来て一定流量のガスを流通させるべきガス流
路への取り付けを容易することが出来る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス配管
用バルブ構造によれば、ガスの流路内に該流路を導入側
と排出側に仕切るように設けたガス流量調節部材と、配
管内を移動してガス流量調整部材をガス流路方向に貫通
して形成された通気孔を密閉可能なダイヤフラムと、こ
のダイヤフラムを移動可能に支持する移動機構とを備
え、前記ガス流量調整部材にはガスが予め設定した流量
で流通可能な定流量ガス流通孔で形成することを特徴と
するから、通気孔の開閉にかかわらず定流量ガス流通孔
から常に一定基準内の量のガスを放出することによりバ
ルブの操作を減少してその操作性が向上する。また、ガ
ス配管用バルブ構造は、主流路の開閉を行なう移動機構
と、一定流量のガスを放出する定流量ガス流通孔とを内
蔵するから、構造が簡単でかつ安価で製作することが出
来る上、コンパクトに製作することが出来て一定流量の
ガスを流通させるべきガス流路への取り付けを容易する
ことが出来る。
用バルブ構造によれば、ガスの流路内に該流路を導入側
と排出側に仕切るように設けたガス流量調節部材と、配
管内を移動してガス流量調整部材をガス流路方向に貫通
して形成された通気孔を密閉可能なダイヤフラムと、こ
のダイヤフラムを移動可能に支持する移動機構とを備
え、前記ガス流量調整部材にはガスが予め設定した流量
で流通可能な定流量ガス流通孔で形成することを特徴と
するから、通気孔の開閉にかかわらず定流量ガス流通孔
から常に一定基準内の量のガスを放出することによりバ
ルブの操作を減少してその操作性が向上する。また、ガ
ス配管用バルブ構造は、主流路の開閉を行なう移動機構
と、一定流量のガスを放出する定流量ガス流通孔とを内
蔵するから、構造が簡単でかつ安価で製作することが出
来る上、コンパクトに製作することが出来て一定流量の
ガスを流通させるべきガス流路への取り付けを容易する
ことが出来る。
【図１】本発明の一実施例を示す正断面図である。
【図２】従来例のガス配管回路の定流量放出回路を示す
回路図である。
回路図である。
１１ 制御バルブ １３ ガス流量調節部材 １４ 通気孔 １５ ダイヤフラム １６ ハンドル（移動機構） １７ 定流量ガス流通孔
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体製造装置に雰囲気となるガスを供
給するガス配管用バルブ構造であって、ガスの流路内に
該流路を導入側と排出側に仕切るように設けられたガス
流量調節部材と、配管内を移動してガス流量調整部材を
ガス流路方向に貫通して形成された通気孔を密閉可能な
ダイヤフラムと、このダイヤフラムを移動可能に支持す
る移動機構とを備え、前記ガス流量調整部材にはガスが
予め設定した流量で流通可能な定流量ガス流通孔が形成
されていることを特徴とするガス配管用バルブ構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16969392A JPH0611055A (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | ガス配管用バルブ構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16969392A JPH0611055A (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | ガス配管用バルブ構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611055A true JPH0611055A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15891143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16969392A Withdrawn JPH0611055A (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | ガス配管用バルブ構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611055A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6105933A (en) * | 1994-06-29 | 2000-08-22 | Kabushiki-Kaisha Motoyama Seisakusho | Diaphragm valve structure |
| EP2583738A1 (de) * | 2011-10-20 | 2013-04-24 | Buschjost GmbH | Druckluftventil zur Reingaszufuhr |
| JP2014032001A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-20 | Rinnai Corp | ガスコンロ |
| KR102173444B1 (ko) * | 2020-08-31 | 2020-11-03 | 주식회사 삼영기술 | 상수도 공급시스템의 대수용가 유량조절 장치 |
| KR102228849B1 (ko) * | 2020-08-31 | 2021-03-17 | 주식회사 삼영기술 | 상수도 공급시스템의 대수용가 유량조절 장치 및 그 방법 |
-
1992
- 1992-06-26 JP JP16969392A patent/JPH0611055A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6105933A (en) * | 1994-06-29 | 2000-08-22 | Kabushiki-Kaisha Motoyama Seisakusho | Diaphragm valve structure |
| EP2583738A1 (de) * | 2011-10-20 | 2013-04-24 | Buschjost GmbH | Druckluftventil zur Reingaszufuhr |
| DE102011116392A1 (de) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | Buschjost GmbH | Druckluftventil zur Reingaszufuhr |
| JP2014032001A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-20 | Rinnai Corp | ガスコンロ |
| KR102173444B1 (ko) * | 2020-08-31 | 2020-11-03 | 주식회사 삼영기술 | 상수도 공급시스템의 대수용가 유량조절 장치 |
| KR102228849B1 (ko) * | 2020-08-31 | 2021-03-17 | 주식회사 삼영기술 | 상수도 공급시스템의 대수용가 유량조절 장치 및 그 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |