JPS6367538U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による一実施例の側断面図、第
２図は本考案による一実施例の作動状況を示す側
断面図、第３図は従来の真空内試料搬送装置の方
式例、である。 図において、１は試料ホルダ、２は磁石、３は
内パイプ、４は外パイプ、５は磁石、６は磁石、
７は電磁石、８は電磁石、９はガイド、１０はガ
イド、１１は試料ホルダ、１２は試料、１３は試
料ホルダ、１４はゲートバルブ、１５は真空室(A
)、１６は真空室(B)、１７は接続室、を示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 真空内試料搬送装置であつて、真空室Ａ，１５
   と真空室Ｂ，１６とを接続する接続室１７内に固
   定されている外パイプ４と、 上記外パイプ４内に設けたガイド１０上を左右
   に移動でき、磁石５及び磁石６を左右端部に備え
   た内パイプ３と、 上記内パイプ３内に設けたガイド９上を左右に
   移動でき、試料ホルダ１と一体構造になつている
   磁石２と、 上記磁石２を上記内パイプ３内で上記ガイド９
   上を左右に移動させる電磁石７と、 上記内パイプ３を上記接続室１７内で上記ガイ
   ド１０上を左右に移動させる電磁石８と、 上記真空室Ａ，１５内に設けた試料ホルダ１１
   と、 上記真空室Ｂ，１６内に設けた試料ホルダ１３
   と、 からなることを特徴とする真空内試料搬送装置。