JPS59148062U - 走査電子顕微鏡の試料移動装置 - Google Patents

走査電子顕微鏡の試料移動装置

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JPS59148062U
JPS59148062U JP4063583U JP4063583U JPS59148062U JP S59148062 U JPS59148062 U JP S59148062U JP 4063583 U JP4063583 U JP 4063583U JP 4063583 U JP4063583 U JP 4063583U JP S59148062 U JPS59148062 U JP S59148062U
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JP
Japan
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sample
electron microscope
hole
moving device
scanning electron
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Pending
Application number
JP4063583U
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English (en)
Inventor
実 清水
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は第１図の
ｐ方向から見た図、第３図は本考案の変形例の断面図で
ある。 １−・・電子線、２・・・対物レンズ、３・・・試料、
４・・・試料台、５・・・試料移動機構、６・・・試料
移動ベース、７・・・試料室、８・・・真空パツキン、
９・・・板Ａ、１０・・・板Ｂ１１１・・・ピン、１２
・・・軸、１３・・・板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　電子線を細く収束し、試料上を走査し、該試料より
    放出される信号で陰極線管の輝度変調を行なって像を表
    示する走査電子顕微鏡において試料を移動する機構と対
    物レンズの間に、試料の移動量に対応した穴をあけた板
    を配置し、該穴に試料を保持する試料台を通して該穴で
    移動量を制限したことを特徴とする走査電子顕微鏡の試
    料移動装置。 ２　実用新案登録請求の範囲第１項において、穴の大き
    さを対物レンズ下面のポールピース穴径より小さい径と
    したことを特徴とする走査電子顕微鏡の試料移動装置。 ３　実用新案登録請求の範囲第１項において、穴を通し
    て移動量を制限する試料台を該試料台に取付けられた軸
    で移動量を制限したことを特徴とする歩査電子顕微鏡の
    試料移動装置。
JP4063583U 1983-03-23 1983-03-23 走査電子顕微鏡の試料移動装置 Pending JPS59148062U (ja)

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JPS59148062U true JPS59148062U (ja) 1984-10-03

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