JPH0382321U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0382321U JPH0382321U JP14447189U JP14447189U JPH0382321U JP H0382321 U JPH0382321 U JP H0382321U JP 14447189 U JP14447189 U JP 14447189U JP 14447189 U JP14447189 U JP 14447189U JP H0382321 U JPH0382321 U JP H0382321U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupling
- bearing
- guide block
- ball screw
- holds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 2
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Description
第１図はこの考案にかかるマグネツトカツプリ
ング搬送機構を示す断面図、第２図は第１図のＡ
方向から見た図、第３図は第１図のＢ方向から見
た図、第４図は上下駆動可能なマグネツトカツプ
リング搬送機構を示す断面図、第５図は従来のマ
グネツトカツプリング搬送機構を示す断面図であ
る。 ９…カツプリング、１２…ガイドブロツク、１
３…駆動ブロツク、１４…ベアリング、１５…ボ
ールネジ、１７…溝、１８…ベアリング。
ング搬送機構を示す断面図、第２図は第１図のＡ
方向から見た図、第３図は第１図のＢ方向から見
た図、第４図は上下駆動可能なマグネツトカツプ
リング搬送機構を示す断面図、第５図は従来のマ
グネツトカツプリング搬送機構を示す断面図であ
る。 ９…カツプリング、１２…ガイドブロツク、１
３…駆動ブロツク、１４…ベアリング、１５…ボ
ールネジ、１７…溝、１８…ベアリング。
Claims (1)
- 真空内搬送機構に装着されたマグネツトと、真
空壁を介して円筒状カツプリングに保持された大
気側マグネツトの磁気結合により、外部駆動機構
にて前記カツプリングをスライド駆動させ、真空
内搬送機構に搭載された試料を移送するマグネツ
トカツプリング搬送機構に於いて、前記円筒状カ
ツプリングの外周に挿入され位置調整可能なガイ
ドブロツクと、固定台に設置されたボールネジの
ナツトに固着した駆動ブロツクとからなり、前記
ガイドブロツクはボールネジ側にベアリングを保
持し、駆動ブロツクは前記ベアリングをガイドす
る溝を形成し、かつ、ガイドブロツクのベアリン
グ保持部を挟み込むベアリングを保持しているこ
とを特徴とするマグネツト搬送機構の連結機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14447189U JPH0382321U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14447189U JPH0382321U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0382321U true JPH0382321U (ja) | 1991-08-22 |
Family
ID=31691168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14447189U Pending JPH0382321U (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0382321U (ja) |
-
1989
- 1989-12-13 JP JP14447189U patent/JPH0382321U/ja active Pending
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