JPS6130956U - 反射式電子回折用電子線照射装置 - Google Patents
反射式電子回折用電子線照射装置Info
- Publication number
- JPS6130956U JPS6130956U JP11667284U JP11667284U JPS6130956U JP S6130956 U JPS6130956 U JP S6130956U JP 11667284 U JP11667284 U JP 11667284U JP 11667284 U JP11667284 U JP 11667284U JP S6130956 U JPS6130956 U JP S6130956U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- beam irradiation
- irradiation device
- electron beam
- reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、この考案の実施例を示す電子回折装置の説明
図、第２図は、電子線回折装置の従来例を示す説明図で
ある。 １１・・・・・・電子銃、１２・・・・・・陽極、１３
・・・・・・集束レンズ、１４・・・・・・偏向コイル
、１５・・・・・・試料、１８・・・絞り、２０・・・
・・・磁気シールド。
図、第２図は、電子線回折装置の従来例を示す説明図で
ある。 １１・・・・・・電子銃、１２・・・・・・陽極、１３
・・・・・・集束レンズ、１４・・・・・・偏向コイル
、１５・・・・・・試料、１８・・・絞り、２０・・・
・・・磁気シールド。
Claims (1)
- 電子銃から試料に至るまでの電子線照射径路上に、陽極
、電子レンズ及び偏向コイルを順次配置してな慝反射式
電子回折用電子線照射装置において、電子線照射径路上
にあって、集束レンズの手前の陽極の直後に細孔を有す
るフレア除去用の絞りを固定して配置し、上記電子銃か
ら偏向コイルに至る電子線照射径路の周囲を磁気シール
ドで覆ってなることを特徴とする反射式電子回折装置用
電子照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11667284U JPS6130956U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 反射式電子回折用電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11667284U JPS6130956U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 反射式電子回折用電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130956U true JPS6130956U (ja) | 1986-02-25 |
Family
ID=30675606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11667284U Pending JPS6130956U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 反射式電子回折用電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130956U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50146267A (ja) * | 1974-05-13 | 1975-11-22 | ||
| JPS58223250A (ja) * | 1982-06-21 | 1983-12-24 | Hitachi Ltd | 反射電子回折装置 |
| JPS5923444A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-06 | Hitachi Ltd | 走査型反射電子回折顕微装置 |
-
1984
- 1984-07-30 JP JP11667284U patent/JPS6130956U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50146267A (ja) * | 1974-05-13 | 1975-11-22 | ||
| JPS58223250A (ja) * | 1982-06-21 | 1983-12-24 | Hitachi Ltd | 反射電子回折装置 |
| JPS5923444A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-06 | Hitachi Ltd | 走査型反射電子回折顕微装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6130956U (ja) | 反射式電子回折用電子線照射装置 | |
| JPS5894254U (ja) | 電子線ホログラフイ−用光学装置 | |
| JPS6071064U (ja) | 分析電子顕微鏡 | |
| JPS5899763U (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPS6065967U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS59152651U (ja) | 陰極線管 | |
| JPS6075954U (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPS619759U (ja) | 静電集束・静電偏向型の撮像管 | |
| JPS6119781U (ja) | 磁力分布検査装置 | |
| JPS5988858U (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPS5966925U (ja) | 光学式ピツクアツプ装置 | |
| JPS58182140U (ja) | 蒸着装置 | |
| JPS60105054U (ja) | 電子ビ−ム発生装置 | |
| JPS5823161U (ja) | 荷電粒子分析装置 | |
| JPS5846382U (ja) | おしやべりマスコツト | |
| JPS5997458U (ja) | イオン電子線照射装置 | |
| JPS58129636U (ja) | 電子ビ−ム露光におけるマ−ク検出装置 | |
| JPS59125054U (ja) | 撮像管用ヨ−クアツセンブリ− | |
| JPS59262U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS5810368U (ja) | 電子顕微鏡 | |
| GB847266A (en) | Improvements relating to electron lenses | |
| JPS5985569U (ja) | 電子ビ−ム軸合せ装置 | |
| JPS59120406U (ja) | 電子ビ−ム露光装置における電子ビ−ム測定装置 | |
| JPS60185333U (ja) | 荷電粒子ビ−ム描画装置 | |
| JPS6031059U (ja) | ラスタ歪補正装置 |