JPS5985906U - 平面度測定装置 - Google Patents

平面度測定装置

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JPS5985906U
JPS5985906U JP18268082U JP18268082U JPS5985906U JP S5985906 U JPS5985906 U JP S5985906U JP 18268082 U JP18268082 U JP 18268082U JP 18268082 U JP18268082 U JP 18268082U JP S5985906 U JPS5985906 U JP S5985906U
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JP
Japan
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measuring device
flatness measuring
flatness
inclination
utility
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Pending
Application number
JP18268082U
Other languages
English (en)
Inventor
板本　繁
賢司 安田
Original Assignee
富士写真光機株式会社
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Publication date
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Publication of JPS5985906U publication Critical patent/JPS5985906U/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す原理構成図である。第
２図Ａ、　Ｂはそれぞれ干渉縞パターンの　　　′例を
示す概念図である。第３図は本考案における干渉縞解析
手法の一例を説明するための概念図である。 １３・・・照射レンズ、１５・・・基準平面板、Ｐ・・
・照射ビーム、Ｓ・・・照射光軸、１８・・・撮像装置
、２゜・・・基台、２２・・・測定ステージ、２４・・
・マイクロメーター、３０・・・ミニコンピユータ、３
１・・・モニター、０・・・対象物。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）可干渉光を測定対象物表面に照射する照射光学系
    の光軸に対し、前記対象物が載置される測定ステージの
    対象物載置面を傾斜させたことを特徴とする平面度測定
    装置す
  2. （２）照射光学系の光軸に対する測定ス妄−ジの対象物
    載置面の傾斜が調節可能であると共に、その傾斜調節量
    を検出する検出装置が設けられた実用新案登録請求の範
    囲第（１）項に記載の平面度測定装置。
JP18268082U 1982-12-01 1982-12-01 平面度測定装置 Pending JPS5985906U (ja)

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JP18268082U JPS5985906U (ja) 1982-12-01 1982-12-01 平面度測定装置

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JP18268082U JPS5985906U (ja) 1982-12-01 1982-12-01 平面度測定装置

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JPS5985906U true JPS5985906U (ja) 1984-06-11

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JP18268082U Pending JPS5985906U (ja) 1982-12-01 1982-12-01 平面度測定装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS64406A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Nidek Co Ltd Instrument for measuring shape of sample
JP2021167786A (ja) * 2020-04-13 2021-10-21 株式会社神戸製鋼所 平坦度測定装置および方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5417764A (en) * 1977-07-08 1979-02-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Plane shape measuring system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5417764A (en) * 1977-07-08 1979-02-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Plane shape measuring system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS64406A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Nidek Co Ltd Instrument for measuring shape of sample
JP2021167786A (ja) * 2020-04-13 2021-10-21 株式会社神戸製鋼所 平坦度測定装置および方法

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