JPS6059977U - 電子部品試験装置 - Google Patents
電子部品試験装置Info
- Publication number
- JPS6059977U JPS6059977U JP15157483U JP15157483U JPS6059977U JP S6059977 U JPS6059977 U JP S6059977U JP 15157483 U JP15157483 U JP 15157483U JP 15157483 U JP15157483 U JP 15157483U JP S6059977 U JPS6059977 U JP S6059977U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- chamber
- component testing
- testing equipment
- lens barrel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の電子部品試験装置を示す断面説明図、第
２図は本考案による電子部品試験装置を示す断面説明図
である。 １０・・・チャンバ、１１・・・電子部品（被試験体）
、１２・・・信号駆動部、１３・・・鏡筒部、１４・・
・電子ビーム、１６・・・蛇腹、１７・・・鏡筒駆動源
。
２図は本考案による電子部品試験装置を示す断面説明図
である。 １０・・・チャンバ、１１・・・電子部品（被試験体）
、１２・・・信号駆動部、１３・・・鏡筒部、１４・・
・電子ビーム、１６・・・蛇腹、１７・・・鏡筒駆動源
。
Claims (1)
- 内部が真空にされるチャンバ内に被試験体たる電子部品
を装着し、この電子部品を駆動しながら上記チャンバの
上面に１設けられた鏡筒部から電子ビームを照射して、
上記電子部品の内部の動作機能試験を行う電子部品試験
装置において、上記電子部品の信号駆動部をチャンバの
外部にて該電子部品の蓮りに設け、上記鏡筒部をチャン
バに対してＸ、Ｙ二軸方向に移動可能に設けて試験領域
を設定するようにしたことを特徴とする電子部品試験装
置。 ′
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15157483U JPS6059977U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 電子部品試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15157483U JPS6059977U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 電子部品試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059977U true JPS6059977U (ja) | 1985-04-25 |
| JPH0140064Y2 JPH0140064Y2 (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=30335847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15157483U Granted JPS6059977U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 電子部品試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059977U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62276848A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-12-01 | フエアチヤイルド セミコンダクタコ−ポレ−シヨン | 電子ビームテストプローブ方法及び装置 |
| JPH0676776A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP15157483U patent/JPS6059977U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62276848A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-12-01 | フエアチヤイルド セミコンダクタコ−ポレ−シヨン | 電子ビームテストプローブ方法及び装置 |
| JPH0676776A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0140064Y2 (ja) | 1989-12-01 |
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