JPS58129636U - 電子ビ−ム露光におけるマ−ク検出装置 - Google Patents
電子ビ−ム露光におけるマ−ク検出装置Info
- Publication number
- JPS58129636U JPS58129636U JP2536782U JP2536782U JPS58129636U JP S58129636 U JPS58129636 U JP S58129636U JP 2536782 U JP2536782 U JP 2536782U JP 2536782 U JP2536782 U JP 2536782U JP S58129636 U JPS58129636 U JP S58129636U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- mark portion
- detection device
- beam exposure
- mark detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は検出器とマーク位置の関係を示す図、第２図は
検出器の検出信号波形を示す図、第３図は本考案の一実
施例を示す図、第４図は第３図の実施例における信号波
形を示す図である。 １：マーク、２．３：検出器、４：電子銃、５：収束レ
ンズ、６：被露光材料、７：偏向板、８．９：増幅器、
１０：差動増幅器、１１：バイパスフィルター、１２：
絶対値増幅器、１３：微分回路、１４：マーク信号整形
回路、ｌ ５ ：ＮＡＮＤ回路、１６：コンピュータ、
１７：マスク信号発生回路、１８：走査、信号発生回路
。
検出器の検出信号波形を示す図、第３図は本考案の一実
施例を示す図、第４図は第３図の実施例における信号波
形を示す図である。 １：マーク、２．３：検出器、４：電子銃、５：収束レ
ンズ、６：被露光材料、７：偏向板、８．９：増幅器、
１０：差動増幅器、１１：バイパスフィルター、１２：
絶対値増幅器、１３：微分回路、１４：マーク信号整形
回路、ｌ ５ ：ＮＡＮＤ回路、１６：コンピュータ、
１７：マスク信号発生回路、１８：走査、信号発生回路
。
Claims (1)
- 走査開始信号に基づき電子ビームをマーク部において走
査するための走査手段、該マーク部への電子ビームの照
射により該マーク部から発生する電子を検出するための
検出器、該検出器からの信号のうち直流分を取り除くた
めのバイパスフィルター、該バイパスフィルターの出力
信号に基づいてパルスを整形する信号整形手段、該信号
整形手段の出力パルスの内前記走査開始信号から一定時
間内のパルスを除去する手段とより成る電子ビーム露光
におけるマーク検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2536782U JPS58129636U (ja) | 1982-02-24 | 1982-02-24 | 電子ビ−ム露光におけるマ−ク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2536782U JPS58129636U (ja) | 1982-02-24 | 1982-02-24 | 電子ビ−ム露光におけるマ−ク検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129636U true JPS58129636U (ja) | 1983-09-02 |
Family
ID=30037336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2536782U Pending JPS58129636U (ja) | 1982-02-24 | 1982-02-24 | 電子ビ−ム露光におけるマ−ク検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129636U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130357A (ja) * | 1974-09-09 | 1976-03-15 | Nippon Telegraph & Telephone | Denshibiimurokoniokeru denshibiimushusokuhoho |
| JPS5532017A (en) * | 1978-08-25 | 1980-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | Liquid crystal display device |
| JPS5585028A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-26 | Hitachi Ltd | Mark detecting signal amplifier |
-
1982
- 1982-02-24 JP JP2536782U patent/JPS58129636U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130357A (ja) * | 1974-09-09 | 1976-03-15 | Nippon Telegraph & Telephone | Denshibiimurokoniokeru denshibiimushusokuhoho |
| JPS5532017A (en) * | 1978-08-25 | 1980-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | Liquid crystal display device |
| JPS5585028A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-26 | Hitachi Ltd | Mark detecting signal amplifier |
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