JPS59177164U - 走査型反射電子回折顕微装置 - Google Patents
走査型反射電子回折顕微装置Info
- Publication number
- JPS59177164U JPS59177164U JP7045183U JP7045183U JPS59177164U JP S59177164 U JPS59177164 U JP S59177164U JP 7045183 U JP7045183 U JP 7045183U JP 7045183 U JP7045183 U JP 7045183U JP S59177164 U JPS59177164 U JP S59177164U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- image
- scanning electron
- diffraction
- scanning
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による実施例の構成図、第２図は第１図
における信号演算処理回路の詳細構成図、第３図は光信
号の取得法の説明図、第４〜６図は本考案による他の実
施例の構成図である。 １・・・・・・加速電源、２・・・・・・電子銃、３・
・・・・・収束レンズ、４・・・・・・−次電子ビーム
、５・・四−次電子ビーム用偏向コイル群、６・・・・
・・真空容器、７・・・・・・試料、８・・・・・・反
射電子回折線、９・・・・・・螢光板、１０・・・・・
・アパーチャ、１１・・・・・・のぞき窓、１２・・・
・・・光電変換素子、１３・・・・・・信号演算処理部
、１４・・・・・・陰極線管、１５・・・・・・走査電
源、１６・・・・・・光学レンズ、１７・・・・・・遮
光筒、１８・・・・・・ファイバースコープ、１９・・
・・・・オプティカルファイバー、２０・・曲イメージ
インテンシファイヤ、３１・・・・・・極性変換器、３
２・・・・・・信号増幅器、３３・・・・・・重畳器、
３４゜３５・・・・・・切換スイッチ、３６・・・・・
・割算器、３７・・・・・・電源、４１・・・・・・回
折スポット、４２・・・・・・アパーチャ穴、４３・・
・・・・螢光板。 −３１” ３グ″ −− ７゜ ｌ ｉｚ” ■ １１ １
における信号演算処理回路の詳細構成図、第３図は光信
号の取得法の説明図、第４〜６図は本考案による他の実
施例の構成図である。 １・・・・・・加速電源、２・・・・・・電子銃、３・
・・・・・収束レンズ、４・・・・・・−次電子ビーム
、５・・四−次電子ビーム用偏向コイル群、６・・・・
・・真空容器、７・・・・・・試料、８・・・・・・反
射電子回折線、９・・・・・・螢光板、１０・・・・・
・アパーチャ、１１・・・・・・のぞき窓、１２・・・
・・・光電変換素子、１３・・・・・・信号演算処理部
、１４・・・・・・陰極線管、１５・・・・・・走査電
源、１６・・・・・・光学レンズ、１７・・・・・・遮
光筒、１８・・・・・・ファイバースコープ、１９・・
・・・・オプティカルファイバー、２０・・曲イメージ
インテンシファイヤ、３１・・・・・・極性変換器、３
２・・・・・・信号増幅器、３３・・・・・・重畳器、
３４゜３５・・・・・・切換スイッチ、３６・・・・・
・割算器、３７・・・・・・電源、４１・・・・・・回
折スポット、４２・・・・・・アパーチャ穴、４３・・
・・・・螢光板。 −３１” ３グ″ −− ７゜ ｌ ｉｚ” ■ １１ １
Claims (1)
- 真空中で電子源から一次ビームを取出し、上記−次ビー
ムを収束レンズ及び偏向系によって試料表面上の所定領
域に所定角度で照射し、試料吸収−電流を信号とした走
査電子顕微像を得ると共に、上記−次ビームによって上
記試料の表面で反射される反射電子の回折像を螢光板上
に形成し、上記螢光板上の回折像の中の特定スポットか
らの発光のみをアパーチャによって選択的に取出し、光
電変換素子により電気信号に変換して走査電子顕微像を
得る走査型反射電子回折顕微装置において、上記吸収電
流信号と上記光電変換信号とを入力として信号演算処理
した後に得られる出力を信号とした走査電子顕微像を取
得する手段を付加してなることを特徴とする走査型反射
電子回折顕微装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7045183U JPS59177164U (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7045183U JPS59177164U (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59177164U true JPS59177164U (ja) | 1984-11-27 |
Family
ID=30200598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7045183U Pending JPS59177164U (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59177164U (ja) |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP7045183U patent/JPS59177164U/ja active Pending
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