JPS6258853U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6258853U JPS6258853U JP15137185U JP15137185U JPS6258853U JP S6258853 U JPS6258853 U JP S6258853U JP 15137185 U JP15137185 U JP 15137185U JP 15137185 U JP15137185 U JP 15137185U JP S6258853 U JPS6258853 U JP S6258853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- processing chamber
- partition plate
- chamber
- moving shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例の試料処理時の状
態を示す構成図、第2図はその測定時の状態を示
す構成図、第3図は従来の試料交換装置を示す構
成図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し
、1は試料測定室、4,7は真空ポンプ、5は試
料処理室、8はゲートバルブ、9は試料交換棒、
10は試料ホルダ、11は移動軸、12,22は
直進ころがり軸、21は仕切板、24は連絡路で
ある。
態を示す構成図、第2図はその測定時の状態を示
す構成図、第3図は従来の試料交換装置を示す構
成図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し
、1は試料測定室、4,7は真空ポンプ、5は試
料処理室、8はゲートバルブ、9は試料交換棒、
10は試料ホルダ、11は移動軸、12,22は
直進ころがり軸、21は仕切板、24は連絡路で
ある。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) それぞれ真空排気系を有する試料処理室お
よび試料測定室と、前記試料処理室からゲートバ
ルブを通して試料測定室に試料ホルダを導入する
試料交換棒と、この試料交換棒の移動軸に案内さ
れ、かつ移動軸が試料処理室から試料測定室に伸
びたときに試料処理室と試料測定室の連絡路を塞
ぐ仕切板とを備えた試料交換装置。 (2) 仕切板が移動軸に直進ころがり軸受により
案内されたものである実用新案登録請求の範囲第
1項記載の試料交換装置。 (3) 仕切板が試料処理室の内壁に密着して連絡
路を閉じるものである実用新案登録請求の範囲第
1項または第2項記載の試料交換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985151371U JPH0355238Y2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985151371U JPH0355238Y2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6258853U true JPS6258853U (ja) | 1987-04-11 |
JPH0355238Y2 JPH0355238Y2 (ja) | 1991-12-09 |
Family
ID=31068384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985151371U Expired JPH0355238Y2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0355238Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1130573A (ja) * | 1997-05-20 | 1999-02-02 | Jeol Ltd | ホルダ保持装置 |
JP2016031928A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-07 | ライカ ミクロジュステーメ ゲーエムベーハー | クライオ顕微鏡法のための操作容器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5855358U (ja) * | 1981-10-13 | 1983-04-14 | 日電アネルバ株式会社 | 高真空装置用試料出入機構 |
JPS5941749U (ja) * | 1982-09-09 | 1984-03-17 | 日本電子株式会社 | 真空機器における試料交換棒移動機構 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5855358B2 (ja) * | 1976-04-28 | 1983-12-09 | 自動車機器株式会社 | 油圧ポンプ |
JPS5941749B2 (ja) * | 1979-04-25 | 1984-10-09 | 松下電工株式会社 | 回転式電気カミソリの切刃装置 |
-
1985
- 1985-10-02 JP JP1985151371U patent/JPH0355238Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5855358U (ja) * | 1981-10-13 | 1983-04-14 | 日電アネルバ株式会社 | 高真空装置用試料出入機構 |
JPS5941749U (ja) * | 1982-09-09 | 1984-03-17 | 日本電子株式会社 | 真空機器における試料交換棒移動機構 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1130573A (ja) * | 1997-05-20 | 1999-02-02 | Jeol Ltd | ホルダ保持装置 |
JP2016031928A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-07 | ライカ ミクロジュステーメ ゲーエムベーハー | クライオ顕微鏡法のための操作容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0355238Y2 (ja) | 1991-12-09 |
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