JPS59109904U - 触針式形状測定機の測定位置検知装置 - Google Patents
触針式形状測定機の測定位置検知装置Info
- Publication number
- JPS59109904U JPS59109904U JP386383U JP386383U JPS59109904U JP S59109904 U JPS59109904 U JP S59109904U JP 386383 U JP386383 U JP 386383U JP 386383 U JP386383 U JP 386383U JP S59109904 U JPS59109904 U JP S59109904U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- measuring
- detection device
- position detection
- shape measuring
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の構成説明図、第２図・第４図は被測定
表面と測定子先端との位置関係を示す説゛明図、第３図
・第５図は顕微鏡の視野の見取図。 １−・・・・・・テーブル、２・・・・・・被測定表面
、３・・・・・・測 。 穴子先端、６・・・・・・照明光源、７・・・・・・顕
微鏡、８・・・・・・カバー、９・・・・・・測定子先
端の陰影部分、１０・・・ 。 ・・・表面に投映された測定子先端の陰影部分、１１・
・・・・・第２照明光源。
表面と測定子先端との位置関係を示す説゛明図、第３図
・第５図は顕微鏡の視野の見取図。 １−・・・・・・テーブル、２・・・・・・被測定表面
、３・・・・・・測 。 穴子先端、６・・・・・・照明光源、７・・・・・・顕
微鏡、８・・・・・・カバー、９・・・・・・測定子先
端の陰影部分、１０・・・ 。 ・・・表面に投映された測定子先端の陰影部分、１１・
・・・・・第２照明光源。
Claims (3)
- （１）被測定表面に対して測定子先端が接触し、相対移
動する形状測定機において、測定子先端に対して投光照
明する光源と、測定子先端そのものの陰影部と、被測定
表面上に作られる測定子先端の陰影とを同一視野に観察
可能にした顕微鏡もしくは受像装置とを配置した触針式
形状側−定機の測定位置検知装置。 - （２）実用新案登録請求の範囲第１項の記載において、
照明光源の光軸と顕微鏡もしくは受像装置の光軸とを測
定子杆を含む垂直平面上において、測定子の接触点に対
して傾斜方向に相対して設けた触針式形状測定機の測定
位置検知装置。 - （３）実用新案登録請求の範囲第１項、第２項の記載に
おいて、表面上に投映される測定子先端の陰影部分に対
して、前記照明光よりも弱り・光量をもって照射する別
の補助照明源を設けた触針式形状測定機の測定位置検知
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP386383U JPS59109904U (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 触針式形状測定機の測定位置検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP386383U JPS59109904U (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 触針式形状測定機の測定位置検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59109904U true JPS59109904U (ja) | 1984-07-24 |
| JPH0125283Y2 JPH0125283Y2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=30135474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP386383U Granted JPS59109904U (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 触針式形状測定機の測定位置検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59109904U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017170027A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 画像認識装置、画像認識方法および画像認識ユニット |
-
1983
- 1983-01-14 JP JP386383U patent/JPS59109904U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017170027A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 画像認識装置、画像認識方法および画像認識ユニット |
| JP2017181281A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | 画像認識装置、画像認識方法および画像認識ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0125283Y2 (ja) | 1989-07-28 |
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