JPS58178333U - 真空容器用扉開閉機構 - Google Patents
真空容器用扉開閉機構Info
- Publication number
- JPS58178333U JPS58178333U JP7742682U JP7742682U JPS58178333U JP S58178333 U JPS58178333 U JP S58178333U JP 7742682 U JP7742682 U JP 7742682U JP 7742682 U JP7742682 U JP 7742682U JP S58178333 U JPS58178333 U JP S58178333U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- closing mechanism
- door opening
- convex part
- door
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は何れも本考案の一実施例を示し第１図は断面図、第
２図は仕切弁の詳細断面図である。 −１２・・・真空容器、１５・・・扉、１６・・・シリ
ンダ、２３・・・ポンプ、２５・・・管路、２７・・・
凸部、２９・・・仕切板、３０・・・スプリング。
２図は仕切弁の詳細断面図である。 −１２・・・真空容器、１５・・・扉、１６・・・シリ
ンダ、２３・・・ポンプ、２５・・・管路、２７・・・
凸部、２９・・・仕切板、３０・・・スプリング。
Claims (2)
- （１）扉により真空容器の真空室を開閉する装置におい
て、前記真空室を真空にするためのポンプの真空圧を前
記真空室に取付けたシリンダへ仕切弁を介して導き前記
シリンダにより扉を閉じるようにした真空容器用扉開閉
機構。 - （２）仕切弁を、ポンプ側へ連通する管路に設けた凸部
と、同凸部の前面にあって常時はスプリングにより前記
凸部から離れ真空吸引時は真空圧により前記凸部へ吸引
されて管路の一部を閉じるようにした仕切板と、同仕切
板の中央に設けたオリフィスとからなることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載の真空容器用扉開
閉機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7742682U JPS58178333U (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 真空容器用扉開閉機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7742682U JPS58178333U (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 真空容器用扉開閉機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178333U true JPS58178333U (ja) | 1983-11-29 |
Family
ID=30086685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7742682U Pending JPS58178333U (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 真空容器用扉開閉機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178333U (ja) |
-
1982
- 1982-05-26 JP JP7742682U patent/JPS58178333U/ja active Pending
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