JPS58148612U - 非接触形状測定器 - Google Patents

非接触形状測定器

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JPS58148612U
JPS58148612U JP4575382U JP4575382U JPS58148612U JP S58148612 U JPS58148612 U JP S58148612U JP 4575382 U JP4575382 U JP 4575382U JP 4575382 U JP4575382 U JP 4575382U JP S58148612 U JPS58148612 U JP S58148612U
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JP
Japan
Prior art keywords
measuring device
shape measuring
contact shape
imaging plane
slit light
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Pending
Application number
JP4575382U
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English (en)
Inventor
神谷 佳久
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
゛第1図は本考案による非接触形状測定器の一実施例を
示す図、第2図は2次元イメージセンサ上の結像状態を
示す図である。 1・・・非接触形状測定器、3・・・照射手段(スリッ
ト)、5・・・照射手段(光源)1.7・・・2次元イ
メージセンサ、11・・・被測定物、12・・・スリッ
ト光。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定物へのスリット光の照射手段を有し、前記スリッ
    ト光の被測定物からの反射光を結像面に結像させて被測
    定物の寸法を測定する非接触形状測定器において、前記
    結像面に2次元イメージセンサを設けたことを特徴とす
    る非接触形状測定器。
JP4575382U 1982-03-31 1982-03-31 非接触形状測定器 Pending JPS58148612U (ja)

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JP4575382U JPS58148612U (ja) 1982-03-31 1982-03-31 非接触形状測定器

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4575382U JPS58148612U (ja) 1982-03-31 1982-03-31 非接触形状測定器

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JPS58148612U true JPS58148612U (ja) 1983-10-05

Family

ID=30056763

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4575382U Pending JPS58148612U (ja) 1982-03-31 1982-03-31 非接触形状測定器

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