JPS6024058U - 試料移動装置 - Google Patents
試料移動装置Info
- Publication number
- JPS6024058U JPS6024058U JP11687483U JP11687483U JPS6024058U JP S6024058 U JPS6024058 U JP S6024058U JP 11687483 U JP11687483 U JP 11687483U JP 11687483 U JP11687483 U JP 11687483U JP S6024058 U JPS6024058 U JP S6024058U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving device
- sample
- sample moving
- atmosphere side
- moving distance
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置装置の構成断面図、第２図は本考案の
一実施例を示す構成断面図である。 １：試料ステージ、２：真空室、３：移動棒、４：フラ
ンジ、５：ケース、６：モータ、７：モータ軸、８：歯
車、９，１０，１２，１３：スイッチ、１１：電源部、
１４：ピン。
一実施例を示す構成断面図である。 １：試料ステージ、２：真空室、３：移動棒、４：フラ
ンジ、５：ケース、６：モータ、７：モータ軸、８：歯
車、９，１０，１２，１３：スイッチ、１１：電源部、
１４：ピン。
Claims (1)
- 真空室内に設けられた試料を保持する試料ステージを大
気側に設けられた駆動機構によって移動するようにした
装置において、前記試料ステージの移動距離を検出する
ための移動距離検出手段を大気側に設けたことを特徴と
する試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11687483U JPS6024058U (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11687483U JPS6024058U (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 試料移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6024058U true JPS6024058U (ja) | 1985-02-19 |
Family
ID=30269253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11687483U Pending JPS6024058U (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024058U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6471048A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-16 | Jeol Ltd | Magnetic coupling type sample exchange device |
-
1983
- 1983-07-27 JP JP11687483U patent/JPS6024058U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6471048A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-16 | Jeol Ltd | Magnetic coupling type sample exchange device |
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