JPS616253U - 電子顕微鏡における検出器 - Google Patents
電子顕微鏡における検出器Info
- Publication number
- JPS616253U JPS616253U JP9100084U JP9100084U JPS616253U JP S616253 U JPS616253 U JP S616253U JP 9100084 U JP9100084 U JP 9100084U JP 9100084 U JP9100084 U JP 9100084U JP S616253 U JPS616253 U JP S616253U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- electron beam
- light
- electron microscope
- light guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は従来例を
示す図、第３図は本考案の他の実施例を示す図である。 １・・・・・・蛍光板、２・・・・・・シンチレータ、
３・・・・・・ライトガイド、４・・・・・・２次電子
増倍管、５・・・・・・検出器、６・・・・・・プリズ
ム、Ｅ・・・・・・透過電子線。
示す図、第３図は本考案の他の実施例を示す図である。 １・・・・・・蛍光板、２・・・・・・シンチレータ、
３・・・・・・ライトガイド、４・・・・・・２次電子
増倍管、５・・・・・・検出器、６・・・・・・プリズ
ム、Ｅ・・・・・・透過電子線。
Claims (2)
- （１）試料上で電子線を走査し、該走査に基づいて該試
料を透過した電子を検出し、該検出した信号を陰極線管
に供給する様にした電子顕微鏡において、該電子線を検
出する検出器は電子線の入射によって光を発生するシン
チレータと、該シンチレータから発光した光を導くライ
トガイドと、該ライトガイドによって導かれた光を検出
する光検出部とを備えており、該シンチレータに入射す
る電子線が該電子線の入射部から光検出部に向う光の中
心軸に対して斜めに入射する様に該検出器を配置したこ
とを特徴とする電子顕微鏡における検出器。 - （２）前記ライトガイドはプリズムを含んでいることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子顕
微鏡における検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9100084U JPS616253U (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子顕微鏡における検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9100084U JPS616253U (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子顕微鏡における検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS616253U true JPS616253U (ja) | 1986-01-14 |
Family
ID=30646500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9100084U Pending JPS616253U (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子顕微鏡における検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS616253U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01270690A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Fujitsu Ltd | 露光用ｘ線の強度測定方法 |
| JPH0215545A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Hitachi Ltd | Ｘ線マスクの欠陥検査方法及びその装置 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP9100084U patent/JPS616253U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01270690A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Fujitsu Ltd | 露光用ｘ線の強度測定方法 |
| JPH0215545A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Hitachi Ltd | Ｘ線マスクの欠陥検査方法及びその装置 |
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