SU834244A1 - Вакуумный затвор - Google Patents
Вакуумный затвор Download PDFInfo
- Publication number
- SU834244A1 SU834244A1 SU772535405A SU2535405A SU834244A1 SU 834244 A1 SU834244 A1 SU 834244A1 SU 772535405 A SU772535405 A SU 772535405A SU 2535405 A SU2535405 A SU 2535405A SU 834244 A1 SU834244 A1 SU 834244A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- housing
- vacuum
- carriage
- shutter
- valve
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
- C23C14/566—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме. Вакуумные затворы применяются для герметического перекрытия рабочих проемов вакуумных агрегатов. Это необходимо в технологических целях, например, 5 при смене рулона металлической полосы без нарушения вакуума в сопряженных камерах.
Известен вакуумный затвор, в котором при разгерметизации в положении 10 заслонки Затвор открыт, уплотнение перемещается из области разгермертизированного проходного отверстия затвора в противоположное 111.
м *· J ι <
Недостаток известного устройства заключается в его низких эксплуатационных качествах.
Наиболее близким к предлагаемому является вакуумный затвор, содержащий Μ корпус с соосными входным и выходным отверстиями' и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствую2 щими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение [2] .
Недостатком такого устройства является низкая надежность работы.
Цель изобретения - повышение надежности работы.
Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем · корпус с соосными входным и выходным отверстиями и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствующими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце, по периметру входного отверстия корпуса выполнена канавка, служащая для размещения уплотнения, а заслонка выполнена с выступом, концентрично охватывающим ее отверстие.
На фиг.1 изображен вакуумный затвор в открытом положении , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1; на фиг.4 - разрез В-В на фиг.1; на фиг.5 - вакуумный затвор в закрытом положении, продольный разрез.
Вакуумный затвор содержит корпус 1 с соосными входным и выходным отверстиями 2. По периметру входного отверстия 2 корпуса 1 выполнена канавка с уплотнением 3 и предохранительным пояском 4 вокруг входного отверстия 2 (фиг. 1 и 2). Каретка 5с отверстием 6 передвигается на катках 7 вдоль корпуса 1 при помощи гидроцилцддра 8 и кривошипно-шатунного механизма 9 по направляющим 10. Заслонка 11, имеющая основное 12 и дополнительное 13 уплотнения и отверстие 14, выполнена с выступом 15, концентрично охватывающим ее отверстие 14, посредством которого она смонтирована на шариковых опорах 16, встроенных в каретку 5, и поджата к ней пружинами 17 (фиг.З); клинья прямого хода 18 и обратного 19 закреплены на заслонке 11. Регулируемые упоры - левый 20 и правый 21, расположенные на торцах корпуса 1, служат для фиксации заслонки 11 относительно отверстий 2. Направляющие 22 на корпусе 1 и направляющие 23 на каретке 4 служат для транспортировки.
В исходном положении Затвор открыт/ фиг. 1-4)каретка 5 находится в левом крайнем положении, при этом заслонка 11 прижата к левому упору 20, а гидроцилиндр 8 через кривошипно-вакуумный механизм 9 и каретку 5 перемещает шарики 16, которые с одной стороны упираются в корпус 1, а с другой давят на клинья прямого хода 18, в результате чего дополнительная уплотняющая плоскость 13 плотно прижимается к предохранительному пояску 4 на корпусе 1, предотвращая тем самым нагрев и запыление основной уплотняющей поверхности 12 и травмирование уплотнения 3, а направляющие 22 на корпусе 1 и направляющие 23 на каретке 5 совпадают.
Вакуумный щим образом.
Каретка 5 гидроцилиндром 8 через кривошипно-шатунный механизм 9 перемещается слева направо вдоль корпуса I затвора затвор работает следуювместе с заслонкой 11,
834244 4 на катках 7 по направляющим 10. По мере движения каретки 5 заслонка 11 пружинами 17 прижимается к каретке 5, при этом между корпусом 1 и дополнительной уплотняющей плоскостью ,13 заслонки II образуется зазор.
В дальнейшем каретка 5 и заслонка 11 двигаются как одно целое до момента контактирования заслонки 11 с правым упором 21. Заслонка 11 останавливается, а каретка 5, продолжая передвигаться, катит шарики 16 по клиньям обратного хода 19 и прижимает заслонку 1 1 основной уплотняющей поверхностью 12 к уплотнению 3, размещенному в корпусе 1, герметично закрывая отверстия 2 в корпусе затвора (фиг.5) . В положении Затвор закрыт механизмы двигаются аналогично предыдущему в обратной последовательности. Использование предлагаемого устройства позволяет увелтить надежность и срок эксплуатации вакуумного Завтора без замены уплотнения 3 отверстия 2, а следовательно, уменьшить время простоя основного оборудования вакуумных установок.Упрощение конструкции сочленения каретки и заслонки также повышает надежность вакуумного затвора и уменьшает затраты на его изготовление и эксплуатацию.
Claims (2)
- Изобретение относитс к технике .нанесени покрытий в вакууме. Вакуу ные затворы лримен ютс дл гермети ческого перекрыти рабочих проемов вакуумных агрегатов. Это необходимо в технологических цел х, например, при смене рулона металлической полосы без нарушени вакуума в сопр женных камерах. Известен вакуумный затвор, в котором при разгерметизации в положен за.слонки Затвор открыт, уплотнение перемещаетс из области разгермертизированного проходного отверсти затвора в противоположное J Недостаток известного устройства заключаетс в его низких эксплуатационных качествах. Наиболее близким к предлагаемому вл етс вакуумный затвор, содержащи корпус с соосными входным и выходным отверсти ми и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверсти ми, соответствую щими отверсти м корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение f2 . Недостатком такого устройства вл етс низка надежность работы. Цель изобретени - повьшение надежности работы. Указанна цель достигаетс тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с соосными входным и выход- Ш )1м отверсти ми и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверсти ми, соответствующими отверсти м корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце, по периметру входного отверсти корпуса выполнена канавка, служаща дл размещени уплотнени , а заслонка вьшолнена с выступом, концентрично охватывающим ее отверстие. На фиг.1 изображен вакуумный затвор в открытом положении , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фнг.1; на фиг.4 - разрез В-В на 4иг.1; на фиг.З - вакуумный затвор в закрытом положении, продольный разрез. Вакуумный затвор содержит корпус 1 с соосными входным и выходным отверсти ми 2. По периметру входного отверсти 2 корпуса 1 выполнена канавка с уплотнением 3 и предохранительным по ском 4 вокруг входного отверсти 2 С фиг. 1 и 2). Каретка 5с отверстием 6 передвигаетс на катках 7 вдоль корпуса при помощи гидроцилилдра 8 и кривошипно-шатунного механизма 9 по направл ющим 10. Заслонка 11, имеюща основное 12 и дополнительное 13 уплотнени и отверстие 14, выполнена с выступом 15 концентрично охватывающим ее отверстие 14, посредством которого она смонтирована на шариковых опорах 16 встроенных в каретку 5, и поджата к ней пружинами 17 (фиг.З); клинь пр мого хода 18 и обратного 19 закреплены на заслонке 11. Регулируемые упоры - левый 20 и правый 21, расположенные на торцах корпуса , служат дл фиксации заслонки 1I относительно отверстий 2. Направл ющие 22 на корпусе 1 и направл ющие 23 на ка ретке 4 служат дл транспортировки. В исходном положении Затвор открыт фиг. 1-4)каретка 5 находитс в левом крайнем положении, при этом заслонка 11 прижата к левому упору 20, а гидроцшшндр 8 через кривошип но-вакуумный механизм 9 и каретку 5 перемещает шарики 16, которые с одной стороны упираютс в корпус 1, а с другой дав т на клинь пр мого хода 18, в результате чего дополнительна уплотн юща плоскость 13 плотно прижимаетс к предохранитель ному по ску 4 на корпусе 1, предотвраща тем самым нагрев и запыление основной уплотн ющей поверхности 12 и травмирование уплотнени 3, а направл ющие 22 на корпусе 1 и направ л кицие 23 на каретке 5 совпадают. Вакуумный затвор работает следую щим образом. Каретка 5 вместе с заслонкой I1, гидроцилиндром 8 через кривошипно-ш тунный механизм 9 перемещаетс слев направо вдоль корпуса 1 затвора 4 на катках 7 по направл ющим 10. По мере движени каретки 5 заслонка I 1 пружинами 17 прижимаетс к кар,етке 5, при этом между корпусом 1 и дополнительной уплотн ющей плоскостью ,13 заслонки 11 образуетс зазор. В дальнейшем каретка 5 и заслонка 11 двигаютс как одно целое до момента контактировани заслонки 11 с правым упором 21. Заслонка 11 останавливаетс , а каретка 5, продолжа передвигатьс , катит шарики 16 по клинь м обратного хода 19 и прижимает заслонку 1 1 основной уплотн ющей поверхностью 12 к уплотнению 3,размещенному в корпусе 1, герметично закрыва отверсти 2 в корпусе затвора (фиг.5) . В положении Затвор закрыт механизмы двигаютс аналогично предыдущему в обратной последовательности. Использование предлагаемого устройства позвол ет увел1мить надежность и срок эксплуатаоди вакуумного автора без замены уплотнени 3 отверсти 2, а следовательно, уменьшить врем просто основного оборудовани вакуумных установок.Упрощение конструкции сочленени каретки и заслонки также повышает надежность вакуумного затвора и уменьшает затраты на его изготовление и эксплуатацию. Формула изобретени Вакуумный затвор, содержащий корпус с соосными входным и выходным отверсти ми и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверсти ми, соответствующими отверсти м корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение , отличающийс тем, что, с целью повышени надежности работы, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце,, по периметру входного отверсти корпуса выполнена канавка, служаща дл размещени уплотнени , а заслонка выполнена с выступом, концентрично схватывающим ее отверстие. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе I.POT А. Вакуумные уплотнени . М., Энерги , 1971, с.343-372, рис. 6-61, 6-62, 6-63.
- 2. Кружилин А. В. и др. Вакуумные прокатные станы. М., Машиностроение, 1973, с. 145-146,рис.102 (прототип).бб10е- вТ7/л:ум- 1нг-/5/75гг-;в/71
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772535405A SU834244A1 (ru) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Вакуумный затвор |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772535405A SU834244A1 (ru) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Вакуумный затвор |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU834244A1 true SU834244A1 (ru) | 1981-05-30 |
Family
ID=20729562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772535405A SU834244A1 (ru) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Вакуумный затвор |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU834244A1 (ru) |
-
1977
- 1977-10-19 SU SU772535405A patent/SU834244A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0020688B1 (en) | Knife gate device for controlling material flow | |
US4495966A (en) | Separable high vacuum valve | |
US4052036A (en) | Sliding device for the gas-tight and air-tight closure of a container opening or of a conduit | |
ATE82585T1 (de) | Gas-ueberleiteinrichtung fuer einen koksofen. | |
FI72915B (fi) | Anordning foer bringande av ytpressning mot roerliga verkstycken. | |
US4553648A (en) | Exhaust brake apparatus of sliding type | |
US4796515A (en) | Rodless cylinder | |
DE3329790C2 (de) | Ventilträger für Kolbenverdichter | |
SU834244A1 (ru) | Вакуумный затвор | |
US4331073A (en) | Pressure application apparatus | |
US3999463A (en) | Fluid motor construction | |
EP0036955A2 (de) | Vorrichtung zum Anhalten von Werkstückträgern, Werkstücken oder dgl. die auf einem Förderer durch eine Fertigungsstrasse bewegt werden | |
GB1563976A (en) | Lifting unit | |
KR920016771A (ko) | 연소실 화격자(火格子) | |
US4735051A (en) | Double admitting pressure intensifier | |
JPS61103066A (ja) | 真空仕切弁 | |
JPH074784B2 (ja) | ロボツトハンド | |
GB1414054A (en) | Explosive drive mechanism especially for electrical switchgear | |
JPS56164289A (en) | Slide valve | |
ES524367A0 (es) | Una instalacion neumatica de control para vehiculos sobre carriles | |
DE1900454A1 (de) | Hoechstvakuumkammer | |
JPS63125868A (ja) | 真空ゲ−トバルブ | |
JPH0343487B2 (ru) | ||
SU517733A1 (ru) | Шиберна задвижка | |
RU2047732C1 (ru) | Шиберная задвижка |