JPS646582U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS646582U JPS646582U JP10090987U JP10090987U JPS646582U JP S646582 U JPS646582 U JP S646582U JP 10090987 U JP10090987 U JP 10090987U JP 10090987 U JP10090987 U JP 10090987U JP S646582 U JPS646582 U JP S646582U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valve
- sensor
- valve according
- valve
- connecting passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Description
第1図は、この考案の実施例を示す縦断面図、
第2図は、第1図の―線断面図、第3図は、他
の実施例を示す縦断面図である。 1……バルブボデ、2……接続通路、3……バ
ルブプレート、7,8……センサ。
第2図は、第1図の―線断面図、第3図は、他
の実施例を示す縦断面図である。 1……バルブボデ、2……接続通路、3……バ
ルブプレート、7,8……センサ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) バルブボデの接続通路をバルブプレートに
より開閉するゲートバルブにおいて、前記バルブ
ボデが、バルブプレートの移動軌跡内の障害物を
検出するためのセンサを備えていることを特徴と
するゲートバルブ。 (2) センサが、近接スイツチであることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第1項記載のゲー
トバルブ。 (3) センサが、透過型光センサであることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載のゲ
ートバルブ。 (4) センサが、接続通路の入口側に設けられて
いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
1項記載のゲートバルブ。 (5) センサが、接続通路の両端部に設けられて
いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
1項記載のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10090987U JPS646582U (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10090987U JPS646582U (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS646582U true JPS646582U (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=31329416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10090987U Pending JPS646582U (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS646582U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE39776E1 (en) | 1990-08-29 | 2007-08-21 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and operating method with wafers, substrates and/or semiconductors |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5441075A (en) * | 1977-09-07 | 1979-03-31 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Conveying device between atmospheric pressure and vacuum |
-
1987
- 1987-07-02 JP JP10090987U patent/JPS646582U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5441075A (en) * | 1977-09-07 | 1979-03-31 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Conveying device between atmospheric pressure and vacuum |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE39776E1 (en) | 1990-08-29 | 2007-08-21 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and operating method with wafers, substrates and/or semiconductors |