JPS59150158U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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Publication number
JPS59150158U
JPS59150158U JP1565584U JP1565584U JPS59150158U JP S59150158 U JPS59150158 U JP S59150158U JP 1565584 U JP1565584 U JP 1565584U JP 1565584 U JP1565584 U JP 1565584U JP S59150158 U JPS59150158 U JP S59150158U
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JP
Japan
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sample
image
observation
screen
ray tube
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Pending
Application number
JP1565584U
Other languages
English (en)
Inventor
原田嘉晏
小原洋一
野口欣男
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Priority to JP1565584U priority Critical patent/JPS59150158U/ja
Publication of JPS59150158U publication Critical patent/JPS59150158U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例装置を示す外観図、第２図は
第１図の装置の主要部を示す構成略図、第３図及び第４
図は夫々第２図に示す装置の動作を説明するための略図
である。 １：鏡筒、２：観察窓、１０：試料、１１：電子銃、１
２：集束レンズ、１３：偏向コイル、１４：対物レンズ
、１５：中間レンズ、１６：投影レンズ、１８゜２０：
電子線検出器、２２：陰極線管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空鏡筒内の試料を透過した電子線による顕微鏡像又は
    回折像を前記真空鏡筒端部の観察室内に設けられた蛍光
    板上に表示するように構成すると共に、試料を照射する
    電子線を偏向する手段と試料から放出される信号を検出
    する検出器を設けて陰極線管の画面に試料に関する走査
    像又は走査回折像を表示するように構成した装置にお、
    いて、前記観察室に第二の観察窓を設け、該第二の観察
    窓の大気側に設置した前記陰極線管の画面が前記観察室
    の二つの観察窓を介して観察できるように配置し、前記
    陰極線管画面に前記螢光板上に表示される顕微鏡像又は
    回折像とは異なる種類の像を表示し得るように構成した
    ことを特徴とする電子顕微鏡。
JP1565584U 1984-02-07 1984-02-07 電子顕微鏡 Pending JPS59150158U (ja)

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JP1565584U JPS59150158U (ja) 1984-02-07 1984-02-07 電子顕微鏡

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JP1565584U JPS59150158U (ja) 1984-02-07 1984-02-07 電子顕微鏡

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Publication Number Publication Date
JPS59150158U true JPS59150158U (ja) 1984-10-06

Family

ID=30146981

Family Applications (1)

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JP1565584U Pending JPS59150158U (ja) 1984-02-07 1984-02-07 電子顕微鏡

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