JPS6071064U - 分析電子顕微鏡 - Google Patents

分析電子顕微鏡

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JPS6071064U
JPS6071064U JP16290183U JP16290183U JPS6071064U JP S6071064 U JPS6071064 U JP S6071064U JP 16290183 U JP16290183 U JP 16290183U JP 16290183 U JP16290183 U JP 16290183U JP S6071064 U JPS6071064 U JP S6071064U
Authority
JP
Japan
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electron microscope
lens
aperture
analytical electron
incidence
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JP16290183U
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JPH0119803Y2 (ja
Inventor
哲夫 及川
柴田　信正
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日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の概略構成図、第２図は第１図装置の
入射絞りを示す図、第３図は本考案の一実施例を装置の
概略構成図、第４図は一実施例装置の入射絞りの一例を
示す図である。 １：鏡体、２：エネルギーアナライザ、３：走査電源、
４：検出器、５：ＣＲＴ、６：投影レンズ、７：螢光板
、８．１０：入射絞り、９：検出スリット。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）試料を透過した電子線を対物レンズ、中間レンズ
    、投影レンズによって螢光板の下方に設けられたエネル
    ギーアナライザに導くように構成した装置において、前
    記エネルギーアナライザに入射する電子線を制限する入
    射絞りを該螢光板と股部レンズとの間に配置したことを
    特徴とする分析電子顕微鏡。
  2. （２）前記入射絞りを互に孔形の異なった複数個の絞り
    孔が選択できる様に構成したことを特徴とする実用新案
    登録請求の範囲第１項記載の分析電子顕微鏡。
JP16290183U 1983-10-21 1983-10-21 分析電子顕微鏡 Granted JPS6071064U (ja)

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JP16290183U JPS6071064U (ja) 1983-10-21 1983-10-21 分析電子顕微鏡

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Publication Number Publication Date
JPS6071064U true JPS6071064U (ja) 1985-05-20
JPH0119803Y2 JPH0119803Y2 (ja) 1989-06-07

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ID=30357594

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JP16290183U Granted JPS6071064U (ja) 1983-10-21 1983-10-21 分析電子顕微鏡

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62176959U (ja) * 1986-04-22 1987-11-10

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62176959U (ja) * 1986-04-22 1987-11-10

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Publication number Publication date
JPH0119803Y2 (ja) 1989-06-07

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