SU834244A1 - Вакуумный затвор - Google Patents

Вакуумный затвор Download PDF

Info

Publication number
SU834244A1
SU834244A1 SU772535405A SU2535405A SU834244A1 SU 834244 A1 SU834244 A1 SU 834244A1 SU 772535405 A SU772535405 A SU 772535405A SU 2535405 A SU2535405 A SU 2535405A SU 834244 A1 SU834244 A1 SU 834244A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
housing
vacuum
carriage
shutter
valve
Prior art date
Application number
SU772535405A
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Ефимович Подольский
Михаил Иванович Савельев
Юрий Петрович Захаров
Original Assignee
Предприятие П/Я А-7697
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-7697 filed Critical Предприятие П/Я А-7697
Priority to SU772535405A priority Critical patent/SU834244A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU834244A1 publication Critical patent/SU834244A1/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C23C14/566Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме. Вакуумные затворы применяются для герметического перекрытия рабочих проемов вакуумных агрегатов. Это необходимо в технологических целях, например, 5 при смене рулона металлической полосы без нарушения вакуума в сопряженных камерах.
Известен вакуумный затвор, в котором при разгерметизации в положении 10 заслонки Затвор открыт, уплотнение перемещается из области разгермертизированного проходного отверстия затвора в противоположное 111.
мJ ι <
Недостаток известного устройства заключается в его низких эксплуатационных качествах.
Наиболее близким к предлагаемому является вакуумный затвор, содержащий Μ корпус с соосными входным и выходным отверстиями' и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствую2 щими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение [2] .
Недостатком такого устройства является низкая надежность работы.
Цель изобретения - повышение надежности работы.
Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем · корпус с соосными входным и выходным отверстиями и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствующими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце, по периметру входного отверстия корпуса выполнена канавка, служащая для размещения уплотнения, а заслонка выполнена с выступом, концентрично охватывающим ее отверстие.
На фиг.1 изображен вакуумный затвор в открытом положении , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1; на фиг.4 - разрез В-В на фиг.1; на фиг.5 - вакуумный затвор в закрытом положении, продольный разрез.
Вакуумный затвор содержит корпус 1 с соосными входным и выходным отверстиями 2. По периметру входного отверстия 2 корпуса 1 выполнена канавка с уплотнением 3 и предохранительным пояском 4 вокруг входного отверстия 2 (фиг. 1 и 2). Каретка 5с отверстием 6 передвигается на катках 7 вдоль корпуса 1 при помощи гидроцилцддра 8 и кривошипно-шатунного механизма 9 по направляющим 10. Заслонка 11, имеющая основное 12 и дополнительное 13 уплотнения и отверстие 14, выполнена с выступом 15, концентрично охватывающим ее отверстие 14, посредством которого она смонтирована на шариковых опорах 16, встроенных в каретку 5, и поджата к ней пружинами 17 (фиг.З); клинья прямого хода 18 и обратного 19 закреплены на заслонке 11. Регулируемые упоры - левый 20 и правый 21, расположенные на торцах корпуса 1, служат для фиксации заслонки 11 относительно отверстий 2. Направляющие 22 на корпусе 1 и направляющие 23 на каретке 4 служат для транспортировки.
В исходном положении Затвор открыт/ фиг. 1-4)каретка 5 находится в левом крайнем положении, при этом заслонка 11 прижата к левому упору 20, а гидроцилиндр 8 через кривошипно-вакуумный механизм 9 и каретку 5 перемещает шарики 16, которые с одной стороны упираются в корпус 1, а с другой давят на клинья прямого хода 18, в результате чего дополнительная уплотняющая плоскость 13 плотно прижимается к предохранительному пояску 4 на корпусе 1, предотвращая тем самым нагрев и запыление основной уплотняющей поверхности 12 и травмирование уплотнения 3, а направляющие 22 на корпусе 1 и направляющие 23 на каретке 5 совпадают.
Вакуумный щим образом.
Каретка 5 гидроцилиндром 8 через кривошипно-шатунный механизм 9 перемещается слева направо вдоль корпуса I затвора затвор работает следуювместе с заслонкой 11,
834244 4 на катках 7 по направляющим 10. По мере движения каретки 5 заслонка 11 пружинами 17 прижимается к каретке 5, при этом между корпусом 1 и дополнительной уплотняющей плоскостью ,13 заслонки II образуется зазор.
В дальнейшем каретка 5 и заслонка 11 двигаются как одно целое до момента контактирования заслонки 11 с правым упором 21. Заслонка 11 останавливается, а каретка 5, продолжая передвигаться, катит шарики 16 по клиньям обратного хода 19 и прижимает заслонку 1 1 основной уплотняющей поверхностью 12 к уплотнению 3, размещенному в корпусе 1, герметично закрывая отверстия 2 в корпусе затвора (фиг.5) . В положении Затвор закрыт механизмы двигаются аналогично предыдущему в обратной последовательности. Использование предлагаемого устройства позволяет увелтить надежность и срок эксплуатации вакуумного Завтора без замены уплотнения 3 отверстия 2, а следовательно, уменьшить время простоя основного оборудования вакуумных установок.Упрощение конструкции сочленения каретки и заслонки также повышает надежность вакуумного затвора и уменьшает затраты на его изготовление и эксплуатацию.

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к технике .нанесени  покрытий в вакууме. Вакуу ные затворы лримен ютс  дл  гермети ческого перекрыти  рабочих проемов вакуумных агрегатов. Это необходимо в технологических цел х, например, при смене рулона металлической полосы без нарушени  вакуума в сопр женных камерах. Известен вакуумный затвор, в котором при разгерметизации в положен за.слонки Затвор открыт, уплотнение перемещаетс  из области разгермертизированного проходного отверсти  затвора в противоположное J Недостаток известного устройства заключаетс  в его низких эксплуатационных качествах. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  вакуумный затвор, содержащи корпус с соосными входным и выходным отверсти ми и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверсти ми, соответствую щими отверсти м корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение f2 . Недостатком такого устройства  вл етс  низка  надежность работы. Цель изобретени  - повьшение надежности работы. Указанна  цель достигаетс  тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с соосными входным и выход- Ш )1м отверсти ми и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверсти ми, соответствующими отверсти м корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце, по периметру входного отверсти  корпуса выполнена канавка, служаща  дл  размещени  уплотнени , а заслонка вьшолнена с выступом, концентрично охватывающим ее отверстие. На фиг.1 изображен вакуумный затвор в открытом положении , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фнг.1; на фиг.4 - разрез В-В на 4иг.1; на фиг.З - вакуумный затвор в закрытом положении, продольный разрез. Вакуумный затвор содержит корпус 1 с соосными входным и выходным отверсти ми 2. По периметру входного отверсти  2 корпуса 1 выполнена канавка с уплотнением 3 и предохранительным по ском 4 вокруг входного отверсти  2 С фиг. 1 и 2). Каретка 5с отверстием 6 передвигаетс  на катках 7 вдоль корпуса при помощи гидроцилилдра 8 и кривошипно-шатунного механизма 9 по направл ющим 10. Заслонка 11, имеюща  основное 12 и дополнительное 13 уплотнени  и отверстие 14, выполнена с выступом 15 концентрично охватывающим ее отверстие 14, посредством которого она смонтирована на шариковых опорах 16 встроенных в каретку 5, и поджата к ней пружинами 17 (фиг.З); клинь  пр мого хода 18 и обратного 19 закреплены на заслонке 11. Регулируемые упоры - левый 20 и правый 21, расположенные на торцах корпуса , служат дл  фиксации заслонки 1I относительно отверстий 2. Направл ющие 22 на корпусе 1 и направл ющие 23 на ка ретке 4 служат дл  транспортировки. В исходном положении Затвор открыт фиг. 1-4)каретка 5 находитс  в левом крайнем положении, при этом заслонка 11 прижата к левому упору 20, а гидроцшшндр 8 через кривошип но-вакуумный механизм 9 и каретку 5 перемещает шарики 16, которые с одной стороны упираютс  в корпус 1, а с другой дав т на клинь  пр мого хода 18, в результате чего дополнительна  уплотн юща  плоскость 13 плотно прижимаетс  к предохранитель ному по ску 4 на корпусе 1, предотвраща  тем самым нагрев и запыление основной уплотн ющей поверхности 12 и травмирование уплотнени  3, а направл ющие 22 на корпусе 1 и направ л кицие 23 на каретке 5 совпадают. Вакуумный затвор работает следую щим образом. Каретка 5 вместе с заслонкой I1, гидроцилиндром 8 через кривошипно-ш тунный механизм 9 перемещаетс  слев направо вдоль корпуса 1 затвора 4 на катках 7 по направл ющим 10. По мере движени  каретки 5 заслонка I 1 пружинами 17 прижимаетс  к кар,етке 5, при этом между корпусом 1 и дополнительной уплотн ющей плоскостью ,13 заслонки 11 образуетс  зазор. В дальнейшем каретка 5 и заслонка 11 двигаютс  как одно целое до момента контактировани  заслонки 11 с правым упором 21. Заслонка 11 останавливаетс , а каретка 5, продолжа  передвигатьс , катит шарики 16 по клинь м обратного хода 19 и прижимает заслонку 1 1 основной уплотн ющей поверхностью 12 к уплотнению 3,размещенному в корпусе 1, герметично закрыва  отверсти  2 в корпусе затвора (фиг.5) . В положении Затвор закрыт механизмы двигаютс  аналогично предыдущему в обратной последовательности. Использование предлагаемого устройства позвол ет увел1мить надежность и срок эксплуатаоди вакуумного автора без замены уплотнени  3 отверсти  2, а следовательно, уменьшить врем  просто  основного оборудовани  вакуумных установок.Упрощение конструкции сочленени  каретки и заслонки также повышает надежность вакуумного затвора и уменьшает затраты на его изготовление и эксплуатацию. Формула изобретени  Вакуумный затвор, содержащий корпус с соосными входным и выходным отверсти ми и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверсти ми, соответствующими отверсти м корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение , отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности работы, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце,, по периметру входного отверсти  корпуса выполнена канавка, служаща  дл  размещени  уплотнени , а заслонка выполнена с выступом, концентрично схватывающим ее отверстие. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе I.POT А. Вакуумные уплотнени . М., Энерги , 1971, с.343-372, рис. 6-61, 6-62, 6-63.
  2. 2. Кружилин А. В. и др. Вакуумные прокатные станы. М., Машиностроение, 1973, с. 145-146,рис.102 (прототип).
    бб
    10
    е- в
    Т7
    /л:ум- 1
    н
    г-
    /5
    /
    75
    г
    г
    -;в
    /7
    1
SU772535405A 1977-10-19 1977-10-19 Вакуумный затвор SU834244A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772535405A SU834244A1 (ru) 1977-10-19 1977-10-19 Вакуумный затвор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772535405A SU834244A1 (ru) 1977-10-19 1977-10-19 Вакуумный затвор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU834244A1 true SU834244A1 (ru) 1981-05-30

Family

ID=20729562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772535405A SU834244A1 (ru) 1977-10-19 1977-10-19 Вакуумный затвор

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU834244A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0020688B1 (en) Knife gate device for controlling material flow
US4495966A (en) Separable high vacuum valve
US4052036A (en) Sliding device for the gas-tight and air-tight closure of a container opening or of a conduit
ATE82585T1 (de) Gas-ueberleiteinrichtung fuer einen koksofen.
FI72915B (fi) Anordning foer bringande av ytpressning mot roerliga verkstycken.
US4553648A (en) Exhaust brake apparatus of sliding type
US4796515A (en) Rodless cylinder
DE3329790C2 (de) Ventilträger für Kolbenverdichter
SU834244A1 (ru) Вакуумный затвор
US4331073A (en) Pressure application apparatus
US3999463A (en) Fluid motor construction
EP0036955A2 (de) Vorrichtung zum Anhalten von Werkstückträgern, Werkstücken oder dgl. die auf einem Förderer durch eine Fertigungsstrasse bewegt werden
GB1563976A (en) Lifting unit
KR920016771A (ko) 연소실 화격자(火格子)
US4735051A (en) Double admitting pressure intensifier
JPS61103066A (ja) 真空仕切弁
JPH074784B2 (ja) ロボツトハンド
GB1414054A (en) Explosive drive mechanism especially for electrical switchgear
JPS56164289A (en) Slide valve
ES524367A0 (es) Una instalacion neumatica de control para vehiculos sobre carriles
DE1900454A1 (de) Hoechstvakuumkammer
JPS63125868A (ja) 真空ゲ−トバルブ
JPH0343487B2 (ru)
SU517733A1 (ru) Шиберна задвижка
RU2047732C1 (ru) Шиберная задвижка